CN109375404B - 用于马赛克拼接的快速补值方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，包括：S101：形成第一马赛克区域、第二马赛克区域；S102：将构成第一马赛克区域的最小单元设计成特殊图案作为标记；S103：将第一马赛克区域与第二马赛克区域进行拼接叠加，形成第三马赛克区域；S104：根据特殊图案进行辨认，区分第三马赛克区域中的第一马赛克区域、第二马赛克区域的相对位置；S105：对第三马赛克区域中的辨认出的对位精度较低的马赛克区域的拼接位置进行补值，从而最终形成显示面板的马赛克区域，本发明通过设计特殊的马赛克图案，在马赛克拼接精度较差的情况下实现快速调整补值，改善拼接Mura现象，提高生产效率，降低液晶面板的制作工艺和生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种用于马赛克拼接的快速补值方法。
背景技术
由于大尺寸液晶电视能够带来更多的视听冲击，因此越来越得到液晶面板厂商青睐。在传统的8.5世代线上生产55寸以上的液晶面板，由于面板尺寸大于光罩有效曝光区域，因此需采用光罩拼接技术。马赛克拼接是一种将锐利的拼接线转变为模糊的拼接线的光罩拼接技术，由于马赛克拼接造成的面板画面质量不均匀现象(Mura现象)相对轻微并且对曝光机无特殊功能需求，因此在大尺寸面板生产上得到了广泛应用。
传统的马赛克拼接在实际制作过程中，两块马赛克区域是通过互补的形式，通过两次曝光形成一个完整的图形，但若其中某一块马赛克区域出现对位精度较差情况，人员无法通过图形确认该精度较差的区域是属于哪一块马赛克区域，因此机台无法进行快速调整补值，不仅会使生产效率降低，还会导致拼接Mura现象加重。
以8.5世代线光罩马赛克拼接为例，如图1、图2所示，当两块互补的第一马赛克区域1＇、第二马赛克区域2＇在叠加过程中无偏移的情况下，通过叠加可以得到最终需要的图案3＇，如图2为图1中最终得到的图案3＇的局部放大图31＇，为理想的白色条纹图案。因此，马赛克拼接将原本突变的一条拼接线转变为一个过渡区域的渐变，可以减轻拼接Mura现象。然而，如图3、图4所示，若两块互补的第一马赛克区域1、第二马赛克区域2在叠加过程中发生相对偏移，则最终得到的图案3会发生变形，如图4为图3中最终得到的图案3的局部放大图31，无法形成理想的白色条纹图案。为得到理想的白色条纹状图案，则需要针对叠加过程加以补值，但由于构成第一马赛克区域1的最小单元图案与构成第二马赛克区域的最小单元图案并无差别，无法针性地对某一马赛克区域拼接位置进行调整，而只能通过盲补进行补值，不仅效率低下，而且可能会加重拼接Mura现象。
发明内容
本发明提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，可解决在马赛克拼接精度较差的情况下，无法根据图形确认该精度较差的区域是属于哪一块马赛克区域，因此机台无法进行快速调整补值，导致生产效率降低、拼接Mura现象加重的技术问题。
为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：
本发明提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，包括以下步骤：
S101：形成第一马赛克区域、第二马赛克区域；
S102：将构成所述第一马赛克区域的最小单元设计成特殊图案作为标记；
S103：将所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域进行拼接叠加，形成第三马赛克区域；
S104：根据所述特殊图案进行辨认，以区分所述第三马赛克区域中的所述第一马赛克区域、第二马赛克区域的相对位置；
S105：对所述第三马赛克区域中的辨认出的对位精度较差的马赛克拼接区域的拼接位置进行补值，从而最终形成显示面板的马赛克区域。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域的图案互补。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，在形成所述第一马赛克区域、所述第二马赛克区域之后，判断所述第一马赛克区域、所述第二马赛克区域的对位精度大小。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，所述步骤S102中通过在所述第一马赛克区域的最小单元上开设凹槽以形成所述特殊图案。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，所述步骤S103中分别利用所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域的图案进行两次光罩后完成拼接。
本发明提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，包括以下步骤：
S201：形成第一马赛克区域、第二马赛克区域；
S202：将构成所述第二马赛克区域的最小单元设计成特殊图案作为标记；
S203：将所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域进行拼接叠加，形成第三马赛克区域；
S204：根据所述特殊图案进行辨认，以区分所述第三马赛克区域中的所述第一马赛克区域、所述第二马赛克区域的相对位置；
S205：对所述第三马赛克区域中的辨认出的对位精度较差的马赛克区域的拼接位置进行补值，从而最终形成显示面板的马赛克区域。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域的图案互补。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，在形成所述第一马赛克区域、所述第二马赛克区域之后，判断所述第一马赛克区域、所述第二马赛克区域的对位精度大小。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，所述步骤S202中的所述特殊图案可为凹槽。
在本发明提供的用于马赛克拼接的快速补值方法中，所述步骤S203中分别利用所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域的图案进行两次光罩后完成拼接。
本发明的有益效果为：本发明提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，在不增加额外制程和设备的条件下，通过设计特殊的马赛克图案，可在马赛克拼接精度较差的情况下实现快速调整补值，确保显示效果的同时，改善拼接Mura现象，提高生产效率，降低液晶面板的制作工艺和生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中无偏移情况下的一种马赛克拼接示意图；
图2为现有技术中无偏移情况下最终得到的一种马赛克拼接图案局部放大图。
图3为现有技术中无偏移情况下的一种马赛克拼接示意图；
图4为现有技术中有偏移情况下最终得到的一种马赛克拼接图案局部放大图。
图5为本发明实施例一提供的一种用于马赛克拼接的快速补值方法流程图；
图6为本发明实施例一提供的一种马赛克拼接示意图；
图7为本发明实施例一提供的一种马赛克拼接图案局部放大图。
图8为本发明实施例二提供的一种用于马赛克拼接的快速补值方法流程图；
图9为本发明实施例二提供的一种马赛克拼接示意图；
图10为本发明实施例二提供的一种马赛克拼接图案局部放大图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明是针对在马赛克拼接精度较差的情况下，无法根据图形确认该精度较差的区域是属于哪一块马赛克区域，因此机台无法进行快速调整补值，导致生产效率降低、拼接Mura加重的技术问题所提供的一种用于马赛克拼接的快速补值方法，本实施例一、二能够解决该技术问题。
由于存在两块马赛克拼接区域，包括第一马赛克区域与第二马赛克拼接区域，可以将其中任何一块构成马赛克区域的最小单元设计为特殊图案进行标记加以区分，因此，本发明存在两种实施方式。
实施例一
以8.5世代线光罩马赛克拼接为例，如图5、图6、图7所示，本实施例提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，本实施例采用的标记方式是将构成所述第一马赛克区域11的最小单元设计为特殊图案，所述快速补值方法具体包括以下步骤：
S101：形成第一马赛克区域11、第二马赛克区域12；
分别形成第一马赛克区域11与第二马赛克区域12，所述第一马赛克区域11与所述第二马赛克区域12互补，使得后续进行拼接时能够形成一个完整的图形。由于所述第一马赛克区域11与所述第二马赛克区域12的对位精度存在差异，因此，在形成所述第一马赛克区域11、第二马赛克区域12之后，判断所述第一马赛克区域11、第二马赛克区域12的对比精度大小。
S102：将构成所述第一马赛克区域11的最小单元设计成特殊图案作为标记；
可通过在所述第一马赛克区域11的最小单元上开设凹槽14作为标记以形成特殊图案，使得构成所述第一马赛克区域11的最小单元的图案与构成所述第二马赛克区域12的最小单元的图案具有明显的区别，能够在拼接完成之后，清楚地辨认出所述精度较差的马赛克区域的具体位置。所述作为标记的特殊图案并不限于开设凹槽这一种方法，只需将所述第一马赛克区域11的最小单元设计成能够清晰辨认的图案，且并不影响所述第一马赛克区域11的对位精度即可满足要求。
S103：将所述第一马赛克区域11与所述第二马赛克区域12进行拼接叠加，形成第三马赛克区域13；
分别利用所述第一马赛克区域11与所述第二马赛克区域12的图案进行两次光罩后完成拼接，从而形成第三马赛克区域13。由于存在对位精度较差的马赛克区域，因此，所形成的第三马赛克区域13并不是所需要的理想图案。
S104：根据所述特殊图案进行辨认，以区分所述第三马赛克区域13中的所述第一马赛克区域11、第二马赛克区域12的相对位置；
如图7为经过叠加得到的一种马赛克拼接图案局部放大图，由于所述第一马赛克区域11的最小单元的图案与所述第二马赛克区域12的最小单元的图案存在明显差别，因此叠加起来第三马赛克区域13，即在得到的马赛克拼接图案中可清楚的辨认区分哪些图形是属于所述第一马赛克区域11，哪些图形是属于所述第二马赛克区域12。如图7所示，在最小单元上存在所述凹槽14的图形属于所述第一马赛克区域11，在最小单元上不存在所述凹槽14的图形属于所述第二马赛克区域12。
S105：对所述第三马赛克区域13中被辨认出对位精度较差的马赛克区域的拼接位置进行补值，从而最终形成显示面板的马赛克区域。
在马赛克图案拼接过程中，由于对位精度的差异，可能导致某一块马赛克区域出现对位精度较差的情况，因此，需要对辨认出的对位精度较差的马赛克区域的拼接位置进行补值，若所述第一马赛克区域11的对位精度较差，则对辨认出的进行标记的所述第一马赛克区域11进行补值；若所述第二马赛克区域12的对位精度较差，则对辨认出的未进行标记的所述第二马赛克区域12进行补值。从而使拼接形成的所述第三马赛克区域23的图案快速调整为理想的条纹状图案，最终形成显示面板的马赛克区域，以提高生产效率，进一步减轻和改善马赛克拼接Mura现象。
实施例二
以8.5世代线光罩马赛克拼接为例，如图8、图9、图10所示，本实施例提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，本实施例采用的标记方式是将构成所述第二马赛克区域22的最小单元设计为特殊图案，所述快速补值方法具体包括以下步骤：
S201：形成第一马赛克区域21、第二马赛克区域22；
如图9所示，分别形成第一马赛克区域21与第二马赛克区域22，所述第一马赛克区域21与所述第二马赛克区域22互补，使后续进行拼接的时候，能够形成一个完整的图形。由于所述第一马赛克区域21与所述第二马赛克区域22的对位精度存在差异，因此，在形成所述第一马赛克区域21、第二马赛克区域22之后，判断所述第一马赛克区域21、第二马赛克区域22的对比精度大小。
S202：将构成所述第二马赛克区域22的最小单元设计成特殊图案作为标记；
可通过在所述第二马赛克区域22的最小单元上开设凹槽24以形成特殊图案，使得构成所述第一马赛克区域21的最小单元的图案与构成所述第二马赛克区域22的最小单元的图案具有明显的区别，能够在拼接完成之后，清楚地辨认出对位精度较差的马赛克区域的具体位置。所述作为标记的特殊图案并不限于开设凹槽这一种方法，只需将所述第二马赛克区域22的最小单元设计成能够清晰辨认的图案，且并不影响所述第二马赛克区域22的对位精度即可满足要求。
S203：将所述第一马赛克区域21与所述第二马赛克区域22进行拼接叠加，形成第三马赛克区域23；
分别利用所述第一马赛克区域21与所述第二马赛克区域22的图案进行两次光罩后完成拼接，从而形成第三马赛克区域23。由于存在对位精度较差的马赛克区域，因此，所形成的第三马赛克区域23并不是所需要的理想图案。
S204：根据所述特殊图案进行辨认，以区分所述第三马赛克区域23中的所述第一马赛克区域21、所述第二马赛克区域22的相对位置；
如图10所示为经过叠加得到的一种马赛克拼接图案局部放大图，由于所述第一马赛克区域21的最小单元的图案与所述第二马赛克区域22的最小单元的图案存在明显差别，因此在叠加起来第三马赛克区域23，即得到的马赛克拼接图案中可清楚的辨认区分哪些图形是属于所述第一马赛克区域21，哪些是属于所述第二马赛克区域22。如图10所示，在最小单元上存在所述凹槽24的图形属于所述第二马赛克区域22，在最小单元上不存在所述凹槽24的图形属于所述第一马赛克区域21。
S105：对所述第三马赛克区域23中的所述第一马赛克区域21的拼接位置进行补值，从而最终形成显示面板的马赛克区域。
在马赛克图案拼接过程中，由于对位精度的差异，可能导致某一块马赛克区域出现对位精度较差的情况，因此，需要对辨认出的对位精度较差的马赛克区域的拼接位置进行补值，若所述第一马赛克区域21的对位精度较差，则对辨认出的进行标记的所述第一马赛克区域21进行补值；若所述第二马赛克区域12的对位精度较差，则对辨认出的未进行标记的所述第二马赛克区域22进行补值。从而使拼接形成的所述第三马赛克区域23的图案快速调整为理想的条纹状图案，最终形成显示面板的马赛克区域，以提高生产效率，进一步减轻和改善马赛克拼接Mura现象。
本发明提供一种用于马赛克拼接的快速补值方法，在不增加额外制程和设备的条件下，通过设计特殊的马赛克图案，可在马赛克拼接精度较差的情况下实现快速调整补值，确保显示效果的同时，改善拼接Mura现象，提高生产效率，降低液晶面板的制作工艺和生产成本。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (5)
1.一种用于马赛克拼接的快速补值方法，其特征在于，包括以下步骤：
S101：形成第一马赛克区域、第二马赛克区域；
S102：将构成所述第一马赛克区域的最小单元设计成特殊图案作为标记；
S103：将所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域进行拼接叠加，形成第三马赛克区域；
S104：根据所述特殊图案进行辨认，以区分所述第三马赛克区域中的所述第一马赛克区域、第二马赛克区域的相对位置；
S105：对所述第三马赛克区域中辨认出的对位精度较差的马赛克区域的拼接位置进行补值，从而最终形成显示面板的马赛克区域。
2.根据权利要求1所述的用于马赛克拼接的快速补值方法，其特征在于，所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域的图案互补。
3.根据权利要求2所述的用于马赛克拼接的快速补值方法，其特征在于，在形成所述第一马赛克区域、所述第二马赛克区域之后，判断所述第一马赛克区域、所述第二马赛克区域的对位精度大小。
4.根据权利要求1所述的用于马赛克拼接的快速补值方法，其特征在于，所述步骤S102中通过在所述第一马赛克区域的最小单元上开设凹槽以形成所述特殊图案。
5.根据权利要求1所述的用于马赛克拼接的快速补值方法，其特征在于，所述步骤S103中分别利用所述第一马赛克区域与所述第二马赛克区域的图案进行两次光罩后完成拼接。
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105988302A (zh) * | 2015-02-04 | 2016-10-05 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于调平验证测试的方法及校准光刻投影设备的方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4480002B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2010-06-16 | Ｈｏｙａ株式会社 | ムラ欠陥検査方法及び装置、並びにフォトマスクの製造方法 |
| JP2006235258A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスク及び液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 |
| JP2010113195A (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-20 | Tokyo Electron Ltd | 露光用マスク及び半導体装置の製造方法 |
| US20120244459A1 (en) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | Nanya Technology Corp. | Method for evaluating overlay error and mask for the same |
| CN103605263B (zh) * | 2013-09-17 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种检测彩膜基板拼接曝光误差的方法以及掩膜板 |
| CN104035275A (zh) * | 2014-05-21 | 2014-09-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩模板 |
| CN104808434B (zh) * | 2015-05-21 | 2019-08-02 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 基板、掩膜板及显示装置、对位方法 |
| CN106444106A (zh) * | 2016-10-24 | 2017-02-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种马赛克区域拼接方法及系统 |
| CN106405891A (zh) * | 2016-10-24 | 2017-02-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种马赛克区域拼接方法及系统 |
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Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105988302A (zh) * | 2015-02-04 | 2016-10-05 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于调平验证测试的方法及校准光刻投影设备的方法 |
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