CN110405954B - 保持器单元及销 - Google Patents

Abstract

提供能够使被刻划加工的被加工物的品质提高的保持器单元及销。保持器单元具备：保持器，其具有第一插入孔(114)；刻划轮，其具有第二插入孔(121)；以及销(130)，其被插入第一插入孔(114)及第二插入孔(121)，且至少相对于第二插入孔(121)以非压入的状态被插入。销(130)包含限制结构(130A)，该限制结构(130A)限制刻划轮的扫描方向DD上的销(130)相对于刻划轮的移动。

Description

保持器单元及销

技术领域

本发明涉及用于刻划加工的保持器单元及销。

背景技术

在对脆性材料基板等被加工物形成刻划线时使用刻划装置。刻划装置具备保持器单元。保持器单元具备对被加工物进行刻划加工的刻划轮。在刻划加工中，在将刻划轮压靠于被加工物的表面的状态下，被加工物与刻划轮相对地移动，从而在被加工物形成刻划线。需要说明的是，作为以往的刻划装置的一例可举出专利文献1。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：曰本特开2017-119348号公报

发明要解决的课题

在使用以往的刻划装置来对被加工物进行刻划加工的情况下，有时被加工物的品质产生偏差。例如，有时垂直裂纹的形成状态在形成于被加工物的刻划线的各个部位不同。在优选的裂纹的形成状态中，在刻划线的整体，垂直裂纹中的1次裂纹的深度及2次裂纹的深度一定。在品质低的被加工物中，例如1次裂纹的深度在刻划线的各个部位不同，包含1次裂纹比其他的部分浅的部分或深的部分。裂纹的形成状态例如影响被加工物的断开的状态。从提高断开后的被加工物的品质这一点考虑，也优选被刻划加工的被加工物的品质高的情况。

发明内容

用于解决课题的方案

本发明所涉及的保持器单元具备：保持器，其具有第一插入孔；刻划轮，其具有第二插入孔；以及销，其被插入所述第一插入孔及所述第二插入孔，且至少相对于所述第二插入孔以非压入的状态被插入，所述销包含限制结构，该限制结构限制所述刻划轮的扫描方向上的所述销相对于所述刻划轮的移动。

为了检查被刻划加工了的被加工物的品质的偏差的原因，本申请发明人对在刻划加工时的销的状态进行了观察。在该观察中，如图14所示，使用了以往的保持器单元300，该保持器单元300具备具有圆形的第一插入孔311的保持器310、具有圆形的第二插入孔321的刻划轮320、以及圆柱型的销330。销330相对于保持器310及刻划轮320的各自以非压入的状态被插入第一插入孔311及第二插入孔321。图14所示的保持器310、刻划轮320及销330的关系是与第一插入孔311的中心轴心301正交的基准剖面中的通常的刻划加工时的关系。

观察的结果确认了：在以往的保持器单元300中，在通常的刻划加工时，第一插入孔311及销330具有至少以下三种关系。在第一种关系中，第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331的接触点302相对于第一插入孔311的中心轴心301而位于刻划轮320的扫描方向D1的后方、且位于高度方向D2的上方。高度方向D2在基准剖面中与扫描方向D1正交。在第二种关系中，相对于第一插入孔311的中心轴心301而位于扫描方向D1的前方的第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331之间形成有微小的间隙(以下称作“前方间隙303”)。在第三种关系中，在高度方向D2上的第一插入孔311的内周面312的顶点313与销330的外周面331之间形成有微小的间隙(以下称作“上方间隙304”)。需要说明的是，在此，为了对基准剖面中的关系进行表述，用接触点描述内周面312与外周面331的关系，但是实际的内周面312与外周面331的关系是实质上的线接触或接触面积微小的面接触。

另外，在第二插入孔321与销330之间也同样地存在三种关系。在第一种关系中，第二插入孔321的内周面与销330的外周面331的接触点305相对于第二插入孔321的中心轴心322而位于刻划轮320的扫描方向D1的后方、且位于高度方向D2的下方。高度方向D2在基准剖面中与扫描方向D1正交。在第二种关系中，在相对于第二插入孔321的中心轴心322而位于扫描方向D1的前方的第二插入孔321的内周面与销330的外周面331之间形成有微小的间隙306。在第三种关系中，在高度方向D2上的第二插入孔321的内周面的下端与销330的外周面331之间形成有微小的间隙。

裂纹的形成状态受在刻划加工时的刻划轮320的载荷的影响。在刻划轮320的载荷不稳定的情况下，裂纹的形成状态也不稳定。推断第一插入孔311的内周面312与销330的外周面331的关系对刻划轮320的载荷的状态带来影响。其机理例如被认为如下这样。在刻划加工时有时刻划轮320从被加工物受到的反作用力降低。这是例如由于在被加工物的表面存在的被加工物的挠曲、或因被加工物的加工条件引起的被加工物的挠曲而产生的。与被加工物的挠曲相关的被加工物的加工条件例如是被加工物的厚度薄、在以层叠状态被加工的被加工物中局部地形成有单层的部分、及在对被加工物进行搬运的输送机的表面上存在的挠曲等。

在刻划轮320的反作用力降低了的情况下，扫描方向D1上的对销330的阻力降低，在第二插入孔321内销330的位置容易向扫描方向D1的前方变动。另外，在第一插入孔311与销330之间存在有前方间隙303，因此伴随着对销330的阻力的降低，销330在第一插入孔311中相对于保持器310向行驶方向D1的前方移动。在第一插入孔311与销330之间存在有上方间隙304，因此销330在第一插入孔311中相对于保持器310也向上方移动。伴随着销330相对于保持器310向上方移动，刻划轮320向远离被加工物的表面的方向移动，刻划轮320施加于被加工物的载荷降低。在销330相对于刻划轮320及保持器310的位置再次稳定了的状态下，降低了的载荷增加。如此，认为伴随着销330相对于保持器310的移动，刻划轮320的载荷发生变动，由此裂纹的形成状态变得不稳定。

在本发明所涉及的保持器单元中，在销设置有限制刻划轮的扫描方向上的销相对于刻划轮的移动的限制结构，因此即使在刻划加工时刻划轮从被加工物受到的反作用力降低了的情况下，销在扫描方向上的相对于保持器的移动也被限制结构限制。

因此，刻划轮朝向远离被加工物的表面的方向的移动也被限制，刻划轮的载荷的降低得到抑制。由此，在刻划加工时不易产生刻划轮的载荷的变动，裂纹的形成状态稳定，被刻划加工的被加工物的品质提高。

在所述保持器单元的一例中，与所述第二插入孔的中心轴心正交的基准剖面中的所述销的剖面形状被决定为所述第二插入孔的内周面与所述销通过第一接触点及第二接触点这两点进行接触，从而构成所述限制结构。

刻划轮通过两点而被支承于销，因此刻划轮的旋转稳定。另外，通过销的剖面形状来构成限制结构，因此限制结构简单。

在所述保持器单元的一例中，所述基准剖面中的所述销的剖面形状是多边形。

因此，能够容易地制造包含限制结构的销。与销的剖面形状为圆形的情况相比，成品率提高。在使用剖面形状为多边形的销的保持器单元中，在与轴向正交的剖面中，销通过多个点而与刻划轮接触。在刻划加工时销实质上不绕销的中心轴心旋转，在绕销的中心轴心的方向上销与刻划轮的接触点的位置实质上不发生变化。由此，在刻划加工时的刻划轮的旋转稳定，被刻划加工了的被加工物的品质变高。

在所述保持器单元的一例中，所述基准剖面中的所述销的剖面形状是四边形。

因此，能够将第一接触点与第二接触点的距离设定得较长。该距离越长，则刻划轮的位置的稳定性越高。另外，能够容易地制造包含限制结构的销。

在所述保持器单元的一例中，所述四边形包含相对于所述销的中心轴心而位于所述扫描方向的后方且上方的第一顶点、位于比所述第一顶点靠所述扫描方向的前方的位置的第二顶点、以及所述第一顶点及所述第二顶点以外的第三顶点及第四顶点，所述第一顶点通过与所述第二插入孔的内周面的接触形成所述第一接触点，所述第二顶点通过与所述第二插入孔的内周面的接触形成所述第二接触点，所述第三顶点及所述第四顶点不与所述第二插入孔的内周面接触。

根据上述保持器单元，通过由第二插入孔的内周面与第二顶点的接触而构成的第二接触点，限制扫描方向上的销相对于刻划轮的移动。第三顶点及第四顶点构成为不与第二插入孔的内周面接触，因此能够容易地实施销相对于刻划轮的插入及拔出。

所述基准剖面中的所述销的剖面形状是包含倒角的多边形。

销中的与刻划轮接触的接触部分伴随着刻划轮的旋转而逐渐地发生磨损。在上述保持器单元中，在销形成有倒角，因此与刻划轮接触的接触部分的磨损更加缓慢地发展。这例如有助于刻划轮的旋转的稳定性。

在所述保持器单元的一例中，所述第二接触点相对于所述销的中心轴心而位于所述扫描方向的前方。

因此，更强地限制销相对于保持器的移动。

本发明所涉及的销保持于具有第一插入孔的保持器，相对于具有第二插入孔的刻划轮以非压入的状态被插入所述第二插入孔，与所述销的中心轴心正交的剖面中的所述销的剖面形状是多边形。

在使用有上述销的保持器单元中，与上述保持器单元同样地，在刻划加工时不易产生刻划轮的载荷的变动，裂纹的形成状态稳定，被刻划加工的被加工物的品质提高。

发明效果

根据本发明，刻划轮的旋转中的姿态稳定，被刻划加工的被加工物的品质提高。

附图说明

图1是第一实施方式的刻划装置的立体图。

图2是图1的保持器接头及保持器单元的侧视图。

图3是图2的保持器单元的剖视图。

图4是示出刻划加工时的销等的位置关系的模型图。

图5是示出非刻划加工时的销等的位置关系的模型图。

图6是示出第二实施方式的销等的位置关系的模型图。

图7是示出第三实施方式的销等的位置关系的模型图。

图8是示出第四实施方式的销等的位置关系的模型图。

图9是示出第五实施方式的销等的位置关系的模型图。

图10是示出第六实施方式的销等的位置关系的模型图。

图11是示出第七实施方式的销等的位置关系的模型图。

图12是示出第八实施方式的销等的位置关系的模型图。

图13是示出第九实施方式的销等的位置关系的模型图。

图14是示出以往的保持器单元的销等的位置关系的模型图。

附图标记说明：

10：刻划装置

100：保持器单元

110：保持器

114：第一插入孔

115：内周面

120：刻划轮

121：第二插入孔

122：内周面

130：销

130A：限制结构

CC：中心轴心

DD：扫描方向

VA：第一顶点

VB：第二顶点

VC：第三顶点

VD：第四顶点

PA：第一接触点

PB：第二接触点

PC：第三接触点

PD：第四接触点。

具体实施方式

(第一实施方式)

刻划装置通过以将刻划轮压靠于被加工物的状态使刻划轮与被加工物相对地移动，从而在被加工物的表面形成刻划线。刻划装置中的该动作被称作刻划轮的扫描。刻划轮的扫描方法主要分类成三种方法。在第一扫描方法中，在刻划加工时保持刻划轮的位置，相对于刻划轮而搬运被加工物。通过被加工物的搬运而使刻划轮在被加工物的表面上相对地沿规定的扫描方向进行扫描。在第二扫描方法中，在刻划加工时保持被加工物的位置，刻划轮相对于被加工物而沿规定的扫描方向进行扫描。在第三扫描方法中，将第一扫描方法与第二扫描方法组合，刻划轮相对于被加工物而沿规定的扫描方向进行扫描。

被加工物的一例是脆性材料基板。脆性材料基板的一例是玻璃基板及陶瓷基板。玻璃基板的一例是无碱玻璃的基板。由脆性材料基板形成的无碱玻璃的基板例如用于平板显示器。平板显示器的一例是电视接收机的显示器及智能手机的显示器。用于智能手机的显示器的无碱玻璃的基板特别薄。用于智能手机的平板显示器的一片玻璃基板的厚度例如包含于0.15mm～0.30mm的范围。用于液晶电视的平板显示器的一片玻璃基板的厚度例如包含于0.4mm～0.7mm的范围。

在刻划加工时刻划轮施加于被加工物的载荷的适当范围与被加工物的厚度相关。载荷的适当范围被决定为被刻划加工的被加工物的裂纹的形成状态为优选的状态。在通用的脆性材料基板中，厚度越薄则载荷的适当范围越变窄。这表示越薄的脆性材料基板越容易产生伴随刻划轮的载荷的变动而导致的品质的降低。在液晶电视的平板显示器的制造中，例如在层叠有两片厚度0.5mm的脆性材料基板的状态下实施刻划加工。该情况下的载荷的适当范围是10N～15N。在智能手机的显示器的制造中，例如在层叠两片厚度0.15mm的脆性材料基板的状态下实施刻划加工。该情况下的载荷的适当范围是5N～6N。

在图1中示出即使被加工物W薄的情况下也以能够得到适当的品质的方式对被加工物W进行刻划加工的刻划装置10的一例。刻划装置10通过相对于刻划轮120(参照图3)而搬运被加工物W从而在被加工物W上形成刻划线。构成刻划装置10的主要的要素是搬运装置20及加工装置30。搬运装置20包括导轨21、台22、直行驱动机构23、旋转驱动机构24及真空吸引装置25。在以下的说明中，将搬运被加工物W的方向称作搬运方向DA，在刻划装置10的俯视下将与搬运方向DA正交的方向称作宽度方向DB，将与搬运方向DA及宽度方向DB正交的方向称作高度方向DC。搬运方向DA包括第一搬运方向及与第一搬运方向相反的第二搬运方向。宽度方向DB包括第一宽度方向及与第一宽度方向相反的第二宽度方向。高度方向DC包括上方及下方。

在图示的例子中，在刻划装置10的基座(省略图示)上配置有一对导轨21。导轨21的形状是规定搬运方向DA的直线。一方的导轨21于另一方的导轨21在宽度方向DB上隔开一定的间隔地配置。台22被划分为滑块22A、支柱22B及顶板22C。滑块22A以能够沿着导轨21移动的方式与各导轨21连结。支柱22B是构成为能够在内部配置其他要素的中空的部分，并设于滑块22A上。顶板22C是用于配置被加工物W的部分，并设于支柱22B上。

直行驱动机构23使台22相对于导轨21移动。直行驱动机构23例如包括马达23A及进给丝杠构件23B。马达23A配置于刻划装置10的基座(省略图示)。马达23A的输出轴以进给丝杠构件23B绕马达23A的旋转中心轴进行旋转的方式与进给丝杠构件23B连结。进给丝杠构件23B配置在一对导轨21之间。进给丝杠构件23B的长度方向与导轨21的长度方向平行。滑块22A以伴随着进给丝杠构件23B的旋转而沿进给丝杠构件23B的长度方向移动的方式与进给丝杠构件23B连结。进给丝杠构件23B通过马达23A的旋转而旋转，台22根据进给丝杠构件23B的旋转方向而相对于导轨21向第一搬运方向或第二搬运方向移动。

旋转驱动机构24及真空吸引装置25配置在支柱22B内。旋转驱动机构24使顶板22C相对于支柱22B绕与高度方向DC平行的中心轴心进行旋转。真空吸引装置25使配置于顶板22C上的被加工物W吸附于顶板22C。在通过真空吸引装置25吸附有被加工物W的状态下，实施刻划加工。

加工装置30包括纵框架31、横框架32、刻划头33、保持器接头34、保持器单元100、横驱动机构35及纵驱动机构36。纵框架31、横框架32、刻划头33及保持器接头34例如由适合于各自的功能的金属构成。

在图示的例子中，在刻划装置10的基座(省略图示)配置有一对纵框架31。纵框架31的长度方向与高度方向DC平行。一对纵框架31以夹着一对导轨21的方式配置在宽度方向DB的各导轨21的外侧。横框架32设于一对纵框架31之间。横框架32的长度方向与宽度方向DB平行。横框架32固定于各纵框架31。在横框架32设有引导件32A。引导件32A例如是与横框架32的长度方向平行的槽。

刻划头33是对保持器接头34进行支承的基座。刻划头33以能够沿着横框架32而在宽度方向DB上移动的方式与引导件32A连结。保持器接头34连结于刻划头33的下部。保持器接头34构成为能够对保持器单元100进行装卸。

横驱动机构35使刻划头33相对于横框架32而沿宽度方向DB移动。横驱动机构35例如包括马达35A及进给丝杠构件35B。马达35A设于一方的纵框架31。马达35A的输出轴以进给丝杠构件35B绕马达35A的旋转中心轴进行旋转的方式与进给丝杠构件35B连结。进给丝杠构件35B配置在横框架32内。进给丝杠构件35B的长度方向与横框架32的长度方向平行。刻划头33以不随着进给丝杠构件35B的旋转而沿进给丝杠构件35B的长度方向进行移动的方式与进给丝杠构件35B连结。进给丝杠构件35B通过马达35A的旋转而进行旋转，刻划头33根据进给丝杠构件35B的旋转方向而相对于横框架32向第一宽度方向或第二宽度方向移动。保持器接头34及保持器单元100与刻划头33一体地沿宽度方向DB移动。

纵驱动机构36设于刻划头33。纵驱动机构36包括第一驱动机构36A及第二驱动机构36B。第一驱动机构36A使刻划头33沿高度方向DC移动。第二驱动机构36B通过使保持器接头34相对于刻划头33进行移动从而对被加工物W施加刻划载荷。第一驱动机构36A例如包括马达及进给丝杠构件。马达的输出轴以进给丝杠构件绕马达的旋转中心轴进行旋转的方式与进给丝杠构件连结。进给丝杠构件的长度方向与高度方向DC平行。刻划头33以不随着进给丝杠构件的旋转而沿进给丝杠构件的长度方向进行移动的方式与进给丝杠构件连结。进给丝杠构件通过马达的旋转而进行旋转，刻划头33根据进给丝杠构件的旋转方向而相对于引导件32A向上方或下方移动。保持器单元100与保持器接头34一体地沿高度方向DC移动。第二驱动机构36B例如包括气缸或伺服马达及直动机构。第二驱动机构36B配置在刻划头33内。气缸或伺服马达使直动机构沿高度方向DC移动。保持器接头34安装于直动机构。直动机构与保持器接头34一体地沿高度方向DC移动。

图2示出从宽度方向DB观察到的保持器单元100的侧面结构。构成保持器单元100的主要的要素是保持器110、刻划轮120、销130、连结轴34A及多个滚动轴承34B。连结轴34A及多个滚动轴承34B分别支承于刻划头33的保持器接头34(参照图1)。连结轴34A的中心轴心C1与高度方向DC平行。连结轴34A相对于刻划头33及多个滚动轴承34B而进行旋转。在一例中，多个滚动轴承34B沿高度方向DC层叠。滚动轴承34B的一例是滚珠轴承。保持器单元100连结于连结轴34A。刻划轮120的中心轴心CB(参照图4)在搬运方向DA上相对于连结轴34A的中心轴心C1而偏置。该关系例如能够通过中心轴心C1与基准线C2的关系来表述。基准线C2在由搬运方向DA及高度方向DC规定的平面中，与高度方向DC平行，并通过刻划轮120的中心轴心CB。在保持器单元100连结于保持器接头34的状态下，基准线C2相对于中心轴心C1而向搬运方向DA偏置。需要说明的是，也能够是将连结轴34A及多个滚动轴承34B设于保持器接头34侧的结构。

图3是示出与宽度方向DB及高度方向DC平行的剖面中的保持器单元100的一部分的结构。在保持器110设有脱落防止机构。脱落防止机构的一例是罩140。构成保持器110及罩140的材料的一例是磁性体金属。构成保持器110及罩140的材料能够单独地进行选择。构成刻划轮120及销130的材料的一例是烧结金刚石(PolyCrystalline Diamond)、超硬合金、单晶金刚石及多晶金刚石。构成刻划轮120及销130的材料能够单独地进行选择。

保持器110被划分为基座111及一对臂112。基座111的形状是圆柱或棱柱。基座111能够相对于保持器接头34的连结轴34A(参照图2)进行装卸。一对臂112从基座111的下部向下方延伸。臂112的长度方向与高度方向DC平行。在宽度方向DB上在一方的臂112的内表面112A与另一方的臂112的内表面112A之间，形成有用于配置刻划轮120的空间113。宽度方向DB上的一方的臂112的内表面112A与另一方的臂112的内表面112A之间的间隔比刻划轮120的厚度稍宽一些。在各臂112形成有用于供销130插入的第一插入孔114。第一插入孔114是在宽度方向DB上贯通臂112的圆形的孔。形成于臂112的内周面115规定第一插入孔114。第一插入孔114具有在臂112的内表面112A开口的内开口部114A及在臂112的外表面112B开口的外开口部114B。

刻划轮120配置于一对臂112间的空间113。在刻划轮120形成有用于供销130插入的第二插入孔121。第二插入孔121是在厚度方向上贯通刻划轮120的圆形的孔。形成于刻划轮120的内周面122规定第二插入孔121。第二插入孔121具有分别在刻划轮120的一方的侧面123及另一方的侧面123开口的开口部121A。

销130相对于保持器110及刻划轮120的各自以非压入的状态插入各臂112的第一插入孔114及刻划轮120的第二插入孔121。销130的粗度RC(参照图4)比第一插入孔114的直径RA及第二插入孔121的直径RB小。销130的长度比宽度方向DB上的一方的第一插入孔114的外开口部114B与另一方的第一插入孔114的外开口部114B之间的间隔稍短一些。

罩140与保持器110分开构成。罩140以能够开闭第一插入孔114的外开口部114B的方式被固定机构141(参照图2)固定于保持器110。固定机构141的一例是螺钉。罩140关闭第一插入孔114的外开口部114B的一部分或全部以使销130的前端131不从第一插入孔114飞出。在图示的例子中，罩140关闭第一插入孔114的外开口部114B的一部分。销130的长度能够任意地进行选择。在一例中，有可能存在将销130的长度设定成比宽度方向DB上的一方的第一插入孔114的外开口部114B与另一方的第一插入孔114的外开口部114B之间的间隔稍长一些的情况。在该情况下，销130的两端部分别与罩140接触。各罩140对销130相对于保持器110的移动及销130从保持器110的脱落进行限制。

在刻划装置10中能够更换刻划轮120。作为刻划轮120的更换方法例如可举出第一更换方法及第二更换方法。在第一更换方法中，最初将罩140从保持器110取下。接着，将销130从保持器110拔出，将刻划轮120从保持器110的空间113取出。接着，将新的刻划轮120配置于保持器110的空间113，将销130插入臂112的第一插入孔114及刻划轮120的第二插入孔121。由于刻划轮120的厚度比各臂112的间隔稍薄，因此能够容易地实施更换刻划轮120的作业。在需要更换销130的情况下，不是将从保持器110拔出来的销130而是将新的销130插入第一插入孔114及第二插入孔121。由于将销130构成为能够以非压入的状态插入保持器110及刻划轮120，因此能够容易地实施销130相对于保持器110的拔出及插入。

在代替由罩140的构成的脱落防止机构，而通过与此不同的结构的脱落防止机构将销130保持于保持器110的情况下选择第二更换方法。例如，脱落防止机构包括结合于保持器110的爪部。在爪部结合于保持器110的状态下，脱落防止机构被固定于保持器110，不能相对于保持器110进行开闭动作。在第二更换方法中，刻划轮120及销130以保持于保持器110的状态作为一体的保持器单元100而被更换。具体而言，在第二更换方法中，最初将保持器单元100从保持器接头34取下。接着，将新的保持器单元100安装于保持器接头34。

在刻划加工工序的开始前的状态下，以刻划轮120不与被加工物W接触的方式，纵驱动机构36(参照图1)将保持器单元100保持在高度方向DC的规定位置。伴随着刻划加工工序的开始，纵驱动机构36使保持器单元100从高度方向DC的规定位置向下方移动以使刻划轮120与被加工物W的表面接触。在刻划轮120与被加工物W的表面接触的状态下，纵驱动机构36以通过刻划轮120对被加工物W施加有规定的载荷的方式，决定保持器单元100的高度方向DC的位置。

伴随着刻划轮120的扫描在刻划轮120产生反作用力。通过该反作用力使保持器110绕连结轴34A的中心轴心C1(参照图3)进行旋转的转矩作用于保持器110及连结轴34A。保持器110及连结轴34A以与刻划轮120的中心轴心CB正交的刻划轮120的旋转中心面与扫描方向DD平行的方式相对于刻划头33进行旋转。

图4示出在基准剖面中的刻划加工时的保持器110的第一插入孔114、刻划轮120的第二插入孔121及销130的关系的一例。基准剖面与第一插入孔114的中心轴心CA、第二插入孔121的中心轴心CB及销130的中心轴心CC正交。图中的虚线的圆表示第一插入孔114，实线的圆表示第二插入孔121，实线的四方表示销130。需要说明的是，在图4～图12中，为了说明第一插入孔114、第二插入孔121及销130的关系，将它们的尺寸的差异夸张地示出。在实际的保持器110中，第一插入孔114、第二插入孔121及销130的尺寸的差异以及在第一插入孔114及第二插入孔121与销130之间形成的间隙是微小的。

销130包括对刻划轮120的扫描方向DD上的销130相对于刻划轮120及保持器110的移动进行限制的限制结构130A。具体而言，限制结构130A在刻划加工时的刻划轮120的扫描时，限制销130相对于刻划轮120及保持器110向扫描方向DD的前后移动。

在一例中，与第二插入孔121的中心轴心CB正交的基准剖面中的销130的剖面形状被决定为第二插入孔121的内周面122与销130以第一接触点PA及第二接触点PB这2点进行接触。该剖面形状构成限制结构130A。第一接触点PA在基准剖面中相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的后方。第二接触点PB在基准剖面中位于比第一接触点PA靠扫描方向DD的前方的位置。在图示的例子中，第二接触点PB相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的前方。需要说明的是，在此，为了表述在基准剖面中的关系，将第二插入孔121的内周面122与销130的关系标记成接触点，但是实际的内周面122与销130的关系是实质上的线接触或接触面积微小的面接触。以下的说明中示出的称作接触点的表述也同样地是指实质的线接触或接触面积微小的面接触。

构成限制结构130A的销130的剖面形状能够任意地选择。在一例中，在基准剖面中的销130的剖面形状是多边形。具体而言，销130的剖面形状是四边形。更具体而言，销130的剖面形状是正四边形。作为其他的多边形的具体例，可举出长方形、六边形及八边形。销130的立体形状根据构成限制结构130A的剖面形状而决定。在销130的剖面形状是任意的多边形的情况下，销130的立体形状是对应于该多边形的多棱柱。在销130的剖面形状是四边形的情况下，销130的立体形状是对应于该四边形的四棱柱。在销130的剖面形状是正四边形的情况下，销130的立体形状是正四棱柱。在剖面形状是四边形的销130中，与剖面形状是圆形的销相比较能够简化制造工序。在制作剖面形状为圆形的圆柱状的销的情况下，通过线电极电火花加工等从基材切出类似圆柱状的销，需要基于研磨装置进行精密的研磨加工以使该销成为圆柱状。尤其是不容易对耐磨损性高的原料进行研磨加工以使其成为圆柱状。与此相对，在制造剖面形状为四边形的销130的情况下，能够仅通过线电极电火花加工、激光加工制造销130，能够省略基于研磨装置的精密的研磨加工，因此能够容易地制造销130。因此，能够用于销130的原料的材料的选择的范围变大。例如，能够将粒径大的烧结金刚石(PolyCrystalline Diamond)、或单晶金刚石等用于销130的原料。在该情况下，销130的耐磨损性进一步变高。

销130的正四边形包括四个顶点，即第一顶点VA、第二顶点VB、第三顶点VC及第四顶点VD。第一顶点VA是相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的后方且下方的顶点。第一顶点VA通过与第二插入孔121的内周面122的接触而形成第一接触点PA。第一顶点VA不与第一插入孔114的内周面115接触。第二顶点VB是位于比第一顶点VA靠扫描方向DD的前方的顶点。具体而言，第二顶点VB相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的前方且下方。第二顶点VB通过与第二插入孔121的内周面122的接触而形成第二接触点PB。第二顶点VB不与第一插入孔114的内周面115接触。

第三顶点VC及第四顶点VD是与第一顶点VA及第二顶点VB不同的顶点。具体而言，第三顶点VC相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的后方且上方。第三顶点VC不与第二插入孔121的内周面122接触。第三顶点VC通过与第一插入孔114的内周面115的接触而形成第三接触点PC。第四顶点VD相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的前方且上方。第四顶点VD不与第二插入孔121的内周面122接触。第四顶点VD通过第一插入孔114与内周面115的接触而形成第四接触点PD。在以下的说明中，有时将各接触点PA、PB及各顶点VA～VD总称为接触点等。

关于接触点等相对于第二插入孔121的中心轴心CB而位于前方、后方、上方或下方的状态，具体而言能够如下表述。将在基准剖面中通过中心轴心CB的与高度方向DC平行的假想线称作第一基准线LA，将在基准剖面中通过中心轴心CB的与扫描方向DD平行的假想线称作第二基准线LB。接触点等相对于中心轴心CB而位于后方的状态是在基准剖面中接触点等位于比第一基准线LA靠扫描方向DD的后方的状态。接触点等相对于中心轴心CB而位于前方的状态是在基准剖面中接触点等位于比第一基准线LA靠扫描方向DD的前方的状态。接触点等相对于中心轴心CB而位于上方的状态是在基准剖面中接触点等位于比第二基准线LB靠高度方向DC的上方的状态。接触点等相对于中心轴心CB而位于高度方向DC的下方的状态是在基准剖面中接触点等位于比第二基准线LB靠高度方向DC的下方的状态。另外，关于接触点等相对于第一插入孔114的中心轴心CA或销130的中心轴心CC而位于前方、后方、上方或下方的状态，能够使用分别通过中心轴心CA、CC的假想线与上述同样地进行表述。

基准剖面中的刻划加工时的绕第一插入孔114的中心轴心CA、第二插入孔121的中心轴心CB或销130的中心轴心CC的方向上的接触点等的位置基本上通过非刻划加工时的接触点等的位置来决定。图5示出非刻划加工时的第一插入孔114、第二插入孔121及销130的关系的一例。非刻划加工时是刻划轮120不与被加工物W的表面接触，刻划轮120的重量被销130承受的状态。

第一顶点VA相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的后方且下方。第二顶点VB相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的前方且下方。第三顶点VC相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的后方且上方。第四顶点VD相对于销130的中心轴心CC而位于扫描方向DD的前方且上方。第一顶点VA及第二顶点VB与第一插入孔114的内周面115接触。第三顶点VC及第四顶点VD与第二插入孔121的内周面122接触。伴随着刻划加工工序的开始而刻划轮120进行扫描，由此各顶点VA～VD与第一插入孔114及第二插入孔121的关系变化成图4所示的关系。

根据限制结构130A，能够得到如下的作用及效果。在刻划加工时，刻划轮120从被加工物W受到的反作用力降低的情况下，扫描方向DD上的对销130的阻力变小。然而，如图4所示，销130的第一顶点VA及第二顶点VB与第二插入孔121的内周面122接触，形成两个接触点即第一接触点PA及第二接触点PB，因此销130在扫描方向DD上的相对于刻划轮120的移动被内周面122限制。刻划轮120通过两点支承于销130，因此刻划轮120的旋转稳定。同样地销130的第三顶点VC及第四顶点VD与第一插入孔114的内周面115接触，形成两个接触点即第三接触点PC及第四接触点PD，因此销130在扫描方向DD上的相对于保持器110的移动被内周面115限制。因此，销130相对于刻划轮120向上方移动的情况、销130相对于保持器110向下方的移动的情况也被限制，刻划轮120向远离被加工物W的表面的方向的移动也被限制，刻划轮120的载荷的降低得到抑制。由此，在刻划加工时，变得不易产生刻划轮120的载荷的变动，裂纹的形成状态稳定，被刻划加工的被加工物W的品质提高。另外，刻划轮120的载荷的变动幅度变小，因此即使在被加工物W薄的情况下刻划轮120的载荷也不易超出适当范围，从这点考虑被加工物W的品质也提高。

在基准剖面中，多边形形状的销130的多个顶点与保持器110及刻划轮120接触，因此销130绕销130的中心轴心CC的旋转被限制。在刻划加工时销130实质上不绕销130的中心轴心CC旋转，在绕销130的中心轴心CC的方向上销130与刻划轮120的接触点的位置实质上不变化。由此，在刻划加工时的刻划轮120的旋转稳定，被刻划加工的被加工物W的品质变高。

如图4所示，刻划轮120在刻划加工时向旋转方向DR旋转。有时伴随着刻划加工时而产生异物。异物例如是由被加工物W产生的切屑、从被加工物W的表面剥离的比较大的剥离物、因刻划轮120和销130的磨损而产生的磨损粉及其他的异物。在刻划加工时，在销130与刻划轮120之间形成有以第一顶点VA为基准而划分出的第一区域Q1、及以第二顶点VB为基准而划分出的第二区域Q2。第一区域Q1是相对于第一顶点VA而在旋转方向DR的后方形成的销130与刻划轮120之间的间隙，是在销130的第一顶点VA与第二顶点VB之间的边和与之对置的刻划轮120的内周面122之间形成的间隙。第二区域Q2是相对于第二顶点VB而在旋转方向DR的后方形成的销130与刻划轮120之间的间隙，是在销130的第二顶点VB与第四顶点VD之间的边和与之对置的刻划轮120的内周面122之间形成的间隙。

在刻划轮120和销130接触的部分处的它们之间存在异物的情况下，有可能刻划轮120相对于销130的位置变得不稳定，刻划轮120的旋转不稳定。在保持器单元100中，有时在刻划加工时，产生的异物进入第一区域Q1或第二区域Q2。通过刻划轮120和销130形成第一接触点PA，第一接触点PA的位置不变化，因此伴随着刻划轮120的旋转而第一区域Q1的异物停留在相对于第一接触点PA的旋转方向DR的后方。通过刻划轮120和销130形成第二接触点PB，第二接触点PB的位置不变化，因此伴随着刻划轮120的旋转而第二区域Q2的异物停留在相对于第二接触点PB的旋转方向DR的后方。因此，在刻划轮120与销130接触的部分处的它们之间卷入异物的情况得到抑制。保证在刻划加工时在刻划轮120与销130接触的部分处的它们之间实质上不存在异物的状态。因此，即使在刻划加工时产生异物的情况下，刻划轮120的旋转也稳定，被刻划加工的被加工物W的品质变高。

关于刻划加工时的销130，从与刻划轮120的关系出发能够将销130划分为接触区域和非接触区域。接触区域相当于销130的轴向上的销130的中间部。具体而言，接触区域是销130与刻划轮120的内周面122接触的中间部，具有与销130的轴向上的内周面122的宽度同等程度的范围。非接触区域相当于销130的轴向上的接触区域的外侧的部分。伴随着刻划轮120的旋转而销130的接触区域及与销130的接触区域接触的刻划轮120的内周面122的磨损发展。因销130的磨损而销130的第一顶点VA及第二顶点VB的角被切削从而形成曲面。磨损了的销130的接触区域构成相对于销130的非接触区域而朝向销130的中心轴心CC侧凹陷的凹部。销130的磨损的发展程度越大，则凹部的深度越深。在凹部与非接触区域之间形成有台阶。在销130形成有凹部的状态下，在作用有使刻划轮120相对于销130而沿销130的轴向移动的力的情况下，通过刻划轮120的内周面122与上述台阶的接触限制刻划轮120相对于销130的移动。在刻划加工时的刻划轮120的位置稳定，被刻划加工的被加工物W的品质提高。

在保持器单元100中，销130以非压入的状态插入第一插入孔114及第二插入孔121，因此通过在刻划装置10停止的状态下使销130绕销130的中心轴心CC旋转，能够容易地变更绕第一插入孔114的中心轴心CA的方向上的各顶点VA～VD的位置。这种设置例如能够用于如下的状况。在刻划加工工序中，刻划轮120相对于销130而旋转，因此销130的第一顶点VA及第二顶点VB发生磨损。在优选与第二插入孔121的内周面122接触的顶点的磨损量少的情况下，通过使销130绕销130的中心轴心CC旋转180度，能够交换绕第一插入孔114的中心轴心CA的方向上的第一顶点VA及第二顶点VB的位置与绕第一插入孔114的中心轴心CA的方向上的第三顶点VC及第四顶点VD的位置。在该情况下，磨损量比第一顶点VA及第二顶点VB少或实质上未磨损的第三顶点VC及第四顶点VD在刻划加工时与第二插入孔121的内周面122接触。

销130的粗度RC例如由销130的四边形的对角线的长度表示。在销130的四边形中规定有长度不同的多个对角线的情况下，销130的粗度RC例如由最大的长度的对角线规定。在图示的例子中，销130的粗度RC与将第一顶点VA和第四顶点VD连结的对角线的长度，或将第二顶点VB和第三顶点VC连结的对角线的长度相等。

保持器单元100的各部分的尺寸例如以如下方式决定。刻划轮120的外径从1mm～7mm的范围选择。在一例中，刻划轮120的外径是2mm。刻划轮120的厚度从0.4mm～1.2mm的范围选择。在一例中，刻划轮120的厚度是0.64mm。宽度方向DB上的臂112的间隔从0.4mm～1.3mm的范围选择。在一例中，臂112的间隔是0.66mm。第一插入孔114的直径RA从0.4mm～1.5mm的范围选择。在一例中，第一插入孔114的直径RA是0.8mm。第二插入孔121的直径RB从0.4mm～1.6mm的范围选择。在一例中，第二插入孔121的直径RB是0.8mm。销130的粗度RC在0.4mm～1.5mm的范围选择。在一例中，销130的粗度RC是0.77mm。

(第二实施方式)

基准剖面中的刻划加工时的绕第一插入孔114的中心轴心CA、第二插入孔121的中心轴心CB或销130的中心轴心CC的方向上的各顶点及接触点的位置能够任意地进行变更。图6示出各顶点及接触点的位置被决定为与第一实施方式不同的位置的第二实施方式的结构。

将第一顶点VA和第四顶点VD连结的对角线与第一基准线LA平行，且相对于第一基准线LA而位于扫描方向DD的前方。将第二顶点VB和第三顶点VC连结的对角线与第二基准线LB平行，且相对于第二基准线LB而位于下方。第一顶点VA通过与第二插入孔121的内周面122的接触而形成第一接触点PA。第二顶点VB通过与第二插入孔121的内周面122的接触而形成第二接触点PB。第三顶点VC通过与第一插入孔114的内周面115的接触而形成第三接触点PC。第四顶点VD通过与第一插入孔114的内周面115的接触而形成第四接触点PD。

(第三实施方式)

基准剖面中的刻划加工时的绕第一插入孔114的中心轴心CA、第二插入孔121的中心轴心CB或销130的中心轴心CC的方向上的各顶点及接触点的位置能够任意地进行变更。图7示出各顶点及接触点的位置被决定为与第一实施方式不同的位置的第三实施方式的结构。

将第一顶点VA和第四顶点VD连结的对角线与第二基准线LB平行，且相对于第二基准线LB而位于下方。将第二顶点VB和第三顶点VC连结的对角线与第一基准线LA平行，且相对于第一基准线LA而位于扫描方向DD的后方。第一顶点VA通过与第二插入孔121的内周面122的接触而形成第一接触点PA。第二顶点VB通过与第二插入孔121的内周面122的接触而形成第二接触点PB。第三顶点VC通过与第一插入孔114的内周面115的接触而形成第三接触点PC。第四顶点VD通过与第一插入孔114的内周面115的接触而形成第四接触点PD。

(第四实施方式)

基准剖面中的刻划加工时的绕第一插入孔114的中心轴心CA、第二插入孔121的中心轴心CB或销130的中心轴心CC的方向上的各顶点及接触点的位置能够任意地进行变更。图8示出各顶点及接触点的位置被决定为与第一实施方式不同的位置的第四实施方式的结构。

将第一顶点VA和第四顶点VD连结的对角线与第一基准线LA一致。将第二顶点VB和第三顶点VC连结的对角线与第二基准线LB平行，且相对于第二基准线LB而位于下方。第一顶点VA通过与第二插入孔121的内周面122的接触而形成第一接触点PA。第二顶点VB不与第一插入孔114的内周面115及第二插入孔121的内周面122接触。第三顶点VC不与第一插入孔114的内周面115及第二插入孔121的内周面122接触。第四顶点VD通过与第一插入孔114的内周面115的接触而形成第四接触点PD。在该例子中，刻划轮120与销130接触点为1点，因此对刻划轮120因与销130的接触而运动的约束的力弱，对刻划轮120的运动的制约小。

(第五实施方式)

销130的剖面形状能够任意地进行变更。在第一例中，销130的剖面形状是正四边形以外的多边形。在第二例中，销130的剖面形状是在各顶点的至少一处形成有倒角的形状。倒角例如是C倒角或R倒角。在第三例中，销130的剖面形状是由各顶点的至少一处为以规定的曲率半径规定的曲线表示的形状。作为由曲线表示的顶点的形成方法，例如举出有通过机械研磨、激光加工或电火花加工等对多边形的顶点进行R加工的方法。在优选的例子中，选择有适于销130的材料的形成方法。

如图9所示，第五实施方式的保持器单元100具备剖面形状与第一实施方式的销130不同的销200。正四边形包含四个顶点VA～VD。第一顶点VA与刻划轮120的内周面122接触，形成第一接触点PA。第二顶点VB与刻划轮120的内周面122接触，形成第二接触点PB。第三顶点VC与保持器110的内周面115接触，形成第三接触点PC。第四顶点VD与保持器110的内周面115接触，形成第四接触点PD。

在正四边形的各顶点VA～VD形成有倒角。销200的结构除了在形成有倒角这点之外，与第一实施方式的销130同样。各顶点VA～VD包含由倒角形成的面VX。在一例中，倒角是C倒角或R倒角。在各顶点VA～VD形成各接触点PA～PD的部分根据面VX的面积的不同而不同。在面VX的面积包含于第一规定范围的情况下，面VX整体与刻划轮120的内周面122或保持器110的内周面115接触。在各顶点VA～VD形成各接触点PA～PD的部分是面VX整体。在面VX的面积包含于第二规定范围的情况下，面VX的一部分与刻划轮120的内周面122或保持器110的内周面115接触。在各顶点VA～VD形成各接触点PA～PD的部分是面VX的一部分。第二规定范围比第一规定范围更大。在面VX的面积包含于第三规定范围的情况下，与面VX连续的销200的面与面VX的边界部分与刻划轮120的内周面122或保持器110的内周面115接触。在各顶点VA～VD形成各接触点PA～PD的部分是上述边界部分。第三规定范围比第二规定范围大。

伴随着刻划轮120的旋转而销200的接触区域发生磨损。在销130的各顶点形成有倒角，因此销200的磨损缓慢地发展，销200的形状变化带给刻划轮120等的影响的变化也变得缓慢。这种情况有助于刻划轮120的旋转的稳定性。

(第六实施方式)

如图10所示，第六实施方式的保持器单元100具备剖面形状与第一实施方式的销130不同的销210。销210的剖面形状是长方形。长方形的长边211的长度比第一实施方式的销130的正四边形的边的长度长。长方形的短边212的长度比第一实施方式的销130的正四边形的边的长度短。长方形包含四个顶点VA～VD。第一顶点VA与刻划轮120的内周面122接触，形成第一接触点PA。第二顶点VB与刻划轮120的内周面122接触，形成第二接触点PB。第三顶点VC与保持器110的内周面115接触，形成第三接触点PC。第四顶点VD与保持器110的内周面115接触，形成第四接触点PD。

在长方形的各顶点VA～VD形成有倒角。倒角例如是C倒角或R倒角。销210的结构除了在剖面形状为长方形这点及形成有倒角这点之外，其他与第一实施方式的销130同样。各顶点VA～VD包含由倒角形成的面VX。在各顶点VA～VD形成各接触点PA～PD的部分与第五实施方式同样，根据面VX的面积的不同而不同。在销210的变形例中，销210的剖面形状是不形成倒角的长方形。

销210相对于保持器110及刻划轮120而横向配置。具体而言，长方形的长边211与第二基准线LB平行。长方形的短边212与第一基准线LA平行。在销210横向配置的保持器单元100中，在刻划加工时的刻划轮120的旋转阻力比第一实施方式的保持器单元100大。对此，认为保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离比第一实施方式的保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离长产生影响。

在刻划轮120的旋转阻力大的情况下，通过刻划加工而在被加工物W形成的垂直裂纹的深度变深。通过调节在保持器单元100的第一接触点PA与第二接触点PB的距离，能够调节在被加工物W形成的垂直裂纹的深度。刻划轮120的旋转阻力也会对刻划轮120的寿命带来影响。刻划轮120的旋转阻力越大，则刻划轮120的寿命越短。通过调节在保持器单元100的第一接触点PA与第二接触点PB的距离，能够调节刻划轮120的寿命。

(第七实施方式)

如图11所示，第七实施方式的保持器单元100具备与剖面形状第一实施方式的销130不同的销210。销210的剖面形状与第六实施方式的销210的剖面形状同样。长方形包含四个顶点VA～VD。第一顶点VA与刻划轮120的内周面122接触，形成第一接触点PA。第二顶点VB与刻划轮120的内周面122接触，形成第二接触点PB。第三顶点VC与保持器110的内周面115接触，形成第三接触点PC。第四顶点VD与保持器110的内周面115，形成第四接触点PD。在销210的变形例中，销210的剖面形状是不形成有倒角的长方形。

销210相对于保持器110及刻划轮120而纵向配置。具体而言，长方形的长边211与第一基准线LA平行。长方形的短边212与第二基准线LB平行。在销210纵向配置的保持器单元100中，在刻划加工时的刻划轮120的旋转阻力比第一实施方式的保持器单元100小。对此，认为保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离比第一实施方式的保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离短产生影响。

在刻划轮120的旋转阻力小的情况下，通过刻划加工在被加工物W形成的垂直裂纹的深度变浅。通过调节在保持器单元100的第一接触点PA与第二接触点PB的距离，能够调节在被加工物W形成的垂直裂纹的深度。刻划轮120的旋转阻力也对刻划轮120的寿命带来影响。刻划轮120的旋转阻力越小，则刻划轮120的寿命越长。通过调节在保持器单元100的第一接触点PA与第二接触点PB的距离，能够调节刻划轮120的寿命。

(第八实施方式)

如图12所示，第八实施方式的保持器单元100具备剖面形状与第一实施方式的销130不同的销220。销220的剖面形状是正三角形。正三角形的边221的长度比第一实施方式的销130的正四边形的边的长度长。正三角形包含三个顶点VA～VC。第一顶点VA与刻划轮120的内周面122接触，形成第一接触点PA。第二顶点VB与刻划轮120的内周面122接触，形成第二接触点PB。第三顶点VC与保持器110的内周面115接触，形成第三接触点PC。

在正三角形的各顶点VA～VC形成有倒角。倒角例如是C倒角或R倒角。销220的结构除了剖面形状为正三角形这点及形成有倒角这点之外，其他与第一实施方式的销130同样。各顶点VA～VC包含由倒角形成的面VX。在各顶点VA～VC形成各接触点PA～PC的部分与第五实施方式同样地，根据面VX的面积的不同而不同。在销220的变形例中，销220的剖面形状是不形成有倒角的正三角形。

销220以第三顶点VC相对于保持器110及刻划轮120位于比第一顶点VA及第二顶点VB靠上方的方式配置。具体而言，第一顶点VA与第二顶点VB之间的边221与第二基准线LB平行。第一顶点VA与第三顶点VC之间的边221及第二顶点VB与第三顶点VC之间的边221与第一基准线LA及第二基准线LB交叉。在像这样配置销220的保持器单元100中，在刻划加工时的刻划轮120的旋转阻力比第一实施方式的保持器单元100大。对此，认为保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离比第一实施方式的保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离长产生影响。与第六实施方式同样地，通过调节在保持器单元100的第一接触点PA与第二接触点PB的距离，能够调节在被加工物W形成的垂直裂纹的深度、及刻划轮120的寿命。

(第九实施方式)

如图13所示，第九实施方式的保持器单元100具备剖面形状与第一实施方式的销130不同的销230。销230的剖面形状是等腰三角形。等腰三角形的底边231的长度比第一实施方式的销130的正四边形的边的长度长。等腰三角形的等边232的长度比第一实施方式的销130的正四边形的边的长度短、与正四边形的边的长度相等或比正四边形的边的长度长。等腰三角形包含三个顶点VA～VC。第一顶点VA与刻划轮120的内周面122接触，形成第一接触点PA。第二顶点VB与刻划轮120的内周面122接触，形成第二接触点PB。第三顶点VC与保持器110的内周面115接触，形成第三接触点PC。

在等腰三角形的各顶点VA～VC形成有倒角。倒角例如是C倒角或R倒角。销230的结构除了在剖面形状为等腰三角形这点及形成有倒角这点之外，其他与第一实施方式的销130同样。各顶点VA～VC包含由倒角形成的面VX。在各顶点VA～VC形成各接触点PA～PC的部分与第五实施方式同样地，根据面VX的面积的不同而不同。在销230的变形例中，销230的剖面形状是不形成有倒角的等腰三角形。

销230以第三顶点VC相对于保持器110及刻划轮120位于比第一顶点VA及第二顶点VB靠上方的方式配置。具体而言，第一顶点VA与第二顶点VB之间的底边231与第二基准线LB平行。第一顶点VA与第三顶点VC之间的等边232及第二顶点VB与第三顶点VC之间的等边232与第一基准线LA及第二基准线LB交叉。在像这样地配置销220的保持器单元100中，在刻划加工时的刻划轮120的旋转阻力比第一实施方式的保持器单元100大。对此，认为保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离比第一实施方式的保持器单元100中的第一接触点PA与第二接触点PB的距离长产生影响。与第六实施方式同样地，通过调节在保持器单元100的第一接触点PA与第二接触点PB的距离，能够调节在被加工物W形成的垂直裂纹的深度、及刻划轮120的寿命。

(实施例)

实施了对刻划加工时的刻划轮120的刻划初期的旋转阻力进行评价的试验。关于试验的条件进行表述。使用了具备第六实施方式的保持器单元100(图10)或第七实施方式的保持器单元100(图11)、支承被加工物W的台、及用于使台相对于保持器单元100进行移动的移动装置的刻划装置。移动装置例如是气缸。将使用了具备第六实施方式的保持器单元100(图10)的刻划装置的试验称作第一试验。将使用了具备第七实施方式的保持器单元100(图11)的刻划装置的试验称作第二试验。销210的长边211的长度是0.7mm。销210的短边212的长度是0.4mm。刻划轮120的外径是2mm。刻划轮120的刻划载荷有五个级别。具体而言，作为刻划载荷选择4N、6N、8N、10N、12N这五个级别。关于保持器单元100以外的条件，在第一试验及第二试验中相同。

关于各试验的顺序进行表述。在刻划装置的台上设置被加工物W。以在试验的条件下施加设定的刻划载荷的方式将刻划轮120压靠于被加工物W。保持刻划轮120相对于被加工物W的位置，通过移动装置使台向与刻划轮120的扫描方向DD相反的方向移动。此时，通过载荷测定装置测定移动装置对台施加的载荷(以下称作“移动载荷”)。

关于第一试验的结果进行表述。刻划载荷4N的情况下的移动载荷是0.26N。刻划载荷6N的情况下的移动载荷是0.42N。刻划载荷8N的情况下的移动载荷是0.56N。刻划载荷10N的情况下的移动载荷是0.68N。刻划载荷12N的情况下的移动载荷是0.84N。关于第二试验的结果进行表述。刻划载荷4N的情况下的移动载荷是0.16N。刻划载荷6N的情况下的移动载荷是0.22N。刻划载荷8N的情况下的移动载荷是0.32N。刻划载荷10N的情况下的移动载荷是0.38N。刻划载荷12N的情况下的移动载荷是0.46N。第一试验的移动载荷比第二试验的移动载荷高，第一试验的移动载荷是第二试验的移动载荷的大约1.8倍。移动载荷受到刻划轮120的旋转阻力的影响。刻划轮120的旋转阻力越大，则移动载荷越大。由第一试验及第二试验的结果确认出：在销210被横向配置的方式(图10)中，刻划轮120的旋转阻力比销210被纵向配置的方式(图11)大。

在上述试验中，明确了剖面形状为长方形的销210的配置方式对刻划轮120的旋转阻力带来影响。认为除此以外的与销130关联的规定因素也同样地对刻划轮120的旋转阻力带来影响。作为规定因素，例如可举出销130的形状、绕销130的中心轴心CC的方向上的各顶点及接触点的位置、及在刻划轮120与销130之间形成的第一接触点PA与第二接触点PB的距离。通过对刻划轮120的旋转阻力带来影响的规定因素的调节，来调节刻划加工时的刻划轮120的旋转阻力，能够提高被加工物W的品质。

已知有具备刚性低且薄的玻璃的便携设备。该玻璃被称作薄板状玻璃或超薄板状玻璃。便携设备例如是电子设备及便携通信终端。在称为薄板状玻璃或超薄板状玻璃的原料的玻璃基板的断开加工中，刻划线的垂直裂纹的深度影响被断开加工的玻璃基板的品质。垂直裂纹的深度越深，则被断开加工的玻璃基板的品质越高。在玻璃基板的刻划加工时，能够通过在玻璃基板形成深的垂直裂纹来提高在断开加工时的玻璃基板的品质。在刻划加工中，刻划轮120的旋转阻力越大，则越容易在被加工物W形成深的垂直裂纹。为此，能够利用对上述的刻划轮120的旋转阻力带来影响的规定因素的调节。

需要说明的是，在上述各实施方式中，例示了与本发明相关的保持器单元及销能够采用的方式。上述各实施方式的说明并不意在限制与本发明相关的保持器单元及销能够采用的方式。与本发明相关的保持器单元及销能够采用与各实施方式例示出的方式不同的方式。其一例是将各实施方式的结构的一部分进行置换、变更或者省略的方式、或者将新的结构附加于各实施方式的方式。

Claims (8)

1.一种保持器单元，具备：

保持器，其具有第一插入孔；

刻划轮，其具有第二插入孔；以及

销，其被插入所述第一插入孔及所述第二插入孔，且至少相对于所述第二插入孔以非压入的状态被插入，

所述销包含限制结构，该限制结构限制所述刻划轮的扫描方向上的所述销相对于所述刻划轮的移动。

2.根据权利要求1所述的保持器单元，其中，

与所述第二插入孔的中心轴心正交的基准剖面中的所述销的剖面形状被决定为所述第二插入孔的内周面与所述销通过第一接触点及第二接触点这两点进行接触，从而构成所述限制结构。

3.根据权利要求2所述的保持器单元，其中，

所述基准剖面中的所述销的剖面形状是多边形。

4.根据权利要求3所述保持器单元，其中，

所述基准剖面中的所述销的剖面形状是四边形。

5.根据权利要求4所述的保持器单元，其中，

所述四边形包含相对于所述销的中心轴心而位于所述扫描方向的后方且上方的第一顶点、位于比所述第一顶点靠所述扫描方向的前方的位置的第二顶点、以及所述第一顶点及所述第二顶点以外的第三顶点及第四顶点，

所述第一顶点通过与所述第二插入孔的内周面的接触而形成所述第一接触点，

所述第二顶点通过与所述第二插入孔的内周面的接触而形成所述第二接触点，

所述第三顶点及所述第四顶点不与所述第二插入孔的内周面接触。

6.根据权利要求2所述的保持器单元，其中，

所述基准剖面中的所述销的剖面形状是包含倒角的多边形。

7.根据权利要求2～6中任一项所述的保持器单元，其中，

所述第二接触点相对于所述销的中心轴心而位于所述扫描方向的前方。

8.一种销，其保持于具有第一插入孔的保持器，相对于具有第二插入孔的刻划轮以非压入的状态被插入所述第二插入孔，其中，

与所述销的中心轴心正交的剖面中的所述销的剖面形状是多边形。

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