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CN102162917B - 光扫描仪以及图像形成装置 - Google Patents

光扫描仪以及图像形成装置 Download PDF

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CN102162917B
CN102162917B CN201110042853.8A CN201110042853A CN102162917B CN 102162917 B CN102162917 B CN 102162917B CN 201110042853 A CN201110042853 A CN 201110042853A CN 102162917 B CN102162917 B CN 102162917B
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    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
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Abstract

本发明提供一种光扫描仪，其特征在于，上述光扫描仪具有：光反射部，该光反射部具有光反射性；可动板，该可动板具备上述光反射部，且能够变位；一对连结部，该一对连结部连接于上述可动板的端部的对置的位置；支承部，该支承部用于支承上述连结部；以及变位赋予部，该变位赋予部用于使上述一对连结部转动，各上述连结部具有：驱动部，该驱动部能够转动；以及轴部，该轴部连接上述可动板和上述驱动部，且通过上述驱动部的转动朝上述可动板的厚度方向弯折。

Description

光扫描仪以及图像形成装置
技术领域
本发明涉及光扫描仪以及图像形成装置。
背景技术
例如，作为在激光打印机等中通过光扫描进行描绘的光扫描仪，公知有由扭转振子构成的光扫描仪(例如参照专利文献1)。
在专利文献1中具有如下的光扫描仪(光偏光器)，该光扫描仪具有：框状的支承基板；扫描反射镜，该扫描反射镜设置在支承基板的内侧；一对扭杆，这一对扭杆连结支承基板和扫描反射镜，且同轴地设置；永磁铁，该永磁铁设置于扫描反射镜；以及线圈，该线圈用于产生作用于永磁铁的磁场。在该专利文献1的光扫描仪中构成为：对线圈施加交变电压而交替地切换作用于永磁铁的磁场的磁极，由此使一对扭杆扭转变形，并使扫描反射镜绕中心轴转动。
但是，在专利文献1的光扫描仪中，虽然能够使扫描反射镜绕中心轴转动，但是，无法使该中心轴变位(移动)。具体地说，在专利文献1的光扫描1中，在构造上，无法使扫描反射镜的中心轴在扫描反射镜(非驱动状态)的厚度方向任意移动。并且，例如，在未使扫描反射镜转动的状态下，也无法使扫描反射镜在保持该姿态的状态下在厚度方向变位。即，在专利文献1的光扫描仪中，扫描反射镜的驱动图案仅仅是绕固定于1处的转动中心轴的转动，因此存在便利性低的问题。
[专利文献1]日本特开2005-181395号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够以多个驱动图案驱动、便利性高的光扫描仪以及图像形成装置。
这种目的借助下述的本发明达成。
本发明的光扫描仪的特征在于，上述光扫描仪具有：
可动板，该可动板具备光反射部，该光反射部具有光反射性；
支承部，该支承部用于支承上述可动板；
一对连结部，该一对连结部设置于上述可动板的两侧，用于连结上述可动板和上述支承部；以及
变位构件，该变位构件使上述可动板变位，
各上述连结部具有：
驱动部，该驱动部能够相对于上述支承部转动；以及
轴部，该轴部用于连结上述驱动部和上述可动板，
各上述连结部的上述轴部能够在该轴部的长度方向的中途朝上述可动板的厚度方向弯折，
通过利用上述变位构件使各上述连结部的上述驱动部转动，并通过该转动使上述轴部弯折，由此使上述可动板变位。
由此，能够以多个图案进行驱动，能够提供便利性高的光扫描仪。
在本发明的光扫描仪中，当将在上述可动板的俯视图中正交的2轴设为X轴和Y轴时，
上述一对连结部分别具有：上述驱动部，该驱动部与上述可动板在X轴方向离开配置；作为上述轴部的第一轴部，该第一轴部连结上述可动板和上述驱动部，且在X轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结上述驱动部和上述支承部，且在Y轴方向延伸，
利用上述变位构件使上述第二轴部扭转变形并使上述驱动部绕Y轴转动，由此使上述第一轴部弯折。
由此，连结部的结构变得简单。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部所具有的上述第一轴部具有：节部，该节部设置在延伸方向的中途；可动板侧轴部，该可动板侧轴部连结上述节部和上述可动板；以及驱动部侧轴部，该驱动部侧轴部连结上述节部和上述驱动部，并且，上述第一轴部在上述节部弯折。
由此，能够简单地使第一轴部弯折。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部所具有的上述第一轴部能够形成为以下两种变形：以形成朝上述可动板的厚度方向的一方侧凸出的V字状的方式在上述节部弯折的第一变形；以及以形成朝上述可动板的厚度方向的另一方侧凸出的V字状的方式在上述节部弯折的第二变形。
通过使各第一轴部以上述方式弯折，能够高效地使可动板变位。
在本发明的光扫描仪中，优选利用上述变位构件交替地反复形成以下状态，由此使上述可动板绕上述Y轴转动：使各上述连结部所具有的上述第一轴部中的一方的上述第一轴部进行上述第一变形，同时使另一方的上述第一轴部进行上述第二变形的状态；以及使上述一方的第一轴部进行上述第二变形，同时使上述另一方的第一轴部进行上述第一变形的状态。
由此，能够使可动板顺畅地转动。
在本发明的光扫描仪中，优选利用上述变位构件交替地反复形成以下状态，由此使上述可动板朝该可动板的厚度方向振动：使各上述连结部所具有的上述第一轴部进行上述第一变形的状态；以及使各上述连结部所具有的上述第一轴部进行上述第二变形的状态。
由此，能够使可动板顺畅地振动。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部的上述节部具有绕Y轴扭转变形的扭转变形部。
由此，当第一轴部弯折时，扭转变形部扭转变形，由此，能够有效地缓和通过弯折产生的应力。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部的上述节部具有一对上述扭转变形部，
上述一对扭转变形部中的一方的上述扭转变形部连结于上述可动板侧轴部，另一方的上述扭转变形部连结于上述驱动部侧轴部。
由此，当第一轴部弯折时，扭转变形部扭转变形，由此，能够有效地缓和通过弯折产生的应力。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部的上述节部具有非变形部，该非变形部设置在上述一对扭转变形部之间，沿Y轴方向延伸且并不绕Y轴扭转变形。
由此，能够以非变形部为轴使第一轴部局部地弯折。因此，能够简单且可靠地使第一轴部弯折，能够使可动板稳定地变位(转动)。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部的上述可动板侧轴部和上述驱动部侧轴部分别并不实质性地变形。
由此，能够简单地使第一轴部在节部弯折。因此，能够进行稳定的可动板的变位(转动)。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部由SOI基板形成，上述SOI基板通过按照顺序层叠第一Si层、SiO2层、以及第二Si层而形成。
由此，能够简单地形成各连结部。
在本发明的光扫描仪中，优选各上述连结部的上述可动板侧轴部、上述非变形部、上述驱动部侧轴部、以及上述驱动部分别由上述第一Si层、上述SiO2层、以及上述第二Si层构成，上述扭转变形部和上述第二轴部分别由上述第二Si层构成。
由此，能够简单地形成各连结部。
在本发明的光扫描仪中，优选上述变位构件与上述一对连结部对应地设置有一对，
各上述变位构件具有：永磁铁，该永磁铁设置于上述驱动部；以及线圈，该线圈产生作用于上述永磁铁的磁场。
由此，变位构件的结构变得简单。
在本发明的光扫描仪中，优选在各上述变位构件中，上述永磁铁以两极在上述可动板的厚度方向对置的方式设置，上述线圈以产生X轴方向的磁场的方式设置。
由此，能够使可动板稳定地变位。
在本发明的光扫描仪中，优选在各上述变位构件中，上述永磁铁贯通上述驱动部而设置。
由此，能够使可动板稳定地变位。
本发明的图像形成装置的特征在于，上述图像形成装置具备光扫描仪，上述光扫描仪具有：
可动板，该可动板具备光反射部，该光反射部具有光反射性；
支承部，该支承部用于支承上述可动板；
一对连结部，该一对连结部设置于上述可动板的两侧，用于连结上述可动板和上述支承部；以及
变位构件，该变位构件使上述可动板变位，
各上述连结部具有：
驱动部，该驱动部能够相对于上述支承部转动；以及
轴部，该轴部用于连结上述驱动部和上述可动板，
各上述连结部的上述轴部能够在该轴部的长度方向的中途朝上述可动板的厚度方向弯折，
通过利用上述变位构件使各上述连结部的上述驱动部转动，并通过该转动使上述轴部弯折，由此使上述可动板变位。
由此，能够以多个图案进行驱动，能够提供便利性高的图像形成装置。
附图说明
图1是示出本发明的光扫描仪的第一实施方式的俯视图。
图2是图1所示的光扫描仪的剖视图(沿图1中的A-A线的剖视图)。
图3是图1所示的光扫描仪所具有的连结部的立体图。
图4是用于说明图1所示的光扫描仪所具有的振动系统的制造方法的剖视图。
图5是用于说明图1所示的光扫描仪所具有的振动系统的制造方法的剖视图。
图6是用于说明图1所示的光扫描仪所具有的变位构件的图。
图7是用于说明图1所示的光扫描仪的驱动的图。
图8是用于说明图1所示的光扫描仪的驱动的图。
图9是用于说明图1所示的光扫描仪的驱动的图。
图10是示出本发明的光扫描仪的第二实施方式的俯视图。
图11是示出本发明的光扫描仪的第三实施方式的俯视图。
图12是示出本发明的光扫描仪的第四实施方式的立体图。
图13是示出本发明的图像形成装置的概要的图。
符号说明
1...光扫描仪；2...可动板；21...面；22...光反射部；3...支承部；4、4C、5...连结部；41、51...驱动板；411...贯通孔；42、42C、52...第一轴部；421、421C、521...节部；4211、4212、5211、5212...扭转变形部；4213、4213C、5213...非变形部；4214、4215、5214、5215...连接部；422、522...可动板侧轴部；423、523...驱动板侧轴部；43、53...第二轴部；6...变位构件；61、61B...第一变位构件；62...第二变位构件；611、611B、621...永磁铁；612、612B、622...线圈；613、613B、623...电源；64、64A...线圈固定部；641...突出部；642A...主体部；8...振动系统；9...基座；91...基部；92...框部；100...SOI基板；110...第一Si层；120...SiO2层；130...第二Si层；200...投影仪；210...光源装置；211...红色光源装置；212...蓝色光源装置；213...绿色光源装置；220...正交二向色棱镜(cross dichroic prism)；230、240...光扫描仪；250...固定反射镜；M1、M2...SiO2膜；J1、J2...转动中心轴；J3、J4...中心轴；SC...投影屏。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的光扫描仪和图像形成装置的优选的实施方式进行说明。
<第一实施方式>
首先，对本发明的光扫描仪的第一实施方式进行说明。
图1是示出本发明的光扫描仪的第一实施方式的俯视图，图2是图1所示的光扫描仪的剖视图(沿图1中的A-A线的剖视图)，图3是图1所示的光扫描仪所具有的连结部的立体图，图4和图5分别是用于说明图1所示的光扫描仪所具有的振动系统的制造方法的剖视图，图6是用于说明图1所示的光扫描仪所具有的变位构件的图，图7、图8、以及图9分别是用于说明图1所示的光扫描仪的驱动的图。
另外，以下，为了说明的方便，将图1中的左侧称为“左”、将右侧称为“右”，将图2～图9中的上侧称为“上”、将下侧称为“下”。并且，如图1所示，将相互正交的3轴设为X轴、Y轴以及Z轴，非驱动状态的可动板的面与由X轴和Y轴形成的面一致(平行)，可动板的厚度方向与Z轴一致。并且，以下，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”、将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”、将与Z轴方向平行的方向称为“Z轴方向”。
图1和图2所示的光扫描仪1具有：振动系统8，该振动系统8由可动板2、用于支承可动板2的支承部3、以及连结可动板2和支承部3的一对连结部4、5构成；基座9，该基座9用于支承振动系统8；以及变位构件6，该变位构件6用于使可动板2变位。
另外，在光扫描仪1中，作为可动板2的变位，大致地进行区分，能够选择绕图1所示的转动中心轴J1转动的图案、可动板2在保持其姿态的状态下在Z轴方向振动的图案、以及可动板2在从自然状态的位置偏移的位置静止的图案，在以下的说明中，只要没有特意限定，可动板2的“变位”就包括上述3种图案。
以下，对光扫描仪1的各结构依次进行详细说明。
1-1.振动系统8
在本实施方式中，振动系统8(即可动板2、支承部3以及一对连结部4、5)通过利用干蚀刻(dry etching)和湿蚀刻(wet etching)等各种蚀刻方法将SOI基板的不需要部位除去而一体地形成。另外，对于振动系统8的制造方法在后面详细叙述。
支承部3具有支承可动板2的功能。这种支承部3形成为框状，且以包围可动板2的周围的方式设置。另外，作为支承部3的形状，只要能够支承可动板2即可，并无特殊限定，例如，也可以隔着可动板2以在X轴方向或者Y轴方向对置的方式设置有一对。
在支承部3的内侧设置有可动板2。可动板2形成为平板状，且在一方的面(与基座9相反侧的面)21形成有具有光反射性的光反射部22。光反射部22例如能够通过利用蒸镀等在面21上形成金、银、铝等的金属膜等而得到。
另外，在本实施方式中，可动板2的俯视形状形成为圆形，但是，作为可动板2的俯视形状，并无特殊限定，例如也可以是长方形、正方向等多边形、椭圆形等。
这种可动板2通过连结部4、5与支承部3连结。连结部4、5相对于可动板2相互位于相反侧，对可动板2进行双支承。具体地说，连结部4在1中左侧连结可动板2和支承部3，连结部5在图1中右侧连结可动板2和支承部3。这种连结部4、5相对于可动板2(转动中心轴J1)对称地形成。
连结部4具有：驱动板(驱动部)41；第一轴部42，该第一轴部42连结驱动板41和可动板2；以及一对第二轴部43，这一对第二轴部43连结驱动板41和支承部3。同样地，连结部5具有：驱动板(驱动部)51；第一轴部52，该第一轴部52连结驱动板51和可动板2；以及一对第二轴部53，这一对第二轴部53连结驱动板51和支承部3。通过将连结部4形成为这种结构，能够简单且可靠地使可动板2利用前面所述的多个图案变位。
以下对连结部4、5进行具体地说明，但是，由于连结部4、5的结构相互是同样的结构，因此以连结部4为代表进行说明，省略对连结部5的说明。
如图3所示，一对第二轴部43隔着驱动板41在Y轴方向对置配置，对驱动板41进行双支承。并且，一对第二轴部43分别形成为沿Y轴方向延伸的棒状。并且，一对第二轴部43能够绕中心轴扭转变形。这样的一对第二轴部43同轴地设置，一对第二轴部43以该轴(以下也称作“转动中心轴J2”为中心扭转变形，同时驱动板41转动。
驱动板41相对于可动板2在X轴方向离开设置。并且，如前面所述，驱动板41由一对第二轴部43进行双支承。在这种驱动板41形成有贯通孔411，永磁铁611插通并固定于该贯通孔。永磁铁611例如通过嵌合(压入)或粘接剂固定于驱动板41。永磁铁611是变位构件6的结构的一部分，因此对于永磁铁611在后面进行说明。
并且，在本实施方式中，驱动板41的俯视形状形成为以Y轴方向作为长边的长方形。通过将驱动板41形成为这种形状，能够确保用于固定永磁铁611的空间，并且能够抑制驱动板41的宽度(X轴方向的长度)。通过抑制驱动板41的宽度，能够抑制当驱动板41绕转动中心轴J2转动时产生的惯性矩，驱动板41的响应性提高，能够更高速地转动。并且，当驱动板41的响应性提高时，能够抑制由于驱动板41的转动(特别是转动方向转换的反转时)而产生非本意的振动的情况。因此，能够稳定地驱动光扫描仪1。
另外，作为驱动板41的俯视形状，并无特殊限定，例如也可以形成为正方形或五边形以上的多边形，也可以形成为圆形。
这种驱动板41借助第一轴部42与可动板2连结。第一轴部42以整体沿X轴方向延伸的方式设置。这种第一轴部42具有：节部421，该节部421设置在驱动板41与可动板2之间；可动板侧轴部422，该可动板侧轴部422连结节部421和可动板2；以及驱动板侧轴部(驱动部侧轴部)423，该驱动板侧轴部423连结节部421和驱动板41。
可动板侧轴部422和驱动板侧轴部423分别形成为沿X轴方向延伸的棒状。并且，可动板侧轴部422和驱动板侧轴部423同轴地设置。优选上述可动板侧轴部422和驱动板侧轴部423分别设定成在光扫描仪1的驱动时不会产生大的变形的硬度，更加优选设定成实质上不会变形的硬度。由此，如后所述，能够使可动板2稳定地变位。另外，上述“变形”是指朝向Z轴方向的曲折或弯曲以及绕中心轴的扭转变形。
这种可动板侧轴部422和驱动板侧轴部423经由节部421连结。节部421设置在可动板侧轴部422与驱动板侧轴部423之间，将二者连结在一起。如图3所示，节部421具有：一对扭转变形部4211、4212；设置在这一对扭转变形部4211、4212之间的非变形部4213；一对连接部4214，这一对连接部4214将扭转变形部4211连接于非变形部4213；以及一对连接部4215，这一对连接部4215将扭转变形部4212连接于非变形部4213。
非变形部4213形成为沿Y轴方向延伸的棒状。这种非变形部4213设定成在光扫描仪1的驱动时实质上不会变形的硬度。由此，如后所述，能够使第一轴部42以非变形部4213的中心轴J4为中心弯折(bend)，能够稳定地驱动光扫描仪1。另外，上述“变形”是指非变形部4213的朝向Z轴方向的弯折/弯曲以及绕中心轴J4的扭转变形。
相对于这种非变形部4213对称地配置有一对扭转变形部4211、4212。扭转变形部4211、4212分别形成为沿Y轴方向延伸的棒状。并且，扭转变形部4211、4212相互在X轴方向离开地并列设置。
并且，位于可动板2侧的扭转变形部4211在其长度方向的大致中央与可动板侧轴部422的一端连结，同样，位于驱动板41侧的扭转变形部4212在其长度方向的大致中央与驱动板侧轴部423的一端连结。这种扭转变形部4211、4212分别能够绕其中心轴扭转变形。
这种扭转变形部4211借助一对连接部4214连接于非变形部4213，扭转变形部4212借助一对连接部4215连接于非变形部4213。
一对连接部4214中的一方的连接部以将扭转变形部4211和非变形部4213的一端部彼此连结在一起的方式设置，另一方的连接部以将扭转变形部4211和非变形部4213的另一端部彼此连结在一起的方式设置。并且，一对连接部4215中的一方的连接部以将扭转变形部4212和非变形部4213的一端部彼此连结在一起的方式设置，另一方的连接部以将扭转变形部4212和非变形部4213的另一端部彼此连结在一起的方式设置。
这种各连接部4214、4215形成为沿X轴方向延伸的棒状。并且，各连接部4214、4215能够朝Z轴方向弯曲且能够绕其中心轴扭转变形。
以上对振动系统8的结构(形状)进行了具体地说明。
如前面所述，这种结构的振动系统8由SOI基板一体地形成。由此，振动系统8的形成容易。具体地说，如前面所述，在振动系统8中共存有积极地变形的部位和不变形(不想使其变形)的部位。另一方面，SOI基板是通过按照顺序层叠第一Si层、SiO2层、以及第二Si层而成的基板。此处，通过利用上述3个层的所有层构成不变形的部位、且仅利用第二Si层构成积极地变形的部位，即使SOI基板的厚度不同，也能够简单地形成共存有变形部位和不变形部位的振动系统8。另外，积极地变形的部位也可以由第二Si层和SiO2层这2层构成。
在上述“积极地变形的部位”中包括第二轴部43、53、扭转变形部4211、4212、5211、5212以及各连接部4214、4215、5214、5215，在上述“不变形的部位”中包括可动板侧轴部422、522、驱动板侧轴部423、523、驱动板41、51以及非变形部4213、5213。并且，除了连结部4、5以外的可动板2和支承部3也包括在上述“不变形的部位”中。
以下，根据图4和图5对振动系统8的制造方法的一例进行简单地说明。另外，振动系统8的制造方法并不限定于此。
首先，如图4(a)所示，准备按照第一Si层110、SiO2层120、第二Si层130的顺序从上侧层叠而成的SOI基板(硅基板)100。
接着，如图4(b)所示，在SOI基板100的两面形成SiO2膜M1、M2。接着，如图4(c)所示，通过对SiO2膜M2进行蚀刻而形成可动板2、支承部3、以及一对连结部4、5的俯视形状的图案，同时，通过对SiO2膜M1进行蚀刻而形成与可动板2、支承部3、驱动板41、51、可动板侧轴部422、522、驱动板侧轴部423、523、以及非变形部4213、5213对应的形状的图案。
接着，如图5(a)所示，经由SiO2膜M1对SOI基板100进行蚀刻。此时，作为SOI基板100的中间层的SiO2层120作为上述蚀刻的停止层发挥功能。在该蚀刻结束之后，此次经由SiO2膜M2对SOI基板100进行蚀刻。此时，作为SOI基板100的中间层的SiO2层120作为上述蚀刻的停止层发挥功能。
另外，作为蚀刻方法，并无特殊限定，例如能够使用等离子体蚀刻、反应离子蚀刻、电子束蚀刻、光辅助蚀刻等物理蚀刻方法、湿蚀刻等化学蚀刻方法中的1种方法，或者组合使用2种以上的方法。另外，在以下的各工序中的蚀刻中也能够使用同样的方法。
接着，如图5(b)所示，通过利用BFH(Buffered Hydrogen Fluoride：缓冲氢氟酸)等将SiO2膜M1、M2以及SiO2层120的露出的部分蚀刻除去而加工出可动板2、支承部3、以及一对连结部4、5的外形形状。
进一步，如图5(c)所示，在可动板2的上表面21形成金属膜，从而形成光反射部22。作为金属膜(光反射部22)的形成方法，能够举出真空蒸镀、溅射(低温溅射)、离子镀等干镀法、电解电镀、非电解电镀等湿镀法、喷镀法、金属箔的接合等。
能够以这种方式得到振动系统8。
1-2.基座9
如图2所示，基座9具有平板状的基部91和沿基部91的边缘部设置的框部92，且形成为箱状(斗状)。这种基座9利用框部92与振动系统8的支承部3下表面接合。由此，利用基座9支承振动系统8。另外，作为基座9与支承部3的接合方法，并无特殊限定，例如可以使用粘接剂进行接合，也可以使用阳极接合等各种接合方法。
1-3.变位构件6
如图1所示，变位构件6具有第一变位构件61和第二变位构件62，第一变位构件61具有永磁铁611、线圈612以及电源613，第二变位构件62具有永磁铁621、线圈622以及电源623。第一变位构件61与连结部4对应地设置，第二变位构件62与连结部5对应地设置。由此，变位构件的结构变得简单。
另外，由于第一变位构件61和第二变位构件62的结构相互为同样的结构，因此，以下以第一变位构件61作为代表进行说明，省略对第二变位构件62的说明。
如图6所示，永磁铁611形成为棒状，且沿长度方向被磁化。即，永磁铁611的长度方向的一端侧为S极、另一端侧为N极。这种永磁铁611插通在形成于驱动板41的贯通孔411，且在长度方向的大致中央被固定于驱动板41。进而，永磁铁611在驱动板41的上方和下方突出相同的长度，且S极和N极隔着驱动板41对置。由此，如后所述，能够使可动板2稳定地变位。
并且，永磁铁611以长度方向与驱动板41的面方向正交的方式设置。并且，永磁铁611以中心轴与转动中心轴J2交叉的方式设置。
作为这种永磁铁611，并无特殊限定，例如能够适当地使用钕磁铁、铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝铁镍钴磁铁、粘结磁铁(bond magnet)等对硬磁体进行磁化而成的磁铁。
另外，在本实施方式中，永磁铁611形成为棒状，但是，作为永磁铁的形状，并无特殊限定，例如也可以形成为板状。在该情况下，只要使永磁铁611在面方向磁化，并以面方向与X轴方向正交的方式固定于驱动板41即可。由此，能够缩短永磁铁611的X轴方向长度，因此能够抑制伴随着驱动板41的转动产生的惯性矩。
线圈612产生作用于永磁铁611的磁场。这种线圈612在振动系统8的外侧附近以在X轴方向与永磁铁611对置的方式配置。并且，线圈612以能够产生X轴方向的磁场的方式设置，即以能够产生线圈612的永磁铁611侧为N极且相反侧为S极的状态和线圈612的永磁铁611侧为S极且相反侧为N极的状态的方式设置。
本实施方式的光扫描仪1在振动系统8的外侧具有与基座9固定设置的线圈固定部64。线圈612卷绕于该线圈固定部64所具有的沿X轴方向延伸的突出部641。通过形成为这种结构，能够使线圈612相对于振动系统8固定，并且，能够简单地产生如前面所述的磁场。并且，通过利用铁等软磁体构成突出部641，能够将突出部641用作线圈612的磁芯，能够更高效地产生如前面所述的磁场。
电源613与线圈612电连接。进而，通过从电源613对线圈612施加期望的电压，能够从线圈612产生如前面所述的磁场。在本实施方式中，电源613能够选择施加交变电压和直流电压。并且，当施加交变电压时，能够变更交变电压的强度、频率，进一步，能够重叠偏置电压(直流电压)。
2.光扫描仪1的动作
接着，对光扫描仪1的动作进行说明。
如前面所述，在光扫描仪1中，能够选择使可动板2转动的图案、使可动板2振动的图案、以及使可动板2在预定位置静止的图案。以下，依次对上述3个图案进行说明。另外，以下，为了说明的方便，以永磁铁611、612都以N极位于上侧的方式配置的结构作为代表进行说明。
2-1.转动
首先，以第一状态和第二状态交替且周期性地转换的方式从电源613、623对线圈612、622施加交变电压，在第一状态下，线圈612的永磁铁611侧为N极、线圈622的永磁铁621侧为S极，在第二状态下，线圈612的永磁铁611侧为S极、线圈622的永磁铁621侧为N极。优选从电源613、623对线圈612、622施加的交变电压相互为相同的波形(强度和频率相同)。
在图7(a)所示的第一状态下，永磁铁611的S极被向线圈612吸引、同时N极远离线圈612，因此，一对第二轴部43扭转变形，并且，驱动板41以上表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴J2倾斜。与此同时，永磁铁621的N极被向线圈622吸引、同时S极远离线圈622，因此，一对第二轴部53扭转变形，并且，驱动板51以下表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴J3倾斜。即、驱动板41、51都朝图7(a)中的顺时针方向倾斜。
在该驱动板41、51倾斜的同时，驱动板侧轴部423以位于可动板2侧的端部朝向下侧的方式倾斜，驱动板侧轴部523以位于可动板2侧的端部朝向上侧的方式倾斜。由此，成为驱动板侧轴部423、523的位于可动板2侧的端部彼此在Z轴方向偏移的状态。
进而，通过驱动板侧轴部423、523的位于可动板2侧的端部彼此在Z轴方向偏移，一边使扭转变形部4211、4212、5211、5212绕其中心轴扭转变形并使各连接部4214、4215、5214、5215弯曲变形，一边使可动板侧轴部422、522以及可动板2一体地朝图7(a)中的逆时针方向倾斜。
这样，在第一状态下，连结部4的第一轴部42以位于其中途的节部421为中心朝下侧弯折的方式(即、朝下侧凸出的V字状)变形，同时，连结部5的第一轴部52以位于其中途的节部521为中心朝上侧弯折的方式(即、朝上侧凸出的V字状)变形，由此，可动板2以转动中心轴J1为中心朝图7(a)中的逆时针方向倾斜。
另一方面，在图7(b)所示的第二状态下，会产生与前面所述的第一状态相反的变形。即，在第二状态下，连结部4的第一轴部42以节部421作为中心朝上侧弯折变形，同时，连结部5的第一轴部52以节部521作为中心朝下侧弯折变形，由此，可动板2以转动中心轴J1为中心朝图7(b)中的逆时针方向倾斜。
通过交替地切换上述的第一状态和第二状态，能够使可动板2绕转动中心轴J1转动。
另外，作为对线圈612、622施加的交变电压的频率，并无特殊限定，可以与由可动板2和连结部4、5构成的振动系统的共振频率相等，也可以是在该共振频率以下，优选在上述共振频率以下。即，优选以非共振方式驱动光扫描仪1。由此，能够实现光扫描仪1的更稳定的驱动。
此处，在本实施方式的光扫描仪1中，在连结部4中，驱动板侧轴部423和可动板侧轴部422分别实质上不变形，因此，能够使第一轴部42在节部421简单地弯折。对于连结部5也同样。因此，能够进行如上所述的稳定的可动板2的转动。
并且，在连结部4中，节部421具有非变形部4213，因此，能够以该非变形部4213为轴使第一轴部42局部地弯折。对于连结部5也同样。因此，能够简单且可靠地使第一轴部42、52弯折，能够使可动板2稳定地转动。
并且，在连结部4中，节部421具有与可动板侧轴部422连结的扭转变形部4211和与驱动板侧轴部423连结的扭转变形部4212，当第一轴部42弯折时，扭转变形部4211、4212扭转变形，由此，能够有效地缓和(消除)由弯折产生的应力。对于连结部5也同样。因此，能够以前面所述的方式使第一轴部42、52可靠地弯折，同时，能够防止第一轴部42、52的破坏。即，能够稳定地驱动光扫描仪1。
另外，可动板2的转动能够以下述方式进行。即，可以对从电源613、623施加于线圈612、622的交变电压重叠(+)或者(-)的偏置电压(直流电压)。换言之，可以使永磁铁611、621的N极被向线圈612、622吸引的强度(以下仅称为“N极吸引强度”)和永磁铁611、621的S极被向线圈612、622吸引的强度(以下仅称为“S极吸引强度”)不同。
以下进行具体地说明，将前面所述的N极吸引强度和S极吸引强度相等的状态称为“通常状态”。
在线圈612、622的S极吸引强度比N极吸引强度大的情况下，与通常状态相比较，驱动板41、51的转动的上死点和下死点(转动方向转换的点)分别朝上侧移动。结果，如图8所示，可动板2的转动中心轴J1比通常状态朝上侧移动。相反，在线圈612、622的S极吸引强度比N极吸引强度弱的情况下，与通常状态相比较，驱动板41、51的转动的上死点和下死点分别朝下侧移动。结果，可动板2的转动中心轴J1比通常状态朝下侧移动。
这样，通过对从电源613、623对线圈612、622施加的交变电压重叠偏置电压，能够使可动板2的转动中心轴J1在Z轴方向偏移。由此，例如在将光扫描仪1组装于投影仪等图像形成装置的情况下，即便在装配图像形成装置之后也能够调整从光源射出的光距离可动板2的光路长度。即，当装配图像形成装置时，虽然精密地进行了光源与可动板2的定位，但是，即便是在假设光源和可动板的位置相对于设定值偏移的情况下，也能够在装配后对光源和可动板2的位置进行补正。
2-2.振动
首先，以第一状态和第二状态交替且周期性地转换的方式从电源613、623对线圈612、622施加交变电压，在第一状态下，线圈612的永磁铁611侧和线圈622的永磁铁621侧都是N极，在第二状态下，线圈612的永磁铁611侧和线圈622的永磁铁621侧都是S极。优选从电源613、623对线圈612、622施加的交变电压相互为相同的波形。
在图9(a)所示的第一状态下，与前面所述的转动的情况同样，驱动板41、51都以上表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴J2、J3倾斜。伴随着驱动板41、51的这种倾斜，驱动板侧轴部423、523都以可动板2侧的端部位于比驱动板41侧的端部更靠下侧的位置的方式倾斜。由此，驱动板侧轴部423、523的可动板2侧的端部相对于自然状态朝下侧移动相同的距离。
这样，通过驱动板侧轴部423、523的可动板2侧的端部都朝下侧移动相同的距离，节部421的扭转变形部4211、4212以及节部521的扭转变形部5211、5212产生绕其中心轴的扭转变形，可动板侧轴部422、522以及可动板2一体地、且在将可动板2的姿态(即面方向)保持为一定的姿态的状态下朝下侧移动。
另一方面，在图9(b)所示的第二状态下，驱动板41、51都以下表面朝向可动板2侧的方式绕转动中心轴J2、J3倾斜。伴随着驱动板41、51的这种倾斜，驱动板侧轴部423、523都以可动板2侧的端部位于比驱动板41侧的端部更靠上侧的位置的方式倾斜。由此，驱动板侧轴部423、523的可动板2侧的端部相对于自然状态朝上侧移动相同的距离。
这样，通过驱动板侧轴部423、523的可动板2侧的端部都朝上侧移动相同的距离，节部421的扭转变形部4211、4212以及节部521的扭转变形部5211、5212产生绕其中心轴的扭转变形，可动板侧轴部422、522以及可动板2一体地、且在将可动板2的姿态保持为一定的姿态的状态下朝上侧移动。
通过交替地转换这种第一状态和第二状态，能够使可动板2在保持其姿态的同时、即保持光反射部22的表面(反射面)与X-Y平面平行的同时在Z轴方向振动。
另外，作为施加于线圈612、622的交变电压的频率并无特殊限定，可以与由可动板2和连结部4、5构成的振动系统的共振频率相等，也可以在该共振频率以下，优选与上述共振频率相等。即，优选以共振方式驱动光扫描仪1。由此，能够实现光扫描仪1的更稳定的驱动。
即便是这种振动图案，与前面所述的转动图案同样，也能够通过对施加于线圈612、622的交变电压重叠偏置电压而使其从自然状态朝上侧(与基座9相反侧)移位并使可动板2振动，或者使其从自然状态朝下侧(基座9侧)移位并使可动板2振动。
2-3.静止图案
例如，以形成线圈612的永磁铁611侧和线圈622的永磁铁621侧都是N极的状态的方式从电源613、623对线圈612、622施加直流电压。优选从电源613、623对线圈612、622施加的直流电压相互为相同的强度。当对线圈612、622施加这种电压时，可动板2在如图9(a)所示的状态下静止。另一方面，当以形成线圈612的永磁铁611侧和线圈622的永磁铁621侧都是S极的状态的方式从电源613、623对线圈612、622施加直流电压时，可动板2在如图9(b)所示的状态静止。即，可动板2被维持在与自然状态不同的位置。
根据这种驱动，例如能够使由光反射部22反射的光的光路相对于自然状态时偏移，因此例如当将光扫描仪1作为光开关利用时特别有效。
并且，例如在光扫描仪1组装于投影仪等图像形成装置的情况下，在由于从光源射出异常的激光等的原因而不得不停止朝装置外部射出激光的情况下，通过使可动板2退避至与自然状态不同的位置(不与激光的光路交叉的位置)，能够防止由光反射部22引起的激光的反射。由此，能够防止朝装置外部射出激光。并且，也可以通过使可动板2变位来变更由光反射部22反射的激光的光路，由此来防止朝装置外部射出激光。由此，可以不另外组装用于解决这种问题的安全机构，图像形成装置的制造工序简单化，并且能够削减制造成本。
通过应用这种可动板2的静止驱动，并使对线圈612、622施加的直流电压的强度相互不同，能够以相对于自然状态倾斜的状态维持可动板2。并且，通过使对线圈612、622施加的直流电压的强度随时间推移而变化，能够使可动板2连续地或者阶段性地不规则地变位。
以上对光扫描仪1的驱动进行了详细说明。
此处，返回对光扫描仪1的结构的说明，如图1所示，当将转动中心轴J1与非变形部4213的中心轴J4之间的间隔距离设为L1、将非变形部4213的中心轴J4与转动中心轴J2之间的间隔距离设为L2时，L1与L2的大小关系并无特殊限定，可以是L1＞L2，也可以是L1＝L2，也可以是L1＜L2(对于连结部5也同样)。
在L1＝L2的情况下，当使可动板2转动时(第一轴部42弯折时)的可动板侧轴部422和驱动板侧轴部423相对于X轴的倾斜相互相等。因此，在该情况下，在扭转变形部4211、4212施加有大致相等的扭矩，结果，能够更高效地使第一轴部42弯折。在L1＞L2的情况下，与L1＝L2的情况相比较能够缩小可动板2的转动角，相反地，在L1＜L2的情况下，与L1＝L2的情况相比较能够增大可动板2的转动角。这样，L1、L2的关系可以根据光扫描仪1的使用用途而适当设定。
并且，如前面所述，在L1＝L2的情况下，在扭转变形部4211、4212施加有大致相等的扭矩，因此，优选构成为扭转变形部4211、4212相互显示相同的形状(物理特性：扭转变形的容易度)。由此，能够防止在扭转变形部4211、4212中的某一方产生过度的扭转、或者与此相反某一方的扭转不足，能够使第一轴部42顺畅地弯折。
并且，在L1＞L2的情况下，由于第一轴部42弯曲时驱动板侧轴部423相对于X轴的倾斜比可动板侧轴部422相对于X轴的倾斜大，因此施加于扭转变形部4212的扭矩比施加于扭转变形部4211的扭矩大。因此，在该情况下，优选构成为扭转变形部4212比扭转变形部4211容易扭转变形。具体地说，例如优选使扭转变形部4212的宽度比扭转变形部4211的宽度细。这是因为，如前面所述，由于连结板4通过在厚度方向对SOI基板100进行蚀刻而形成，因此能够简单地且无需增加工序就能够进行与SOI基板100的面方向一致的宽度的控制。
并且，在L1＜L2的情况下，与L1＞L2的情况相反，优选构成为扭转变形部4211比扭转变形部4212容易扭转变形。
<第二实施方式>
其次，对本发明的光扫描仪的第二实施方式进行说明。
图10是示出本发明的光扫描仪的第二实施方式的俯视图。
以下，以与前面所述的实施方式的光扫描仪之间的不同点为中心对第二实施方式的光扫描仪进行说明，省略对同样的事项的说明。
第二实施方式的光扫描仪除了线圈固定部的结构不同以外都与第一实施方式的光扫描仪大致同样。另外，对于前面所述的第一实施方式同样的结构赋予相同的标号。
在本实施方式的光扫描仪1中，线圈固定部64A具有以包围线圈612和永磁铁611的方式(使与第一轴部42相应的部分缺损)形成的主体部642A。这种主体部642A使从线圈612产生的磁力作用于永磁铁611，并且防止或者抑制从线圈612产生的磁力漏出至线圈固定部64A的外侧。即，主体部642A具有防磁性。由此，例如能够防止从线圈612产生的磁场作用于相反侧的永磁铁621，能够稳定地驱动光扫描仪1。
主体部642A的结构只要能够发挥前面所述的效果即可，并无特殊限定，例如可以由用作铁芯材料的软磁性体构成，也可以在表面涂敷防磁性的涂料。
另外，固定线圈622的未图示的线圈固定部也形成为与线圈固定部64A同样的结构。
根据这种第二实施方式，能够发挥与第一实施方式同样的效果。
<第三实施方式>
其次，对本发明的光扫描仪的第三实施方式进行说明。
图11是示出本发明的光扫描仪的第三实施方式的俯视图。
以下，以与前面所述的实施方式的光扫描仪的不同点为中心对第三实施方式的光扫描仪进行说明，省略对同样的事项的说明。
第三实施方式的光扫描仪除了变位构件的结构以外都与前面所述的光扫描仪大致同样。另外，在本实施方式中，由于变位构件所具有的第一变位构件和第二变位构件的结构相互为同样的结构，因此以第一变位构件为代表进行说明，省略对第二变位构件的说明。并且，对与前面所述的第一实施方式同样的结构赋予同一标号。
如图11所示，第一变位构件61B具有永磁铁611B、线圈612B、以及电源613B。永磁铁611B形成为平板状，且固定于驱动板41的下表面(基座9侧的面)。并且，永磁铁611B在固定于驱动板41的状态下以S极和N极相对于转动中心轴J2对置的方式设置。
线圈612B设置在永磁铁611的下侧。该线圈612B能够通过从电源613B施加电压而产生X轴方向的磁场。进而，借助从线圈612B产生的磁场的作用，永磁铁611B的S极和N极中的一方被向线圈612B吸引，且另一方从线圈612B远离，由此，能够使驱动板41绕转动中心轴J2倾斜。
根据这种第三实施方式，能够发挥与第一实施方式同样的效果。
<第四实施方式>
其次，对本发明的光扫描仪的第四实施方式进行说明。
图12是示出本发明的光扫描仪的第四实施方式的立体图。
以下，以与前面所述的实施方式的光扫描仪的不同点为中心对第四实施方式的光扫描仪进行说明，省略对同样的事项的说明。
第四实施方式的光扫描仪除了各连结部的节部所具有的非变形部的结构以外都与前面所述的光扫描仪大致同样。另外，在本实施方式中，由于各连结部4、5中的非变形部的结构相互为同样的结构，因此以连结部4作为代表进行说明，省略对连结部5的说明。并且，对与前面所述的第一实施方式同样的结构赋予同一标号。
如图12所示，在连结部4C的节部421C处设置有一对非变形部4213C。一对非变形部4213C相互沿Y轴方向离开，且位于与Y轴平行的1条轴线上。在这种结构的连结部4C中也能够以连结一对非变形部4213C的线段为轴使第一轴部42C局部地弯折。
根据这种第四实施方式，能够发挥与第一实施方式同样的效果。
以上所说明的光扫描仪例如能够适当地应用于投影仪、激光打印机、成像用显示器、条形码阅读器、扫描型共聚焦显微镜等图像形成装置。结果，能够提供具有优异的描绘特性的图像形成装置。
具体地说，对如图13所示的投影仪200进行说明。另外，为了说明的方便，将投影屏SC的长度方向称为“横方向”，将与长度方向成直角的方向称为“纵方向”。
投影仪200具有：光源装置210，该光源装置210射出激光等光；正交二向色棱镜220；一对本发明的光扫描仪230、240(例如与光扫描仪1同样结构的光扫描仪)；以及固定反射镜250。
光源装置210具备：红色光源装置211，该红色光源装置211射出红色光；蓝色光源装置212，该蓝色光源装置212射出蓝色光；以及绿色光源装置213，该绿色光源装置213射出绿色光。
正交二向色棱镜220通过粘接4个直角棱镜构成，是用于对分别从红色光源装置211、蓝色光源装置212、以及绿色光源装置213照出的光进行合成的光学元件。
这种投影仪200利用正交二向色棱镜220对分别从红色光源装置211、蓝色光源装置212、绿色光源装置213根据来自为图示的主机的图像信息照出的光进行合成，该合成后的光由光扫描仪230、240扫描，进一步由固定反射镜250反射而在投影屏SC上形成彩色图像。
此处，对光扫描仪230、240的光扫描进行具体说明。
首先，利用正交二向色棱镜220合成的光借助光扫描仪230在横方向进行扫描(主扫描)。进而，该在横方向进行扫描的光借助光扫描仪240进一步在纵方向进行扫描(副扫描)。由此，能够在投影屏SC上形成二维彩色图像。
这种扫描方法是被称为所谓的光栅扫描的方法，此外，也可以使用所谓的矢量扫描在投影屏SC上对光进行扫描。所谓矢量扫描是指以下述方式进行扫描的技术：使从光源装置210射出的光相对于投影屏SC以依次形成连结该投影屏SC上的不同的2点的线段的方式进行扫描。即，是通过使微少的直线集合而在投影屏SC形成期望的图像的技术。此处，在本发明的光扫描仪中，如前面所述，能够使可动板2不规则地连续地变位，因此能够应用这种矢量扫描。
通过作为这种光扫描仪230、240使用本发明的光扫描仪，能够发挥极其优异的描绘特性。
但是，作为扫描仪200，只要能够利用光扫描仪对光进行扫描、并在对象物形成图像即可，并不限定于此，例如也可以省略固定反射镜250。
以上根据图示的实施方式对本发明的光扫描仪和图像形成装置进行了说明，但是，本发明并不限定于此。例如，在本发明的光扫描仪和图像形成装置中，各部分的结构能够替换成发挥同样的功能的任意的结构，并且能够附加任意的结构。并且，例如在本发明的光扫描仪中也可以适当组合前面所述的实施方式。

Claims (17)

1.一种光扫描仪，其特征在于，
所述光扫描仪具有：
光反射部，该光反射部具有光反射性；
可动板，该可动板具备所述光反射部，且能够变位；
一对连结部，该一对连结部连接于所述可动板的端部的对置的位置；
支承部，该支承部用于支承所述连结部；以及
变位赋予部，该变位赋予部用于使所述一对连结部转动，
各所述连结部具有：
驱动部，该驱动部能够转动；以及
轴部，该轴部连接所述可动板和所述驱动部，且通过所述驱动部的转动朝所述可动板的厚度方向弯折。
2.根据权利要求1所述的光扫描仪，其特征在于，
所述光扫描仪构成为：
当将在所述可动板的俯视图中正交的2轴设为X轴和Y轴时，
所述一对连结部分别具有：所述驱动部，该驱动部与所述可动板在X轴方向离开配置；作为所述轴部的第一轴部，该第一轴部连结所述可动板和所述驱动部，且沿X轴方向延伸；以及第二轴部，该第二轴部连结所述驱动部和所述支承部，且沿Y轴方向延伸，
利用所述变位赋予部使所述第二轴部扭转变形并使所述驱动部绕Y轴转动，由此使所述第一轴部弯折。
3.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部所具有的所述第一轴部具有：节部，该节部设置在延伸方向的中途；可动板侧轴部，该可动板侧轴部连结所述节部和所述可动板；以及驱动部侧轴部，该驱动部侧轴部连结所述节部和所述驱动部，并且，所述第一轴部在所述节部弯折。
4.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部所具有的所述第一轴部能够形成为以下两种变形：
以形成朝所述可动板的厚度方向的一方侧凸出的V字状的方式在所述节部弯折的第一变形；以及
以形成朝所述可动板的厚度方向的另一方侧凸出的V字状的方式在所述节部弯折的第二变形。
5.根据权利要求4所述的光扫描仪，其特征在于，
利用所述变位赋予部交替地反复形成以下两种状态，由此使所述可动板绕所述Y轴转动，
所述两种状态为：
使各所述连结部所具有的所述第一轴部中的一方的所述第一轴部进行所述第一变形，同时使另一方的所述第一轴部进行所述第二变形的状态；以及
使所述一方的第一轴部进行所述第二变形，同时使所述另一方的第一轴部进行所述第一变形的状态。
6.根据权利要求4所述的光扫描仪，其特征在于，
利用所述变位赋予部交替地反复形成以下两种状态，由此使所述可动板朝该可动板的厚度方向振动，
所述两种状态为：
使各所述连结部所具有的所述第一轴部进行所述第一变形的状态；以及
使各所述连结部所具有的所述第一轴部进行所述第二变形的状态。
7.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部的所述节部具有绕Y轴扭转变形的扭转变形部。
8.根据权利要求7所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部的所述节部具有一对所述扭转变形部，
所述一对扭转变形部中的一方的所述扭转变形部连结于所述可动板侧轴部，另一方的所述扭转变形部连结于所述驱动部侧轴部。
9.根据权利要求8所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部的所述节部具有非变形部，该非变形部设置在所述一对扭转变形部之间，沿Y轴方向延伸且并不绕Y轴扭转变形。
10.根据权利要求3所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部的所述可动板侧轴部和所述驱动部侧轴部分别并不实质性地变形。
11.根据权利要求9所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部由SOI基板形成，所述SOI基板通过按照顺序层叠第一Si层、SiO2层、以及第二Si层而形成。
12.根据权利要求11所述的光扫描仪，其特征在于，
各所述连结部的所述可动板侧轴部、所述非变形部、所述驱动部侧轴部、以及所述驱动部分别由所述第一Si层、所述SiO2层、以及所述第二Si层构成，所述扭转变形部和所述第二轴部分别由所述第二Si层构成。
13.根据权利要求2所述的光扫描仪，其特征在于，
所述变位赋予部与所述一对连结部对应地设置有一对，
各所述变位赋予部具有：永磁铁，该永磁铁设置于所述驱动部；以及线圈，该线圈产生作用于所述永磁铁的磁场。
14.根据权利要求13所述的光扫描仪，其特征在于，
在各所述变位赋予部中，所述永磁铁以两极在所述可动板的厚度方向对置的方式设置，所述线圈以产生X轴方向的磁场的方式设置。
15.根据权利要求14所述的光扫描仪，其特征在于，
在各所述变位赋予部中，所述永磁铁贯通所述驱动部而设置。
16.一种光扫描仪，其特征在于，
所述光扫描仪具有：
可动板，该可动板具有光反射部，该光反射部具有光反射性；
支承部，该支承部用于支承所述可动板；
一对连结部，该一对连结部设置在所述可动板的两侧，并连结所述可动板和所述支承部；以及
变位构件，该变位构件用于使所述可动板变位，
各所述连结部具有：驱动部，该驱动部能够相对于所述支承部转动；以及轴部，该轴部连结所述驱动部和所述可动板，
各所述连结部的所述轴部能够在该轴部的长度方向的中途朝所述可动板的厚度方向弯折，
所述光扫描仪构成为：
利用所述变位构件使各所述连结部的所述驱动部转动，并通过该转动使所述轴部弯折，由此使所述可动板变位。
17.一种图像形成装置，其特征在于，
所述图像形成装置具备：
光源；以及
光扫描仪，该光扫描仪用于扫描来自所述光源的光，
所述光扫描仪具有：
光反射部，该光反射部具有光反射性；
可动板，该可动板具备所述光反射部，且能够变位；
一对连结部，该一对连结部连接于所述可动板的端部的对置的位置；
支承部，该支承部用于支承所述连结部；以及
变位赋予部，该变位赋予部用于使所述一对连结部转动，
各所述连结部具有：
驱动部，该驱动部能够转动；以及
轴部，该轴部连接所述可动板和所述驱动部，且通过所述驱动部的转动朝所述可动板的厚度方向弯折。
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