CN102305593A - 一种高精度大量程tft基板玻璃几何要素测量方法及装置 - Google Patents
一种高精度大量程tft基板玻璃几何要素测量方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102305593A CN102305593A CN201110130608A CN201110130608A CN102305593A CN 102305593 A CN102305593 A CN 102305593A CN 201110130608 A CN201110130608 A CN 201110130608A CN 201110130608 A CN201110130608 A CN 201110130608A CN 102305593 A CN102305593 A CN 102305593A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser probe
- range
- base plate
- plate glass
- tft base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种高精度大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法及装置，该测量方法为：1)激光探针在XY平面内沿规划路径运动；2)测量过程中，计算机实时连续采集激光探针的数据；3)实时比较、计算激光探针的数据与量程中心的差值；4)将计算所得的差值实时传递给CNC控制系统；5)CNC系统控制激光探针，使其在Z轴方向与被测工件做相对移动，使在量程之外的被测工件，运动到激光探针量程范围内。本发明可以自动调节被测工件与激光探针的相对位置，使被测工件在测量过程中始终位于激光探针测量范围内，从而对高精度、大量程的TFT基板玻璃厚度和翘曲度进行快速、准确、自动测量。
Description
技术领域
本发明属于精密测量、控制技术领域，涉及一种高精度大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法，该方法通过采用当代最新的数字化测量技术、高精度机械机构，激光探针与CNC空间测量成熟的数据处理技术一起，实现对高精度大量程的TFT基板玻璃几何要素的测量。
背景技术
TFT基板玻璃是液晶平板显示器的主要零部件，是超薄、超平滑、超精细的玻璃，基板玻璃的生产技术高度复杂与高深，因此全世界只有很少的几家公司能够制造基板玻璃。分别是美国康宁、日本旭硝子、日本电气硝子、日本板硝子。
2008年9月，彩虹集团凭借先进的生产技术和管理经验，建成了国内第一条具有自主知识产权的液晶基板玻璃生产线，打破了基板玻璃外资垄断的现状。
TFT基板玻璃的翘曲度和厚度的不均匀性会损害光掩膜，从而影响图像的整体效果，因此，对于基板玻璃厚度、翘曲度的快速、准确检测和评价是非常重要的，是基板玻璃质量控制环节中非常重要的一个环节。
目前TFT基板玻璃的翘曲度和厚度利用千分尺和塞规通过手工进行测量，存在测量效率低、测量误差大、可靠性差的确定。
可以通过激光探针对TFT基板玻璃的厚度进行自动测量，检索目前的激光探针，测量范围1mm，精度为0.5um；测量范围3mm，精度为1um；测量范围10mm，精度为4um；
TFT基板玻璃的厚度为0.7mm，但是由于受到玻璃翘曲度的影响，整版玻璃高度的变化范围达到5mm以上，而测量厚度的精度要求为1um。因此直接采用现有的激光探针，从技术上显然无法满足测试要求。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供一种高精度、大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法，该方法可以自动调节被测工件与激光探针的相对位置，使被测工件在测量过程中始终位于激光探针测量范围内，从而对高精度、大量程的TFT基板玻璃厚度和翘曲度进行快速、准确、自动测量。
本发明的目的是通过以下技术方案来解决的：
该种高精度大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法，包括以下步骤：
步骤一，建立XYZ坐标系，设XY平面为水平面，将待测TFT基板玻璃平放于XY平面内；设置与计算机连接的激光探针，使激光探针的轴向与Z轴平行，且所述激光探针受到CNC控制系统的控制，能够在X、Y、Z轴方向上进行位移；
步骤二，使激光探针在XY平面内跟据测量的要求，按照逐行渐进扫描的方式进行运动，对待测TFT基板玻璃进行测量；
步骤三，测量过程中，使计算机实时连续采集所述激光探针的数据；
步骤四，计算机实时计算激光探针采集的数据与激光探针的量程中心的差值Δz；
步骤五，将上述计算所得的差值Δz实时传递给CNC控制系统，CNC控制系统根据差值Δz以及上次激光探针的Z轴坐标确定本次激光探针的Z轴坐标；
步骤六，CNC系统控制激光探针，使激光探针在Z轴方向与被测TFT基板玻璃做相对移动，使在量程之外的被测TFT基板玻璃运动到激光探针的量程范围内。
在以上整个测量方法进行过程中，所述激光探针在Z轴方向进行连续的、动态的、闭环的调节，使得激光探针与被测TFT基板玻璃之间的相对距离保持恒定，使被测TFT基板玻璃始终处于激光探针测量范围内。
以上步骤四中，计算激光探针的数据与量程中心的差值的方法根据式(1)：
Δz＝D-1/2δ (1)
式中：Δz为上次激光探针采集的上表面距离值与量程中心的差值；D为激光探针采集的上表面距离值；δ为激光探针量程。
以上步骤五中，本次激光探针的Z轴坐标方法根据式(2)：
Zi＝Zi-1-Δz (2)
式中：Zi为第i次运动Z轴目标坐标；Zi-1为第i-1次运动Z轴坐标。
本发明还提出一种实现上述测量方法的装置，包括工作平台以及设置于工作台上的激光探针运动机构，所述激光探针运动机构由Y轴运动组件、X轴运动组件以及Z轴运动机构组成；所述Y轴运动组件、X轴导轨组件以及Z轴运动机构设置有位置传感器，所述位置传感器均采用高精度的长光栅。
上述Z轴运动机构采用高精度直线导轨与滚珠丝杠配合，并采用伺服电机驱动。
以上通过运动控制卡对Z轴运动机构进行闭环控制。
本发明相比于现有技术，具有以下有益效果：
1)整个测量实现自动化、数字化，有效减少了测量的劳动强度和精度；
2)提高了测量的精度；
3)采用非接触式激光探针；
4)测量范围覆盖整个基板玻璃区域，没有测量盲区；
5)厚度和翘曲度及尺寸等几何量测量一次完成；大大缩短了整个测试周期，提高了测量效率；
6)本发明的测量方法重复精度高。
附图说明
图1为本发明的测量方法示意图；
图2为本发明的测量装置结构示意图；
图3为本发明的测量装置控制系统示意框图。
其中：1为激光探针；2为待测TFT基板玻璃；3为Z轴运动机构；4为X轴运动导轨组件；5为工作台；6为Y轴运动导轨组件。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细描述：
参见图1，本发明的TFT基板玻璃几何要素测量方法，具体包括以下步骤：
步骤一，建立XYZ坐标系，设XY平面为水平面，将待测TFT基板玻璃2平放于XY平面内；设置与计算机连接的激光探针1，使激光探针1的轴向与Z轴平行，且激光探针1受到CNC控制系统的控制，能够在X、Y、Z轴方向上进行位移；
步骤二，使激光探针1在XY平面内跟据测量的要求，按照逐行渐进扫描的方式进行运动，对待测TFT基板玻璃2进行测量；
步骤三，测量过程中，使计算机实时连续采集激光探针1的数据；
步骤四，计算机实时计算激光探针1采集的数据与激光探针1的量程中心的差值Δz；
计算激光探针1的数据与量程中心的差值的方法根据式(1)：
Δz＝D-1/2δ (1)
式中：Δz为上次激光探针采集的上表面距离值与量程中心的差值；D为激光探针采集的上表面距离值；δ为激光探针量程。
步骤五，将上述计算所得的差值Δz实时传递给CNC控制系统，CNC控制系统根据差值Δz以及上次激光探针的Z轴坐标确定本次激光探针的Z轴坐标；
本次激光探针的Z轴坐标方法根据式(2)：
Zi＝Zi-1-Δz (2)
式中：Zi为第i次运动Z轴目标坐标；Zi-1为第i-1次运动Z轴坐标。
步骤六，CNC系统控制激光探针，使激光探针在Z轴方向与被测TFT基板玻璃做相对移动，使在量程之外的被测TFT基板玻璃运动到激光探针的量程范围内。
在整个测量方法进行过程中，激光探针1在Z轴方向进行连续的、动态的、闭环的调节，使得激光探针与被测TFT基板玻璃之间的相对距离保持恒定，具体如图1所示，图中n0激光探针量程下限、n1激光探针量程中心、n2激光探针量程上限，G为激光探针1的探头运动轨迹线，由此可以看出，在对激光探针1的实时闭环调节过程中，激光探针1会根据TFT基板玻璃2的平面起伏在Z轴上下调节浮动，使被测TFT基板玻璃2始终处于激光探针1测量范围内。
本发明还提出一种该测量方法的装置，包括工作平台5以及设置于工作台5上的激光探针运动机构，所述激光探针运动机构由Y轴运动组件6、X轴运动组件4以及Z轴运动机构3组成；Y轴运动组件6、X轴导轨组件4以及Z轴运动机构3设置有位置传感器，位置传感器均采用高精度的长光栅。
Z轴运动机构3
Z轴运动机构3采用高精度直线导轨与滚珠丝杠，采用伺服步进电机作为驱动，位置传感器采用高精度的长光栅，分辨率为0.1μm。通过运动控制卡对Z轴运动机构进行闭环控制。Z轴的行程设计为10-50mm，可以在较大范围内调整激光探针的位置。在对被测工件进行扫描测量时，实际的运动调节跟随行程为0-5mm。
本发明的Y轴运动组件6和X轴运动组件4也都可以采用导轨式的运动机构来实现。
激光探针：
激光探针采用激光共聚集焦原理，在测量过程中，由光源发出的一束多色光(白色)，通过探头中一系列光学镜片后产生光谱色散，由于每一种单色光波长不同，因而在空间形成一组连续的焦点。
被聚焦于被测物体表面的单色光，反射后经光纤电缆回传到控制器中的单色仪，从而确定此单色光的波长，每一个波长都对应着一个距离值。通过数据处理，得到其厚度，厚度变化量，对翘曲度，平面度等几何量进行评价
控制机构
本发明的测量装置的控制系统如图3所示，包括主计算机以及与其连接的控制计算机，由控制计算机分别连接激光探针模块、运动控制模块和控制盒，其中激光探针模块连接激光探针，运动控制模块分别连接通过驱动连接至各轴的驱动电机，另外运动控制模块还连接有光栅信号处理模块。由图可知，其采用多轴运动控制系统，独立运行运动控制与数据采集，控制计算机通过运动控制模块以及各轴上驱动器驱动电机驱动，对各轴上的驱动电机实行速度、位置控制。并且根据激光探针采集的数据与测量范围中心值的偏差，控制Z轴机构和激光探针的轨迹。同时运动控制模块通过光栅信号处理模块对光栅信号进行采样。这些测量信号一方面作为数控的位置输入，构成一个速度内环与位置外环的完整控制系统。另一方面作为测量的基准。
Claims (7)
1.一种高精度大量程TFT基板玻璃几何要素测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，建立XYZ坐标系，设XY平面为水平面，将待测TFT基板玻璃平放于XY平面内；设置与计算机连接的激光探针，使激光探针的轴向与Z轴平行，且所述激光探针受到CNC控制系统的控制，能够在X、Y、Z轴方向上进行位移；
步骤二，使激光探针在XY平面内跟据测量的要求，按照逐行渐进扫描的方式进行运动，对待测TFT基板玻璃进行测量；
步骤三，测量过程中，使计算机实时连续采集所述激光探针的数据；
步骤四，计算机实时计算激光探针采集的数据与激光探针的量程中心的差值Δz；
步骤五，将上述计算所得的差值Δz实时传递给CNC控制系统，CNC控制系统根据差值Δz以及上次激光探针的Z轴坐标确定本次激光探针的Z轴坐标；
步骤六，CNC系统控制激光探针，使激光探针在Z轴方向与被测TFT基板玻璃做相对移动，使在量程之外的被测TFT基板玻璃运动到激光探针的量程范围内。
2.根据权利要求1所述的TFT基板玻璃几何要素测量方法，其特征在于，在整个测量方法进行过程中，所述激光探针在Z轴方向进行连续的、动态的、闭环的调节，使得激光探针与被测TFT基板玻璃之间的相对距离保持恒定，使被测TFT基板玻璃始终处于激光探针测量范围内。
3.根据权利要求1所述的TFT基板玻璃几何要素测量方法，其特征在于，步骤四中，计算激光探针的数据与量程中心的差值的方法根据式(1)：
Δz＝D-1/2δ (1)
式中：Δz为上次激光探针采集的上表面距离值与量程中心的差值；D为激光探针采集的上表面距离值；δ为激光探针量程。
4.根据权利要求1所述的TFT基板玻璃几何要素测量方法，其特征在于，步骤五中，本次激光探针的Z轴坐标方法根据式(2)：
Zi＝Zi-1-Δz (2)
式中：Zi为第i次运动Z轴目标坐标；Zi-1为第i-1次运动Z轴坐标。
5.一种实现权利要求1所述测量方法的装置，其特征在于，包括工作平台(5)以及设置于工作台(5)上的激光探针运动机构，所述激光探针运动机构由Y轴运动组件(6)、X轴运动组件(4)以及Z轴运动机构(3)组成；所述Y轴运动组件(6)、X轴导轨组件(4)以及Z轴运动机构(3)设置有位置传感器，所述位置传感器均采用高精度的长光栅。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述Z轴运动机构(3)采用高精度直线导轨与滚珠丝杠配合，并采用伺服电机驱动。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，通过运动控制卡对Z轴运动机构(3)进行闭环控制。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110130608A CN102305593A (zh) | 2011-05-20 | 2011-05-20 | 一种高精度大量程tft基板玻璃几何要素测量方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201110130608A CN102305593A (zh) | 2011-05-20 | 2011-05-20 | 一种高精度大量程tft基板玻璃几何要素测量方法及装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102305593A true CN102305593A (zh) | 2012-01-04 |
Family
ID=45379479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110130608A Pending CN102305593A (zh) | 2011-05-20 | 2011-05-20 | 一种高精度大量程tft基板玻璃几何要素测量方法及装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102305593A (zh) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102818537A (zh) * | 2012-08-29 | 2012-12-12 | 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 | 一种曝光母版弯曲度的测量装置及其测量方法 |
| CN102901455A (zh) * | 2012-10-23 | 2013-01-30 | 安徽工业大学 | 球冠半径快速在线检测装置 |
| CN102967273A (zh) * | 2012-11-16 | 2013-03-13 | 上海申和热磁电子有限公司 | Dbc基板翘曲激光测量装置 |
| CN104215195A (zh) * | 2014-09-23 | 2014-12-17 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 玻璃面板自动翘曲度测量仪 |
| CN104296674A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-21 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 玻璃面板自动翘曲度测量方法 |
| CN104678889A (zh) * | 2014-12-25 | 2015-06-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光栅机械刻划机的激光干涉控制方法 |
| CN105717154A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-06-29 | 东旭科技集团有限公司 | 用于测量板材收缩率的装置和方法 |
| CN105910553A (zh) * | 2016-06-03 | 2016-08-31 | 广东正业科技股份有限公司 | 一种检测平面的检测仪及其检测方法 |
| CN106949870A (zh) * | 2017-03-16 | 2017-07-14 | 东旭科技集团有限公司 | 测厚设备及基板玻璃的测厚方法 |
| CN107101573A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-08-29 | 武汉轻工大学 | 一种超薄玻璃厚度的在线测量装置、方法及应用 |
| CN107671503A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-02-09 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 一种壳体的加工方法、壳体和移动终端 |
| CN108050950A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-05-18 | 合肥工业大学 | 用于气浮传输的玻璃基板变形检测装置 |
| CN109387154A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-26 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 | 热加工过程在线测量系统及透明材料动态变形测量方法 |
| CN109443223A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-03-08 | 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 | 一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置 |
| CN109916355A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-21 | 南京熊猫电子股份有限公司 | 液晶玻璃厚度在线检测装置 |
| CN110340159A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-10-18 | 山西大学 | 一种用于热轧板带大范围板厚测量的装置 |
| CN110568869A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-13 | 中国航发沈阳发动机研究所 | 一种提高控制探针自动跟踪测试精度的控制方法 |
| CN112229337A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-01-15 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061982A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Nishiyama Stainless Chem Kk | 表示ガラス基板の検査装置 |
| CN1847785A (zh) * | 2006-04-28 | 2006-10-18 | 南通大学 | 实现大量程自由曲面的高精度测量方法 |
| CN101050946A (zh) * | 2006-04-07 | 2007-10-10 | 西山不锈化学股份有限公司 | 测量玻璃基板厚度的设备 |
| CN101341393A (zh) * | 2005-01-11 | 2009-01-07 | 康宁股份有限公司 | 用于测量正在移动的玻璃基板的厚度的在线厚度规及其方法 |
| CN101464141A (zh) * | 2009-01-09 | 2009-06-24 | 厦门大学 | 一种非球面检测仪 |
| US20090219531A1 (en) * | 2008-03-03 | 2009-09-03 | Kum-Mi Oh | Detecting device and method for detecting unevenness of a glass substrate |
-
2011
- 2011-05-20 CN CN201110130608A patent/CN102305593A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061982A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Nishiyama Stainless Chem Kk | 表示ガラス基板の検査装置 |
| CN101341393A (zh) * | 2005-01-11 | 2009-01-07 | 康宁股份有限公司 | 用于测量正在移动的玻璃基板的厚度的在线厚度规及其方法 |
| CN101050946A (zh) * | 2006-04-07 | 2007-10-10 | 西山不锈化学股份有限公司 | 测量玻璃基板厚度的设备 |
| CN1847785A (zh) * | 2006-04-28 | 2006-10-18 | 南通大学 | 实现大量程自由曲面的高精度测量方法 |
| US20090219531A1 (en) * | 2008-03-03 | 2009-09-03 | Kum-Mi Oh | Detecting device and method for detecting unevenness of a glass substrate |
| CN101464141A (zh) * | 2009-01-09 | 2009-06-24 | 厦门大学 | 一种非球面检测仪 |
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102818537A (zh) * | 2012-08-29 | 2012-12-12 | 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 | 一种曝光母版弯曲度的测量装置及其测量方法 |
| CN102901455A (zh) * | 2012-10-23 | 2013-01-30 | 安徽工业大学 | 球冠半径快速在线检测装置 |
| CN102901455B (zh) * | 2012-10-23 | 2015-12-16 | 安徽工业大学 | 球冠半径快速在线检测装置 |
| CN102967273A (zh) * | 2012-11-16 | 2013-03-13 | 上海申和热磁电子有限公司 | Dbc基板翘曲激光测量装置 |
| CN104215195A (zh) * | 2014-09-23 | 2014-12-17 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 玻璃面板自动翘曲度测量仪 |
| CN104296674A (zh) * | 2014-11-03 | 2015-01-21 | 苏州精创光学仪器有限公司 | 玻璃面板自动翘曲度测量方法 |
| CN104678889A (zh) * | 2014-12-25 | 2015-06-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光栅机械刻划机的激光干涉控制方法 |
| CN104678889B (zh) * | 2014-12-25 | 2017-07-07 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光栅机械刻划机的激光干涉控制方法 |
| CN105717154A (zh) * | 2016-05-05 | 2016-06-29 | 东旭科技集团有限公司 | 用于测量板材收缩率的装置和方法 |
| CN105910553A (zh) * | 2016-06-03 | 2016-08-31 | 广东正业科技股份有限公司 | 一种检测平面的检测仪及其检测方法 |
| CN106949870A (zh) * | 2017-03-16 | 2017-07-14 | 东旭科技集团有限公司 | 测厚设备及基板玻璃的测厚方法 |
| CN107101573A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-08-29 | 武汉轻工大学 | 一种超薄玻璃厚度的在线测量装置、方法及应用 |
| CN107671503A (zh) * | 2017-09-30 | 2018-02-09 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 一种壳体的加工方法、壳体和移动终端 |
| CN107671503B (zh) * | 2017-09-30 | 2019-08-16 | Oppo广东移动通信有限公司 | 一种壳体的加工方法、壳体和移动终端 |
| CN108050950A (zh) * | 2017-12-22 | 2018-05-18 | 合肥工业大学 | 用于气浮传输的玻璃基板变形检测装置 |
| CN109443223A (zh) * | 2018-10-25 | 2019-03-08 | 彩虹（合肥）液晶玻璃有限公司 | 一种玻璃基板翘曲度测量基台和装置 |
| CN109387154A (zh) * | 2018-11-29 | 2019-02-26 | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 | 热加工过程在线测量系统及透明材料动态变形测量方法 |
| CN109916355A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-21 | 南京熊猫电子股份有限公司 | 液晶玻璃厚度在线检测装置 |
| CN110340159A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-10-18 | 山西大学 | 一种用于热轧板带大范围板厚测量的装置 |
| CN110568869A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-13 | 中国航发沈阳发动机研究所 | 一种提高控制探针自动跟踪测试精度的控制方法 |
| CN112229337A (zh) * | 2020-10-20 | 2021-01-15 | 蚌埠中光电科技有限公司 | 一种用于高世代基板玻璃在线无损厚度测量装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102305593A (zh) | 一种高精度大量程tft基板玻璃几何要素测量方法及装置 | |
| CN105091802B (zh) | 一种基于激光测距传感器的便携式二维随动激光测量装置 | |
| CN1952687B (zh) | 激光雷达光路自动准直方法及准直仪 | |
| CN204128509U (zh) | 一种轴径测量装置 | |
| CN105043288A (zh) | 一种基于机器视觉引导的激光齿轮倒角轮廓测量仪及其测量方法 | |
| CN204807049U (zh) | 一种基于机器视觉引导的激光齿轮倒角轮廓测量仪 | |
| CN107102618A (zh) | 可进行误差补偿的数控机床及其误差补偿的方法 | |
| CN101387499A (zh) | 一种在线式圆柱体直径测量装置及其测量方法 | |
| CN102136300A (zh) | 三段组合式超精密定位台及其定位方法 | |
| CN103389052A (zh) | 一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置 | |
| CN102004027B (zh) | 一种激光两坐标装置 | |
| CN103033919A (zh) | 一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统及方法与应用 | |
| CN107063103A (zh) | 一种薄壁件多点柔性定位与变形测量实验装置 | |
| CN102749036A (zh) | 一种用于大型自由锻件的直径在线测量装置 | |
| CN114473631A (zh) | 一种双驱系统龙门同步调整方法 | |
| CN107655416B (zh) | 一种轴的直径检测装置及检测方法 | |
| CN110470250B (zh) | 一种零件表面平面度的检测装置及检测方法 | |
| CN106644715A (zh) | 一种便携式划入测试系统 | |
| CN106989671B (zh) | 一种机车轮对光学测量装置 | |
| CN103557790B (zh) | 光栅影像复合自动测量方法 | |
| CN104007014A (zh) | 微构件综合力学性能测试装置 | |
| CN109708606B (zh) | 一种基于运动参数表征的复合凸轮加工精度检测装置和方法 | |
| CN112344862A (zh) | 一种波纹管波形测试装置及测试方法 | |
| CN216791124U (zh) | 一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及其系统 | |
| CN108534621B (zh) | 一种基于机器视觉的玻璃线纹尺自动校准装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20120104 |