CN117452061A - 射频功率检测装置及系统 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种射频功率检测装置及系统，所述装置包括：第一微带线，所述第一微带线与射频电源连接；第二微带线，第二微带线与第一微带线平行设置且与第一微带线耦合，第二微带线上的预设点接地，预设点用于指示第二微带线的物理隔离点；电压检测单元，电压检测单元与第二微带线的一端连接，用于测试第二微带线的电压；电容单元，电容单元分别连接第一微带线和第二微带线，或第二微带线上的预设点通过电容单元接地，电容单元用于根据第一微带线和第二微带线的实际距离选择不同的电容值，以实现实际距离与第一微带线和第二微带线的预设距离相等。本申请可以检测微带线的电压，计算射频功率，以提高射频电源的电压检测准确度。

Description

射频功率检测装置及系统

技术领域

本申请涉及射频电路技术领域，尤其涉及一种射频功率检测装置及系统。

背景技术

微带线上在生产时会有一端接地的物理隔离点，物理隔离点表现为电压是0V，然而在实际生产时微带线之间的间距可能不够准确，就会导致微带线上接地的这个点不是物理隔离点，就无法准确的检测微带线的电压，因此也无法准确的计算射频功率。

发明内容

本申请实施例提供一种射频功率检测装置及系统，以提高射频电源的电压检测准确度。

第一方面，本申请实施例提供了一种射频功率检测装置，包括：

第一微带线，所述第一微带线与射频电源连接；

第二微带线，所述第二微带线与所述第一微带线平行设置且与所述第一微带线耦合，所述第二微带线上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线的物理隔离点；

电压检测单元，所述电压检测单元与所述第二微带线的一端连接，用于测试所述第二微带线的电压；

电容单元，所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线，或所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地，所述电容单元用于根据所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离选择不同的电容值，以实现所述实际距离与所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离相等。

其中，所述电容单元包括电容子单元和控制子单元，所述电容子单元与所述控制子单元连接，所述控制子单元用于基于所述电容子单元控制所述电容单元的输出电容值。

其中，所述电容子单元包括多个电容，所述多个电容并联，所述控制子单元包括至少一个开关，所述至少一个开关分别与所述多个电容连接，使得基于所述至少一个开关控制所述多个电容中每个电容与所述第二微带线的连接方式，所述连接方式包括正常连接或断开连接。

其中，所述装置还包括距离测试单元，所述距离测试单元分别连接所述电容单元和所述电压检测单元；所述距离测试单元用于测量所述预设点的电压；并在所述预设点的电压大于零的情况下向所述控制子单元发送第一距离信号，在所述预设点的电压小于零的情况下向所述控制子单元发送第二距离信号，在所述预设点的电压为零的情况下向所述电压检测单元发送第三距离信号，所述第一距离信号用于指示所述实际距离小于所述预设距离，所述第二距离信号用于指示所述实际距离大于所述预设距离，所述第三距离信号用于指示所述实际距离等于所述预设距离。

其中，在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述电容子单元包括可变电容，所述可变电容包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地，所述控制子单元用于控制所述第一极片旋转，以控制所述可变电容的电容值。

其中，所述控制子单元包括至少一个电容调节器，所述至少一个电容调节器分别与所述可变电容连接，所述控制子单元用于基于所述至少一个电容调节器控制所述第一极片旋转。

其中，所述电容子单元包括可编程电容，所述可编程电容配置有电容数值控制逻辑，所述控制子单元根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成电容数值控制信号，所述可编程电容基于所述电容数值控制逻辑响应所述电容数值控制信号，以控制所述可编程电容的电容值。

其中，在所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线的情况下，所述控制子单元用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第一控制策略；在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述控制子单元用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第二控制策略。

其中，所述多个电容中至少一个电容的电容值与其他电容的电容值不同。

第二方面，本申请实施例提供了一种射频功率检测系统，包括根据第一方面所述的射频功率检测装置和射频电源；所述射频电源与所述射频功率检测装置连接。

可见，在本申请实施例中，提供了一种射频功率检测装置，包括：第一微带线，所述第一微带线与射频电源连接；第二微带线，所述第二微带线与所述第一微带线平行设置且与所述第一微带线耦合，所述第二微带线上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线的物理隔离点；电压检测单元，所述电压检测单元与所述第二微带线的一端连接，用于测试所述第二微带线的电压；电容单元，所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线，或所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地，所述电容单元用于根据所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离选择不同的电容值，以实现所述实际距离与所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离相等。通过电容单元根据所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离调节所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离，以实现实际距离和预设距离相同，使得物理隔离点的电压为零，从而检测第二微带线的电压，根据其电压计算射频功率，以提高射频电源的电压检测准确度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种射频功率检测系统的系统架构图；

图2是本申请实施例提供的第一种射频功率检测装置的结构图；

图3是本申请实施例提供的第二种射频功率检测装置的结构图；

图4是本申请实施例提供的一种射频功率检测装置中电容单元的结构图；

图5是本申请实施例提供的射频功率检测装置中第一种电容单元的位置结构图；

图6是本申请实施例提供的射频功率检测装置中第二种电容单元的位置结构图；

图7是本申请实施例提供的射频功率检测装置中第三种电容单元的位置结构图；

图8是本申请实施例提供的第三种射频功率检测装置的结构图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

当前在实际生产时微带线之间的间距可能不够准确，就会导致微带线上接地的这个点不是物理隔离点，就无法准确的检测微带线的电压，因此也无法准确的计算射频功率。

请参阅图1，图1是本申请实施例提供的一种射频功率检测系统的系统架构图。如图1所示，射频功率检测系统100包括射频功率检测装置10和射频电源20，射频功率检测装置10和射频电源20连接，其中通过射频电源20给射频功率检测装置10中的第一微带线通电，使得射频功率检测装置10中的第二微带线受到磁场和电场的双重作用，其磁场强度在所述第二微带线的两端呈现一正一负的情况，因此第二微带线中会存在磁场强度为0的点，此时为了使微带线上接地的这个点是电压为0V的物理隔离点，需要调节射频功率检测装置10中的电容单元的电容值，以调整第一微带线和第二微带线的距离，使得第一微带线和第二微带线的实际距离与预设的第一微带线和第二微带线的距离相等，因此可以检测第二微带线的电压，从而计算射频功率，以提高射频电源的电压检测准确度。

请参阅图2和图3，图2是本申请实施例提供的第一种射频功率检测装置的结构图，图3是本申请实施例提供的第二种射频功率检测装置的结构图。如图2所示，所述装置包括：第一微带线101，所述第一微带线101与射频电源20连接；第二微带线102，所述第二微带线102与所述第一微带线101平行设置且与所述第一微带线101耦合，所述第二微带线102上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线102的物理隔离点；电压检测单元103，所述电压检测单元103与所述第二微带线102的一端连接，用于测试所述第二微带线102的电压；电容单元104，所述电容单元104分别连接所述第一微带线101和所述第二微带线102，所述电容单元104用于根据所述第一微带线101和所述第二微带线102的实际距离选择不同的电容值，以实现所述实际距离与所述第一微带线101和所述第二微带线102的预设距离相等。如图3所示，所述装置包括：第一微带线101，所述第一微带线101与射频电源20连接；第二微带线102，所述第二微带线102与所述第一微带线101平行设置且与所述第一微带线101耦合，所述第二微带线102上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线102的物理隔离点；电压检测单元103，所述电压检测单元103与所述第二微带线102的一端连接，用于测试所述第二微带线102的电压；电容单元104，所述第二微带线102上的预设点通过所述电容单元104接地，所述电容单元104用于根据所述第一微带线101和所述第二微带线102的实际距离选择不同的电容值，以实现所述实际距离与所述第一微带线101和所述第二微带线102的预设距离相等，从而检测第二微带线102的电压，从而计算射频功率，以提高射频电源的电压检测准确度。

其中，通过射频电源20给所述第一微带线101通电，受到电流影响，第二微带线102会受到磁场和电场的双重作用。此时微带线上某一点的电场值为：△E×d，磁场值为：

。

其中△E为第一微带线101上某一点的电场强度，d为第一微带线101和第二微带线102的预设距离，为磁导率，/>为介电常数，/>为第二微带线102的长度，/>为第一微带线101的电流。在第二微带线102的一端处，电场强度和磁场强度大小相等，方向相同；在另一端处，电场强度和磁场强度大小相等，方向相反。

因此可根据上述等式确定出d的关系，即：

。

其中，R为主电路电阻。根据磁场强度在两端呈现一正一负的情况，第二微带线102中存在接地的磁场强度为0的点，该点则是物理隔离点，但由于预设距离d和实际距离d1存在差距。如图2所示，可以通过分压的方式在第一微带线101和第二微带线102之间增加电容单元104，其中电容单元104可以包括多个电容，或可变电容，或可编程电容，以根据所述预设距离d和实际距离d1的差值选择不同的电容值，以找到合适的距离，此时物理隔离点检测出来的微带电压就为0V，此时就能准确检测第二微带线102的电压，根据第二微带线102的电压计算射频功率。如图3所示，还可以通过分压的方式设置所述第二微带线102上的预设点通过所述电容单元104接地，其中电容单元104可以包括多个电容，或可变电容，或可编程电容等，以根据所述预设距离d和实际距离d1的差值选择不同的电容值，以找到合适的距离，使得物理隔离点检测出来的微带电压就为0V，此时就能准确检测第二微带线102的电压，根据第二微带线102的电压计算射频功率，提高了射频电源的电压检测准确度。

在一种可能的实施例中，请参阅图4，图4是本申请实施例提供的一种射频功率检测装置中电容单元的结构图，如图4所示，电容单元104包括电容子单元1041和控制子单元1042，所述电容子单元1041与所述控制子单元1042连接，所述控制子单元1042用于基于所述电容子单元1041控制所述电容单元104的输出电容值。

其中，所述电容子单元1041可以包括多个电容，或可变电容，或可编程电容等，通过控制子单元1042对上述电容进行控制，以改变其输出的电容值。请参阅图5，图5是本申请实施例提供的射频功率检测装置中第一种电容单元的位置结构图，如图5所示，所述电容单元104分别与所述第一微带线101和所述第二微带线102连接，所述第一微带线101通电；所述第二微带线102与所述第一微带线101平行设置且与所述第一微带线101耦合，所述第二微带线102上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线102的物理隔离点。在所述电容子单元1041包括多个电容的情况下，所述多个电容并联，示例性的可以是电容C1、电容C2和电容C3，其电容的数量不在此限制。所述控制子单元1042还可以包括至少一个开关，所述至少一个开关分别与所述多个电容连接，使得所述控制子单元1042基于所述至少一个开关控制所述多个电容中每个电容与所述第二微带线102的通断。其中，多个电容中每个电容的电容值可以是不相同的，以便于控制子单元1042根据所述预设距离d和实际距离d1的差值适配选择电容值。其中多个电容的开关可以是单刀多掷开关；也可以多个电容中每个电容都连接一个开关；也可以是以上两种开关组合，一部分电容中每个电容都连接一个开关，剩余部分电容中存在至少一个单刀多掷开关。其中，所述多个电容还可以设置在第二微带线102和接地端之间。

其中，请参阅图6，图6是本申请实施例提供的射频功率检测装置中第二种电容单元的位置结构图，如图6所示，所述第二微带线102上的预设点通过所述电容单元104接地，所述第一微带线101通电；所述第二微带线102与所述第一微带线101平行设置且与所述第一微带线101耦合，所述第二微带线102上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线102的物理隔离点。在所述电容子单元1041包括可变电容C4的情况下，所述可变电容可以包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地，其中所述控制子单元1042包括至少一个电容调节器，示例性的可以包括电容调节器S1、电容调节器S2和电容调节器S3。所述电容调节器S1、电容调节器S2和电容调节器S3分别与所述可变电容连接，其中每个电容调节器对应不同的电容值范围，所述控制子单元1042根据所述预设距离d和实际距离d1的差值选择电容调节器，并在选择的对应的电容值范围内控制所述第一极片旋转，以改变电容值的大小，使得所述预设距离d和实际距离d1相等。

其中，请参阅图7，图7是本申请实施例提供的射频功率检测装置中第三种电容单元的位置结构图，如图7所示，所述第二微带线102上的预设点通过所述电容单元104接地，所述第一微带线101通电；所述第二微带线102与所述第一微带线101平行设置且与所述第一微带线101耦合，所述第二微带线102上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线102的物理隔离点。在所述电容子单元1041包括可编程电容C5的情况下，所述可编程电容C5具备电容数值控制逻辑，所述控制子单元1042可以根据所述预设距离d和实际距离d1的差值生成电容数值控制信号，所述可编程电容C5基于所述电容数值控制逻辑响应所述电容数值控制信号，输入所需的电容值，以控制所述可编程电容的电容值。其中，所述可编程电容C5还可以设置在第一微带线101和第二微带线102之间。

可见，在本实施例中，可以通过所述控制子单元1042控制电容子单元1041的电容值，以此调节第一微带线101和第二微带线102的距离，以便于更加精准的计算射频功率。

在一种可能的实施例中，所述电容子单元1041包括多个电容，所述多个电容并联，所述控制子单元1042包括至少一个开关，所述至少一个开关分别与所述多个电容连接，使得基于所述至少一个开关控制所述多个电容中每个电容与所述第二微带线102的连接方式，所述连接方式包括正常连接或断开连接。

其中，多个电容中每个电容的电容值可以相同，也可以不相同的，存在至少一个电容的电容值与其他电容的电容值不同，以便于控制子单元1042根据所述预设距离d和实际距离d1的差值适配选择电容值。其中多个电容的开关可以是单刀多掷开关；也可以多个电容中每个电容都连接一个开关；也可以是以上两种开关组合，如一部分电容中每个电容都连接一个开关，剩余部分电容中存在至少一个单刀多掷开关。其中，所述多个电容可以设置在第二微带线102和接地端之间，还可以设置在第二微带线102和第一微带线101之间。通过控制子单元1042控制所述多个电容的开关来调节电容值的大小。

可见，在本实施例中，通过控制子单元1042控制所述多个电容的开关来调节电容值的大小，以便于更加精准的控制电容值。

在一个可能的实施例中，所述装置还包括距离测试单元105，所述距离测试单元105分别连接所述电容单元104和所述电压检测单元103；所述距离测试单元用于测量所述预设点的电压；并在所述预设点的电压大于零的情况下向所述控制子单元1042发送第一距离信号，在所述预设点的电压小于零的情况下向所述控制子单元1042发送第二距离信号，在所述预设点的电压为零的情况下向所述电压检测单元103发送第三距离信号，所述第一距离信号用于指示所述实际距离小于所述预设距离，所述第二距离信号用于指示所述实际距离大于所述预设距离，所述第三距离信号用于指示所述实际距离等于所述预设距离。

其中，请参阅图8，图8是本申请实施例提供的第三种射频功率检测装置的结构图，如图8所示，所述射频功率检测装置10还包括距离测试单元105，所述距离测试单元105连接所述电容单元104和所述电压检测单元103；所述距离测试单元105用于测量所述预设点的电压；所述电容单元104分别与所述第一微带线101和所述第二微带线102连接，所述第一微带线101通电；所述第二微带线102与所述第一微带线101平行设置且与所述第一微带线101耦合，所述第二微带线102上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线102的物理隔离点，所述电压检测单元103与所述第二微带线102的一端连接，用于测试所述第二微带线102的电压。当距离测试单元105接收到电压检测单元103的电压测试信号时，响应该电压测试信号检测预设的物理隔离点的电压。在测试得出的电压大于零的情况下向所述控制子单元1042发送信号，指示实际距离d1小于预设距离d，控制子单元1042接收到该信号时，根据当前的电容值调节电容子单元1041中的电容的电容值，使得实际距离d1等于预设距离d；在测试得出的电压小于零的情况下向所述控制子单元1042发送信号，指示实际距离d1大于预设距离d，控制子单元1042接收到该信号时，根据当前的电容值调节电容子单元1041中的电容的电容值，使得实际距离d1等于预设距离d；在测试得出的电压等于零的情况下向电压检测单元103发送信号，指示实际距离d1等于预设距离d，以此指示电压检测单元103可以测试第二微带线102的电压，以计算射频功率。

可见，在本实施例中，通过距离测试单元105获取第一微带线101和第二微带线102的实际距离，并根据实际距离和预设距离发送距离信号给控制子单元1042和电压检测单元103，使得控制子单元1042基于距离信号对电容值进行调整，以及使得电压检测单元103对第二微带线102的电压进行精准检测。

在一个可能的实施例中，在所述第二微带线102上的预设点通过所述电容单元104接地的情况下，所述电容子单元1041包括可变电容，所述可变电容包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地，所述控制子单元1042用于控制所述第一极片旋转，以控制所述可变电容的电容值。

其中，在所述电容子单元1041包括可变电容C4的情况下，所述可变电容可以包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地。第一极片可以是动片，第二极片可以是定片，可以通过调节动片向定片旋转的角度来调整电容值，旋转的角度越大，电容值越大。

可见，在本实施例中，通过调节第一极片旋转的角度，改变可变电容的电容值，操作简单，并且更加精准的调节电容值。

在一个可能的实施例中，所述控制子单元1042包括至少一个电容调节器，所述至少一个电容调节器分别与所述可变电容连接，所述控制子单元1042用于基于所述至少一个电容调节器控制所述第一极片旋转。

其中，请参阅图6和图8，所述控制子单元1042包括至少一个电容调节器，示例性的可以包括电容调节器S1、电容调节器S2和电容调节器S3。所述电容调节器S1、电容调节器S2和电容调节器S3分别与所述可变电容连接，其中每个电容调节器对应不同的电容值范围，通过所述控制子单元1042根据所述第一距离信号或所述第二距离信号选择电容调节器，并在选择的对应的电容值范围内控制所述第一极片旋转，以改变电容值的大小，使得所述预设距离d和实际距离d1相等。

可见，在本实施例中，根据需求选择电容调节器，并在选择的电容调节器对应的电容值范围内控制所述第一极片旋转，以改变电容值的大小，以实现精准的调节电容值。

在一个可能的实施例中，所述电容子单元1041包括可编程电容，所述可编程电容配置有电容数值控制逻辑，所述控制子单元1042根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成电容数值控制信号，所述可编程电容基于所述电容数值控制逻辑响应所述电容数值控制信号，以控制所述可编程电容的电容值。

其中，请参阅图7和图8，所述电容子单元1041包括可编程电容C5，所述可编程电容C5有电容数值控制逻辑，所述控制子单元1042可以根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成电容数值控制信号，所述可编程电容C5基于所述电容数值控制逻辑响应所述电容数值控制信号，根据当前的电容值和所述接收到的距离信号，输入所需的电容值，以控制所述可编程电容的电容值。其中，所述可编程电容C5还可以设置在第一微带线101和第二微带线102之间。

可见，在本实施例中，根据可编程电容可以直接输入需要调节的电容值，简化调节电容值的步骤，以实现精准的调节电容值。

在一个可能的实施例中，在所述电容单元104分别连接所述第一微带线101和所述第二微带线102的情况下，所述控制子单元1042用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第一控制策略；在所述第二微带线102上的预设点通过所述电容单元104接地的情况下，所述控制子单元1042用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第二控制策略。

其中，当电容单元104在第一微带线101和第二微带线102中间时，电容值越大，第一微带线101和第二微带线102的距离越小；当电容在第二微带线102与接地端中间时，电容值越大，第一微带线101和第二微带线102的距离越大。

其中，当电容单元104在第一微带线101和第二微带线102中间时，若所述控制子单元1042接收到所述第一距离信号，第一调控策略可以包括：所述控制子单元1042根据所述多个电容的电容值和当前的电容值，按照需求调整电容值，若控制子单元1042检测出当前电容值较大，不足以实现实际距离与预设距离相等，则适当断开电容开关，以减小电容值，从而增大第一微带线101和第二微带线102的实际距离，实现实际距离与预设距离相等。若所述控制子单元1042接收到所述第二距离信号，第一调控策略还可以包括：所述控制子单元1042根据所述多个电容的电容值和当前的电容值，按照需求调整电容值，若控制子单元1042检测出当前电容值较小，不足以实现实际距离与预设距离相等，则适当开通电容开关，以增大电容值，从而缩小第一微带线101和第二微带线102的实际距离，实现实际距离与预设距离相等。第一调控策略还可以是根据当前的电容值和接收到的距离信号，按照需求调整可编程电容的电容值，以实现实际距离与预设距离相等。

其中，当电容在第二微带线102与接地端中间时，若所述控制子单元1042接收到所述第一距离信号，第二调控策略可以包括：所述控制子单元1042根据所述多个电容的电容值和当前的电容值，按照需求调整电容值，若控制子单元1042检测出当前电容值较大，不足以实现实际距离与预设距离相等，则适当开通电容开关，以增大电容值，从而增大第一微带线101和第二微带线102的实际距离，实现实际距离与预设距离相等。若所述控制子单元1042接收到所述第二距离信号，第二调控策略还可以包括：所述控制子单元1042根据所述多个电容的电容值和当前的电容值，按照需求调整电容值，若控制子单元1042检测出当前电容值较小，不足以实现实际距离与预设距离相等，则适当断开电容开关，以减小电容值，从而缩小第一微带线101和第二微带线102的实际距离，实现实际距离与预设距离相等。其中，若所述控制子单元1042接收到所述第一距离信号或者第二距离信号，第二调控策略还可以包括：所述控制子单元1042根据当前的电容值，按照需求选择电容调节器，并在所选择的电容调节器对应的电容范围内旋转第一级片的旋转角度，以调整电容值，以实现实际距离与预设距离相等。其中旋转角度越大，电容值越大。第二调控策略还可以是根据当前的电容值和接收到的距离信号，按照需求调整可编程电容的电容值，以实现实际距离与预设距离相等。

可见，在本实施例中，可以直接根据所述第一调控策略和第二调控策略对电容值进行调整，以便于实现精准的调节电容值。

在一个可能的实施例中，所述多个电容中至少一个电容的电容值与其他电容的电容值不同。

其中，多个电容中每个电容的电容值可以是相同，也可以不同，但至少存在一个电容的电容值与其他的电容值不同，以便于控制子单元1042根据所述预设距离d和实际距离d1的差值适配选择电容。

需要说明的是，对于前述的各方法实施方式，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本申请并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本申请，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施方式均属于可选的实施方式，所涉及的动作和模块并不一定是本申请所必须的。

在上述实施方式中，对各个实施方式的描述都各有侧重，某个实施方式中没有详述的部分，可以参见其他实施方式的相关描述。

在本申请所提供的几个实施方式中，应该理解到，所揭露的装置，可通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施方式仅仅是示意性的，例如所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施方式方案的目的。

另外，在本申请各个实施方式中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件程序模块的形式实现。

所述集成的单元如果以软件程序模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储器中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储器中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可为个人计算机、服务器或者网络设备等）执行本申请各个实施方式所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储器包括：U盘、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，Random Access Memory）、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

本领域普通技术人员可以理解上述实施方式的各种方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序可以存储于一计算机可读存储器中，存储器可以包括：闪存盘、只读存储器（英文：Read-Only Memory ，简称：ROM）、随机存取器（英文：Random Access Memory，简称：RAM）、磁盘或光盘等。

以上对本申请实施方式进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施方式的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种射频功率检测装置，其特征在于，包括：

第一微带线，所述第一微带线与射频电源连接；

第二微带线，所述第二微带线与所述第一微带线平行设置且与所述第一微带线耦合，所述第二微带线上的预设点接地，所述预设点用于指示所述第二微带线的物理隔离点；

电压检测单元，所述电压检测单元与所述第二微带线的一端连接，用于测试所述第二微带线的电压；

电容单元，所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线，或所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地，所述电容单元用于根据所述第一微带线和所述第二微带线的实际距离选择不同的电容值，以实现所述实际距离与所述第一微带线和所述第二微带线的预设距离相等。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电容单元包括电容子单元和控制子单元，所述电容子单元与所述控制子单元连接，所述控制子单元用于基于所述电容子单元控制所述电容单元的输出电容值。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述电容子单元包括多个电容，所述多个电容并联，所述控制子单元包括至少一个开关，所述至少一个开关分别与所述多个电容连接，使得基于所述至少一个开关控制所述多个电容中每个电容与所述第二微带线的连接方式，所述连接方式包括正常连接或断开连接。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括距离测试单元，所述距离测试单元分别连接所述电容单元和所述电压检测单元；

所述距离测试单元用于测量所述预设点的电压；并在所述预设点的电压大于零的情况下向所述控制子单元发送第一距离信号，在所述预设点的电压小于零的情况下向所述控制子单元发送第二距离信号，在所述预设点的电压为零的情况下向所述电压检测单元发送第三距离信号，所述第一距离信号用于指示所述实际距离小于所述预设距离，所述第二距离信号用于指示所述实际距离大于所述预设距离，所述第三距离信号用于指示所述实际距离等于所述预设距离。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述电容子单元包括可变电容，所述可变电容包括第一极片和第二极片，所述第一极片和所述第二极片相互绝缘，所述第一极片接地，所述控制子单元用于控制所述第一极片旋转，以控制所述可变电容的电容值。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述控制子单元包括至少一个电容调节器，所述至少一个电容调节器分别与所述可变电容连接，所述控制子单元用于基于所述至少一个电容调节器控制所述第一极片旋转。

7.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述电容子单元包括可编程电容，所述可编程电容配置有电容数值控制逻辑，所述控制子单元根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成电容数值控制信号，所述可编程电容基于所述电容数值控制逻辑响应所述电容数值控制信号，以控制所述可编程电容的电容值。

8.根据权利要求4-7任一项所述的装置，其特征在于，在所述电容单元分别连接所述第一微带线和所述第二微带线的情况下，所述控制子单元用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第一控制策略；

在所述第二微带线上的预设点通过所述电容单元接地的情况下，所述控制子单元用于根据所述第一距离信号或所述第二距离信号生成第二控制策略。

9.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述多个电容中至少一个电容的电容值与其他电容的电容值不同。

10.一种射频功率检测系统，其特征在于，包括根据权利要求1-9任一项所述的射频功率检测装置和射频电源；

所述射频电源与所述射频功率检测装置连接。