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CN101615444B - 一种会聚x射线的光学器件 - Google Patents

一种会聚x射线的光学器件 Download PDF

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CN101615444B
CN101615444B CN2009100893547A CN200910089354A CN101615444B CN 101615444 B CN101615444 B CN 101615444B CN 2009100893547 A CN2009100893547 A CN 2009100893547A CN 200910089354 A CN200910089354 A CN 200910089354A CN 101615444 B CN101615444 B CN 101615444B
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潘秋丽
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Abstract

本发明公开了一种会聚X射线的光学器件，用于实现滤除低能X射线，并且会聚高能X射线。所述光学器件包括：由玻璃材料制成的实心构件，该实心构件为轴对称结构；所述实心构件的侧壁镀有金属膜；所述实心构件两端中的一端用于接收X射线，另一端用于输出X射线；所述玻璃材料与金属膜的临界面构成反射面，该反射面用于X射线在所述实心构件中传输到反射面时发生全反射，并在所述另一端外会聚。

Description

一种会聚X射线的光学器件
技术领域
本发明涉及材料和光学领域，特别是涉及会聚X射线的光学器件。
背景技术
自1948年，人们就研究如何利用单根锥形玻璃毛细管会聚X射线，随着研究者对锥形毛细管理论和实验研究的深入，到上世纪80年代中后期，人们成功地实现了利用单根锥形玻璃毛细管对X射线进行会聚。该锥形玻璃毛细管中空且内表面光滑。玻璃管内表面为反射面，实现X射线在锥形玻璃毛细管内的全反射，从而实现对X射线的会聚。
由于X射线的能量越高，全反射临界掠射角越小，锥形玻璃毛细管的传输效率越低，聚焦效果越差，所以目前的玻璃毛细管只能对能量范围为0.2～40keVX射线进行有效会聚。
随着微束X射线应用范围的不断扩大，如何获得高能量高亮度X射线微焦斑则受到人们的高度关注。普通实验室光源发出的X射线束大都是发散形，而同步辐射光源能够提供平行度很高的准平行束X射线，如何对这些发散或者平行的高能X射线进行聚焦是业内关心的焦点。
发明内容
本发明实施例提供一种会聚X射线的光学器件，用于实现滤除低能X射线，并且会聚高能X射线。
一种会聚X射线的光学器件，包括：
由玻璃材料制成的实心构件，该实心构件为截顶圆锥体；截顶圆锥体的两端中直径较大的一端用于接收X射线；所述实心构件的侧壁镀有金属膜；
所述实心构件两端中的一端用于接收X射线，另一端用于输出X射线；
所述玻璃材料与金属膜的临界面构成反射面，该反射面用于X射线在所述实心构件中传输到反射面时发生全反射，并在所述另一端外会聚。
玻璃材料包括Li、Be和B中的一种或多种元素。
玻璃材料包括：
Figure GDA0000079168260000021
金属包括钨、金和铂中的一种或多种元素。
所述实心构件的玻璃表面经过光滑处理。
本发明实施例通过玻璃和金属两种材料制成实心的光学器件，该光学器件可会聚高能X射线。并且光学器件中的玻璃材料还可对低能X射线进行过滤，从而会聚得到能量较集中的X射线。本发明实施例通过采用轻质玻璃材料和/或重金属材料来进一步提高会聚高能X射线的能力。
本发明实施例中的光学器件的反射面较为光滑，有利于X射线的传输。并且可在镀金属膜之前对玻璃材料的实心构件表面进行光滑处理，进一步减小反射面的粗糙度，从而提高X射线的传输效率，减少光强损失。
附图说明
图1为本发明实施例中光学器件的示意图；
图2为本发明实施例中光学器件对平行光束会聚的示意图；
图3为本发明实施例中光学器件对发散光束会聚的示意图。
具体实施方式
本发明实施例中，全反射临界掠射角θ与X射线的能量E成反比，与反射材料密度ρ的平方根成正比。同时，依据沃勒-德拜公式
Figure GDA0000079168260000031
可知，随着反射面的粗糙度σ变大，X射线的反射率R会明显变小。其中，波长λ与X射线的能量成反比。也就是说，粗糙度σ越大，有效会聚高能X射线的效果越差。本发明实施例提供一种用于会聚X射线的光学器件，在提高了反射材料密度ρ的同时，降低反射面的粗糙度σ，从而实现会聚高能X射线，并且可同时滤除低能X射线。
参见图1，本实施例中光学器件包括：
由玻璃材料制成的实心构件101，该实心构件为轴对称结构。
实心构件的侧壁镀有金属膜102。
所述实心构件101两端中的一端用于接收X射线，另一端用于输出X射线；所述玻璃材料与金属膜的临界面构成反射面，该反射面用于X射线在所述实心构件101中传输到反射面时发生全反射，并在所述另一端外会聚。
本实施例利用玻璃和金属的临界面构成反射面。通过改变构成反射面的材料和减小反射面的粗糙度，来实现会聚高能X射线，并且光强损失较小。发明人发现，采用本实施例中的光学器件可有效会聚高能X射线，能量范围在40～120keV之间。并且，本实施例的光学器件不仅能会聚高能的X射线，并且玻璃材料的实心构件101可用于对40keV以下的X射线进行过滤，从而得到能量范围更集中的X射线。
以密度为2.2g/cm3的玻璃为例，利用该玻璃材料制成的单根锥形玻璃毛细管会聚X射线时，当X射线的能量为40keV时，全反射临界掠射角(单位：度)为0.04315。若采用本实施例中的光学器件，由该玻璃制成实心构件，侧壁镀金膜，当X射线的能量为100keV时，全反射临界掠射角为0.04862，当X射线的能量为120keV时，全反射临界掠射角为0.03969。由此可见，在全反射临界掠射角相同的情况下，本实施例中的光学器件有效会聚的X射线的能量明显高于现有技术中光学器件有效会聚的X射线的能量。并且，在采用本实施例中的光学器件时，若会聚能量为40keV的X射线，则全反射临界掠射角最大可达到0.11854，明显大于现有技术中的0.04315。
通过提高玻璃与金属的折射率差，可增大全反射临界掠射角，即提高会聚高能X射线的能力，因此本实施例采用密度较低的轻质玻璃，该轻质玻璃至少包括含锂Li、铍Be、硼B等元素的玻璃材料。例如，玻璃的成分包括：
Figure GDA0000079168260000041
为了进一步提高玻璃与金属的折射率差，即进一步提高会聚高能X射线的能力，本实施例采用密度较高的重金属，该重金属至少包括钨W、金Au、铂Pb等重型材料。从制作工艺和成本方面考虑，较佳的方案是采用钨。
较佳的，本实施例中的光学器件为截顶圆锥体。截顶圆锥体的两端中直径(d1)较大的一端用于接收X射线，直径(d2)较小的一端用于输出X射线。该截顶圆锥体光学器件即可以会聚来自光源A的发散光束又可以会聚平行光束(包括准平行光束)，光束在截顶圆锥体光学器件中经过一次或多次全反射均能有效会聚。可通过调整直径d2来控制会聚的焦斑尺寸，而不受光源尺寸的影响。参见图2和图3所示的X射线传输示意图。
由于本实施例中光学器件反射面的粗糙度比较小，因此X射线在截顶圆锥体光学器件中发生的多次全反射对其传输效率的影响较小，有助于会聚高能X射线。
本实施例中通过对玻璃加热、软化、成形处理后得到所需形状的实心构件，该实心构件的表面光滑。再通过低生长速度的镀膜方法，如电子束蒸发、磁控溅射等方法，在实心构件的侧壁镀上金属膜。由于实心构件的表面光滑，使得反射面较为光滑，有利于提高光学器件的传输效率，减少光强损失。为了进一步降低反射面的粗糙度，本实施例还可以在实心构件的表面进行光滑处理，然后再镀金属膜。由于现有技术中光学器件为中空的玻璃毛细管，其反射面是该玻璃毛细管的内表面，由于玻璃毛细管的内部空间较小，不易对玻璃毛细管的内表面进行再加工，所以本实施例中的反射面的粗糙度可低于现有技术中反射面的粗糙度。本实施例中的粗糙度可达
Figure GDA0000079168260000051
以下，尤其可达到
Figure GDA0000079168260000052
之间。
本发明实施例通过玻璃和金属两种材料制成实心的光学器件，该光学器件可会聚高能X射线。并且光学器件中的玻璃材料还可对低能X射线进行过滤，从而会聚得到能量较集中的X射线。本发明实施例通过采用轻质玻璃材料和/或重金属材料来进一步提高会聚高能X射线的能力。
本发明实施例中的光学器件的反射面较为光滑，有利于X射线的传输。并且可在镀金属膜之前对玻璃材料的实心构件表面进行光滑处理，进一步降低反射面的粗糙度，从而提高X射线的传输效率，减少强度损失。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若对本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (4)

1.一种用于会聚X射线的光学器件，其特征在于，包括：
由玻璃材料制成的实心构件，该实心构件为截顶圆锥体；截顶圆锥体的两端中直径较大的一端用于接收X射线；所述实心构件的侧壁镀有金属膜；
所述实心构件两端中的一端用于接收X射线，另一端用于输出X射线；
所述玻璃材料与金属膜的临界面构成反射面，该反射面用于X射线在所述实心构件中传输到反射面时发生全反射，并在所述另一端外会聚。
2.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于，玻璃材料包括Li、Be和B中的一种或多种元素。
3.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述实心构件的侧壁镀的金属包括钨、金和铂中的一种或多种元素。
4.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于，所述实心构件的玻璃表面经过光滑处理。
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