CN102608114B - 基板检查系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供基板检查系统，针对每个检查对象基板的部件及针对每个需要实施的检查项目选择检查的单元，基于选择结果在各检查机中生成检查信息。部件确定处理部根据处理对象基板的设计信息确定各部件位置及部件种类。检查项目识别部参照部件种类表对确定的部件识别需要的检查项目，检查单元选择部参照检查机能力表选择对各检查项目实施检查的检查单元。通过这些处理生成检查菜单信息，检查菜单信息指，针对每个部件，将表示对部件实施的检查项目和检查单元的信息与部件的部件种类及位置信息建立关联的信息。各检查机输入检查菜单信息，识别定义为由自身装置实施检查的部件，并根据该部件种类将检查程序与部件的位置信息建立关联，以生成检查信息。

Description

基板检查系统

技术领域

本发明涉及对设在部件安装基板的安装作业线上的多种检查机分别生成检查作为检查对象的基板所需要的检查信息的技术。

背景技术

一般而言，通过锡膏的印刷工序、部件安装工序及回流(reflow)工序各工序来生产部件安装基板。近年来的生产作业线具有导入了基板检查系统的生产作业线，该基板检查系统是指，针对上述每个工序配备用于检查外观的检查机，通过将各检查机的检查结果汇集到信息处理装置中，能够对每个同一对象进行对照来进行确认的基板检查系统(例如参照专利文献1)。

另外，在以往的检查机中有如下的检查机，针对每个部件种类，登录被称为“库数据(library data)”的标准检查程序，并根据检查对象基板的设计信息来识别各部件的位置以及部件种类，由此对各部件的安装位置分配与该部件的部件种类相对应的检查程序，从而高效地生成检查信息(例如参照专利文献2)。

专利文献1：日本专利第3966336号公报

专利文献2：日本专利第3203837号公报

实际上的车间的每个工序的检查机大多实施多个检查项目的检查。另外，设在各工序中的检查机并不限定于一个，还有利用多个检查机的情况。另外，除了用于检查外观的检查机之外，有时还设置进行X射线检查的检查机或用于目测的检查机。

在这些检查机所实施的检查项目中的一些检查项目中，存在在检查机间共用的检查项目，但在以往的生产作业线中，由于针对每个检查机分别单独地生成检查信息，因而有可能设定为使用多个检查机重复实施相同的检查项目，从而降低生产效率。与此相反，还存在如下的可能，在某一个检查机中，认为是在其他的检查机中实施的检查项目而排除实施检查，从而产生没有实施检查的检查项目。

另外，即使是同种类的部件，也根据安装的方向或与周围的部件的关系等，有时最好变更担当检查的检查机或检查基准，或者使用多个检查机。但是，在以往的生产作业线中，仅是以判断为不良的部件为对象进行详细的检查的程度，未提出分别单独地设定担当各个部件的检查机的尝试。

发明内容

本发明是鉴于上述的问题点而做出的，其目的在于，提供如下技术，能够针对每个检查对象基板的部件以及针对每个需要实施的检查项目，选择检查的单元，并且，基于该选择结果来在各检查机中容易地生成检查信息。

本发明的基板检查系统包括多种检查机和管理系统，所述多种检查机设在部件安装基板的安装作业线上，所述管理系统用于管理各检查机的动作。管理系统能够由一台计算机或基于多台的计算机的计算机网络系统形成。

上述的管理系统包括以下的部件种类信息存储单元、检查单元存储单元、部件确定单元、按部件执行处理单元以及菜单生成单元。

在部件种类信息存储单元中保存部件种类信息，所述部件种类信息是指，针对每个部件种类归纳了应对各部件种类的部件实施的检查项目信息。在检查单元存储单元中针对每个检查项目保存用作实施该检查项目的检查的检查单元的的检查机或检查机的组合。希望在该检查单元存储单元中分别对各检查项目保存多个检查单元，但也可以根据不同的检查项目仅保存一个检查单元。

部件确定单元针对每个部件确定安装在检查对象基板上的部件的位置以及部件种类。按部件执行处理单元针对每个由部件确定单元确定的部件，执行第一处理和第二处理，所述第一处理是指，针对该部件的部件种类，利用保存在部件种类信息存储单元的部件种类信息，来识别应对该部件实施的检查项目的处理，所述第二处理是指，针对识别出的检查项目，利用保存在检查单元存储单元中的信息，来选择用于对该检查项目实施检查的检查单元的处理。

菜单生成单元基于部件确定单元及按部件执行处理单元的处理结果，生成检查菜单信息，所述检查菜单信息是指，针对安装在基板上的每个部件，将表示对该部件实施的检查项目和用作实施该检查的检查单元的检查机的信息，与该部件的部件种类以及位置信息建立了关联的信息。

另一方面，各检查机具有：检查菜单输入单元，其输入由管理系统生成的检查菜单信息；检查程序存储单元，其针对每个部件种类保存与自身装置能够实施的检查项目相关的检查程序；检查对象识别单元，其通过分析由检查菜单输入单元输入的检查菜单信息，来识别在自身装置的检查对象部件，并从检查菜单信息中提取检查对象部件的位置、部件种类以及对该部件实施的检查项目；检查信息生成单元，其利用检查对象识别单元所提取的信息，来针对每个检查对象部件执行第三处理和第四处理，由此生成对检查对象基板的检查所需要的检查信息，第三处理是指，针对对该该部件实施的检查项目，从检查程序存储单元读取与该部件的部件种类适合的检查程序的处理，第四处理是指，将所读取的检查程序与该部件的位置信息建立关联的处理；检查执行单元，其利用由检查信息生成单元生成的检查信息来执行检查。

根据上述的结构，在管理系统中，选择针对每个检查对象基板的各个部件以及针对每个应用于各部件的检查项目实施检查的检查单元，以此生成反映了该选择结果的检查菜单信息。在各检查机中，输入全部的部件的检查菜单信息，但在其中仅采用作为自身装置的检查对象的部件的检查菜单信息，来利用该信息与保存在自身装置的检查程序存储单元中的检查程序生成检查信息。

根据上述的处理，不存在对多个检查机不必要地重复设定相同的检查项目或产生不予实施的检查项目的可能性。另外，即使是相同种类的部件，也能够根据该部件的实际情况而变更检查机的选择内容。从而，能够提高检查的效率及精度。

此外，在部件确定单元的确定处理中，希望利用检查对象基板的设计信息，但并不限定于此，例如，也可以根据检查对象基板的模型的图像来计测各部件的位置，并且，通过显示模型的图像来使用户指定部件种类。

对于针对每个检查项目选择检查单元的处理，也能够除了通过用户的选择操作来进行之外，还可以进行自动选择。另外，并不限定于选择一个检查单元，能够对一个检查项目选择多个检查单元。

对于各检查机的检查菜单输入单元，希望由通过与管理系统的通信来读入检查菜单信息的单元构成，但并非一定需要使管理系统与各检查机能够通信。例如，也可以将在管理装置中生成的检查菜单信息保存到可装拆的存储介质中，并将该存储介质依次安装到各检查机上，由此读入检查菜单信息。

下面，对上述基板检查系统的优选的四个实施方式进行说明。

首先，在第一实施方式中，管理系统还具有操作单元和显示单元，所述操作单元用于进行选择检查机的操作，所述显示单元用于显示信息。另外，在检查单元存储单元中保存的信息中包含针对每个检查项目示出各检查单元的检查能力的检查能力信息。按部件执行处理单元，在存在多个能够实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元时，将表示这些检查单元的选项与各自的检查能力信息一起显示在显示单元上，并且，响应于在该显示状态下在所述操作单元所进行的选择检查单元的操作，来选择由该操作选择的检查单元。

在上述的实施方式中，在存在多个能够实施应用于处理对象部件的检查项目的检查单元的情况下，需要通过用户的操作来进行选择，但进行该选择时，将各检查单元的选项和各检查单元的检查能力信息一起显示。因此，用户能够容易地选择可得到与目标及用途适合的检查能力的检查单元。

在第二实施方式中，管理系统还具有操作单元，该操作单元用于输入在生产作业线上实施的检查的目标。另外，在检查单元存储单元中保存的信息中包含针对每个检查项目示出各检查单元的检查能力的检查能力信息。按部件执行处理单元，在存在多个能够实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元时，选择具有与由操作单元输入的目标适合的检查能力的检查单元或检查单元的组合。

根据上述第二实施方式，在存在多个能够实施应用于处理对象部件的检查项目的检查单元的情况下，能够从其中自动选择与用户所输入的检查的目标适合的检查单元。

此外，对于检查目标的输入，可以在进行处理之前进行，也可以在提取了多个选择候选的检查单元的阶段进行。另外，在设定有多种信息作为检查能力信息的情况下，也可以针对每个信息接受目标值的输入，或接受表示优先哪一个信息的优先顺序的输入。

在第三实施方式中，管理系统还具有操作单元，该操作单元用于进行变更所述按部件执行处理单元的对处理对象部件的检查基准的操作。另外，按部件执行处理单元，在选择了用于实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元之后，通过在操作单元进行变更有关该检查项目的检查基准的操作，将该变更后的检查基准应用于处理对象部件。菜单生成单元，针对应用了变更的检查基准的部件，生成示出该检查基准的检查菜单信息。

并且，在第三实施方式的各检查机中，在识别单元对所述检查菜单信息的分析处理中，判别变更后的检查基准是否适用于设定为在由自身装置中进行检查的部件，并且，在检查信息生成单元对检查信息的生成处理中，对应用了变更的检查基准的部件，读取与该变更的检查基准相对应的检查程序。

根据第三实施方式，若用户对以标准的检查基准不能得到检查的精度的部件，进行变更检查基准的操作，则该部件的检查菜单信息成为示出变更的检查基准的检查菜单信息。在担当基于该变更的检查基准的检查的检查机，读取与由检查菜单信息表示的检查基准相对应的检查程序。从而，能够容易且可靠地进行检查基准的变更。

就第四实施方式而言，在第三实施方式的结构上，管理系统还具有设计信息输入单元和显示单元，所述设计信息输入单元用于输入检查对象基板的设计信息，所述显示单元用于显示信息。另外，按部件执行处理单元，通过对设计信息输入单元所输入的设计信息中的有关处理对象部件及其周围的构成物的信息进行分析，判别对处理对象部件的检查造成影响的事项，并将该判别结果显示在显示单元上，在该表示状态下接受变更所述检查基准的操作。

根据第四实施方式，能够利用检查对象基板的设计信息，针对每个部件，判别是否有对检查造成影响的事项，并显示该判别结果，该事项是指，产生影子的可能性、周围的部件的安装密度的程度、部件的安装方向等。通过该显示，用户能够容易地判断需要变更检查基准的情况以及进行何种变更才好。

若采用本发明，则在管理系统中生成检查菜单信息，将该检查菜单信息导入各检查机来生成检查机独自的检查信息，该检查菜单信息是指，针对每个部件以及针对每个检查项目选择实施检查的检查单元，并针对每个部件，将表示对该部件实施的检查项目和作为实施该检查的检查单元来发挥功能的检查机的信息，与该部件的部件种类以及位置信息建立了关联的信息。因此，不会对多个检查机不必要地重复设定相同的检查项目或不会产生不予实施的检查项目，另外，能够根据各个部件的实际情况来变更检查内容。

从而，能够提高检查的效率及精度。

附图说明

图1是示出了基板检查系统的结构的框图。

图2是检查程序管理装置的功能框图。

图3是示出了检查菜单设定画面的一例的图。

图4是示出了检查单元变更用的设定画面的一例的图。

图5是使部件种类表的数据结构进行表格化来示意性地表示的图。

图6是使检查菜单信息的数据结构进行表格化来示意地表示的图。

图7是示出了检查菜单信息的生成处理的顺序的流程图。

图8是示出了续接图7的顺序的流程图。

图9是示出了在检查机共用的功能的功能框图。

其中，附图标记说明如下

1检查机

2检查程序管理装置

11检查菜单输入部

13检查对象部件选择部

14检查信息生成部

15检查执行部

21部件确定处理部

22检查项目识别部

23检查单元选择部

24检查基准设定部

25影响参数导出部

26设定信息输入部

27检查菜单保存部

28检查菜单输出部

101检查程序数据库

202部件种类表

203检查机能力表

具体实施方式

图1示出了应用本发明的基板检查系统的结构例。

本实施例的基板检查系统由配备在部件安装基板的生产作业线(未图示)上的多个检查机1、用于管理由各检查机1使用的检查程序的检查程序管理装置2、用于管理各检查机1的检查结果的检查结果管理装置3等构成。经由LAN(Local Area Network：局域网)线路将各管理装置2、3及各检查机1彼此连接在一起。

图中的6台检查机1的结构及功能各不相同。下面，在个别地提及各检查机1时，按照图1的各框内的记载，分别称为“检查机A”、“检查机B”、“检查机C”、“检查机D”、“检查机E”及“检查机F”。

生产作业线中包括锡膏印刷工序、部件安装工序及回流工序。

检查机A及检查机B设在锡膏印刷工序中，用于检查锡膏的印刷状态。下面，将该检查称为“锡膏印刷检查”。

就锡膏印刷检查而言，在检查机A中实施基于二维图像处理的外观检查。另一方面，在检查机B中，通过三维计测求出基板上的焊盘的锡膏的体积，并判别该体积是否良好。

检查机C设在部件安装工序中，用于对安装在基板上的部件实施外观检查。例如，实施用于检查有无部件的检查(下面称为“漏件检查”)或用于检查部件的位置偏移的检查(下面称为“部件偏移检查”)。

检查机D设在回流工序中，用于对进行回流之后的基板实施外观检查。在该检查机D中，主要对锡膏的焊脚(fillet)实施检查(下面称为“焊脚检查”)，但也能够对其他的检查项目实施检查。

在基于标准的检查基准的焊脚检查中，一边从倾斜方向向部件照射光，一边通过将照相机配备在部件的大致正上方，来使其光轴朝向铅垂方向而进行拍摄，由此生成包含焊脚部分的正反射光像的图像，并检查正反射光像的状态。但是，在焊脚的倾斜度大的情况或产生由相邻的部件等带来的影子的情况下，也能够变更检查基准，以从倾斜方向进行拍摄。另外，在利用检查机B实施检查的情况下，能够根据其检查时计测出的锡膏体积来修正对焊脚的计测值，由此提高检查精度。

检查机E以完成全部工序的基板作为对象，通过X射线拍摄来对难以通过外观检查进行检测的部件的内部或焊接部位的部分的结构进行检查。

检查机F用于由检查人员实施目测检查，该检查机F以完成全部工序的基板作为对象进行拍摄并显示图像，并且，接受检查人员对每个部件判定是否良好的判定结果的输入。

向各检查机1按照A、B、C、D、E、F的顺序搬送作为检查对象的基板。在各检查机1中，每当搬入基板时，基于预先登录的检查程序来执行检查，并将检查结果信息发送至检查结果管理装置3。检查结果管理装置3以能够根据检查机以及检查对象读取的状态，存储从各检查机1接收到的检查结果信息。就存储到检查结果管理装置3的检查结果信息而言，能够在车间中为了进行确认而读取，或利用在用于分析生产性的统计处理等中。

此外，检查程序管理装置2和检查结果管理装置3未必分开单独设置，也可以使一个计算机具备各管理装置2、3的功能。与此相反，各管理装置2、3也可以分别由多个计算机构成。另外，为了对各管理装置2、3进行操作或使其显示处理结果，也可以在系统内追加终端装置。

在本实施例中，在进行检查之前，在检查程序管理装置2中生成检查菜单信息，该检查菜单信息是指，针对安装在检查对象基板上的每个部件，决定实施的检查项目以及实施该检查项目的检查机，并将该决定结果与各部件的位置信息以及部件种类信息建立了对应关系的信息。将该检查菜单信息集中分发至各检查机1。在各检查机1中，利用分发到的检查菜单信息以及预先登录在自身装置中的每个部件种类的检查程序，生成检查对象基板的检查信息。此外，在用于目测的检查机F中，也需要自动调整基板与照相机的对位以及照相机的视线方向等，因而生成用于进行该调整的检查信息。

下面，对生成检查菜单信息的检查程序管理装置2以及该生成处理，进行详细的说明。

图2是检查程序管理装置2的功能框图。

该检查程序管理装置2具有部件确定处理部21、检查项目识别部22、检查单元选择部23、检查基准设定部24、影响参数导出部25、设定信息输入部26的各处理部和用201～205表示的存储部。各处理部21～26是利用程序设定在检查程序管理装置2中的。存储部201～205存储在检查程序管理装置2的存储器中。任意一个存储部都不限定于一个文件，也有采用链接多个数据文件的结构的情况。

在存储部中，基板设计信息数据库201中存储检查对象基板的设计信息。该设计信息是从CAD数据等导出的，示出基板上的各部件的位置信息(坐标)以及部件种类。此外，基于形状或功能来对安装于基板上的各种部件进行分类，由此设定部件种类。

部件种类表202中存储部件种类信息，该部件种类信息是指，针对每个部件种类定义了需要对属于该部件种类的部件实施的检查项目的信息。如后所述，在本实施例的部件种类信息中包括定义了用于对各检查项目进行检查的检查机的默认的定义信息，但该定义信息并不是必须的。

检查机能力表203针对每个检查项目存储了能够对该检查项目实施检查的检查单元和表示检查单元的检查能力的信息(下面称为“检查能力信息”)。不仅有检查单元利用一个检查机1的情况，还有利用多个检查机1的组合的情况。另外，在本实施例中，就检查能力信息而言，存储对检查所需的时间的长度、表示消耗电力等成本的信息以及检查的信赖度分别进行度数化的信息。另外，也可以将这些信息与优先顺序建立对应关系来进行存储。

在检查菜单数据库204中，存储所生成的检查菜单信息和相对应的基板的识别信息。

检查程序数据库205是为了向检查机1提供未登录在检查机1一侧的检查程序而设定的，在该检查程序数据库205中，根据检查机1的种类、检查项目及部件种类整理检查程序，以不遗漏地存储有可能在各检查机1中使用的检查程序。

检查程序提供处理部29根据来自检查机1的后述的检查程序输入部12的要求，从检查程序数据库205读取所要求的检查程序，并将其发送至提出了要求的检查机1。

部件确定处理部21从基板设计信息数据库201读取新的检查对象基板的设计信息，并通过分析该设计信息来确定安装在检查对象基板上的各部件的位置以及部件种类。

检查项目识别部22、检查单元选择部23、检查基准设定部24、影响参数计算部25及设定信息输入部26，依次将由部件确定处理部21确定的部件作为处理对象，生成专用于处理对象部件的检查菜单。

检查项目识别部22从部件种类表202读取与处理对象部件的部件种类相对应的部件种类信息，并基于其定义来识别应对该部件实施的检查项目。影响参数计算部25通过部件确定处理部21读入处理对象部件及其周围的构成物的设计信息，并通过对它们分析导出影响到处理对象部件的影响参数。

影响参数是指，用于判别有无对检查造成影响的事项的参数。例如，为了判别有无影子，计算相邻的部件的高度以及与相邻的部件之间的距离。另外，在基板设计信息包含部件或焊盘的尺寸的情况下，提取这些尺寸作为用于判别焊脚的倾斜状态的影响参数。另外，也能够计算处理对象部件的周围的部件的密度，以作为用于判别焊脚的倾斜状态的影响参数。

设定信息输入部26与未图示的操作部及显示部协同建立用于输入检查处理对象部件所需的信息的设定画面。设定信息输入部26接受经由该画面输入的信息，并将该信息发送至检查单元选择部23及检查基准设定部24。影响参数的计算结果被发送至设定信息输入部26，用于生成后述的影响信息。

在检查菜单的设定画面上，在以对定义为检查单元的检查机进行变更为目的，指定规定的检查项目时，检查单元选择部23通过检索检查机能力表203，来将所指定的检查菜单的检查单元与各自的检查能力信息一起读取。然后，将所读取的信息发送至设定信息输入部26，指示设定信息输入部26，来提示将各检查单元作为选项的设定变更画面。若在该画面上选择任意一个选项，则检查单元选择部23根据该选择来改写被指定的检查项目中的检查机的定义信息。

在以对定义为检查单元的检查机的检查基准进行变更为目的，指定了检查项目时，检查基准设定部24进行动作。首先，检查基准设定部24，针对在所指定的检查项目中定义的检查机，提取在对处理对象部件进行该检查项目的检查中应用的全部的检查基准。各检查基准的实体是检查程序的文件，但在该文件中含有表示检查基准的内容的标题信息。检查基准设定部24将所提取的文件内的标题信息发送至设定信息输入部26，并指示设定信息输入部26，使其提示将各标题信息作为选项的画面。在该画面上选择任意一个选项时，检查基准设定部24将所选择的选项所表示的标题信息附加到所指定的检查项目的检查机的定义信息中。

如上述那样，通过包含在按部件执行处理单元中的各处理部22～26的处理来依次确定基板上的各部件的检查菜单，由此生成基板整体的检查菜单信息。除了将该基板整体的检查菜单信息利用检查菜单保存部27来保存至检查菜单数据库204之外，还将其发送至检查菜单输出部28。检查菜单输出部28将该检查菜单信息经由LAN线路分发至各检查机1。

接着，对为了设定检查菜单而提示的设定画面的具体例进行说明。

图3是与完成检查项目识别部22的识别处理相对应地建立的初始画面的例。在该画面上，显示处理对象部件的样本图像30以及表示部件信息等的栏31，并且，显示表示应对处理对象部件实施的检查项目及检查单元的定义信息的表32。另外，在画面的右上方设有表示设定完毕的按钮34。

表32内的检查单元的显示利用了从部件种类表202读取的默认的定义信息。另外，在栏31内除了显示通过部件确定处理部21确定的处理对象部件的部件种类及安装位置之外，还显示表示利用了前述的影响参数的判别结果的信息33(下面称为“影响信息33”)。

在上述的画面上，若进行指定表32内的任意一个检查项目的操作，则设定画面切换至用于选择所指定的检查项目的检查单元的画面。

图4是与指定了表32内的第四个检查项目(焊脚检查)相对应地显示的选择画面的一例。画面上的栏31与图3同样，但表32置换为表示检查单元的选项的表35。

各选项中设有检查单元和“成本”、“时间”、“信赖度”的各栏，并分别显示规定的数值(其中，对目测检查的“时间”未设定数值。)。包括这些检查单元及检查能力的选项均是从检查机能力表203读取的。

各选项设有复选框(checkbox)。刚刚显示选择画面之后的选项的选择状态利用默认的定义信息，但用户能够一边参照表示检查能力的各数值，一边自由地变更该选择状态，也能选择多个选项。在选择结束之后，操作按钮34时，显示画面再次返回至图3的结构，但变更了表32内的与成为检查机的选择对象的检查项目(焊脚检查)相对应的检查单元的显示。

在图3的画面的表32内的各行分别设有记有“条件变更”这样的文字的按钮36。若操作该按钮36，则显示用于变更所操作的按钮36的行的检查项目及检查单元的检查基准的选择画面(未图示)。在该画面上显示能够应用于处理对象部件的全部检查基准。该显示利用从检查程序数据库205读取的检查程序的标题信息。

若用户判断为需要变更显示在图3的画面上的检查项目的任意一个检查基准，则通过点击与该检查项目相应的行的按钮36，来调出上述的变更画面。从显示在该画面上的检查基准中选择所希望的检查基准。若选择结束，则再次显示图3的画面。

此外，能够将图3的画面中的栏31内的影响信息33作为判断是否变更检查基准的指标来使用。

图5示出了存储在部件种类表202中的部件种类信息的一例。在本实施例中，将各部件种类细分为被称为“变种(variation)”的单位，并针对每个部件种类编号及变种编号的组合设定了检查项目及检查机的默认的定义信息。

此外，下面为了避免说明变得复杂，假设变种的单位是一个部件种类。另外，在图5中，将各部件种类的检查项目限定为锡膏印刷检查、漏件检查、部件偏移检查、焊脚检查这四个项目，但检查项目并不限定于这些四个项目。另外，检查项目的清单也根据部件种类而不同。

检查机的具体的定义信息是各检查机的标志数据(flag data)的组合，实施检查的检查机1的标志数据设定为打开(on)，其他的标志数据设定为关闭(off)。另外，在利用检查基准设定部24变更任意一个检查机的检查基准时，对进行了变更的检查项目的定义信息追加变更后的检查基准的标题信息。

在图5中，设有各检查机A、B、C、D、E、F的栏，通过在相应的栏标上圆形标记来表现标志数据为打开状态的检查机。另外，在实施检查的检查机的检查基准发生变更的情况下，省略相应的栏的圆形标记并记入该检查基准的标题信息。

在图5的例子中，第一个用A1010-C101编号表示的部件种类以及第二个用A1010-C102编号表示的部件种类定义为，使用检查机A实施锡膏印刷检查，使用检查机C实施漏件检查及部件偏移检查，使用检查机D实施焊脚检查。

另外，第三个用B0103-D111编号表示的部件种类以及第四个用B0103-D112编号表示的部件种类定义为，使用检查机A及检查机B实施锡膏印刷检查，使用检查机C实施漏件检查及部件偏移检查，使用检查机D实施焊脚检查。并且，对这些部件种类定义为，在检查机D应用称为“基于锡膏体积的修正”的检查基准。该检查基准定义了，以在锡膏印刷检查中使用检查机B的情况作为前提，根据锡膏的体积来修正进行焊脚检查时的计测值，并根据修正后的计测值来判定是否良好。

接着，图6示出了基于上述的部件种类信息以及基板设计信息来生成的检查菜单信息的例子。在该例子中，利用连续的号码(图中的部件号的栏中的数字)识别检查对象基板的各部件，并且分别将各部件与部件信息、影响信息、检查项目以及检查机的定义信息建立对应关系。与图5示出的内容同样地，通过表示标志数据的打开状态的圆形标记及检查基准的标题信息来表示检查机的定义信息。另外，在图中，部件号为001及002的各部件属于图5的第一个部件种类，部件号为003的部件属于图5的第二个部件种类，部件号为004的部件属于图5的第三个部件种类，部件号为005的部件属于图5的第四个部件种类。

各部件的部件信息是通过部件确定处理部21对检查对象基板的设计信息的处理来导出的，包括相应的部件种类的识别信息(部件种类编号及变种编号)以及表示部件的位置的坐标(x1，y1)、(x2，y2)…。此外，在图6中，限定于在图5中示出的四种的部件种类，但实际上包含各种种类的部件的信息。

在根据由影响参数导出部25导出的影响参数判断为存在对检查造成影响的事项的情况下，设定影响信息。图3、4的例子的显示栏31内的影响信息33是通过该处理被导出的。

在部件号为002及005的部件设定的影响信息“有影子”意味着在实施外观检查时有可能产生由相邻的部件带来的影子。例如，在处理对象部件的相邻的部件的高度超过某一阈值时设定该影响信息。另外，对部件号为003的部件设定的影响信息“不能直视焊脚”意味着因焊脚的倾斜度大而有可能无法能得到外观检查的精度。例如，在部件或焊盘的尺寸低于某一阈值的情况下，或处理对象部件的周围的部件的密度高于某一阈值的情况下，设定该影响信息。

在图6的检查机的定义信息中，以用粗框包围的方式示出了进行了与默认的信息不同的定义的部位。根据该图示，部件号为001的部件与部件号为002的部件是同一部件种类，但对前者直接应用了图5示出的默认的定义信息，与此相对，对后者则在锡膏印刷检查中追加了检查机B，并且，实施焊脚检查的检查机D的检查基准变更为“基于锡膏体积的修正”。该定义的变更能够理解为是用户考虑“有影子”这样的影响信息而做出的。

此外，一般由检查基准设定部24担当检查基准的变更，但例外地，向上述的“基于锡膏体积的修正”的变更是作为基于与检查机B的组合的检查单元来向用户提示的。具体而言，通过选择在前面的图4的表35的第二项示出的选项(检查机B、D的组合)，来将检查机B的标志数据设定成打开，并且，变更检查机D的检查基准。

在部件号为003的部件中，关于焊脚检查的检查基准变更为“左侧45度斜视拍摄”这样的内容。该检查基准意味着将照相机配置在检查对象部件的左侧来使光轴倾斜45度。该检查基准的变更有可能是用户考虑了“无法直视焊脚”这样的影响信息来进行设定变更操作而产生的。

并且，在部件号为003的部件的焊脚检查的定义信息中，用于目测的检查机F的标志数据也设定为打开。即，定义信息变更为由检查机D实施变更了检查基准的检查，进而由检查机F实施检查。

对于部件号为004的部件，按照原样应用了默认的定义信息。与此相对，对于默认设定有相同内容的定义信息的部件号为005的部件，定义变更为由基于X射线的检查机E实施漏件、部件偏移、焊脚的各检查。这是因为用户考虑了“有影子”这样的影响信息。

并且，对于部件号为005的部件，锡膏检查的定义信息中的检查机B的标志数据从打开变更为关闭。这可以理解为用户考虑因不实施焊脚的外观检查而不需要锡膏体积的计测。

这样，用户能够一边确认影响信息，一边对特定检查项目变更检查单元或检查基准，该特定检查项目是指，在默认的定义中有可能对检查的精度造成障碍的检查项目。另外，通过防止对一个检查项目设定多个检查单元，能够削减不需要的检查，另一方面，如由部件号为003的部件例示那样，只要需要，就能够对一个检查项目选择多个检查单元，以此确保检查精度。另外，在变更检查单元时，如图4的例那样，能够从成本、时间及精度的各方面来比较各检查单元的检查能力，由此选择适合生产目的的检查机。

此外，在显示图4的画面时，也可以预先根据用户的指定操作来决定各检查能力的优先顺序，由此以优先顺序为最高的能力的升序排列并显示各选项和各能力的度数的组合。这样一来，用户能够一边以自己设定的优先的能力顺序比较各选项，一边选择恰当的检查单元。

在本实施例中，在检查机能力表203中存储每个检查单元的检查能力信息，以作为固定信息，但也可以存储根据部件种类而不同的内容的检查能力信息。或者，也可以根据处理对象部件的部件种类或安装位置等，每次通过运算求出检查能力信息。

图7及图8示出了关于上述的检查程序管理装置2对检查菜单信息的生成处理的处理顺序。

在该处理中，在读取检查对象基板的设计信息之后，针对该设计信息所示出的每个部件，执行从循环记号LP1至LP2包含的步骤S2～S17。

在步骤S2中，通过分析在步骤S1中读取的基板设计信息来确定处理对象部件的位置及部件种类，并生成包含部件的位置及部件种类在内的部件信息。

在步骤S3中，从部件种类表读取与在步骤S2中确定的部件种类相对应的部件种类信息，并识别在该信息中包含的检查项目。另外，利用针对各检查项目默认设定的检查机的定义信息，在工作存储器生成暂时的检查菜单。

通过以后的处理适当变更该暂时检查菜单的内容，并最终确定该检查菜单。

在步骤S4中，利用基板设计信息导出对处理对象部件的检查的影响参数。

在步骤S5中，显示在图3中示出的设定画面。如前述那样，在该画面中显示应对处理对象部件实施的检查项目和检查机的默认的定义信息。另外，根据在步骤S4中导出的影响参数来判别是否对检查产生影响，并在判断为产生影响的情况下，生成表示能够发生的影响的影响信息，并将该影响信息编入到设定画面中的表示栏31中。

参照图8。在上述的设定画面上，若为了变更检查单元的定义而进行指定检查项目的操作(步骤S6：“是”)，则根据所指定的检查项目对照检查机能力表203，并提取与该检查项目相对应的检查单元及各单元的检查能力信息(步骤S7)。

在步骤S8中，通过建立用于变更检查单元的画面(在图4中示出的画面)，显示在步骤S7中提取的信息。若对该显示进行变更检查单元的操作(步骤S9：“是”)，则根据由该操作变更的内容，来更新所指定的检查项目的检查机的定义信息(步骤S10)。

接着，在为了变更检查基准而指定了检查项目的情况(步骤S11：“是”)下，利用检查程序数据库205提取与指定的检查项目及检查单元相对应的检查基准(步骤S12)。进而在步骤S13中，建立用于变更检查基准的画面来显示在步骤S12中提取的信息。

在对上述的显示进行变更检查基准的操作的情况(步骤S14：“是”)下，在所指定的检查项目的变更对象的检查机的定义信息中加入变更后的检查基准的标题信息(步骤S15)

此外，在步骤S6～S10的处理以及步骤S11～S15的处理中，在用于变更设定的画面上进行了取消操作的情况下，或选择了当前选择中的选项的情况下，跳过其后的处理而返回步骤S6。

若如上述那样，适当地实施变更检查单元及检查基准的处理，然后进行结束对处理对象部件的设定的操作，则步骤S16为“是”，且在步骤S17中，将通过到目前为止的处理设定的检查菜单的内容与部件号码及部件信息建立关联关系来保存到存储器中。此外，由于部件号码是连续的号码，因而依次被更新并自动分配。

若通过对检查对象基板的各部件执行上述的步骤S2～S17，来完成以基板为单位的检查菜单信息，则在步骤S18中，将该检查菜单信息保存到检查菜单数据库204中(步骤S17)，并结束处理。

此外，在本实施例中，用户根据需要来变更针对每个部件种类设定的默认的检查菜单，由此生成基板整体的检查菜单信息，但检查菜单信息的生成方法并不限定于此，也能够以自动或半自动的方式生成检查菜单信息。

例如，对于生成了影响信息的部件应用默认的定义信息，对于生成了影响信息的部件自动变更检查单元及检查基准，由此能够不需要基于用户的操作。

或者，也可以预先让用户输入检查能力的目标，来针对每个部件，从能够应用于该部件的检查单元中，选择具有最接近目标的检查能力的检查单元。例如，通过接受对成本、时间及信赖度的各检查能力信息设定优先顺序的操作，来自动选择对与设定为最高的顺序的检查能力信息相对应的能力设定最高的值的检查单元。或者，也可以显示该选择结果，由此通过进行认可该显示内容的操作来确定选择。

另外，也可以在未指定优先顺序的情况，在检查机能力表203中存储默认的优先顺序。

图9是表示在各检查机1共用的功能的功能框图。下面，使用该图，对根据共用的检查菜单信息来分别对各检查机1生成固有的检查信息的处理进行说明。

如图9所示，在各检查机1中设有构成检查程序数据库101及检查信息存储部102的数据文件，并且还设有检查菜单输入部11、检查程序输入部12、检查对象部件识别部13、检查信息生成部14、检查执行部15、输出部16的各功能。

检查菜单输入部11接受从检查程序管理装置2发送来的检查菜单信息。检查对象部件选择部13从该检查菜单信息提取自身装置的标志数据设定为打开的部件，以作为检查对象部件。在该提取处理中，除了提取表示部件种类及安装位置的部件信息之外，还提取检查项目。并且，在检查机的定义信息中含有自身装置用的检查基准的标题信息的情况下，还提取该标题信息。

在检查程序数据库101中，预先针对每个部件种类存储有与该部件种类相对应的检查程序。检查信息生成部14，针对每个由检查对象部件识别部13选择的部件，从检查程序数据库101读取与该部件的部件种类及检查项目的组合相对应的检查程序，并将该检查程序与部件的安装位置建立对应关系。此时，一般读取基于标准的检查基准的检查程序，但在针对处理对象部件提取的信息中包含检查基准的标题信息的情况下，读取基于与该标题信息相对应的检查基准的检查程序。

另外，在检查程序数据库101内未存储需要的检查程序的情况下，检查信息生成部14联络检查程序输入部12。检查程序输入部12根据该联络来访问检查程序管理装置2，并从在图2中示出的检查程序提供处理部29接受必要的检查程序的提供。

根据上述一系列的处理，能够针对在检查菜单信息中设定为由自身装置检查的全部部件，读取与所设定的检查基准相适合的检查程序来将其与部件的位置信息建立关联关系。

将每个部件的位置信息和检查程序的组合保存到检查信息存储部102中之后，由检查执行部15读取该组合信息。检查执行部15基于所读取的检查程序，仅将基板上的部件中的定义为由自身装置检查的部件作为对象，执行检查。由输出部16编辑该检查的结果来作为检查结果信息，并输出至检查结果管理装置3等。

Claims (5)

1.一种基板检查系统，具有管理系统和多种检查机，所述多种检查机设在部件安装基板的安装作业线上，所述管理系统用于管理各检查机的动作，其特征在于，

所述管理系统具有：

部件种类信息存储单元，其保存部件种类信息，所述部件种类信息是指，针对每个部件种类归纳了应对各部件种类的部件实施的检查项目的信息，

检查单元存储单元，其针对每个检查项目保存用作实施该检查项目的检查的检查单元的检查机或检查机的组合，

部件确定单元，其针对每个部件确定安装在检查对象基板上的部件的位置以及部件种类，

按部件执行处理单元，其针对每个由所述部件确定单元确定的部件，执行第一处理和第二处理，其中，所述第一处理是指，针对该部件的部件种类，利用保存在部件种类信息存储单元中的部件种类信息，来识别应对该部件实施的检查项目的处理，所述第二处理是指，针对所识别的检查项目，利用保存在检查单元存储单元中的信息，来选择用于对该检查项目实施检查的检查单元的处理，

菜单生成单元，其基于所述部件确定单元及按部件执行处理单元的处理结果，生成检查菜单信息，所述检查菜单信息是指，针对安装在所述基板上的每个部件，将表示对该部件实施的检查项目和用作实施该检查的检查单元的检查机的信息，与该部件的部件种类以及位置信息建立了关联的信息；

各检查机具有：

检查菜单输入单元，其输入由所述管理系统生成的检查菜单信息，

检查程序存储单元，其针对每个部件种类保存与自身装置能够实施的检查项目相关的检查程序，

检查对象识别单元，其通过分析由所述检查菜单输入单元输入的检查菜单信息，来识别在自身装置的检查对象部件，并从检查菜单信息中提取检查对象部件的位置、部件种类以及对该部件实施的检查项目，

检查信息生成单元，其利用所述检查对象识别单元所提取的信息，来针对每个检查对象部件执行第三处理和第四处理，由此生成对检查对象基板的检查所需要的检查信息，所述第三处理是指，针对对该部件实施的检查项目，从检查程序存储单元读取与该部件的部件种类适合的检查程序的处理，所述第四处理是指，将所读取的检查程序与该部件的位置信息建立关联的处理，

检查执行单元，其利用由所述检查信息生成单元生成的检查信息来执行检查。

2.根据权利要求1记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有操作单元和显示单元，所述操作单元用于进行选择检查机的操作，所述显示单元用于显示信息；

在所述检查单元存储单元中保存的信息中包含针对每个检查项目示出各检查单元的检查能力的检查能力信息；

所述按部件执行处理单元，在存在多个能够实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元时，将表示这些检查单元的选项与各自的检查能力信息一起显示在所述显示单元上，并且，响应于在该显示状态下在所述操作单元所进行的选择检查单元的操作，来选择由该操作选择的检查单元。

3.根据权利要求1记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有操作单元，该操作单元用于输入在生产作业线上实施的检查的目标；

在所述检查单元存储单元中保存的信息中包含针对每个检查项目示出各检查单元的检查能力的检查能力信息；

所述按部件执行处理单元，在存在多个能够实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元时，选择具有与由所述操作单元输入的目标适合的检查能力的检查单元或检查单元的组合。

4.根据权利要求1记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有操作单元，该操作单元用于进行变更所述按部件执行处理单元的对处理对象部件的检查基准的操作；

所述按部件执行处理单元，在选择了用于实施针对处理对象部件识别出的检查项目的检查单元之后，在所述操作单元进行了变更有关该检查项目的检查基准的操作时，将变更后的所述检查基准应用于处理对象部件；

所述菜单生成单元针对应用了变更后的所述检查基准的部件，生成示出该检查基准的检查菜单信息；

在各检查机中，在所述识别单元对所述检查菜单信息的分析处理中，判别变更后的检查基准是否适用于设定为在自身装置中进行检查的部件，并且，在检查信息生成单元对检查信息的生成处理中，对应用了变更后的所述检查基准的部件，读取与变更后的该检查基准相对应的检查程序。

5.根据权利要求4记载的基板检查系统，其特征在于，

所述管理系统还具有设计信息输入单元和显示单元，所述设计信息输入单元用于输入检查对象基板的设计信息，所述显示单元用于显示信息；

所述按部件执行处理单元，通过对所述设计信息输入单元所输入的设计信息中的有关处理对象部件及其周围的构成物的信息进行分析，判别对处理对象部件的检查造成影响的事项，并将判别结果显示在所述显示单元上，在该显示状态下接受变更所述检查基准的操作。