CN111180378B - 一种检测晶舟内晶圆斜插的方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种检测晶舟内晶圆斜插的方法和装置，其中所述装置包括：支撑架，位于晶舟上方，支撑架上设有多组沿第一方向间隔分布的第一红外线接收端，每个第一红外线接收端设有多个接收点，晶舟下方设有能够沿第一方向直线运动的红外线发射端，红外线发射端设有多个发射点，每个接收点位于发射点的移动路径上；晶舟相对的两个侧壁内侧设有一一相对的多组凹槽，其中每组凹槽所在的平面在第一方向互相平行，每组凹槽用于承载一片晶圆，与每组凹槽所在的平面垂直且平行于第一方向的面为第一面；每个第一红外线接收端的接收点在第一面的投影落在一组凹槽在第一面的投影范围内，且相距最远的两个接收点之间的距离小于晶圆的直径。

Description

一种检测晶舟内晶圆斜插的方法及装置

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种检测晶舟内晶圆斜插的方法及装置。

背景技术

在半导体工艺中，晶圆进入酸槽前需要对晶圆进行检测，晶圆预先放置在承载晶圆的容器中，如放置在晶舟中，晶舟设有相对的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁内侧沿竖直方向设有多个平行相间的第一凹槽，第二侧壁内侧沿竖直方向设有与多个第一凹槽一一相对的多个第二凹槽，第一凹槽与相对的第二凹槽相配合用于支撑晶圆的边缘使晶圆呈竖直状态，正确放置晶圆时，多个晶圆在晶舟内沿一个方向平行分布且晶圆表面垂直于第一侧壁和第二侧壁。当晶圆进行检测时，将每片晶圆对应传入检测装置内，如果晶圆斜插，会导致检测设备和晶圆发生碰撞，使晶圆破裂或使检测设备被划伤。

晶圆斜插的定义为：当晶舟内的晶圆正确放置时，晶圆的表面垂直于晶舟的侧壁竖向放置，且多片晶圆之间相互平行，由于第一凹槽和第二凹槽分布在第一侧壁和第二侧壁上密集分布，凹槽的宽度和凹槽间的间隔宽度约5mm，晶圆的厚度约1mm，因此容易出现当一片晶圆的一部分位于其中一个第一凹槽中，另一部分没有位于相对的第二凹槽中，而是位于另一个与所述相对的第二凹槽相邻的第二凹槽中，导致晶圆表面仍与晶舟底面垂直但与晶舟侧壁不垂直，且该晶圆表面与正确放置的晶圆的表面也不平行，这种情况定义为晶圆发生斜插(参见图4)。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测晶舟内晶圆斜插的方法及装置，能够检测晶舟内的晶圆是否斜插。

为了实现上述目的，本发明提供一种检测晶舟内晶圆斜插的方法，包括：

提供设置有晶圆的晶舟，所述晶舟相对的两个侧壁内侧设有一一相对的多组凹槽，其中每组所述凹槽所在的平面在第一方向互相平行，每组所述凹槽用于承载一片晶圆，对每组凹槽设置第一参考面和第二参考面，分别为晶圆正常放置时，构成晶圆厚度的两个平行的表面所在的面，在所述第一方向上，相邻所述凹槽的第一参考面和第二参考面交叠设置，定义晶圆插入的方向为参考方向，所述参考方向垂直于所述第一方向及所述两个侧壁相对的方向；

检测每组所述凹槽中晶圆是否斜插包括:

发射至少两个第一红外激光信号，所述至少两个第一红外激光信号在一组凹槽的第一参考面、第二参考面之间、平行于所述参考方向，且相距最远的两个第一红外激光信号均位于一组凹槽的两个凹槽之间；

在发射方向上、晶舟另一侧接收所述第一红外激光信号，若接收到所有第一红外激光信号，说明未放置晶圆；若接收到部分第一红外激光信号，证明晶圆斜插放置；若没有接收到任何第一红外激光信号，说明晶圆放置正确。

本发明还提供了一种检测晶舟内晶圆斜插的装置，包括：

支撑架，位于所述晶舟上方，所述支撑架上设有多组沿第一方向间隔分布的第一红外线接收端，每个所述第一红外线接收端设有多个接收点，所述晶舟下方设有能够沿所述第一方向直线运动的红外线发射端，所述红外线发射端设有多个发射点，每个所述接收点位于所述发射点的移动路径上；

所述晶舟相对的两个侧壁内侧设有一一相对的多组凹槽，其中每组所述凹槽所在的平面在第一方向互相平行，每组所述凹槽用于承载一片晶圆，与每组所述凹槽所在的平面垂直且平行于所述第一方向的面为第一面；

每个所述第一红外线接收端的接收点在所述第一面的投影落在一组所述凹槽在所述第一面的投影范围内，且相距最远的两个所述接收点之间的距离小于晶圆的直径。

本发明的有益效果在于：在晶舟的上方设置第一红外线接收端，包括多个接收点，在晶舟的下方设置红外线发射端，包括多个发射点，接收点和发射点相对应，通过红外线接收端不同接收点接收到的不同信号，判断晶舟内的晶圆是否斜插；

进一步地，在晶舟的相邻凹槽之间的间隔上方设置第二红外线接收端，还可以进一步检测正确放置晶圆的数量和斜插晶圆的数量。

附图说明

图1为本发明一实施例一种检测晶舟内晶圆斜插的装置的立体图。

图2为本发明一实施例一种检测晶舟内晶圆斜插的装置的正视图。

图3为本发明一实施例一种检测晶舟内晶圆斜插的装置的侧视图。

图4为晶舟内晶圆斜插时的俯视图。

附图标记说明：

01-支撑架；02-红外线接收端(椭圆虚线框中)；03-红外线接收点；04-红外线发射端；05-红外线发射点；06-晶圆；07-传动轴；08-传送带；10-晶舟；101-凹槽；102-凹槽间隔。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明的一种检测晶舟内晶圆斜插的方法及装置作进一步详细说明。根据下面的说明和附图，本发明的优点和特征将更清楚，然而，需说明的是，本发明技术方案的构思可按照多种不同的形式实施，并不局限于在此阐述的特定实施例。附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

在说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”、“上方”、“下方”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序或位置关系。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换，例如可使得本文所述的本发明实施例能够以不同于本文所述的或所示的其他顺序来操作。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。若某附图中的构件与其他附图中的构件相同，虽然在所有附图中都可轻易辨认出这些构件，但为了使附图的说明更为清楚，本说明书不会将所有相同构件的标号标于每一图中。

本发明一实施例提供一种检测晶舟内晶圆斜插的方法，图1示出了一种检测晶圆斜插的装置，其中包括晶舟的结构，请参考图1，所述方法包括：

提供设置有晶圆的晶舟10，所述晶舟10相对的两个侧壁内侧设有一一相对的多组凹槽101，其中每组所述凹槽101所在的平面在第一方向互相平行，每组所述凹槽101用于承载一片晶圆，对每组凹槽101设置第一参考面和第二参考面，分别为晶圆正常放置时，构成晶圆厚度的两个平行的表面所在的面，在所述第一方向上(X-X’方向)，相邻所述凹槽101的第一参考面和第二参考面交叠设置，定义晶圆插入的方向为参考方向(Y-Y’方向)，所述参考方向垂直于所述第一方向及所述两个侧壁相对的方向(通常情况下，晶舟的上方开口，晶圆从晶舟的上方向下插入晶舟的凹槽内，竖向放置，垂直于晶舟的底面)。

检测每组所述凹槽中晶圆是否斜插包括:

发射至少两个第一红外激光信号，所述至少两个第一红外激光信号在一组凹槽的第一参考面、第二参考面之间、平行于所述参考方向，且相距最远的两个第一红外激光信号均位于一组凹槽的两个凹槽之间；

在发射方向上、晶舟另一侧接收所述第一红外激光信号，若接收到所有第一红外激光信号，说明未放置晶圆；若接收到部分第一红外激光信号，证明晶圆斜插放置；若没有接收到任何第一红外激光信号，说明晶圆放置正确。

本实施例利用在晶舟的下方和上方分别发射红外线信号和接收红外信号，根据接收端接收的不同信号，判断晶舟内的晶圆是否正确放置。

具体地，晶圆为圆形的薄片，厚度约1毫米，直径有不同规格，如12寸，8寸，6寸等。晶舟为承载晶圆的容器，晶舟设有相对的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁内侧沿竖直方向设有多个平行相间的第一凹槽，第二侧壁内侧沿竖直方向设有与多个第一凹槽一一相对的多个第二凹槽，第一凹槽与一个相对的第二凹槽相配合用于支撑晶圆的边缘，每组凹糟用于承载一片晶圆，当需要检测晶圆时，将晶圆竖向放置于晶舟的每组凹槽内。在每片晶圆的竖向上方设置一组红外线接收端，不同晶圆上方的红外线接收端为同样的设置方式，每组红外线接收端设有多个红外线接收点，数量可根据情况设定，如根据晶圆的大小，晶圆容易发生的倾斜角度等，本实例中每个红外线接收端设置两个红外线接收点，两个红外线接收点的距离大于晶圆的半径小于晶圆的直径，设置在正确放置的晶圆圆心的两侧对称设置。红外线接收点的数量和距离根据需要设定，对红外线接收点的尺寸需要作出限定，红外线接收点的边缘应位于晶圆的两个表面之间，若红外线接收点为圆形，则红外线接收点的直径小于晶圆的厚度，对红外线接收点的尺寸做限定的目的是，当晶圆正确放置时，红外线发射端发射的红外激光通过晶圆时，由于被晶圆遮挡，红外线接收点接收不到信号。可以理解，当两个红外线接收点距离晶圆的两侧边缘较近时，更容易检测到晶圆的倾斜。另外，距离最远的两个红外线接收点之间的距离小于晶圆的直径，本实例利用红外线接收点是否同时被晶圆遮挡，判断晶圆是否正确放置，因此将接收点设置在晶圆正上方可被晶圆遮挡的范围内即可。

本实施例中，在晶圆的竖向下方设置一组可沿垂直于晶圆表面移动的红外线发射端，红外线发射端设有多个红外线发射点，当红外线发射端移动时，红外线发射点发射的红外激光平行于晶圆的表面，依次通过每一片晶圆，且位于晶圆上方的每个接收点位于移动红外线发射点的路径上。

在另一个实施例中，在每片正确放置的晶圆的上下方分别固定设置红外线发射端和红外线接收端，同时检测多个晶圆是否斜插。

下面具体阐述如何判断晶圆的放置是否异常，红外线发射端发射的红外激光扫描通过一片晶圆，可发生以下三种情况：

1、晶圆上方的每个红外线接收点均没有接收到红外激光信号

若晶圆上方的每个红外线接收点都接收不到红外激光信号，说明在每个红外线接收点与红外线发射点之间都存在遮挡物，由于红外线接收点在设置时，设置于正确放置情况下的晶圆的正上方，晶圆的厚度较薄，如果出现晶圆斜插情况，则晶圆上方的红外线接收点将会被暴露出，暴露出的红外线接收点将会能够接收到发射端发生的红外激光，因此，若每个红外线接收点都接收不到红外激光信号，证明此片晶圆正确放置。

2、晶圆上方的每个红外线接收点都能接收到红外激光信号

若晶圆上方的每个红外线接收点都能接收到红外激光信号，说明红外线接收点与红外线发射点之间没有遮挡物，由此证明接收点下方并没有放置晶圆。

3、晶圆上方的红外线接收点仅有部分可以接收到红外激光信号

若一部分红外线接收点能够接收到红外激光信号，另一部分红外线接收点接收不到红外激光信号，说明红外线接收点下方一部分有遮挡物，一部分没有遮挡物，当晶圆倾斜时，位于晶圆上面的部分红外线接收点将会被暴露出，暴露出的红外线接收点将会接收到发射端发出的红外激光信号，没有被暴露出的红外线接收点接收不到红外激光信号，由此证明晶圆发生斜插。在本实例中每个红外线接收端设置两个红外线接收点，分别设置于晶圆竖直对称轴的两侧，且两个红外线接收点之间的距离为晶圆的半径。即两个红外线接收点位于晶圆的竖向上方，距离晶圆边缘的距离为二分之一半径，当晶圆斜插时，晶圆一部分位于第一凹槽内，另一部分没有位于相对的第二凹槽内，而是位于第二凹槽的相邻凹槽中，位于第一凹槽中的晶圆上方的接收点被晶圆阻挡，接收不到红外激光信号，第二凹槽上方的红外线接收点由于晶圆倾斜被暴露出，能够接收红外激光。在其他实例中，可以设置多个红外线接收点，只要有部分红外线接收点接收到红外激光信号，即可证明晶圆处于斜插放置，以此也可以判断晶圆斜插的数量。

在本实例中，每两个相邻凹槽的间隔上方也设置有一组红外线接收端，当位于晶圆上方的红外线接收端和位于凹槽间隔上方的红外线接收端的接收点相继出现全部未接收到信号和全部接收到信号时，表示红外激光扫描通过一片正确放置的晶圆，由此判断正确放置晶圆的数量；当位于晶圆上方的红外线接收端和位于凹槽间隔上方的红外线接收端的接收点相继均出现部分接收到信号和部分未接收到信号时，表示红外激光扫描通过一个斜插放置的晶圆，由此判断斜插放置晶圆的数量。

具体地，如果位于晶圆上方的一组红外线接收端的红外线接收点全部接收不到信号，证明红外线接收点下方放置有晶圆，如果位于晶圆上方的一组红外线接收端的红外线接收点全部接收到信号，证明接收点的下方没有放置晶圆，当晶圆正确放置时，位于凹槽间隔上方(两片晶圆间隙上方)的接收端的所有接收点都能收到红外激光信号，当晶圆斜插时，位于晶圆上方的红外线接收点部分接收到红外激光信号(原因参考前文描述)，位于凹槽间隔上方的红外线接收点部分接收到红外激光线信号，因为当晶圆斜插时，晶圆未正确插入凹槽的部分位于凹槽的间隔处(见图4所示)，为便于理解，假设每个红外线接收端有两个红外线接收点，红外线接收点接收到信号设置为1，接收不到信号设置为0，起始位置为第一片晶圆的前方且上方设有红外线接收端，终止的位置为最后一片晶圆的后方且上方设有红外线接收端，当红外线发射端发射的红外激光依次通过3片正确放置的晶圆时，红外线接收端收到的信号为11-00-11-00-11-00-11(起始位置-晶圆上方-凹槽上方-晶圆上方-终止位置)，当第二片晶圆斜插时，收到的信号为11-00-01/10-01/10-11-00-11，当放置第二片晶圆的位置未放置晶圆时，收到的信号为11-00-11-11-11-00-11，由以上三种情况，只有当一组接收端全部接收到信号和全部接收不到信号相继出现时，才能说明通过了一片正确放置的晶圆，当位于晶圆上方的红外线接收端和位于凹槽间隔上方的红外线接收端的接收点都只有部分接收到信号，表示红外激光扫描通过一个斜插放置的晶圆，由此判断斜插放置晶圆的数量。

本发明一实施例提供了一种检测晶舟内晶圆斜插的装置，图1至3为本实施例的一种检测晶舟内晶圆斜插的装置的三种不同视角的结构示意图，参考图1至图3，所述装置包括：

支撑架01，位于晶舟10的上方，支撑架01上设有多组红外线接收端02，每组红外线接收端02对应一组凹槽101，具体为，当凹槽101中放置晶圆06后，红外线接收端02位于晶圆10的竖向正上方。每组红外线接收端02设有多个红外线接收点03，红外线接收点03的数量并不做限定，在本实例中每组红外线接收端02设有两个红外线接收点03，在其他实例中红外线接收点03的数量可以是3个、4个等，多个红外线接收点03排列成“一”字，且距离最远的两个红外线接收点03之间的距离小于晶圆06的直径，每个红外线接收点03在水平面的投影落在晶圆06在水平面的投影范围内。

红外线发射端04，设置于晶舟10的下方，红外线发射端04上设有与红外线接收点03数量一致的红外线发射点05，并且相邻两个红外线接收点03之间的距离和相邻两个红外线发射点05之间的距离一致，以保证在红外线发射端04沿垂直于晶圆06表面方向移动时每个红外线接收端04的接收点03位于红外线发射点05的移动路径上。红外线发射点05发射的红外激光平行于晶圆06的表面，且红外线发射端04能够沿垂直于晶圆06表面的方向做直线运动。在本实例中，晶舟10的下方设有具有正反转功能的步进电机(图中未示出)，步进电机通过两个传动轴07带动传送带08运动，两个传动轴07之间的距离大于晶舟10在X-X’方向上(垂直于晶圆06表面方向)的长度。并且传送带08的表面垂直于晶圆06的表面，红外线发射端04设置在传送带08的上方，红外线发射端04与传送带08同步移动。在其他实例中，红外线发射端04可以通过其他传送部件设置于晶舟10下方，本实例中的红外线发射点05和红外线接收点03分别为红外线发射器和红外线接收器。

本实例中，相邻的凹槽间隔102上方的支撑架01上也设置有与设置在凹槽101上方一致的红外线接收端02，在凹槽间隔102上方设置红外线接收端02的作用参见检测晶舟内晶圆斜插方法的实施例，此处不再赘述。

晶舟10为用于承载晶圆06的容器，本实例的晶舟10的顶部和底部开放，以便使红外线发射端04发射的红外激光可以被红外线接收端02接收。晶舟10的内部，两个相对侧壁上沿竖直方向设有两两相对的多组凹槽101，相邻的每组凹槽101之间平行等距设置，每组凹槽101用于承载一片竖向放置的晶圆06。本实例中还包括控制单元(图中未示出)，控制单元与红外线接收端02、红外线发射端04以及传动单元电连接，检测开始后，控制单元控制步进电机启动，红外线发射端04开始发射红外激光，红外线接收端03准备接收红外激光，步进电机带动红外线发射端04移动，红外线发射端04发射的红外激光依次扫描通过每一片晶圆06，对晶圆是否斜插进行检测。

需要说明的是，红外线发射端和红外线接收端分别设置于晶舟的上方和下方，其中“上方”和“下方”并不是绝对的位置关系，而是意在说明发射端和接收端位于晶圆的竖向两端，接收端和发射端的位置是可以互换的。

综上所述，本发明提供的一种检测晶舟内晶圆斜插的方法不但可以检测晶舟内的晶圆是否斜插还可以检测正确放置的晶圆的数量和斜插晶圆的数量，避免了由于晶圆斜插对后续工艺中使用的设备的损伤。本发明提供的一种检测晶舟内晶圆斜插的装置，通过在晶舟的上方设置支撑架，在支撑架上设置红外线接收端，在晶舟的下方设置红外线发射端，通过红外线接收端接收到的不同信号，判断晶舟内的晶圆是否斜插，同时通过在晶舟的相邻凹槽间隔上方也设置红外线接收端，还可以进一步检测正确放置晶圆的数量和斜插晶圆的数量。

需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于结构实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (12)

1.一种检测晶舟内晶圆斜插的方法，包括：

提供设置有晶圆的晶舟，所述晶舟相对的两个侧壁内侧设有一一相对的多组凹槽，其中每组所述凹槽所在的平面在第一方向互相平行，每组所述凹槽用于承载一片晶圆，对每组凹槽设置第一参考面和第二参考面，分别为晶圆正常放置时，构成晶圆厚度的两个平行的表面所在的面，在所述第一方向上，相邻所述凹槽的第一参考面和第二参考面交叠设置，定义晶圆插入的方向为参考方向，所述参考方向垂直于所述第一方向及所述两个侧壁相对的方向；

检测每组所述凹槽中晶圆是否斜插包括:

发射至少两个第一红外激光信号，所述至少两个第一红外激光信号在一组凹槽的第一参考面、第二参考面之间、平行于所述参考方向，且相距最远的两个第一红外激光信号均位于一组凹槽的两个凹槽之间；

在发射方向上、晶舟另一侧接收所述第一红外激光信号，若接收到所有第一红外激光信号，说明未放置晶圆；若接收到部分第一红外激光信号，证明晶圆斜插放置；若没有接收到任何第一红外激光信号，说明晶圆放置正确；

发射至少两个第二红外激光信号，所述至少两个第二红外激光信号在相邻两组所述凹槽的第一参考面、第二参考面之间，平行于所述参考方向，且相距最远的两个所述第二红外激光信号之间的距离小于一组所述凹槽所在的两个相对侧壁之间的距离；

在发射方向上、晶舟另一侧接收所述第一红外激光信号、所述第二红外激光信号，若接收到部分所述第一红外激光信号和部分所述第二红外激光信号，证明晶圆斜插，由此判断斜插放置晶圆的数量；若接收到全部所述第二红外激光信号，且没有接收到任何所述第一红外激光信号，证明晶圆正确放置，由此判断正确放置晶圆的数量。

2.根据权利要求1所述的检测晶舟内晶圆斜插的方法，其特征在于，

所述至少两个第一红外激光信号沿所述第一方向移动，依次通过每片晶圆，在发射方向上、晶舟另一侧依次接收所述第一红外激光信号，逐一判断每片晶圆是否斜插。

3.根据权利要求1所述的检测晶舟内晶圆斜插的方法，其特征在于，在每个所述晶圆的所述第一参考面和第二参考面之间，同时发射多组所述至少两个第一红外激光信号，在发射方向上、晶舟另一侧同时接收所述至少两个第一红外激光信号，同时判断多个所述晶圆是否斜插。

4.根据权利要求1所述的检测晶舟内晶圆斜插的方法，其特征在于，采用红外发射器发射所述第一红外激光信号，采用红外接收器接收所述第一红外激光信号。

5.根据权利要求1所述的检测晶舟内晶圆斜插的方法，其特征在于，所述第一红外激光信号的直径小于晶圆的厚度。

6.根据权利要求1所述的检测晶舟内晶圆斜插的方法，其特征在于，发射的所述第一红外激光信号中，其中两个对称设置于晶圆正常放置时晶圆圆心的两侧，且两个所述第一红外激光信号之间的距离大于晶圆直径的四分之一。

7.一种检测晶舟内晶圆斜插的装置，其特征在于，包括：

支撑架，位于所述晶舟上方，所述支撑架上设有多组沿第一方向间隔分布的第一红外线接收端，每个所述第一红外线接收端设有多个接收点，所述晶舟下方设有能够沿所述第一方向直线运动的红外线发射端，所述红外线发射端设有多个发射点，每个所述接收点位于所述发射点的移动路径上；

所述晶舟相对的两个侧壁内侧设有一一相对的多组凹槽，其中每组所述凹槽所在的平面在第一方向互相平行，每组所述凹槽用于承载一片晶圆，与每组所述凹槽所在的平面垂直且平行于所述第一方向的面为第一面；

每个所述第一红外线接收端的接收点在所述第一面的投影落在一组所述凹槽在所述第一面的投影范围内，且相距最远的两个所述接收点之间的距离小于晶圆的直径；

还包括第二红外线接收端，设置于相邻的两组所述凹槽的间隔上方的所述支撑架上，所述第二红外线接收端设有多个接收点，且所述第二红外线接收端的每个接收点位于所述发射点的移动路径上。

8.根据权利要求7所述的检测晶舟内晶圆斜插的装置，其特征在于，所述红外线发射端通过可沿所述第一方向直线运动的传送部件设置于所述晶舟的下方。

9.根据权利要求8所述的检测晶舟内晶圆斜插的装置，其特征在于，所述传送部件包括具有正反转功能的步进电机，所述步进电机通过两个传动轴带动传送带运动，所述两个传动轴之间的距离大于所述晶舟在所述第一方向上的长度，所述传送带表面垂直于所述晶圆的表面，所述红外线发射端设置于所述传送带表面上。

10.根据权利要求7所述的检测晶舟内晶圆斜插的装置，其特征在于，相距最远的两个所述接收点分别位于正确放置的所述晶圆圆心的两侧，且两个所述接收点之间的距离大于所述晶圆的半径。

11.根据权利要求7所述的检测晶舟内晶圆斜插的装置，其特征在于，所述发射点的直径小于所述晶圆的厚度。

12.根据权利要求8所述的检测晶舟内晶圆斜插的装置，其特征在于，还包括控制单元，所述红外线发射端、所述第一红外线接收端、所述第二红外线接收端、所述传送部件分别与所述控制单元电连接。