CN117135957A - 显示面板及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种显示面板及其制备方法，包括层间介质层，层间介质层上设有间隔的多个隔离柱，隔离柱包括叠置的第一部分和第二部分，第一部分与第二部分形成第一凹陷部，层间介质层上设有第一气相沉积层，第一气相沉积层覆盖隔离柱，第一气相沉积层上设有喷墨打印层，喷墨打印层填充第一凹陷部。根据本申请实施例提供的技术方案，通过在隔离柱上形成的两层气相沉积层之间增加设置喷墨打印层，通过喷墨打印层的墨水材料填充住隔离柱形成的凹陷部位，使得第二气相沉积层进行覆盖的时候，在相应的凹陷部位不会出现第二气相沉积材料过剩的情况，隔离柱凹陷位置也不会有应力集中从而产生的断裂风险。

Description

显示面板及其制备方法

技术领域

本发明一般涉及显示技术领域，尤其涉及显示面板及其制备方法。

背景技术

有效的封装对有机发光二极管(OLED)材料很是关键，封装性能直接影响AMOLED设备的寿命与光照性能，尤其是显示面板上。薄膜封装(TFE)让AMOLED设备更强、更轻更灵活。

目前显示区上的孔区旁设有隔离坝(AA Hole Dam)内外侧有倒梯形的隔离柱设计，目的是为隔断阴极，防止孔区位置切割后导致水氧从阴极层入侵造成信赖性失效，目前AA Hole Dam以内封装结构包括两层气相沉积层，相应的气相沉积层在倒梯形的隔离柱处会有堆积导致应力集中从而产生断裂的风险，容易造成水氧入侵，造成黑斑等(AA Hole位置产生的GDS)信赖性不良。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种显示面板及其制备方法。

第一方面，提供一种显示面板，包括：显示有效区和孔区，所述显示有效区围绕所述孔区设置，所述显示有效区与所述孔区之间为隔离区，所述隔离区上设有多个隔离柱，

所述显示面板包括层间介质层，所述层间介质层上设有间隔的多个所述隔离柱，所述隔离柱包括叠置的第一部分和第二部分，所述第一部分宽度大于所述第二部分宽度，所述第一部分与所述第二部分形成第一凹陷部，

所述层间介质层上设有第一气相沉积层，所述第一气相沉积层覆盖所述隔离柱，

所述第一气相沉积层上设有喷墨打印层，所述喷墨打印层填充所述第一凹陷部；

所述喷墨打印层上设有第二气相沉积层，所述第二气相沉积层覆盖所述第一气相沉积层和所述喷墨打印层。

作为可实现的方式，所述喷墨打印层与所述第一气相沉积层之间形成第二凹陷部，所述第二凹陷部深度小于所述第一凹陷部深度。

作为可实现的方式，所述第二凹陷部的角度为钝角。

作为可实现的方式，所述喷墨打印层高度小于所述隔离柱高度。

作为可实现的方式，所述喷墨打印层在所述层间介质层上的正投影，与所述隔离柱在所述层间介质层上的正投影无交叠

作为可实现的方式，所述第二气相沉积层在所述第二凹陷部位置的厚度，小于所述第二气相沉积层在相邻的所述喷墨打印层之间的厚度

作为可实现的方式，相邻所述隔离柱之间的所述喷墨打印层间断设置，

所述显示有效区靠近所述隔离区的位置设有阻挡坝，靠所述阻挡坝的两个所述隔离柱之间的间断设置的所述喷墨打印层之间的间距，小于远离所述阻挡坝的两个所述隔离柱之间的间断设置的所述喷墨打印层之间的间距。

第二方面，提供一种上述的显示面板的制备方法，包括步骤：

提供一基板，所述基板上方形成有层间介质层，所述层间介质层上划分有隔离区，所述隔离区内设有多个隔离柱，

在所述层间介质层上形成第一气相沉积层，所述第一气相沉积层覆盖所述层间介质层和所述隔离柱设置，

在所述隔离柱上形成第一喷墨打印层，所述第一喷墨打印层设置在所述隔离区内，

对所述第一喷墨打印层进行刻蚀，直至相邻所述隔离柱之间的喷墨材料间隔设置，形成第二喷墨打印层，

在所述第二喷墨打印层上形成第二气相沉积层，所述第二气相沉积层覆盖所述第一气相沉积层和所述隔离柱设置。

作为可实现的方式，所述第一喷墨打印层的厚度为0.2-1μm。

作为可实现的方式，所述第二喷墨打印层高度为0.1-1μm。

根据本申请实施例提供的技术方案，通过在隔离柱上形成的两层气相沉积层之间增加设置喷墨打印层，通过喷墨打印层的墨水材料填充住隔离柱形成的凹陷部位，使得第二气相沉积层进行覆盖的时候，在相应的凹陷部位不会出现第二气相沉积材料过剩的情况，隔离柱凹陷位置也不会有应力集中从而产生的断裂风险，使得隔离柱位置具有良好的隔离效果，不会出现水氧入侵，从而产生显示面板信赖性不良的问题。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实施例中显示面板结构示意图；

图2为本实施例中显示面板俯视示意图；

图3为本实施例中显示面板局部示意图；

图4-图6为本实施例中显示面板制备过程示意图；

图7-图8为本实施例中隔离柱结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1至图8，本实施例提供一种显示面板，包括：显示有效区A和孔区C，所述显示有效区A围绕所述孔区C设置，所述显示有效区A与所述孔区C之间为隔离区B，所述隔离区B上设有多个隔离柱30，

所述显示面板包括层间介质层10，所述层间介质层10上设有间隔的多个所述隔离柱30，所述隔离柱30包括叠置的第一部分和第二部分，所述第一部分宽度大于所述第二部分宽度，所述第一部分与所述第二部分形成第一凹陷部60，

所述层间介质层10上设有第一气相沉积层20，所述第一气相沉积层20覆盖所述隔离柱30，

所述第一气相沉积层20上设有喷墨打印层40，所述喷墨打印层40填充所述第一凹陷部60；

所述喷墨打印层40上设有第二气相沉积层50，所述第二气相沉积层50覆盖所述第一气相沉积层20和所述喷墨打印层40。

本实施例提供的显示面板通过在隔离柱30上形成的两层气相沉积层之间增加设置喷墨打印层40，通过喷墨打印层40的墨水材料填充住隔离柱30形成的凹陷部位，使得第二气相沉积层50进行覆盖的时候，在相应的凹陷部位不会出现第二气相沉积材料过剩的情况，隔离柱30凹陷位置也不会有应力集中从而产生的断裂风险，使得隔离柱30位置具有良好的隔离效果，不会出现水氧入侵，从而产生显示面板信赖性不良的问题。

如图2所示，本实施例中的显示面板设有孔区C，围绕孔区C设置有隔离区B，隔离区B外围为显示有效区A，至于显示面板边缘位置还设有边框区域等，在此不做限制，通过设置在显示有效区A和孔区C之间的隔离区B进行水氧隔离，尤其会通过阴极层进入显示有效区A，从而造成信赖性失效的问题；如图1所示，设置在隔离区B的隔离柱30数量根据实际显示面板的尺寸等需求决定，一般设置三个或者三个以上，保证孔区C与显示有效区A的水氧隔离，该显示面板包括基板以及设置在基板上的驱动层结构等(图中并未示出)，本实施例中的隔离柱30一般与部分源漏极层同时设置，并且形成在层间介质层10或者缓冲层上，因此，在层间介质层10上形成相应的隔离柱30，多个隔离柱30间隔设置，隔离柱30设置为上端款，下端窄的形式，同时显示有效区A域隔离区B交界的位置设置阻挡坝31，阻挡坝31的高度高于隔离柱30，通过该阻挡坝31对显示有效区A内的打印墨水进行隔离，打印墨水设置在对应的位置。

随后形成第一气相沉积层20，该第一气相沉积层20覆盖整个隔离区B并延伸至显示有效区A设置，形成如图1所示的结构，第一气相沉积层20覆盖隔离柱30表面设置，因此在隔离柱30上第一凹陷部60的位置也会有所凹陷，在此也称为第一凹陷部60，具体的参见图4和图7所示，

随后设置喷墨打印层40，该喷墨打印层40为设置在隔离柱30位置的打印材料，显示有效区A也进行相应的喷墨打印形成结构42，其打印材料高度在此不做限制，该喷墨打印层40覆盖第一凹陷部60，由于第一凹陷部60较深，通过喷墨打印层40对该第一凹陷部60进行补充，减小该位置的凹陷深度，使得后续形成的第二气相沉积层50在第一凹陷部60的位置不会出现过剩或者断裂的情况。进一步的，所述喷墨打印层与所述第一气相沉积层20之间形成第二凹陷部70，所述第二凹陷部70深度小于所述第一凹陷部60深度。

本实施例中在第一气相沉积层20上形成初始喷墨打印层41，该初始喷墨打印层41覆盖隔离区B设置，覆盖在整个隔离区B上的第一气相沉积层20上形成如图5所示的结构，并且初始喷墨打印层41的厚度根据显示面板的尺寸等情况选定，优选进行0.2μm-1μm厚度的墨水打印，随后将其他位置的初始喷墨打印层41进行刻蚀，优选的可以通过气相沉积腔室内的N₂O气体对初始喷墨打印层进行打印墨水的刻蚀，直至将隔离柱30上方的第一气相沉积层20上的打印墨水刻蚀掉，刻蚀采用的气体不局限为N₂O气体，优选的设定刻蚀速率为隔离柱30的第一凹陷部60位置在角落位置，不容易刻蚀掉，会保留部分打印墨水成为喷墨打印层40，该喷墨打印层对第一凹陷部60进行覆盖。该喷墨打印层残留的墨水并不会完全的填充住该第一凹陷部60，因此，形成的喷墨打印层与第一气相沉积层20之间形成第二凹陷部70，具体的参见图6所示，此时，喷墨打印层与第一气相沉积层20之间的第二凹陷部70相比较第一凹陷部60来说其角度更大且深度较小，后续形成的第二气相沉积层50能够完全覆盖露出的第一气相沉积层20和喷墨打印层，并且第二凹陷部70由于深度较小，角度较大，能够被第二气相沉积层50覆盖住，并且相应的材料不会堆积，产生断裂的情况。

在一些实施例中，图6所示，喷墨打印层40在层间介质层10的正投影，与隔离柱30在层间介质层10的正投影无交叠，如此设计可以避免对隔离柱30在第一凹陷部60处的第一气相沉积层20进行损伤，因为第一气相沉积层20在第一凹陷部60处的厚度，要薄于第一气相沉积层20在隔离柱30的表面位置的厚度。

进一步的，所述第二凹陷部70的角度为钝角。

在一些实施例中，如6所示，所述第二凹陷部70的角度为钝角，大于第一凹陷部60形成的角度，例如：第二凹陷部70的角度为钝角，范围为95°-135°，第一凹陷部60形成的为锐角，范围为60°-75°，两者相差20°-40°，可以有效保证第二气相沉积层50覆盖在第一气相沉积层20和喷墨打印层40上时，第二气相沉积层50不会在隔离柱30凹槽位置也就是第一凹陷部60产生堆积的情况。

为了保证第二气相沉积层50覆盖在第一气相沉积层20和喷墨打印层40上时，第二气相沉积层50不会在隔离柱30凹槽位置也就是第一凹陷部60产生堆积的情况，形成的第二凹陷部70需要具有较大的角度，优选的形成为钝角结构，可以通过气体刻蚀的时间来控制刻蚀掉的喷墨打印材料，进而实现喷墨打印层40参数的控制，例如控制该喷墨打印层与第一气相沉积层20之间的角度为钝角。

其中，图3和图6给出了显示面板的截面示意图，其中形成的隔离柱30的高度不相同，相应的喷墨打印层40的结构也不完全相同，若隔离柱30较高，则相应的喷墨打印层40的高度越高，相应喷墨打印层40从侧面进行刻蚀的深度会相对较浅，若隔离柱30高度较低，则相应的喷墨打印层40的高度也相对较低，从侧面进行刻蚀的深度也会相对较深，相应喷墨打印层与第一气相沉积层20之间的角度较小，其中，图3中喷墨打印层40与第一气相沉积层20之间的第二凹陷部70角度为第一角度，图6中喷墨打印层40与第一气相沉积层20之间的第二凹陷部70角度为第二角度，由于相应的隔离柱的高度不相同，对形成的喷墨打印材料的刻蚀程度也不完全相同，高度较低的隔离柱侧面刻蚀的深度相比较更深，因此，第一角度小于第二角度，无论隔离柱30的高度如何，喷墨打印层与第一气相沉积层20之间的第二凹陷部70角度都为钝角，保证第二气相沉积层50在该第二凹陷部70的位置不出现断裂的情况。

在一些实施例子中，如图3所示，第二气相沉积层50在该第二凹陷部70的位置的厚度，小于第二气相沉积层50在相邻的喷墨打印层40之间的厚度，如此使得第二气相沉积层50进行覆盖的时候，在相应的凹陷部位不会出现第二气相沉积材料过剩的情况，隔离柱30凹陷位置也不会有应力集中从而产生的断裂风险，使得隔离柱30位置具有良好的隔离效果，不会出现水氧入侵，从而产生显示面板信赖性不良的问题。

进一步的，所述喷墨打印层40高度小于所述隔离柱30高度。

本实施例优选的通过N₂O气体对喷墨打印层进行刻蚀，隔离柱30上方的喷墨打印层均可以被刻蚀掉，相邻隔离柱30之间的喷墨打印层也被刻蚀掉直至出现间隔，此时只需要喷墨打印层对第一凹陷部60进行填充，使得第一凹陷部60位置的深度有所减小即可。

可选的，所述喷墨打印层40高度为0.1-1μm。其中，一般根据隔离柱30的高度设定喷墨打印层的高度为0.1-1μm，不高于隔离柱30的高度即可，该高度设置既能够在对喷墨打印材料进行刻蚀的过程中，实现相邻的隔离柱30之间喷墨打印层不连续，也能保证喷墨打印层在第一凹陷部60的位置还残留打印墨水，确保第二气相沉积层50设置不出现堆积的情况。

进一步的，相邻所述隔离柱30之间的喷墨打印层40间断设置。

本实施例通过围绕孔区C设置隔离柱30进行水氧隔离，每个隔离柱30均能实现一定的隔离效果，为了确保每个隔离柱30均能实现有效的封装距离，每个隔离柱30都具有相应的隔离效果，本申请中在对初始喷墨打印层进行刻蚀的时候，将相邻隔离柱30之间的打印墨水刻蚀掉，使得相邻的隔离柱30上的喷墨打印层不相连。

可选的，所述隔离柱30位置的所述喷墨打印层40宽度为0.5-2μm。本实施例中喷墨打印层在每个隔离柱30位置的宽度为W，在对初始喷墨打印层进行刻蚀的时候需要将相邻隔离柱30之间的喷墨打印层进行隔断，形成如图1和图6所示的不连续的形式，一般设置喷墨打印层的宽度W为0.5-2μm。

本实施例中设置在隔离区B的隔离柱30结构一般为上大下小的形式，形成隔离柱30的材质不做限制，可以为金属材质或者为其他无机材料等，例如图7所示，该隔离柱30包括设置在层间介质层10上的叠置的多层结构，其中部分材质可以与源漏极层同层设置，采用相同的材料进行制备，最上层为第一部分，下面为第二部分，第一部分宽度大于第二部分，实现对阴极层的隔断，或者形成如图8所示的形式，该隔离柱30通过不同的平坦层实现，通过在平坦层上刻蚀不同的图案进一步的形成上大下小的隔离柱30形式。

在一些实施例中，参考图1，2和图8，在靠近阻挡坝31的两个隔离柱30之间形成的间断设置的两个喷墨打印层40间距，小于远离阻挡坝31的两个隔离柱30之间形成的间断设置的两个喷墨打印层40间距，增加设置喷墨打印层40，通过喷墨打印层40的墨水材料填充住隔离柱30形成的凹陷部位，使得第二气相沉积层50进行覆盖的时候，在相应的凹陷部位不会出现第二气相沉积材料过剩的情况，使得靠近阻挡坝31的隔离柱30凹陷位置也不会有应力集中从而产生的断裂风险，使得隔离柱30位置具有良好的隔离效果，减缓对阻挡坝31的水汽入侵，从而产生显示面板信赖性不良的问题。

在一些实施例中，参考图1，2和图8，在靠近孔区C的两个隔离柱30之间形成的间断设置的两个喷墨打印层40间距，小于远离孔区C的两个隔离柱30之间形成的间断设置的两个喷墨打印层40间距，增加设置喷墨打印层40，通过喷墨打印层40的墨水材料填充住隔离柱30形成的凹陷部位，使得第二气相沉积层50进行覆盖的时候，在相应的凹陷部位不会出现第二气相沉积材料过剩的情况，使得孔区C的隔离柱30凹陷位置也不会有应力集中从而产生的断裂风险，使得隔离柱30位置具有良好的隔离效果，减缓对孔区C的水汽入侵，从而产生显示面板信赖性不良的问题。

本实施例还提供一种上述显示面板的制备方法，包括步骤：

提供一基板，所述基板上方形成有层间介质层10，所述层间介质层10上划分有隔离区B，所述隔离区B内设有多个隔离柱30，

在所述层间介质层10上形成第一气相沉积层20，所述第一气相沉积层20覆盖所述层间介质层10和所述隔离柱30设置，

在所述隔离柱30上形成第一喷墨打印层，所述第一喷墨打印层设置在所述隔离区B内，

对所述第一喷墨打印层进行刻蚀，直至相邻所述隔离柱30之间的喷墨材料间隔设置，形成第二喷墨打印层，

在所述第二喷墨打印层上形成第二气相沉积层50，所述第二气相沉积层50覆盖所述第一气相沉积层20和所述隔离柱30设置。

首先提供一基板(图中并未示出)，在基板上进行驱动层结构的设置，随后形成层间介质层10，层间介质层10上形成源漏极层，同层进行隔离区B内隔离柱30的设置，因此，隔离柱30可以与源漏极层同时设置，采用金属材质，也可以与相邻源漏极层之间的平坦层同时设置采用非金属的材质，形成如图7或者图8所示的结构，

随后在层间介质层10上形成第一气相沉积层20，该第一气相沉积层20覆盖隔离区B设置，形成如图4所示的结构，

随后在第一气相沉积层20上形成第一喷墨打印层(该第一喷墨打印层即为上述的初始喷墨打印层41)，该第一喷墨打印层的厚度为0.2-1μm，覆盖在第一气相沉积层20上，并且填充了隔离柱30形成的第一凹陷部60形成如图5所示的结构，

随后对第一喷墨打印层进行刻蚀，优选的采用气体刻蚀的方式降低该第一喷墨打印层的厚度，将隔离柱30上方和相邻隔离柱30之间的喷墨打印材料进行去除，第一凹陷部60位置的喷墨材料不容易被刻蚀，会存在墨水残留，对第一凹陷部60进行填充，形成如图6所示的结构，残留的墨水为第二喷墨打印层，该第二喷墨打印层的高度和宽度与隔离柱30的高度、刻蚀的时间长短等相关，优选的设置述第二喷墨打印层高度为0.1-1μm，宽度为0.5-2μm。

随后形成第二气相沉积层50，覆盖第一气相沉积层20和第二喷墨打印层设置，形成如图1所示的结构，此时第二气相沉积层50在隔离柱30的第一凹陷部60的位置不会出现材料堆叠的情况，也不会出现材料断裂导致的水氧入侵情况。

需要理解的是，上文如有涉及术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：显示有效区和孔区，所述显示有效区围绕所述孔区设置，所述显示有效区与所述孔区之间为隔离区，所述隔离区上设有多个隔离柱，

所述显示面板包括层间介质层，所述层间介质层上设有间隔的多个所述隔离柱，所述隔离柱包括叠置的第一部分和第二部分，所述第一部分宽度大于所述第二部分宽度，所述第一部分与所述第二部分形成第一凹陷部，

所述层间介质层上设有第一气相沉积层，所述第一气相沉积层覆盖所述隔离柱，

所述第一气相沉积层上设有喷墨打印层，所述喷墨打印层填充所述第一凹陷部；

所述喷墨打印层上设有第二气相沉积层，所述第二气相沉积层覆盖所述第一气相沉积层和所述喷墨打印层。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述喷墨打印层与所述第一气相沉积层之间形成第二凹陷部，所述第二凹陷部深度小于所述第一凹陷部深度。

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第二凹陷部的角度为钝角。

4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述喷墨打印层高度小于所述隔离柱高度。

5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述喷墨打印层在所述层间介质层上的正投影，与所述隔离柱在所述层间介质层上的正投影无交叠。

6.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第二气相沉积层在所述第二凹陷部位置的厚度，小于所述第二气相沉积层在相邻的所述喷墨打印层之间的厚度。

7.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，相邻所述隔离柱之间的所述喷墨打印层间断设置，

所述显示有效区靠近所述隔离区的位置设有阻挡坝，靠所述阻挡坝的两个所述隔离柱之间的间断设置的所述喷墨打印层之间的间距，小于远离所述阻挡坝的两个所述隔离柱之间的间断设置的所述喷墨打印层之间的间距。

8.一种权利要求1-7任一所述的显示面板的制备方法，其特征在于，包括步骤：

提供一基板，所述基板上方形成有层间介质层，所述层间介质层上划分有隔离区，所述隔离区内设有多个隔离柱，

在所述层间介质层上形成第一气相沉积层，所述第一气相沉积层覆盖所述层间介质层和所述隔离柱设置，

在所述隔离柱上形成第一喷墨打印层，所述第一喷墨打印层设置在所述隔离区内，

对所述第一喷墨打印层进行刻蚀，直至相邻所述隔离柱之间的喷墨材料间隔设置，形成第二喷墨打印层，

在所述第二喷墨打印层上形成第二气相沉积层，所述第二气相沉积层覆盖所述第一气相沉积层和所述隔离柱设置。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述第一喷墨打印层的厚度为0.2-1μm。

10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述第二喷墨打印层高度为0.1-1μm。