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CN103984107A - 视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置 - Google Patents

视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置 Download PDF

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CN103984107A
CN103984107A CN201410184496.2A CN201410184496A CN103984107A CN 103984107 A CN103984107 A CN 103984107A CN 201410184496 A CN201410184496 A CN 201410184496A CN 103984107 A CN103984107 A CN 103984107A
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signal
lead
electrically connected
electrode wire
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张振宇
王守坤
李梁梁
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BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
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Abstract

本发明实施例公开了一种视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置，涉及显示领域，能够从根本上解决视差挡板电极容易短路的问题，提高产品良品率。本发明的视差挡板设置有多个间隔排列的信号电极线和公共电极线，所述信号电极线位于第一透明导电层，所述公共电极线位于第二透明导电层，所述第一透明导电层和所述第二透明导电层之间设置有绝缘层，并且所述公共电极线隔着所述绝缘层位于相邻信号电极线的间隙。

Description

视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置
技术领域
本发明涉及显示领域，尤其涉及一种视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置。
背景技术
现有的3D(三维)显示技术中，一般在显示面板11显示画面的一面设置视差挡板12，具体原理如图1所示，视差挡板上设置有狭缝光栅，显示面板11上的像素的图像通过视差挡板12上的狭缝传播到观察点，从图1中可以看到，观察点处的左眼13和右眼14所能够观察到显示面板的像素是不同的，从而使得观察者能够在观察点处观察到两幅不同的图像，形成了3D显示。目前视差挡板一般采用固定图案制作或者采用LCD制作，但对于固定图案的视差挡板，在显示面板上设置视差挡板后，显示面板只能进行3D显示，无法再转换到2D(二维)显示，因此目前一般采用LCD制作视差挡板。
如图2所示，为一种采用LCD制作的视差挡板，包括：两层对合的透明基板21和22、以及填充在所述两层透明基板21和22之间的液晶23；为了能够在所述透明挡板上形成裸眼三维显示用的狭缝光栅，在上述两层透明基板上设置有两层透明导电层24和25，上层的透明导电层24连续分布覆盖整个面板，下层的透明导电层25设置有交替排列的信号电极线252和公共电极线251，工作时信号电极线252加载驱动电压，公共电极线251及透明电极层24均连接至恒定电压源或接地，信号电极线252对应区域产生电场驱使液晶分子偏转，表现为遮光区域；而公共电极线251对应区域，因公共电极线251与透明电极层24电压相等，因此该区域液晶分子不偏转，表现为透光区域。遮光区域和透光区域交替排列，最终视差挡板呈现裸眼三维显示用的狭缝光栅，其中，公共电极线251和透明电极层24还具有避免相邻信号电极线252相互串扰以及避免其他信号干扰的作用。
发明人发现上述结构中，公共电极线251与信号电极线252之间的间隙很小(通常只有10um)，很容易因制作不良或灰尘颗粒等问题出现短路，严重影响产品良品率。
发明内容
本发明的实施例提供一种视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置，能够解决视差挡板的电极容易短路的问题，从而提高产品良品率。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
一种视差挡板，所述视差挡板设置有多个间隔排列的信号电极线和多个间隔排列的公共电极线，所述信号电极线位于第一透明导电层，所述公共电极线位于第二透明导电层，所述第一透明导电层和所述第二透明导电层之间设置有绝缘层，并且所述公共电极线隔着所述绝缘层位于相邻信号电极线的间隙。
具体地，所述视差挡板包括两层对合的透明基板、填充在两层透明基板之间的透明液体，所述两层透明基板的一层设置有所述信号电极线和所述公共电极线，另一层设置有整层的公共电极。
进一步地，所述视差挡板的边缘还设置有：信号引线和公共引线，所述信号引线与所述信号电极线电连接，所述公共引线分别与所述公共电极线和所述公共电极电连接。
优选地，所述信号引线和所述公共引线位于同一金属层；所述金属层设置在所述第一透明导电层的上方或下方，或者，所述金属层设置在所述第二透明导电层的上方或下方。
具体地，所述金属层设置在所述第一透明导电层的上方或下方时，所述信号引线与所述信号电极线通过直接接触实现电连接，所述公共引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述公共电极线电连接；所述金属层设置在所述第二透明导电层的上方或下方时，所述信号引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述信号电极线电连接，所述公共引线与所述公共电极线通过直接接触实现电连接。
本发明还提供一种显示面板，设置有任一项所述的视差挡板。
所述显示面板，还包括：显示单元；所述显示单元为液晶显示单元、或OLED显示单元、或PDP显示单元。
本发明还提供一种显示装置，设置有任一项所述的视差挡板，或者，所述的显示面板。
另一方面，本发明还提供一种视差挡板的制备方法，包括：形成第一对合基板的工序，所述形成第一对合基板的工序，具体包括：
形成第一透明导电膜层，并通过构图工艺形成多个间隔排列的公共电极线；
形成绝缘层及贯穿所述绝缘层的过孔；
形成第二透明导电膜层，并通过构图工艺形成多个间隔排列的信号电极线，并且所述公共电极线隔着所述绝缘层位于相邻信号电极线的间隙。
优选地，所述形成第一对合基板的工序，还包括：
形成金属膜层，并通过构图工艺形成信号引线和公共引线，所述信号引线用于与所述信号电极线电连接，所述公共引线用于与所述公共电极线及公共电极电连接。
可选地，在所述形成第一透明导电膜层并通过构图工艺形成间隔排列的公共电极线的工序之前或之后，形成金属层并通过构图工艺形成信号引线和公共引线；
所述信号引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述信号电极线电连接，所述公共引线与所述公共电极线通过直接接触实现电连接。
可选地，在所述形成第二透明导电膜层并通过构图工艺形成多个间隔排列的信号电极线的工序之前或之后，形成金属层并通过构图工艺形成信号引线和公共引线；
所述信号引线与所述信号电极线通过直接接触实现电连接，所述公共引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述公共电极线电连接。
优选地，所述形成第一对合基板的工序中，通过使用半色调掩膜工艺减少构图工艺的次数。
本发明实施例提供的视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置，信号电极线和公共电极线采用分两层分别制作的方法，即信号电极线和公共电极线分别位于相互绝缘的第一、第二透明导电层，公共电极线隔着绝缘层位于相邻信号电极线的间隙，增加了信号电极线与公共电极线之间的绝缘可靠性，从根本上解决了视差挡板电极容易短路的问题，提高了产品良品率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为应用视差挡板实现裸眼3D显示的原理示意图；
图2为现有视差挡板的剖面结构示意图；
图3为本发明实施例一提供的视差挡板的剖面结构示意图；
图4为本发明实施例一提供的视差挡板中信号电极线和公共电极线的位置示意图；
图5为本发明实施例一提供的视差挡板中边缘引线区的结构示意图；
图6为本发明实施例二提供的视差挡板的制备方法流程图；
图7为本发明实施例二中形成的公共电极线的平面结构示意图；
图8为本发明实施例二中形成的信号引线和公共引线的平面结构示意图；
图9为本发明实施例二中形成的绝缘层及其过孔的平面结构示意图；
图10为本发明实施例二中形成的信号电极线的平面结构示意图；
图11为本发明实施例二中采用半色调掩膜工艺曝光形成的光刻胶层厚度分布示意图。
附图标记
11-显示面板，12-视差挡板，13-左眼，14-右眼，21-透明基板，22-透明基板，23-液晶，24-透明导电层，25-透明导电层，251-公共电极线，252-信号电极线；
31-透明基板，32-透明基板，33-透明液体，34-公共电极，35-第一透明导电层，36-第二透明导电层，350-信号电极线，360-公共电极线，37-绝缘层，370-过孔，381-信号引线，382-公共引线。
具体实施方式
本发明实施例提供的视差挡板及其制备方法、显示面板和显示装置，能够从根本上解决了视差挡板电极容易短路的问题，提高了产品良品率。
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
本发明实施例提供一种视差挡板，如图3和图4所示，该视差挡板设置有多个间隔排列的信号电极线350和公共电极线360，信号电极线350位于第一透明导电层35，公共电极线360位于第二透明导电层36，第一透明导电层35和第二透明导电层36之间设置有绝缘层37，并且公共电极线360隔着绝缘层37位于相邻信号电极线350的间隙。
信号电极线350和公共电极线360采用分两层分别制作的方法，即信号电极线350和公共电极线360分别位于相互绝缘的第一、第二透明导电层35、36，公共电极线360隔着绝缘层37位于相邻信号电极线350的间隙，增加了信号电极线350与公共电极线360之间的绝缘可靠性，从根本上解决了视差挡板电极容易短路的问题，提高了产品良品率。
图3所示为本实施例提供的一种视差挡板的具体结构，该视差挡板包括两层对合的透明基板31、32，填充在两层透明基板31、32之间的透明液体33，两层透明基板31、32的一层设置有信号电极线350、绝缘层37和公共电极线360，另一层设置有整层的公共电极34。信号电极线350、绝缘层37和公共电极线360的位置示意图如图4所示，公共电极线360隔着绝缘层37位于相邻信号电极线350的间隙。信号电极线350的线宽和公共电极线360的线宽，相邻信号电极线350之间的间隙a，以及公共电极线360与信号电极线350在平行于基板方向的投影距离b符合光栅设计要求。
以液晶光栅为例，具体实施时，基板32与液晶靠近的一侧表面上还设置有第一取向层，基板31与基板32相对的表面上设置有第二取向层，所述第一取向层取向方向与所述第二取向层取向方向相互垂直(或方向一致)，第一、第二取向层图中并未示出，但其相关内容为本领域的公知常识，本领域技术人员可以根据实际情况进行设计，本实施例在此不再详述。另外需要说明的是，如果采用蓝相液晶，上述的第一、第二取向层即可省去。
工作时，信号电极线350加载驱动电压，公共电极线360及公共电极34加载一恒定电压或接地信号，信号电极线350和公共电极34加载的电压不同，且二者电压差等于大于液晶旋转的阈值电压，信号电极线350对应区域产生电场驱使液晶分子偏转，而公共电极线251对应区域，因公共电极线251与透明电极层24电压相等，因此该区域液晶分子不偏转，结果即可产生相应的明暗相间的条纹，从而进行3D显示；而当信号电极线350、公共电极线360及公共电极34不加载信号时(不加电时)，液晶分子全部不发生旋转，从而进行2D显示，综上，本实施例视差挡板实现了2D/3D显示之间的切换。
进一步地，如图5所示，视差挡板的边缘还设置有：信号引线381和公共引线382，信号引线381与信号电极线350电连接，用以在3D显示时向信号电极线350加载驱动电压；公共引线382分别与公共电极线360及公共电极34电连接，用以在3D显示时向公共电极线360及公共电极34加载公共电压。图5中，所示金属层设置在第一透明导电层35的上方，信号引线381与信号电极线350通过直接接触实现电连接，公共引线382通过贯穿绝缘层37的过孔370与公共电极线360电连接。
此外，还可将该金属层设置在第一透明导电层35的下方，这时，类似地，信号引线381与信号电极线350通过直接接触实现电连接，公共引线382通过贯穿绝缘层37的过孔370与公共电极线360电连接；或者优选地，将该金属层设置在第二透明导电层36的上方或下方，这时，信号引线381通过贯穿绝缘层37的过孔370与信号电极线350电连接，公共引线382与公共电极线360通过直接接触实现电连接，这样，与图3所示方式相比，贯穿绝缘层37的过孔370距离基板边缘稍远，基板牢固性更好，不易损坏。
本发明实施例提供的视差挡板，能够实现2D/3D显示之间的切换，而且增加了信号电极线与公共电极线之间的绝缘可靠性，从根本上解决了视差挡板电极容易短路的问题，提高了产品良品率。
本发明实施例对视差挡板的光栅原理及具体实现方式不做限定，可以是本领域技术人员所熟知的任意实现方式，只要是在通电/不通电状态转换时，能实现与所述图案化且透明的信号电极线相对应区域在透光状态和吸光状态之间的转换即可，本发明实施例中视差挡板的具体实现方式可以采用但不限于上述的液晶旋转法，还包括：电润湿法、电致变色法、或者电化学沉积法等方式，本领域技术人员可以根据具体的实现原理进行设计。
第一、电润湿法
采用该方法时，上述透明液体中具体包括有色油滴和透明溶液，有色油滴一般选择黑色油滴，透明溶液一般选择无色的水，并且需要在图案化且透明的信号电极线上设有一层与所述透明液体之间形成上电润湿效应的介质，该介质一般为表面疏水性绝缘层。
在信号电极线、公共电极线以及公共电压上没有施加电压时，由于油滴和水界面张力与油滴和表面疏水性绝缘层界面张力之和小于水和表面疏水性绝缘层界面张力，根据稳定系统最低能量原理，油滴将自动平铺到表面疏水性绝缘层，使得断电状态下信号电极线相对应区域的所述透明液体变成非透明状态，形成与断电状态下图案化电极形状相同的吸光状态图案。公共电极线因其没有表面疏水性绝缘层覆盖，还呈现透光状态。
当在信号电极线、公共电极线以及公共电压上施加电压时，这时信号电极线和公共电极线施加相同驱动电压，原来的平衡状态将被打破，结果油滴鼓起，使得油滴与表面疏水性绝缘层接触面减少，使得整个区域的透明液体均能够透过光线，形成与通电状态下图案化电极形状相同的透光状态图案。
第二、电致变色法
采用该方法时，上述透明液体中包括透明的电解质溶液、以及冗余所述电解质溶液的电致变色化合物；本发明实施例可以将一种有机电致变色化合物(如：一种4，4’-联吡啶鎓盐)溶解于电解质溶液中，在电极上可以施加电压，利用电子转移(还原或氧化)机理，上述有机电致变色化合物可以在有色和无色之间转换，从而实现信号电极线相对应区域在透光状态和吸光状态之间的转换。
第三、电化学沉积法
采用该方法时，上述透明液体中包括透明电解质，在通电状态的图案化电极作用下，所述透明电解质的金属微粒沉积于信号电极线上，形成非透明的吸光状态图案。
本发明实施例中的透明电解质至少包含两部分：可逆反应物以及电解质溶液。另外透明电解质也可以添加一些必要的添加剂，如氧化还原剂、稳定剂、表面活性剂、防冻液等。
具体而言，可逆反应物可以为有机物也可以为无机盐类。有机物如聚苯胺、聚噻吩、聚吡咯及其衍生物等，无机盐可以为Ag盐的络合物、卤化银等。电解质溶液可以为乙醚、乙腈、三氟化硼乙醚、二甲基甲酰胺、N甲基吡咯烷酮、四氢呋喃、二甲基亚枫等及其组合物。
采用上述三种方法中的任何一种实现透光状态和吸光状态之间的转换，本发明实施例中均要求当上述信号电极线处于透光状态时，该透明挡板的一种状态为整体区域为透明状态，对应的光透过率需要高于80％，最好是使得光透过率高于92％，本实施例中可以控制透光状态下的图案化电极加电或断电时间实现透过率的提高，一般可以处于透光状态的时间越长，光透过率也可以得到提高；当上述图案中的图案处于吸光状态时，该图案对应区域的光透过率一般低于20％、为了保证3D显示效果，该图案对应区域的光透过率最好低于8％，本实施例中可以控制吸光状态下的图案化电极加电或断电时间实现透过率的提高，一般可以处于吸光状态的时间越长，光透过率也可以越低，除了信号电极线图案对应区域外，其他区域的光透过率可以保持与透光状态下光透过率相接近。本发明实施例提供的视差挡板，对光栅形成的具体原理方式不做限定。
本发明实施例还提供一种显示面板，设置有上述任一项所述的视差挡板，能实现2D/3D显示的切换，并且制造时良品率高。
该显示面板还包括：显示单元，且视差挡板设置在显示单元的出光侧或者位于显示单元的显示面板和背光源之间。所述显示单元例如可以为液晶显示单元，或者OLED(Organic Electroluminescence Display，有机发光显示)显示单元、或者PDP(Plasma Display Panel，等离子显示板)显示单元。
本发明实施例还提供一种显示装置，其设置有任一项所述的视差挡板，或者，所述的显示面板。所述显示装置能实现2D/3D显示的切换，并且制造时良品率高。所述显示装置可以为：液晶显示装置、OLED显示装置、等离子显示装置、电子纸、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
实施例二
另一方面，本发明实施例还提供上述视差挡板的制备方法，包括：形成第一对合基板的工序；形成第二对合基板的工序；对盒并灌注液晶的工序；其中，形成第二对合基板的工序，在基板31上形成整层覆盖的公共电极34，参照图3所示；形成第一对合基板的工序如图6所示，具体包括：
101、形成第一透明导电膜层，并通过构图工艺形成多个间隔排列的公共电极线360；
本步骤中首先在基板(例如白玻璃，bare glass)上沉积第一透明导电膜层(lITO layer)，通过曝光、显影、刻蚀工艺(构图工艺的一种)形成需要的第一透明导电层的图形(lITO pattern)，即多个间隔排列的公共电极线360，如图7所示。
102、形成金属膜层，并通过构图工艺形成信号引线381和公共引线382，信号引线381用于与(后续形成的)信号电极线350电连接，公共引线382用于与公共电极线360及公共电极电连接。
本步骤中首先沉积金属膜层，然后通过曝光、显影、刻蚀工艺形成需要的金属层图形，即包括图8所示的信号引线381和公共引线382，其中外圈的信号引线381用以与后继形成信号电极线350的通过过孔电连接，内圈的公共引线382与公共电极线360通过交叠实现电连接。
103、形成绝缘层37及贯穿绝缘层37的过孔370；
本步骤中首先沉积绝缘膜层(如SiNx膜)，然后通过曝光、显影、刻蚀工艺形成所需图形，该图形主要为在外圈的信号引线381上形成过孔370，以便与与后继形成的信号电极线350相连，如图9所示。
104、形成第二透明导电膜层，并通过构图工艺形成多个间隔排列的信号电极线350，并且公共电极线360信号电极线隔着绝缘层37位于相邻信号电极线350的间隙。
本步骤中首先在上述基板上沉积第二透明导电膜层(2ITO)，通过曝光、显影、刻蚀工艺形成需要的图形，该图形主要包括多个间隔排列的信号电极线350，且信号电极线350延伸至贯穿绝缘层37的过孔370的位置，通过过孔370信号电极线350与下层外圈的信号引线381实现电连接，如图10所示。最终形成的第一对合基板沿A-A’方向的剖面结构如图3中的阵列基板所示。
本发明实施例提供的视差挡板制备方法，信号电极线和公共电极线采用分两层分别制作的方法，使公共电极线隔着绝缘层位于相邻信号电极线的间隙，增加了信号电极线与公共电极线之间的绝缘可靠性，从根本上解决了视差挡板电极容易短路的问题，提高了产品良品率。
此处需要说明的是，上述制备方法中，还可在步骤101形成第一透明导电膜层并通过构图工艺形成间隔排列的公共电极线360工序之前，进行步骤102形成金属层并通过构图工艺形成信号引线381和公共引线382，这时，类似地信号引线381通过贯穿绝缘层37的过孔370与信号电极线350电连接，公共引线382与公共电极线360通过直接接触(即交叠)实现电连接。
此外，还可在步骤104形成第二透明导电膜层并通过构图工艺形成多个间隔排列的信号电极线350的工序之前或之后，进行步骤102形成金属层并通过构图工艺形成信号引线381和公共引线382；此时，信号引线381与信号电极线350通过直接接触实现电连接，公共引线382通过贯穿绝缘层37的过孔370与公共电极线360电连接。
此外，上述形成第一对合基板的工序中，还可优选采用半色调掩膜工艺来减少构图工艺的次数。例如，上述方法中步骤103中的绝缘层过孔和步骤104中的公共电极线，可以采用半色调掩膜工艺通过一次构图完成，具体如下：步骤103中先进行绝缘层的成膜工序，即沉积一层绝缘材料层，然后涂覆光刻胶并采用采用半色调掩膜工艺(第二次构图工艺)曝光，形成如图11所示的光刻胶层：后续形成过孔的区域B的光刻胶完全剥离；后续形成信号电极线的区域A保留第一厚度的光刻胶；除区域A和区域B之外的其余保留第二厚度的光刻胶，且第二厚度大于第一厚度。然后采用干法刻蚀出过孔，再进行灰化，去除区域A的第一厚度的光刻胶，第二厚度的光刻胶减薄；然后进行步骤104的成膜工序即形成第二透明导电膜层，最后再进行光刻胶剥离工艺，去除第二厚度的光刻胶，除区域A(对应信号电极线的图形)和区域B(对应过孔的图形)之外的第二透明导电膜层均随光刻胶剥离，形成覆盖过孔区域的信号电极线。具体实施时，本领域技术人员可以根据具体情况进行设计，不限于上面所述的方法。
为了便于清楚说明，在本发明中采用了第一、第二等字样对相似项进行类别区分，该第一、第二字样并不在数量上对本发明进行限制，只是对一种优选的方式的举例说明，本领域技术人员根据本发明公开的内容，想到的显而易见的相似变形或相关扩展均属于本发明的保护范围内。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于方法实施例而言，描述得比较简单，相关之处参见设备实施例的部分说明即可。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (13)

1.一种视差挡板，所述视差挡板设置有多个间隔排列的信号电极线和公共电极线，其特征在于，
所述信号电极线位于第一透明导电层，所述公共电极线位于第二透明导电层，所述第一透明导电层和所述第二透明导电层之间设置有绝缘层，并且所述公共电极线隔着所述绝缘层位于相邻信号电极线的间隙。
2.根据权利要求1所述的视差挡板，其特征在于，所述视差挡板包括两层对合的透明基板填充在两层透明基板之间的透明液体，所述两层透明基板的一层设置有所述信号电极线和所述公共电极线，另一层设置有整层的公共电极。
3.根据权利要求2所述的视差挡板，其特征在于，所述视差挡板的边缘还设置有：信号引线和公共引线，所述信号引线与所述信号电极线电连接，所述公共引线分别与所述公共电极线和所述公共电极电连接。
4.根据权利要求3所述的视差挡板，其特征在于，
所述信号引线和所述公共引线位于同一金属层；所述金属层设置在所述第一透明导电层的上方或下方，或者，
所述金属层设置在所述第二透明导电层的上方或下方。
5.根据权利要求4所述的视差挡板，其特征在于，
所述金属层设置在所述第一透明导电层的上方或下方时，所述信号引线与所述信号电极线通过直接接触实现电连接，所述公共引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述公共电极线电连接；
所述金属层设置在所述第二透明导电层的上方或下方时，所述信号引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述信号电极线电连接，所述公共引线与所述公共电极线通过直接接触实现电连接。
6.一种显示面板，其特征在于，设置有权利要求1-5任一项所述的视差挡板。
7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，还包括：显示单元；所述显示单元为液晶显示单元、或OLED显示单元、或PDP显示单元。
8.一种显示装置，其特征在于，设置有权利要求1-5任一项所述的视差挡板，或者，权利要求6-7任一项所述的显示面板。
9.一种视差挡板的制备方法，所述视差挡板包括：形成第一对合基板的工序，其特征在于，所述形成第一对合基板的工序，具体包括：
形成第一透明导电膜层，并通过构图工艺形成多个间隔排列的公共电极线；
形成绝缘层及贯穿所述绝缘层的过孔；
形成第二透明导电膜层，并通过构图工艺形成多个间隔排列的信号电极线，并且所述公共电极线隔着所述绝缘层位于相邻信号电极线的间隙。
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述形成第一对合基板的工序，还包括：
形成金属膜层，并通过构图工艺形成信号引线和公共引线，所述信号引线用于与所述信号电极线电连接，所述公共引线用于与所述公共电极线及公共电极电连接。
11.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，在所述形成第一透明导电膜层并通过构图工艺形成间隔排列的公共电极线的工序之前或之后，形成金属层并通过构图工艺形成信号引线和公共引线；
所述信号引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述信号电极线电连接，所述公共引线与所述公共电极线通过直接接触实现电连接。
12.根据权利要求10所述的制备方法，其特征在于，在所述形成第二透明导电膜层并通过构图工艺形成多个间隔排列的信号电极线的工序之前或之后，形成金属层并通过构图工艺形成信号引线和公共引线；
所述信号引线与所述信号电极线通过直接接触实现电连接，所述公共引线通过贯穿所述绝缘层的过孔与所述公共电极线电连接。
13.根据权利要求9-12任一项所述的制备方法，其特征在于，所述形成第一对合基板的工序中，通过使用半色调掩膜工艺减少构图工艺的次数。
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