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CN110824968A - 机台控制系统及方法 - Google Patents

机台控制系统及方法 Download PDF

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CN110824968A
CN110824968A CN201810908948.5A CN201810908948A CN110824968A CN 110824968 A CN110824968 A CN 110824968A CN 201810908948 A CN201810908948 A CN 201810908948A CN 110824968 A CN110824968 A CN 110824968A
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executing
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CN201810908948.5A
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董祥威
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Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
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Publication date
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Abstract

本发明提供一种机台控制系统及方法，该系统包括：下位机；上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，控制单元用于控制下位机执行所述机台的功能流程；服务配置单元配置有用于执行机台的功能流程的动作指令信息，且能够与控制单元进行交互；功能流程单元存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与控制单元进行交互。机台控制系统及方法的技术方案，可以实现机台功能流程的可编辑功能，从而可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。

Description

机台控制系统及方法
技术领域
本发明涉及机台控制领域，具体地，涉及一种机台控制系统及方法。
背景技术
在当今的信息化时代，信息技术飞速发展，各种电子设备层出不穷，在满足人们生活需求的同时，也极大刺激了半导体行业的发展，对半导体工艺的刻蚀设备提出了更高的要求。
在刻蚀机台的使用过程中，包含各种各样的功能，比如检查腔室漏率、手动执行干法清洗等，这些功能的具体内容或其内部的流程都是固化到刻蚀机台的控制软件中的，对于机台上的某一功能来说，此功能的具体执行方式由机台的下位机以流程的方式定义，然后下位机将此流程以服务的形式提供给上位机进行访问，上位机再设计具体的操作界面供用户执行流程使用。
然而，当机台设备发生更新或是工艺方式发生改变时，机台控制软件也需要完成相应的更新才能保证机台的正常使用，而且整个机台需要等待软件更新完成之后才能正常使用，而这一更新过程延长了实现功能的时间，将可能浪费一定的人力和时间成本。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种机台控制系统及方法，其可以实现机台功能流程的可编辑功能，从而可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。
为实现本发明的目的而提供一种机台控制系统，包括：
下位机；
上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，所述控制单元用于控制所述下位机执行所述机台的功能流程；所述服务配置单元配置有用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，且能够与所述控制单元进行交互；所述功能流程单元存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与所述控制单元进行交互。
可选的，所述上位机还包括自动编辑单元，所述控制单元通过所述自动编辑单元与所述服务配置单元进行交互。
可选的，所述上位机还包括自动管理单元，所述控制单元通过所述自动管理单元与所述功能流程单元进行交互。
可选的，所述功能流程单元存储文件的格式包括XML；和/或，所述服务配置单元配置文件的格式包括XML。
作为另一个技术方案，本发明还提供一种机台控制方法，采用本发明提供的上述机台控制系统对所述机台的功能流程进行编辑；所述机台控制方法包括：
根据所述服务配置单元配置的用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，逐条编辑所述机台的功能流程的条目；
将编辑后的所述机台的功能流程的条目存储在所述功能流程单元中；
在需要时开启所述功能流程单元，且使所述控制单元控制所述下位机执行存储的所述机台的功能流程的条目。
可选的，在所述根据所述服务配置单元配置的用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，逐条编辑所述机台的功能流程的条目的步骤之后，且在所述将编辑后的所述机台的功能流程的条目存储在所述功能流程单元中的步骤之前，所述机台控制方法还包括：
设定相邻的各条所述机台的功能流程的条目之间的时间间隔。
可选的，所述机台的功能流程的条目包括动作命令服务和/或逻辑指令；
所述逻辑指令用于对所述机台的功能流程的条目的执行顺序、执行时间和/或执行条件进行控制。
可选的，所述逻辑指令包括等待指令，当所述机台的功能流程执行到所述等待指令时，等待指定时间之后再执行下一条目；或，
当所述机台的功能流程执行到所述等待指令时，判断是否满足执行条件，或者判断等待时间是否达到指定时间，若是，则执行下一条目。
可选的，所述逻辑指令还包括循环开始指令和循环结束指令；
当所述机台的功能流程执行到所述循环开始指令时，自动循环执行所述循环开始指令和循环结束指令之间的条目预定次数；或，
当所述机台的功能流程执行到所述循环开始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则循环执行所述循环开始指令和循环结束指令之间的条目预定次数。
可选的，所述逻辑指令还包括起始指令和结束指令；
当所述机台的功能流程执行到所述起始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则执行所述起始指令和结束指令之间的条目；若否，则不执行所述起始指令和结束指令之间的条目；
或，
所述逻辑指令还包括起始指令、中间指令和结束指令；
当所述机台的功能流程执行到所述起始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则执行所述起始指令和中间指令之间的条目，而不执行所述中间指令和所述结束指令之间的条目；若否，则执行所述中间指令和结束指令之间的条目，而不执行所述起始指令和所述中间指令之间的条目。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的机台控制系统，其上位机包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，控制单元用于控制下位机执行机台的功能流程；服务配置单元配置有用于执行机台的功能流程的动作指令信息，且能够与控制单元进行交互；功能流程单元存储有由用户编辑的功能流程对象，且能够与控制单元进行交互。操作人员可以选择使用服务配置单元提供的机台的功能流程的动作指令信息编辑所需的功能，即完成功能的添加。在需要执行编辑好的功能时，仅需要开启功能流程单元和相应的操作按钮即可直接执行。由此，本发明提供的机台控制系统，其可以实现机台功能流程的可编辑功能，从而可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。
本发明提供的机台控制方法，其通过采用本发明提供的上述机台控制系统对机台的功能流程进行编辑，可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。
附图说明
图1为本发明实施例提供的机台控制系统的一种原理框图；
图2为本发明实施例提供的机台控制系统的另一种原理框图；
图3为本发明实施例提供的机台控制方法的流程框图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的机台控制系统及方法进行详细描述。
请参阅图1，本发明实施例提供的机台控制系统，其包括上位机1和下位机2，其中，下位机2用于直接控制机台工作，并获取机台状况的计算机，下位机2一般是PLC或者单片机等。下位机2中的各种动作以服务的形式开放给上位机，以供其访问。
上位机1对下位机2的控制是通过向下位机2发送服务(即，动作指令)以及该服务的参数来实现的。具体地，上位机1包括控制单元11、服务配置单元12和功能流程单元13，其中，控制单元11用于控制下位机2执行机台的功能流程。该功能流程即为完成工艺所需的各个步骤。
服务配置单元12配置有用于执行机台的功能流程的动作指令信息，且能够与控制单元11进行交互。操作人员可以选择使用服务配置单元12提供的机台的功能流程的动作指令信息编辑所需的功能，即完成功能的添加。
动作指令信息可以包括高级动作指令服务和基本动作指令服务，还可以包括简单的逻辑指令，以及相关的参数。这样，操作人员可以此为根据对机台的基础功能、高级功能和/或简单的逻辑指令进行编辑，从而可以使机台功能的添加更灵活和易于扩展。
可选的，服务配置单元12配置文件的格式包括XML。当然，也可以采用其他可以存储数据的格式。
可选的，如图2所示，上位机还包括自动编辑单元14，控制单元11通过自动编辑单元14与服务配置单元进12行交互。自动编辑单元14例如为名称为AutoProConfig的类(代码模板)。
功能流程单元13存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与控制单元11进行交互。在需要执行编辑好的功能时，仅需要开启功能流程单元13和相应的操作按钮即可直接执行。
可选的，上位机1还包括自动管理单元15，控制单元11通过自动管理单元15与功能流程单元13进行交互。自动管理单元15例如为名称为AutoProManager的类(代码模板)。
可选的，功能流程单元13存储文件的格式包括XML。当然，也可以采用其他可以存储数据的格式。
由此，本发明实施例提供的机台控制系统，其可以实现机台功能流程的可编辑功能，从而可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。
作为另一个技术方案，请参阅图3，本发明实施例还提供一种机台控制方法，其采用本发明实施例提供的上述机台控制系统对机台的功能流程进行编辑。
机台控制方法包括：
步骤S1，根据服务配置单元12配置的用于执行机台的功能流程的动作指令信息，逐条编辑机台的功能流程的条目；
步骤S2，将编辑后的机台的功能流程的条目存储在功能流程单元13中；
步骤S3，在需要时开启功能流程单元13，且使控制单元11控制下位机2执行存储的机台的功能流程的条目。
本发明实施例提供的机台控制方法，其通过采用本发明实施例提供的上述机台控制系统对机台的功能流程进行编辑，可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。
可选的，机台的功能流程的条目包括动作命令服务。该动作命令服务可以是基本动作指令服务，也可以是高级动作指令服务。
在实际应用中，操作人员可以选择使用服务配置单元12中提供的基本动作命令服务编辑所需的基础功能。操作人员在确认开始编辑基础功能之后，控制单元11将请求操作人员逐条编辑基础功能的流程内容，编辑完成后，操作人员可以将编辑好的功能流程存储在功能流程单元13中，并可以在需要的时候开启功能流程单元13执行该功能流程。
按上述方法可以完成基础功能流程的编辑，同时，一项已经编辑完成的基础功能，还可以作为一条独立的高级动作指令服务和基本动作指令服务一起供操作人员编辑高级功能。具体地，操作人员确认开始编辑高级功能之后，控制单元11将请求操作人员逐条编辑高级功能的流程内容，编辑完成后，操作人员可将编辑好的功能流程存储在功能流程单元13中，并可以在需要的时候开启功能流程单元13执行该功能流程。
由此，本发明实施例提供的机台控制方法，其通过采用本发明实施例提供的上述机台控制系统，可以实现对机台的基础功能和高级功能进行编辑，从而可以使机台功能的添加更灵活和易于扩展。
在实际应用中，操作人员可以根据生产需要在特定的功能类型范围内选择基础动作指令服务或者高级指令服务，并在合理的范围内给定所需参数。
另外，在执行辑好的功能流程的过程中，操作人员还可以同时对未执行的某一流程内容进行修改。也可以根据各条目的执行状态选择当前执行流程中未执行的某一条目是否需要执行，以满足某些生产或者实验的需要。
可选的，在上述步骤S1之后，且在上述步骤S2之前，机台控制方法还包括：
设定相邻的各条机台的功能流程的条目之间的时间间隔。
这样，操作人员在逐条编辑机台的功能流程的条目时，可以设定条目之间的时间间隔。
在添加流程某一条目时，除了可以添加系统提供的高级动作指令服务和基本动作指令服务以外，所添加的条目还可以是系统提供的简单的逻辑指令，这样，可以在顺序执行流程的基础上实现类似于编程语言的简单的逻辑操作。
具体地，机台的功能流程的条目还包括逻辑指令，该逻辑指令用于对机台的功能流程的条目的执行顺序、执行时间和/或执行条件进行控制。
例如，逻辑指令包括等待指令(waitfor)，当机台的功能流程执行到等待指令时，等待指定时间之后再执行下一条目。
或者，当机台的功能流程执行到等待指令时，判断是否满足执行条件，或者判断等待时间是否达到指定时间，若是，则执行下一条目。
又如，逻辑指令还包括循环开始指令(whilestart)和循环结束指令(whilestop)；当机台的功能流程执行到循环开始指令时，自动循环执行循环开始指令和循环结束指令之间的条目预定次数。
或者，当机台的功能流程执行到循环开始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则循环执行循环开始指令和循环结束指令之间的条目预定次数。
再如，逻辑指令还包括起始指令(ifstart)和结束指令(ifstop)；
当机台的功能流程执行到起始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则执行起始指令和结束指令之间的条目；若否，则不执行起始指令和结束指令之间的条目。
还如，逻辑指令还包括起始指令(ifstart)、中间指令(else)和结束指令(ifstop)；
当机台的功能流程执行到起始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则执行起始指令和中间指令之间的条目，而不执行中间指令和结束指令之间的条目；若否，则执行中间指令和结束指令之间的条目，而不执行起始指令和所述中间指令之间的条目。
本发明包括但不局限于上面列举出了几个逻辑指令，还可以包括编辑流程常用的逻辑指令。
下面对机台的功能流程的一个实施例进行详细描述。具体地，该功能流程包括以下条目：
条目1、Pendulum Valve,Set Position,position＝1000
条目1是指：调用下位机的服务，为Pendulum Valve设置position值为1000
条目2、ifstart,condition:Helium Valve1DO＝Close||Helium Valve2 DO＝Close。
条目3、OpenValve,valveId＝HeValve1
条目4、OpenValve,valveId＝HeValve2
条目5、ifstop。
条目1至条目5是指：HeValve1和HeValve2中有任何一个阀的状态是关闭的，则执行两阀的开阀服务。
条目6、Temp Ctl SetTemp,pos＝top,temp＝60
条目6是指：设置top位置的温度为60(℃)。
条目7、waitfor,waittime＝1000ms
条目7是指：等待升温的时间为1000ms。
条目8、whilestart,condition:TCTemp<60,timeout＝60000ms
条目9、waitfor,waittime＝1000ms
条目10、whilestop
条目8至条目10构成一个循环，循环判断top位置的温度是否达到60(℃)，若否，则继续等待1000ms，同时设置有超时时间，若60000ms后top位置的温度仍未达到60(℃)，则跳出条目8至条目10之间的循环，继续向下执行。
条目11、TempCtl_SetTemp,pos＝middle1,temp＝40
条目11是指：设置middle1位置的temperature为40(℃)。
条目12、waitfor,waittime＝20000ms
条目12是指：等待升温的时间为20000ms。
条目13、ifstart,condition:MC1Temp<40
条目14、OpenValve,valveId＝FastRough
条目15、else
条目16、OpenValve,valveId＝SlowRough
条目17、ifstop
条目18、CloseValve,valveId＝HeValve1
条目13至条目18构成一个条件判断，若middle1位置的temperature没有达到40(℃)，则打开FastRough阀，否则打开SlowRough阀。条目18是指关闭HeValve1阀。
可选的，对于流程执行中的异常情况，如果是不影响机台运行结果的低级别报警，上位机会自动将其处理，继续执行，而无需人为干预；如果是影响机台运行的较高级别报警，上位机将会发出警告通知操作人员，以提醒操作人员进行处理，并恢复流程的执行。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种机台控制系统，其特征在于，包括：
下位机；
上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，所述控制单元用于控制所述下位机执行所述机台的功能流程；所述服务配置单元配置有用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，且能够与所述控制单元进行交互；所述功能流程单元存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与所述控制单元进行交互。
2.根据权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于，所述上位机还包括自动编辑单元，所述控制单元通过所述自动编辑单元与所述服务配置单元进行交互。
3.根据权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于，所述上位机还包括自动管理单元，所述控制单元通过所述自动管理单元与所述功能流程单元进行交互。
4.根据权利要求1所述的机台控制系统，其特征在于，所述功能流程单元存储文件的格式包括XML；和/或，所述服务配置单元配置文件的格式包括XML。
5.一种机台控制方法，其特征在于，采用权利要求1-4任意一项所述的机台控制系统对所述机台的功能流程进行编辑；所述机台控制方法包括：
根据所述服务配置单元配置的用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，逐条编辑所述机台的功能流程的条目；
将编辑后的所述机台的功能流程的条目存储在所述功能流程单元中；
在需要时开启所述功能流程单元，且使所述控制单元控制所述下位机执行存储的所述机台的功能流程的条目。
6.根据权利要求5所述的机台控制方法，其特征在于，在所述根据所述服务配置单元配置的用于执行所述机台的功能流程的动作指令信息，逐条编辑所述机台的功能流程的条目的步骤之后，且在所述将编辑后的所述机台的功能流程的条目存储在所述功能流程单元中的步骤之前，所述机台控制方法还包括：
设定相邻的各条所述机台的功能流程的条目之间的时间间隔。
7.根据权利要求5所述的机台控制方法，其特征在于，所述机台的功能流程的条目包括动作命令服务和/或逻辑指令；
所述逻辑指令用于对所述机台的功能流程的条目的执行顺序、执行时间和/或执行条件进行控制。
8.根据权利要求7所述的机台控制方法，其特征在于，所述逻辑指令包括等待指令，当所述机台的功能流程执行到所述等待指令时，等待指定时间之后再执行下一条目；或，
当所述机台的功能流程执行到所述等待指令时，判断是否满足执行条件，或者判断等待时间是否达到指定时间，若是，则执行下一条目。
9.根据权利要求7所述的机台控制方法，其特征在于，所述逻辑指令还包括循环开始指令和循环结束指令；
当所述机台的功能流程执行到所述循环开始指令时，自动循环执行所述循环开始指令和循环结束指令之间的条目预定次数；或，
当所述机台的功能流程执行到所述循环开始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则循环执行所述循环开始指令和循环结束指令之间的条目预定次数。
10.根据权利要求7所述的机台控制方法，其特征在于，所述逻辑指令还包括起始指令和结束指令；
当所述机台的功能流程执行到所述起始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则执行所述起始指令和结束指令之间的条目；若否，则不执行所述起始指令和结束指令之间的条目；
或，
所述逻辑指令还包括起始指令、中间指令和结束指令；
当所述机台的功能流程执行到所述起始指令时，判断是否满足执行条件，若是，则执行所述起始指令和中间指令之间的条目，而不执行所述中间指令和所述结束指令之间的条目；若否，则执行所述中间指令和结束指令之间的条目，而不执行所述起始指令和所述中间指令之间的条目。
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