CN117267408B - 用于半导体制造的零死水带旁通阀门 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于半导体制造的零死水带旁通阀门，包括阀体组件及安装在阀体组件上的旁通组件；阀体组件包括阀体；阀体包括主体和连接在主体后端的旁通端；主体的中央设有向上且向右开口的呈直角双通接头状的分隔部，分隔部的底部中央后端设有旁通孔，阀体还设有与旁通孔贯通的出液孔；旁通组件包括旁通隔膜片、阀杆螺母、阀杆、调节螺母和手轮；旁通隔膜片与阀杆前后传动连接，阀杆螺母螺纹旋合在阀杆的螺纹杆部上，再在阀杆向后露出阀杆螺母的螺纹杆部上旋合上调节螺母；阀杆与手轮连接在一起且能共同旋转而相对阀杆螺母前后运动；阀杆螺母可拆卸的设置于阀体的旁通端内，且旁通隔膜片正对旁通孔。该阀门有效减少管路的排布且节省空间。

Description

用于半导体制造的零死水带旁通阀门

技术领域

本发明涉及阀门领域，特别涉及一种用于半导体制造的零死水带旁通阀门。

背景技术

目前国内半导体及光伏领域正在高速发展，而硅片是光伏发电的主要材料，半导体硅材料是最主要的元素半导体材料，因此光伏属于泛半导体行业。而半导体行业的不断发展使得各种强酸、强碱、强氧化性等介质的应用不断提高。在半导体制造领域，特别是芯片制造流程中，例如芯片的蚀刻工艺，其需要前处理：通过对材质表面的油污、灰尘、污垢及氧化膜喷油进行清除；然后压合（贴膜）：按要求双面涂布感光胶。再曝光：通过光掩膜紫外线曝光转移成像；再显影：曝光后对图案进行固化，暴露出腐蚀部分，并清除产品不需要的感光胶层；再干燥：清除感光胶使金属表面清洁，无黏连、杂质等；再蚀刻：通过蚀刻液对金属进行腐蚀，其过程涉及溶液的浓度、温度、压力、速度等参数；最后剥离（脱落作业）：蚀刻后残留的感光胶层采用酸碱中和法进行膨化，利用清水和超声波清洗多余的感光胶层；其工艺流程中几乎每一部都需要清洗操作，半导体的清洗操作需要将待清洗件放入石英槽中，石英槽内的换液在短时间内快速完成，且同时需要可调流量的小管道进水溢流，确保槽内液质的纯度，目前普遍的方法是采用两个管道加两个阀门来完成，而半导体清洗设备内空间设计非常小，双管道双阀门的设计占用了大量空间，就需要增加半导体清洗设备的体积，增加了制造成本、运输成本和占地面积。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种有效减少管路的排布且节省空间的用于半导体制造的零死水带旁通阀门。

实现本发明目的的技术方案是提供一种用于半导体制造的零死水带旁通阀门，包括阀体组件及安装在阀体组件上的旁通组件；

阀体组件包括阀体；阀体包括呈方型的主体和连接在主体左端的出液端、连接在主体右端的进液端、连接在主体后端的旁通端；主体设有开口向上的圆形腔体，主体的中央设有向上且向右开口的呈直角双通接头状的分隔部，分隔部的内部与进液端贯通，分隔部将阀体的主体的内腔分隔成与进液端贯通的进液腔体和与出液端贯通的出液腔体，从而分隔部的内部空间即为进液腔体；分隔部的底部中央后端设有旁通孔，出液腔体的后部设有上下贯通且与旁通孔贯通的出液孔；阀体的旁通端与主体连接处设有开口向后的由前向后渐大的三段状第一中央通孔，第一中央通孔的前段孔部与旁通孔、出液孔均贯通而使得旁通孔和出液孔贯通；

旁通组件包括旁通隔膜片、阀杆螺母、阀杆、调节螺母和手轮；旁通隔膜片设有旁通孔的大小对应的堵部；阀杆螺母设有第四中央通孔，第四中央通孔的后段具有内螺纹；阀杆设有螺纹杆部，螺纹杆部具有与阀杆螺母的第四中央通孔的后段内螺纹对应的外螺纹；旁通隔膜片与阀杆前后传动连接，阀杆螺母由其第四中央通孔的后段内螺纹旋合在阀杆的螺纹杆部上，再在阀杆向后露出阀杆螺母的螺纹杆部上旋合上调节螺母；阀杆与手轮连接在一起且能共同旋转而相对阀杆螺母前后运动；阀杆螺母可拆卸的设置于第一中央通孔的后段孔部内，且旁通隔膜片由其堵部正对旁通孔。

进一步的，阀体的第一中央通孔的中段孔部和后段孔部连接处设有台阶而具有接插部；第一中央通孔的后段孔部设有内螺纹；

旁通组件还包括定位螺钉；旁通隔膜片还包括与堵部从前至后依次主杆部和螺栓头连接部，堵部呈前小后大的圆台状且与旁通孔的大小对应；主杆部的后端外周一圈设有喇叭状的第二弹性环部和连接在第二弹性环部外周的径向截面呈倒L形的一圈第二接插榫部，第二接插榫部与阀体的接插部对应；阀杆螺母具有与阀体的第一中央通孔的后段孔的内螺纹对应的外螺纹，阀杆螺母设有前大后小的两段式第四中央通孔，第四中央通孔的后段具有内螺纹，阀杆螺母的前端面绕第四中央通孔设有环形的第二弹性环部槽；阀杆包括从前至后依次连接的卡接头部和螺纹杆部，卡接头部的大小与阀杆螺母的第四中央通孔的前段孔部对应，卡接头部设有开口向下向前的与旁通隔膜片的螺栓头连接部对应的卡接槽；旁通隔膜片由其第二接插榫部紧配合插入阀体的接插部处的槽中，由其螺栓头连接部插入阀杆的卡接头部的卡接槽中而连接；阀杆螺母由其外螺纹旋合在阀体的第一中央通孔的后段孔部内，从而将旁通组件安装在阀体上，再通过定位螺钉旋转穿过阀体的旁通端处阀体壁后穿入阀杆螺母内而止转。

更进一步的，旁通组件还包括第一锥形盖和连接螺钉；

阀杆还包括设置于螺纹杆部后方的限位连接部，限位连接部的横截面呈腰圆形，阀杆的后端面中央设有具有内螺纹的连接盲孔；手轮的前端面具有腰圆形的限位槽，限位槽中央设有连接孔；通过连接螺钉穿过手轮的连接孔并由手轮的限位槽扣在阀杆的限位连接部上后旋合穿入阀杆的连接盲孔中而连接，第一锥形盖紧配合插入手轮的后端开口处以密封；

进一步的，阀体组件还包括密封套、承口螺帽、腔体、第一O型圈、端盖、第二O型圈、底座和透明罩。

阀体的圆形腔体边缘设有用于安装膜片的环形的台阶部而使得台阶部与主体之间具有环形的膜片插槽，且分隔部低于台阶部，主体的台阶部处的内壁与分隔部之间的空间即出液腔体由于分隔部的外形而呈右小左大的渐大状；阀体的出液端和进液端均设有外螺纹；

密封套和承口螺帽有两套，密封套分别通过紧配合接插在出液端和进液端，承口螺帽分别旋合连接在在出液端和进液端的外螺纹上；

腔体呈与阀体的主体对应的方型，腔体设有圆形的开口向上的内腔，且腔体的下端面设有盘状的接插部，接插部的周向外壁设有第一O型圈槽；腔体设有开口向上的圆形槽体，且圆形槽体呈上小下大两段状，从而连接处呈台阶状，该台阶状部位设有定位缺口；腔体的底部中央设有上下贯通的五段状第二中央通孔，其中位于下方的第一段第二中央通孔和第三段第二中央通孔均呈上小下大的喇叭状，且第一段第二中央通孔和第三段第二中央通孔之间的第二段第二中央通孔为环状以形成台阶过渡，位于第三段第二中央通孔上方的第四段第二中央通孔呈环状，第五段第二中央通孔小于第四段第二中央通孔而使得第五段第二中央通孔与第四段第二中央通孔连接处呈台阶状，第五段第二中央通孔处绕孔壁设有活塞下导向圈，活塞下导向圈向上伸入圆形槽体的下段；腔体的上端面边缘设有一圈圆形的台阶而形成端盖安装槽；腔体的第三段第一中央通孔处的内壁设有与外界贯通的通气孔，腔体设有与圆形槽体的下段贯通的第一气连接端；

端盖开口向下，其下端设有连接颈部，连接颈部周向设有环形的开口向外的第二O型圈槽，端盖的轴向中央设有环形的活塞上导向圈，端盖由于设置活塞上导向圈而具有上下贯通的第三中央通孔，第三中央通孔的上部设有内螺纹；端盖设有与其内部贯通的第二气连接端；

底座的形状与阀体的主体下端面对应，底座设有用于整个阀安装的连接耳；

腔体由其接插部从上方插入阀体的主体内而安装在阀体上，且接插部的下端面与阀体的台阶部之间具有膜片安装空间；端盖由其连接颈部插入腔体内，且端盖的边缘卡接入端盖安装槽中；底座设置在阀体的主体的下方，通过紧固件将端盖、腔体、阀体和底座连接在一起；第一O型圈设置在第一O型圈槽内即密封于阀体与腔体的接插部之间，第二O型圈设置在第四二型圈槽内即密封于腔体与端盖之间；透明罩螺纹旋合在端盖的第三中央通孔的内螺纹上部而安装在端盖上。

更进一步的，所述的用于半导体制造的零死水带旁通阀门还包括安装在阀体组件上的启闭组件；

启闭组件包括膜片、活塞、第三O型圈、第四O型圈、第五O型圈和指示杆；膜片包括主部、位于主部中部外周一圈的喇叭状的第一弹性环部、连接在第一弹性环部外周的径向截面呈倒L形的一圈第一接插榫部，主部的上中部形状与腔体的第二、三、四段第二中央通孔的形状对应，主部的下部的直径介于分隔部的上开口的内外径之间，主部的底面边缘具有环形的密封圈设计，主部的上端面中央设有开口向上的具有内螺纹的连接盲孔；第一弹性环部能上下弹性弯曲；第一接插榫部与阀体的膜片插槽对应；

活塞包括杆部和连接在杆部中央的盘状的限位部，杆部的上中部设有第五O型圈槽、下中部设有第四O型圈槽，限位部的周壁设有环形的第三O型圈槽，杆部的下端设有与膜片的连接盲孔对应的螺纹连接头，杆部设有开口向上的指示杆盲孔，指示杆盲孔具有内螺纹；限位部的直径与腔体的圆形槽体的上段内径对应，杆部的下部的直径与活塞下导向圈的内径对应，杆部的上部的直径与活塞上导向圈的内径对应；限位部的边缘处设有一个向下延伸的与腔体的定位缺口对应的止转部；

膜片由其第一接插榫部紧配合插入阀体的膜片插槽中，腔体的下端面压紧膜片的第一接插榫部；膜片的主部的底面能将阀体的台阶部的上开口封闭；活塞的杆部穿过活塞下导向圈，活塞由其杆部的螺纹连接头旋合插入膜片的连接盲孔中而与膜片上下传动连接，限位部位于腔体的圆形槽体内且能在圆形槽体的上段内上下滑动，止转部插入腔体的定位缺口内防止旋转；端盖的活塞上导向圈套在活塞的杆部的上中部；指示杆螺纹旋合在活塞的指示杆盲孔内能随着活塞上下运动而指示膜片的位置从而判断阀的启闭状态；第三O型圈设置在第三O型圈槽内即密封于腔体与活塞的限位部之间，第四O型圈设置在第四O型圈槽内即密封于活塞的杆部与活塞下导向圈之间，第五O型圈设置在第五O型圈槽内即密封于活塞的杆部与端盖的活塞上导向圈之间。

更更进一步的，启闭组件还包括弹簧；弹簧套在腔体的活塞下导向圈外，弹簧对活塞的限位部下端面施力。

更更进一步的，启闭组件还包括弹簧；弹簧套在端盖的活塞上导向圈外，弹簧对活塞的限位部上端面施力。

本发明具有积极的效果：（1）本发明的用于半导体制造的零死水带旁通阀门在半导体制造设备内空间范围小的要求下，将两个功能的管道及阀门合并为一个管道及阀门，有效减少管路的排布且节省空间；

阀门可以通过执行器的开启控制主管路的大流量超纯水的通过，同时旁通端处也可以调节溢流需要的流量大小，两种功能阀门集于一身，减少了管路的排布。

（2）本发明的用于半导体制造的零死水带旁通阀门大大节省了设备管道及阀门的使用量及同时节省了空间，使得清洗设备外形变小，节省了半导体厂房无尘室的面积，大大降低厂房投入及后期的能耗。

（3）本发明的用于半导体制造的零死水带旁通阀门的旁通隔膜片闭合时，阀体的进液腔体下部内会有少许的死水区，此时转动旁通组件的手轮开启旁通隔膜片，阀体的进液腔体下部的死水会通过旁通孔重新回到出液端及管道里，从而达到阀体内零死水的效果，即在阀体的主管路关闭时也能通过旁通端保持一直有活水，因此能广泛应用于半导体或者制药行业自动化系统中。

（4）本发明的用于半导体制造的零死水带旁通阀门的弹簧可以设置套在端盖的活塞上导向圈外，弹簧对活塞的限位部上端面施力，配合采用第一气连接端，或设置为弹簧套在腔体的活塞下导向圈外，弹簧对活塞的限位部下端面施力，从而配合采用第二气连接端，来控制阀体主管路的启闭，针对不同的使用场景，将弹簧设置上方或下方，适应性较好。且通过更换位置可以增加使用寿命。

附图说明

图1为本发明的用于半导体制造的零死水带旁通阀门的一种结构示意图（主视图）；

图2为图1的俯视图；

图3为图2的A-A面剖视图；

图4为图2的B-B面剖视图；

图5为阀体的一种立体示意图；

图6为膜片的一种立体示意图；

图7为阀体及旁通组件的一种爆炸示意图；

图8为图2的另一种B-B面剖视图。

上述附图中的标记如下：

阀体11，台阶部11-1，分隔部11-2，旁通孔h1，出液孔h2，密封套12，承口螺帽13，腔体14，活塞下导向圈14-1，通气孔h3，第一气连接端p1，第一O型圈15，端盖16，第二气连接端p2，第二O型圈17，底座18，透明罩19，

膜片21，第一弹性环部21-1，活塞22，止转部22-1，第三O型圈23，第四O型圈24，第五O型圈25，弹簧26，指示杆27，

旁通隔膜片31，第二弹性环部31-1，阀杆螺母32，阀杆33，调节螺母34，手轮35，第一锥形盖36，连接螺钉37，定位螺钉38。

具体实施方式

（实施例1）

见图1至图4，本实施例的用于半导体制造的零死水带旁通阀门包括阀体组件及安装在阀体组件上的启闭组件和旁通组件。

阀体组件包括阀体11、密封套12、承口螺帽13、腔体14、第一O型圈15、端盖16、第二O型圈17、底座18和透明罩19。见图5，阀体11包括呈方型的主体和连接在主体左端的出液端、连接在主体右端的进液端、连接在主体后端的旁通端；主体设有开口向上的圆形腔体，其圆形腔体边缘设有用于安装膜片的环形的台阶部11-1而使得台阶部11-1与主体之间具有环形的膜片插槽，主体的中央还设有向上且向右开口的呈直角双通接头状的分隔部11-2，且分隔部11-2低于台阶部11-1，分隔部11-2的内部与进液端贯通，分隔部11-2将阀体11的主体的内腔分隔成与进液端贯通的进液腔体和与出液端贯通的出液腔体，从而分隔部11-2的内部空间即为进液腔体，主体的台阶部11-1处的内壁与分隔部11-2之间的空间即出液腔体由于分隔部11-2的外形而呈右小左大的渐大状；分隔部11-2的底部中央后端设有旁通孔h1，出液腔体的后部设有上下贯通且与旁通孔h1贯通的出液孔h2。阀体11的出液端和进液端均设有外螺纹。阀体11的旁通端与主体连接处设有开口向后的由前向后渐大的三段状第一中央通孔，第一中央通孔的前段孔部与旁通孔h1、出液孔h2均贯通而使得旁通孔h1和出液孔h2贯通，第一中央通孔的中段孔部和后段孔部连接处设有台阶而具有接插部，第一中央通孔的后段孔部设有内螺纹；由于第一中央通孔的前段孔部的圆形设置使得出液孔h2的位置设置高而利于出液。密封套12和承口螺帽13有两套，密封套12分别通过紧配合接插在出液端和进液端，承口螺帽13分别旋合连接在在出液端和进液端的外螺纹上。

腔体14呈与阀体11的主体对应的方型，腔体14设有圆形的开口向上的内腔，且腔体14的下端面设有盘状的接插部，接插部的周向外壁设有第一O型圈槽；腔体14设有开口向上的圆形槽体，且圆形槽体呈上小下大两段状，从而连接处呈台阶状，该台阶状部位设有定位缺口。腔体14的底部中央设有上下贯通的五段状第二中央通孔，其中位于下方的第一段第二中央通孔和第三段第二中央通孔均呈上小下大的喇叭状，且第一段第二中央通孔和第三段第二中央通孔之间的第二段第二中央通孔为环状以形成台阶过渡，位于第三段第二中央通孔上方的第四段第二中央通孔呈环状，第五段第二中央通孔小于第四段第二中央通孔而使得第五段第二中央通孔与第四段第二中央通孔连接处呈台阶状，第五段第二中央通孔处绕孔壁设有活塞下导向圈14-1，活塞下导向圈14-1向上伸入圆形槽体的下段。腔体14的上端面边缘设有一圈圆形的台阶而形成端盖安装槽；腔体14的第三段第一中央通孔处的内壁设有与外界贯通的通气孔h3，腔体14设有与圆形槽体的下段贯通的第一气连接端p1。

端盖16开口向下，其下端设有连接颈部，连接颈部周向设有环形的开口向外的第二O型圈槽，端盖16的轴向中央设有环形的活塞上导向圈，端盖16由于设置活塞上导向圈而具有上下贯通的第三中央通孔，第三中央通孔的上部设有内螺纹。端盖16设有与其内部贯通的第二气连接端p2。

底座18的形状与阀体11的主体下端面对应，底座18设有用于整个阀安装的连接耳。

腔体14由其接插部从上方插入阀体11的主体内而安装在阀体11上，且接插部的下端面与阀体11的台阶部11-1之间具有膜片安装空间；端盖16由其连接颈部插入腔体14内，且端盖16的边缘卡接入端盖安装槽中；底座18设置在阀体11的主体的下方，通过紧固件将端盖16、腔体14、阀体11和底座18连接在一起。第一O型圈15设置在第一O型圈槽内即密封于阀体11与腔体14的接插部之间，第二O型圈17设置在第四二型圈槽内即密封于腔体14与端盖16之间。透明罩19螺纹旋合在端盖16的第三中央通孔的内螺纹上部而安装在端盖16上。

启闭组件包括膜片21、活塞22、第三O型圈23、第四O型圈24、第五O型圈25、弹簧26和指示杆27。膜片21包括主部、位于主部中部外周一圈的喇叭状的第一弹性环部21-1、连接在第一弹性环部21-1外周的径向截面呈倒L形的一圈第一接插榫部，主部的上中部形状与腔体14的第二、三、四段第二中央通孔的形状对应，主部的下部的直径介于分隔部11-2的上开口的内外径之间，主部的底面边缘具有环形的密封圈设计，主部的上端面中央设有开口向上的具有内螺纹的连接盲孔；第一弹性环部21-1能上下弹性弯曲；第一接插榫部与阀体11的膜片插槽对应。

活塞22包括杆部和连接在杆部中央的盘状的限位部，杆部的上中部设有第五O型圈槽、下中部设有第四O型圈槽，限位部的周壁设有环形的第三O型圈槽，杆部的下端设有与膜片21的连接盲孔对应的螺纹连接头，杆部设有开口向上的指示杆盲孔，指示杆盲孔具有内螺纹。限位部的直径与腔体14的圆形槽体的上段内径对应，杆部的下部的直径与活塞下导向圈14-1的内径对应，杆部的上部的直径与活塞上导向圈的内径对应。限位部的边缘处设有一个向下延伸的与腔体14的定位缺口对应的止转部22-1。

见图6，膜片21由其第一接插榫部紧配合插入阀体11的膜片插槽中，腔体14的下端面压紧膜片21的第一接插榫部；膜片21的主部的底面能将阀体11的台阶部11-1的上开口封闭；活塞22的杆部穿过活塞下导向圈14-1，活塞22由其杆部的螺纹连接头旋合插入膜片21的连接盲孔中而与膜片21上下传动连接，限位部位于腔体14的圆形槽体内且能在圆形槽体的上段内上下滑动，止转部22-1插入腔体14的定位缺口内防止旋转；端盖16的活塞上导向圈套在活塞22的杆部的上中部；指示杆27螺纹旋合在活塞22的指示杆盲孔内能随着活塞22上下运动而指示膜片21的位置从而判断阀的启闭状态；弹簧26套在腔体14的活塞下导向圈14-1外，弹簧26对活塞22的限位部下端面施力。第三O型圈23设置在第三O型圈槽内即密封于腔体14与活塞22的限位部之间，第四O型圈24设置在第四O型圈槽内即密封于活塞22的杆部与活塞下导向圈14-1之间，第五O型圈25设置在第五O型圈槽内即密封于活塞22的杆部与端盖16的活塞上导向圈之间。

见图7，旁通组件包括旁通隔膜片31、阀杆螺母32、阀杆33、调节螺母34、手轮35、第一锥形盖36、连接螺钉37和定位螺钉38。旁通隔膜片31包括从前至后依次连接的堵部、主杆部和螺栓头连接部，堵部呈前小后大的圆台状且与旁通孔h1的大小对应；主杆部的后端外周一圈设有喇叭状的第二弹性环部31-1和连接在第二弹性环部31-1外周的径向截面呈倒L形的一圈第二接插榫部，第二接插榫部与阀体11的接插部对应。阀杆螺母32具有与阀体11的第一中央通孔的后段孔的内螺纹对应的外螺纹，阀杆螺母32设有前大后小的两段式第四中央通孔，第四中央通孔的后段具有内螺纹，阀杆螺母32的前端面绕第四中央通孔设有环形的第二弹性环部槽。阀杆33包括从前至后依次连接的卡接头部、螺纹杆部和限位连接部，卡接头部的大小与阀杆螺母32的第四中央通孔的前段孔部对应，卡接头部设有开口向下向前的与旁通隔膜片31的螺栓头连接部对应的卡接槽，螺纹杆部具有与阀杆螺母32的第四中央通孔的后段内螺纹对应的外螺纹，限位连接部的横截面呈腰圆形，阀杆33的后端面中央设有具有内螺纹的连接盲孔。手轮35的前端面具有腰圆形的限位槽，限位槽中央设有连接孔。旁通隔膜片31由其堵部正对旁通孔h1，且由其第二接插榫部紧配合插入阀体11的接插部处的槽中，由其螺栓头连接部插入阀杆33的卡接头部的卡接槽中而连接；阀杆螺母32由其第四中央通孔的后段内螺纹旋合在阀杆33的螺纹杆部上，再在阀杆33向后露出阀杆螺母32的螺纹杆部上旋合上调节螺母34，因此调节螺母34能定位阀杆33及旁通隔膜片31的前后位置；通过连接螺钉37穿过手轮35的连接孔并由手轮35的限位槽扣在阀杆33的限位连接部上后旋合穿入阀杆33的连接盲孔中而连接，第一锥形盖36紧配合插入手轮35的后端开口处以密封。阀杆螺母32由其外螺纹旋合在阀体11的第一中央通孔的后段孔部内，从而将旁通组件安装在阀体11上，再通过定位螺钉38旋转穿过阀体11的旁通端处阀体壁后穿入阀杆螺母32内而止转。手轮35带动阀杆33，阀杆33再带动旁通隔膜片31堵住旁通孔h1及旁通孔h1的打开大小而控制旁通的水流量，调节螺母34在调节流量确定后与阀杆螺母32拧紧。

本实施例的用于半导体制造的零死水带旁通阀门使用时，将阀体11的出液端和进液端通过密封套12和承口螺帽13与相应的管道连接，将第二气连接端p2与气源的接口螺纹连接，气源通过第二气连接端p2驱动活塞22动作来控制整个用于半导体制造的零死水带旁通阀门的启闭，具体来讲，活塞22带动膜片21上下运动来控制膜片21的封闭或脱离分隔部11-2的上开口从而控制进液腔体与出液腔体是否贯通，通过透明罩19可以观察指示杆27的位置，来判断阀体11处于开启还是闭合状态，膜片21将液质通道封闭，实施进液管路的开启操控后，第二气连接端p2泄压，弹簧26的弹力推动活塞22带动膜片21向上运动，阀体11打开；实施阀体11的的闭合操控后，第二气连接端p2充气，使得活塞22克服弹簧26的弹力带动膜片21向下运动，阀体11关闭。在阀体11打开时，操控旁通组件的手轮35旋转带动阀杆33，阀杆33再带动旁通隔膜片31前后运动而堵住旁通孔h1或控制旁通孔h1的打开大小而控制旁通的液质流量，调节螺母34在调节流量确定后与阀杆螺母32拧紧而定位调节位置，确保调节流量的大小不会波动，从而在阀体11的后侧面增加了一个可以调节流量大小的旁通端。如图8所示，第一气连接端p1和第二气连接端p2设计使得可根据使用场景的不同，将弹簧26设置在下方或上方活塞上导向圈外，从而选择性使用第一气连接端p1或第二气连接端p2，以应对不同的制造场景需求，适应性较好。并且，本实施例的用于半导体制造的零死水带旁通阀门的旁通隔膜片31闭合时，阀体11的进液腔体下部内会有少许的死水区，此时转动旁通组件的手轮35开启旁通隔膜片31，阀体11的进液腔体下部的死水会通过旁通孔h1重新回到出液端及管道里，从而达到阀体11内零死水的效果，即在阀体11的主管路关闭时也能通过旁通端保持一直有活水，因此能广泛应用于半导体或者制药行业自动化系统中。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。

Claims (7)

1.一种用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：包括阀体组件及安装在阀体组件上的旁通组件；

阀体组件包括阀体（11）；阀体（11）包括呈方型的主体和连接在主体左端的出液端、连接在主体右端的进液端、连接在主体后端的旁通端；主体设有开口向上的圆形腔体，主体的中央设有向上且向右开口的呈直角双通接头状的分隔部（11-2），分隔部（11-2）的内部与进液端贯通，分隔部（11-2）将阀体（11）的主体的内腔分隔成与进液端贯通的进液腔体和与出液端贯通的出液腔体，从而分隔部（11-2）的内部空间即为进液腔体；分隔部（11-2）的底部中央后端设有旁通孔（h1），出液腔体的后部设有上下贯通且与旁通孔（h1）贯通的出液孔（h2）；阀体（11）的旁通端与主体连接处设有开口向后的由前向后渐大的三段状第一中央通孔，第一中央通孔的前段孔部与旁通孔（h1）、出液孔（h2）均贯通而使得旁通孔（h1）和出液孔（h2）贯通；

旁通组件包括旁通隔膜片（31）、阀杆螺母（32）、阀杆（33）、调节螺母（34）和手轮（35）；旁通隔膜片（31）设有旁通孔（h1）的大小对应的堵部；阀杆螺母（32）设有第四中央通孔，第四中央通孔的后段具有内螺纹；阀杆（33）设有螺纹杆部，螺纹杆部具有与阀杆螺母（32）的第四中央通孔的后段内螺纹对应的外螺纹；旁通隔膜片（31）与阀杆（33）前后传动连接，阀杆螺母（32）由其第四中央通孔的后段内螺纹旋合在阀杆（33）的螺纹杆部上，再在阀杆（33）向后露出阀杆螺母（32）的螺纹杆部上旋合上调节螺母（34）；阀杆（33）与手轮（35）连接在一起且能共同旋转而相对阀杆螺母（32）前后运动；阀杆螺母（32）可拆卸的设置于第一中央通孔的后段孔部内，且旁通隔膜片（31）由其堵部正对旁通孔（h1）。

2.根据权利要求1所述的用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：阀体（11）的第一中央通孔的中段孔部和后段孔部连接处设有台阶而具有接插部；第一中央通孔的后段孔部设有内螺纹；

旁通组件还包括定位螺钉（38）；旁通隔膜片（31）还包括与堵部从前至后依次主杆部和螺栓头连接部，堵部呈前小后大的圆台状且与旁通孔（h1）的大小对应；主杆部的后端外周一圈设有喇叭状的第二弹性环部（31-1）和连接在第二弹性环部（31-1）外周的径向截面呈倒L形的一圈第二接插榫部，第二接插榫部与阀体（11）的接插部对应；阀杆螺母（32）具有与阀体（11）的第一中央通孔的后段孔的内螺纹对应的外螺纹，阀杆螺母（32）设有前大后小的两段式第四中央通孔，第四中央通孔的后段具有内螺纹，阀杆螺母（32）的前端面绕第四中央通孔设有环形的第二弹性环部槽；阀杆（33）包括从前至后依次连接的卡接头部和螺纹杆部，卡接头部的大小与阀杆螺母（32）的第四中央通孔的前段孔部对应，卡接头部设有开口向下向前的与旁通隔膜片（31）的螺栓头连接部对应的卡接槽；旁通隔膜片（31）由其第二接插榫部紧配合插入阀体（11）的接插部处的槽中，由其螺栓头连接部插入阀杆（33）的卡接头部的卡接槽中而连接；阀杆螺母（32）由其外螺纹旋合在阀体（11）的第一中央通孔的后段孔部内，从而将旁通组件安装在阀体（11）上，再通过定位螺钉（38）旋转穿过阀体（11）的旁通端处阀体壁后穿入阀杆螺母（32）内而止转。

3.根据权利要求2所述的用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：旁通组件还包括第一锥形盖（36）和连接螺钉（37）；

阀杆（33）还包括设置于螺纹杆部后方的限位连接部，限位连接部的横截面呈腰圆形，阀杆（33）的后端面中央设有具有内螺纹的连接盲孔；手轮（35）的前端面具有腰圆形的限位槽，限位槽中央设有连接孔；通过连接螺钉（37）穿过手轮（35）的连接孔并由手轮（35）的限位槽扣在阀杆（33）的限位连接部上后旋合穿入阀杆（33）的连接盲孔中而连接，第一锥形盖（36）紧配合插入手轮（35）的后端开口处以密封。

4.根据权利要求1所述的用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：阀体组件还包括密封套（12）、承口螺帽（13）、腔体（14）、第一O型圈（15）、端盖（16）、第二O型圈（17）、底座（18）和透明罩（19）；

阀体（11）的圆形腔体边缘设有用于安装膜片的环形的台阶部（11-1）而使得台阶部（11-1）与主体之间具有环形的膜片插槽，且分隔部（11-2）低于台阶部（11-1），主体的台阶部（11-1）处的内壁与分隔部（11-2）之间的空间即出液腔体由于分隔部（11-2）的外形而呈右小左大的渐大状；阀体（11）的出液端和进液端均设有外螺纹；

密封套（12）和承口螺帽（13）有两套，密封套（12）分别通过紧配合接插在出液端和进液端，承口螺帽（13）分别旋合连接在出液端和进液端的外螺纹上；

腔体（14）呈与阀体（11）的主体对应的方型，腔体（14）设有圆形的开口向上的内腔，且腔体（14）的下端面设有盘状的接插部，接插部的周向外壁设有第一O型圈槽；腔体（14）设有开口向上的圆形槽体，且圆形槽体呈上小下大两段状，从而连接处呈台阶状，该台阶状部位设有定位缺口；腔体（14）的底部中央设有上下贯通的五段状第二中央通孔，其中位于下方的第一段第二中央通孔和第三段第二中央通孔均呈上小下大的喇叭状，且第一段第二中央通孔和第三段第二中央通孔之间的第二段第二中央通孔为环状以形成台阶过渡，位于第三段第二中央通孔上方的第四段第二中央通孔呈环状，第五段第二中央通孔小于第四段第二中央通孔而使得第五段第二中央通孔与第四段第二中央通孔连接处呈台阶状，第五段第二中央通孔处绕孔壁设有活塞下导向圈（14-1），活塞下导向圈（14-1）向上伸入圆形槽体的下段；腔体（14）的上端面边缘设有一圈圆形的台阶而形成端盖安装槽；腔体（14）的第三段第一中央通孔处的内壁设有与外界贯通的通气孔（h3），腔体（14）设有与圆形槽体的下段贯通的第一气连接端（p1）；

端盖（16）开口向下，其下端设有连接颈部，连接颈部周向设有环形的开口向外的第二O型圈槽，端盖（16）的轴向中央设有环形的活塞上导向圈，端盖（16）由于设置活塞上导向圈而具有上下贯通的第三中央通孔，第三中央通孔的上部设有内螺纹；端盖（16）设有与其内部贯通的第二气连接端（p2）；

底座（18）的形状与阀体（11）的主体下端面对应，底座（18）设有用于整个阀安装的连接耳；

腔体（14）由其接插部从上方插入阀体（11）的主体内而安装在阀体（11）上，且接插部的下端面与阀体（11）的台阶部（11-1）之间具有膜片安装空间；端盖（16）由其连接颈部插入腔体（14）内，且端盖（16）的边缘卡接入端盖安装槽中；底座（18）设置在阀体（11）的主体的下方，通过紧固件将端盖（16）、腔体（14）、阀体（11）和底座（18）连接在一起；第一O型圈（15）设置在第一O型圈槽内即密封于阀体（11）与腔体（14）的接插部之间，第二O型圈（17）设置在第四二型圈槽内即密封于腔体（14）与端盖（16）之间；透明罩（19）螺纹旋合在端盖（16）的第三中央通孔的内螺纹上部而安装在端盖（16）上。

5.根据权利要求4所述的用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：还包括安装在阀体组件上的启闭组件；

启闭组件包括膜片（21）、活塞（22）、第三O型圈（23）、第四O型圈（24）、第五O型圈（25）和指示杆（27）；膜片（21）包括主部、位于主部中部外周一圈的喇叭状的第一弹性环部（21-1）、连接在第一弹性环部（21-1）外周的径向截面呈倒L形的一圈第一接插榫部，主部的上中部形状与腔体（14）的第二、三、四段第二中央通孔的形状对应，主部的下部的直径介于分隔部（11-2）的上开口的内外径之间，主部的底面边缘具有环形的密封圈设计，主部的上端面中央设有开口向上的具有内螺纹的连接盲孔；第一弹性环部（21-1）能上下弹性弯曲；第一接插榫部与阀体（11）的膜片插槽对应；

活塞（22）包括杆部和连接在杆部中央的盘状的限位部，杆部的上中部设有第五O型圈槽、下中部设有第四O型圈槽，限位部的周壁设有环形的第三O型圈槽，杆部的下端设有与膜片（21）的连接盲孔对应的螺纹连接头，杆部设有开口向上的指示杆盲孔，指示杆盲孔具有内螺纹；限位部的直径与腔体（14）的圆形槽体的上段内径对应，杆部的下部的直径与活塞下导向圈（14-1）的内径对应，杆部的上部的直径与活塞上导向圈的内径对应；限位部的边缘处设有一个向下延伸的与腔体（14）的定位缺口对应的止转部（22-1）；

膜片（21）由其第一接插榫部紧配合插入阀体（11）的膜片插槽中，腔体（14）的下端面压紧膜片（21）的第一接插榫部；膜片（21）的主部的底面能将阀体（11）的台阶部（11-1）的上开口封闭；活塞（22）的杆部穿过活塞下导向圈（14-1），活塞（22）由其杆部的螺纹连接头旋合插入膜片（21）的连接盲孔中而与膜片（21）上下传动连接，限位部位于腔体（14）的圆形槽体内且能在圆形槽体的上段内上下滑动，止转部（22-1）插入腔体（14）的定位缺口内防止旋转；端盖（16）的活塞上导向圈套在活塞（22）的杆部的上中部；指示杆（27）螺纹旋合在活塞（22）的指示杆盲孔内能随着活塞（22）上下运动而指示膜片（21）的位置从而判断阀的启闭状态；第三O型圈（23）设置在第三O型圈槽内即密封于腔体（14）与活塞（22）的限位部之间，第四O型圈（24）设置在第四O型圈槽内即密封于活塞（22）的杆部与活塞下导向圈（14-1）之间，第五O型圈（25）设置在第五O型圈槽内即密封于活塞（22）的杆部与端盖（16）的活塞上导向圈之间。

6.根据权利要求5所述的用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：启闭组件还包括弹簧（26）；弹簧（26）套在腔体（14）的活塞下导向圈（14-1）外，弹簧（26）对活塞（22）的限位部下端面施力。

7.根据权利要求5所述的用于半导体制造的零死水带旁通阀门，其特征在于：启闭组件还包括弹簧（26）；弹簧（26）套在端盖（16）的活塞上导向圈外，弹簧（26）对活塞（22）的限位部上端面施力。