CN117233602A - 刺晶机老化检测方法和刺晶机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种刺晶机老化检测方法和刺晶机。刺晶机老化检测方法包括：获取刺晶机的标准运行数据，标准运行数据包括刺晶机的电机的标准电流数据与标准位置数据；获取刺晶机的实际运行数据，实际运行数据包括电机的实际电流数据与实际位置数据；计算标准位置数据和实际位置数据的位置偏差值；当位置偏差值小于等于预设位置偏差值，计算标准电流数据和实际电流数据的电流偏差值；根据电流偏差值，确定刺晶机的老化状态。上述刺晶机老化检测方法和刺晶机，通过实时获取实际电流数据，并计算实际电流数据与标准电流数据之间的电流偏差值，可以及时判断出电机老化状态，提高了检测刺晶机老化状态的灵活性与及时性。

Description

刺晶机老化检测方法和刺晶机

技术领域

本申请涉及集成电路技术领域，特别是涉及一种刺晶机老化检测方法和刺晶机。

背景技术

在转移芯片的过程中，常使用刺晶机。刺晶机中可以将大量芯片自临时基板快速转移至产品基板上。刺晶机工作一段时间后，其电机等设备会出现老化，从而影响芯片的转移效率。现有技术中，常在固定周期内对刺晶机进行老化检测，这种检测方法会造成刺晶机老化判定滞后的现象。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够实时检测刺晶机老化状态的刺晶机老化检测方法和刺晶机。

一方面，本申请提供一种刺晶机老化检测方法，所述方法包括：

获取刺晶机的标准运行数据，所述标准运行数据包括所述刺晶机的电机的标准电流数据；

获取所述刺晶机的实际运行数据，所述实际运行数据包括所述电机的实际电流数据；

计算所述标准电流数据和所述实际电流数据的电流偏差值；

根据所述电流偏差值，确定所述刺晶机的老化状态。

在其中一个实施例中，所述获取刺晶机的标准运行数据，包括：

计算所述刺晶机的刺针位于预设位置时的所述电机的理论电流数据；

控制所述刺晶机进行刺晶测试，并获得所述刺晶机的刺针位于所述预设位置时，所述电机的测试电流数据；

基于所述理论电流数据和所述测试电流数据，获得所述标准电流数据。

在其中一个实施例中，所述计算所述刺晶机的刺针位于预设位置时的所述电机的理论电流数据包括：

获得所述刺针的针尖高度；

获得所述刺晶机的基准载台的基准面高度；

基于所述针尖高度和所述基准面高度，计算所述刺针位于预设位置时，所述电机的理论电流数据。

在其中一个实施例中，所述预设位置为所述刺针位于最低点的位置。

在其中一个实施例中，所述根据所述电流偏差值，确定所述刺晶机的老化状态，包括：

当所述电流偏差值大于等于预设电流偏差值，确定所述刺晶机老化。

在其中一个实施例中，所述当所述电流偏差值大于等于预设电流偏差值，确定所述刺晶机老化，包括：

当所述电流偏差值大于等于预设电流偏差值，发送所述刺晶机需要检修的警报。

在其中一个实施例中，所述根据所述电流偏差值，确定所述刺晶机的老化状态，包括：

当所述电流偏差值小于预设电流偏差值，确定所述刺晶机没有老化。

在其中一个实施例中，所述预设电流偏差值小于百分之三。

在其中一个实施例中，所述标准运行数据包括所述电机的标准行程数据，所述实际运行数据包括所述电机的实际行程数据。

另一方面，本申请提供一种刺晶机，所述刺晶机包括：

刺针；

电机，与所述刺针连接，控制所述刺针沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向垂直；

基准载台，位于所述刺针下方，所述基准载台与所述第一方向平行且与所述第二方向垂直；

控制装置，与所述电机连接，且所述控制装置执行前述的刺晶机检测方法。

上述刺晶机老化检测方法和刺晶机，通过实时获取实际电流数据，并计算实际电流数据与标准电流数据之间的电流偏差值，可以及时判断出电机老化状态，并根据电机老化状态对刺晶机做出是否维修或者更换的决定，提高了检测刺晶机老化状态的灵活性与及时性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一个实施例提供的刺晶机示意图；

图2为另一个实施例提供的刺晶机示意图；

图3为一个实施例提供刺晶机老化检测方法的流程图；

图4为一个实施例提供的检测曲线示意图；

图5为一个实施例中刺晶机老化检测装置的结构框图。

附图标记说明：刺针-100；电机-110；第一电机-111；第二电机-112；连接装置-120。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的首选实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。

本申请提供的刺晶机老化检测方法，可以应用于终端环境中。终端可以但不限于是各种个人计算机、笔记本电脑、智能手机、平板电脑。

在一个实施例中，请参阅图1和图2，本申请提供一种刺晶机。刺晶机包括刺针100、电机110、基准载台以及控制装置。

刺针100用于将临时基板上的芯片转移至其下方的基准载台上。刺针100与电机110通过连接装置120连接，刺晶机通过电机110控制刺针100沿第一方向和第二方向移动，将临时基板上的芯片转移至基准载台上。作为示例，第一方向和第二方向垂直，例如，第一方向可以为水平方向，第二方向可以为竖直方向，此时，基准载台与第一方向平行且与第二方向垂直。

电机110可以包括第一电机111和第二电机112。例如，第一电机111控制刺针100沿第一方向移动，第二电机112控制刺针100沿第二方向移动。请参阅图2，第一电机111可以为电机M1，第二电机112可以为电机M2。

刺晶机的控制装置与电机110连接，用于控制电机110的工作状态。作为示例，控制装置可以集成于个人计算机或者笔记本电脑等终端中。

在刺晶机工作一段时间后，电机110或者连接装置120等可能发生老化。作为示例，刺晶机工作中，连接装置120收到来自电机110和刺针100两个方向的拉力。刺针100每完成一次下扎动作，刺晶机的使用次数增加一次。随着刺晶机运行速度和时间的叠加，使用次数不断累加，直到到达刺晶机预设使用次数上限，刺晶机系统提示进行更换装置，以保障后续设备的稳定量产加工。

刺晶机随着老化时间推移，在达到损坏临界点前，机械特性变化微小可以不做考虑，但是一旦达到临界点刺晶机的连接装置120会很快的出现非常大的特性变化，需要立马进行更换。

因此，在一个实施例中，提供一种刺晶机老化检测方法，用以实时检测电机110的老化状态。刺晶机老化检测方法可以应用于刺晶机的控制装置。

请参阅图3，刺晶机老化检测方法包括以下步骤：

步骤S100：获取刺晶机的标准运行数据，标准运行数据包括刺晶机的电机110的标准电流数据与标准位置数据。

步骤S200：获取刺晶机的实际运行数据，实际运行数据包括电机110的实际电流数据与实际位置数据。

步骤S300：计算标准位置数据和实际位置数据的位置偏差值。

步骤S400：当位置偏差值小于等于预设位置偏差值，计算标准电流数据和实际电流数据的电流偏差值。

步骤S500：根据电流偏差值，确定刺晶机的老化状态。

在步骤S100中，标准电流数据为刺晶机电机110在正常工作流程中的电流的变化数据。作为示例，标准电流数据可以包括电机110在不同行程中的数据。例如，标准电流数据包括电机110控制刺针100在水平方向移动时的数据，以及电机110控制刺针100在竖直方向移动时的数据。

标准运行数据还包括刺晶机的电机110的标准位置数据。

在步骤S200中，实际运行数据为对电机110进行实时监控时获得的电流的变化数据。可以理解，实际运行数据也可以包括电机110在不同行程中的数据。此时，实际运行数据中的电机行程应当与标准电流数据中的电机行程对应。

同样，实际运行数据包括电机110的实际位置数据。

在步骤S300中，标准位置数据可以为电机110控制刺针100移动时的标准移动数据，实际运行数据可以为电机110控制刺针100移动时实际移动数据。电机110的标准移动数据和实际移动数据均可以为电机110控制刺针100移动时的移动坐标。

控制装置会通过控制电机110的移动从而控制刺针100移动。此时，电机110的移动可能会出现偏差，即标准位置数据和实际位置数据可能会不同，导致出现位置偏差值。

在步骤S400中，当位置偏差值小于等于预设位置偏差值，表明电机110的移动的精度符合要求。此时，再计算标准电流数据和实际电流数据的电流偏差值，若当电流偏差值大于等于预设电流偏差值，确定这种电流偏差值并不是由于电机110的移动的精度导致的，而是由于刺晶机老化导致的。

当位置偏差值大于预设位置偏差值，表明电机110的移动的精度（例如，电机110的移动重复性）不符合要求。此时，若当电流偏差值大于等于预设电流偏差值，也无法确定这种电流偏差值是由于电机110的移动的精度导致的，还是由于刺晶机老化导致的。因此当位置偏差值大于预设位置偏差值，可以先不进行后续步骤。

请参阅图4，实际电流数据可能与标准电流数据具有偏差。电流偏差值用于衡量实际电流数据相较于标准电流数据的偏差程度。例如，电流偏差值为实际电流数据与标准电流数据之间的差值。

在步骤S500中，电流偏差值反映出刺晶机的老化状态。例如，刺晶机的老化状态可以为电机110的老化状态，或者连接装置120的老化状态。

作为示例，当电流偏差值大于等于预设电流偏差值，确定刺晶机老化。当电流偏差值小于预设电流偏差值，确定刺晶机没有老化。预设电流偏差值可以小于百分之三。例如，预设电流偏差值可以为百分之二。

本实施例中，通过实时获取实际电流数据，并计算实际电流数据与标准电流数据之间的电流偏差值，可以及时判断出刺晶机的老化状态，并根据刺晶机的老化状态对刺晶机做出是否维修或者更换的决定。与传统技术相比，本实施例中的刺晶机老化检测方法可以对刺晶机做到实时监控，而不需要在固定检测周期内才检测刺晶机，提高了检测刺晶机老化状态的灵活性与及时性。

而且，本实施例中可以在刺晶机工作的同时获取实际电流数据，即实际电流数据可以为每次刺晶机工作的电流数据，从而使得本实施例无需单独测试电机110或者连接装置120等结构的老化状态。每次刺晶机工作都可认为对刺晶机进行一次老化检测，更加无需为刺晶机设置固定检测周期，以此提高了刺晶机的工作效率。

此外，实际运行数据中包括电机的行程，从而可以通过查找电流偏差值所在的电机的行程数据，定位至问题行程段。

同时，本实施例中，通过先计算位置偏差值，且当位置偏差值小于等于预设位置偏差值，再计算标准电流数据和实际电流数据的电流偏差值，如此排除了由于电机110的移动的精度导致电流偏差值大于等于预设电流偏差值，从而误判刺晶机老化的可能性。

标准电流数据可以为电流环数据，标准位置数据可以为位置环数据，电流环的曲线和位置环曲线相对应且拟合的。此外，由于针刺转移的芯片量非常大，所以在实际测试过程中，可以仅针对针刺转移的首行，中间行和尾行进行本实施例的操作，从而不占用太多系统资源。

在一个实施例中，在步骤S500包括：

步骤S510：当电流偏差值大于等于预设电流偏差值，发送刺晶机需要检修的警报。

当电流偏差值大于等于预设电流偏差值，认为刺晶机的组成设备（例如，刺晶机的电机110等）需要维修或者更换。此时，设置控制装置（例如，服务器等）向客户端（例如，个人电脑等）等发送刺晶机需要检修的警报。当工作人员查收警报，即可快速对刺晶机的组成设备进行维修或者更换。

作为示例，警报可以为客户端中的提示消息。

在一个实施例中，步骤S100包括：

步骤S110：计算刺晶机的刺针100位于预设位置时的电机110的理论电流数据。

步骤S120：控制刺晶机进行刺晶测试，并获得刺晶机的刺针100位于预设位置时，电机110的测试电流数据。

步骤S130：基于理论电流数据和测试电流数据，获得标准电流数据。

在步骤S110中，电机110的理论电流数据可以通过相应的公式计算获得。理论电流数据可以为计算获得的刺针100位于最低点时的电机110的电流数据。

在步骤S120中，控制刺晶机进行实际刺晶测试，并获得刺针100位于最低点时的电机110的电流数据。

在步骤S130中，作为示例，可以基于测试电流数据，微量修正理论电流数据，并将修正后的理论电流数据作为标准电流数据。

在另一个示例中，可以通过计算理论电流数据和测试电流数据的平均值，将该平均值作为标准电流数据。

本实施例中，通过理论电流数据和测试电流数据得出标准电流数据，考虑到了刺晶机实际工作时，其测试电流数据与理论电流数据可能不同的情况。通过本实施例计算获得的标准电流数据更符合刺晶机的实际运行情况。

在一个实施例中，步骤S110包括：

步骤S111：获得刺针100的针尖高度。

步骤S112：获得刺晶机的基准载台的基准面高度。

步骤S113：基于针尖高度和基准面高度，计算刺针100位于预设位置时，电机110的理论电流数据。

在步骤S111中，获得刺针100的针尖高度可以为对针尖进行高度标定。作为示例，刺晶机可以具备高度标定单元，通过压力传感器进行针尖的高度标定，此过程中，可以重复三次做标定做校验。

在步骤S112中，基准载台可能具有坡度，此时，可以使用激光传感器对基准载台进行多点测高，测算出基准载台的基准面高度。

在步骤S113中，可以基于针尖高度和基准面高度，并根据轨迹拟合，计算刺针100位于最低点时，电机110的理论电流数据。

应该理解的是，虽然图3的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图3中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

在一个实施例中，如图5所示，提供了一种刺晶机老化检测装置，内嵌于刺晶机的控制装置。

刺晶机老化检测装置包括：

第一获取模块，用于获取刺晶机的标准运行数据，标准运行数据包括刺晶机的电机110的标准电流数据。

第二获取模块，用于获取刺晶机的实际运行数据，实际运行数据包括电机110的实际电流数据。

计算模块，用于计算标准电流数据和实际电流数据的电流偏差值。

确定模块，用于根据电流偏差值，确定刺晶机的老化状态。

关于刺晶机老化检测装置的具体限定可以参见上文中对于刺晶机老化检测方法的限定，在此不再赘述。上述刺晶机老化检测装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。

在一个实施例中，提供了一种计算机设备，该计算机设备可以是终端。该计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、通信接口、显示屏和输入装置。其中，该计算机设备的处理器用于提供计算和控制能力。该计算机设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该计算机设备的通信接口用于与外部的终端进行有线或无线方式的通信，无线方式可通过WIFI、移动蜂窝网络、NFC（近场通信）或其他技术实现。该计算机程序被处理器执行时以实现一种刺晶机老化检测方法。该计算机设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该计算机设备的输入装置可以是显示屏上覆盖的触摸层，也可以是计算机设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。

在一个实施例中，提供了一种计算机设备、计算机可读存储介质、计算机程序产品，计算机设备、计算机可读存储介质、计算机程序产品可以实现以下步骤：

步骤S100：获取刺晶机的标准运行数据，标准运行数据包括刺晶机的电机110的标准电流数据。

步骤S200：获取刺晶机的实际运行数据，实际运行数据包括电机110的实际电流数据。

步骤S400：计算标准电流数据和实际电流数据的电流偏差值。

步骤S500：根据电流偏差值，确定刺晶机的老化状态。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器（Read-Only Memory，ROM）、磁带、软盘、闪存或光存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器（Random Access Memory，RAM）或外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器（Static Random Access Memory，SRAM）或动态随机存取存储器（Dynamic Random Access Memory，DRAM）等。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种刺晶机老化检测方法，其特征在于，所述方法包括：

获取刺晶机的标准运行数据，所述标准运行数据包括所述刺晶机的电机的标准电流数据与标准位置数据；

获取所述刺晶机的实际运行数据，所述实际运行数据包括所述电机的实际电流数据与实际位置数据；

计算所述标准位置数据和所述实际位置数据的位置偏差值；

当所述位置偏差值小于等于预设位置偏差值，计算所述标准电流数据和所述实际电流数据的电流偏差值；

根据所述电流偏差值，确定所述刺晶机的老化状态。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取刺晶机的标准运行数据，包括：

计算所述刺晶机的刺针位于预设位置时的所述电机的理论电流数据；

控制所述刺晶机进行刺晶测试，并获得所述刺晶机的刺针位于所述预设位置时，所述电机的测试电流数据；

基于所述理论电流数据和所述测试电流数据，获得所述标准电流数据。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述计算所述刺晶机的刺针位于预设位置时的所述电机的理论电流数据包括：

获得所述刺针的针尖高度；

获得所述刺晶机的基准载台的基准面高度；

基于所述针尖高度和所述基准面高度，计算所述刺针位于预设位置时，所述电机的理论电流数据。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预设位置为所述刺针位于最低点的位置。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述电流偏差值，确定所述刺晶机的老化状态，包括：

当所述电流偏差值大于等于预设电流偏差值，确定所述刺晶机老化。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述当所述电流偏差值大于等于预设电流偏差值，确定所述刺晶机老化，包括：

当所述电流偏差值大于等于预设电流偏差值，发送所述刺晶机需要检修的警报。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述电流偏差值，确定所述刺晶机的老化状态，包括：

当所述电流偏差值小于预设电流偏差值，确定所述刺晶机没有老化。

8.根据权利要求5或7任一项所述的方法，其特征在于，所述预设电流偏差值小于百分之三。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标准运行数据包括所述电机的标准行程数据，所述实际运行数据包括所述电机的实际行程数据。

10.一种刺晶机，其特征在于，所述刺晶机包括：

刺针；

电机，与所述刺针连接，控制所述刺针沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向和所述第二方向垂直；

基准载台，位于所述刺针下方，所述基准载台与所述第一方向平行且与所述第二方向垂直；

控制装置，与所述电机连接，且所述控制装置执行如权利要求1-9任一项所述的刺晶机检测方法。