CN108619876A - 一种半导体制程废气中氟化物的净化装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，涉及净化装置技术领域。该半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架，所述机架的左端通过废气管连通有废弃输出端，所述机架的顶端固定安装有火焰反应腔，所述火焰反应腔的内壁底端固定安装有空心管，所述空心管的顶部固定安装燃气反应装置，所述燃气反应装置包括燃气反应箱，所述火焰反应腔通过进气口连通有燃气输出端，所述燃气反应箱的外表面固定安装有火焰喷头。该半导体制程废气中氟化物的净化装置，把废气内的氟化物净化的更加彻底，更加高效，节约了净化时间，同时采用热能的循环利用节约能源，更加环保，使得把高温反应与水反应结合，节约反应时间和节约能源。
Description
技术领域
本发明涉及净化装置技术领域，具体为一种半导体制程废气中氟化物的净化装置。
背景技术
半导体为一种常见的电子元件载体，随着社会的发展，电子产品的越来越多样化，半导体的应用也越来越常见，而制备半导体的过程也越来越被人们所熟知。
半导体在制备的过程中会出现大量有害的气体，这些气体直接排放会危害环境和人类的健康，尤其以氟化物的危害最为严重，所以出现一种净化氟化物的装置，传统的净化装置是先经过初步水洗的过程，再进过高温的过程，最后在进行水洗的过程，其中最后水洗的过程并不能彻底高效的净化，不利于环保。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，解决了该氟化物的净化装置不能彻底高效的净化氟化物和不环保的问题。
技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架，所述机架的左端通过废气管连通有废弃输出端，所述机架的顶端固定安装有火焰反应腔，所述火焰反应腔的内壁底端固定安装有空心管，所述空心管的顶部固定安装燃气反应装置，所述燃气反应装置包括燃气反应箱，所述火焰反应腔通过进气口连通有燃气输出端，所述燃气反应箱的外表面固定安装有火焰喷头，所述燃气反应箱的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔，所述燃气反应箱与燃气输出端连通有燃气输出管，所述机架的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵，所述一号水泵与空心管连通有一号水管，所述机架的内壁底部固定安装有水箱，所述一号水泵与水箱连通有二号水管，所述火焰反应腔的内部底端固定焊接有打火装置，所述打火装置包括打火室，所述打火室的内部固定焊接用打火石，所述打火石的外表面滑动连接有摩擦石，所述摩擦石远离打火石的一端活动连接有推杆，所述推杆的外表面相背的一侧固定安装有弹簧，所述打火室的内壁开设有漏气孔，所述火焰反应腔的右侧固定焊接有风机室，所述风机室的内部通过安装板固定安装有风机，所述机架的顶部固定焊接有水洗反应室，所述风机的出气管顶部固定安装有风喷头，所述水洗反应室的内壁右侧固定焊接有二氧化硅反应盒，所述机架的底部通过螺栓固定安装有二号水泵，所述二号水泵与水箱连通有三号水管，所述二号水泵与水洗反应室连通有四号水管，所述水洗反应室的内壁底端固定安装有轴承装置，所述水洗反应室的顶部通过安装板固定安装有电机，所述轴承装置的顶部活动连接有旋转管，所述水洗反应室内部设置有水槽。
进一步的，所述二氧化硅反应盒的内部放置有二氧化硅粉末，所述二氧化硅反应盒外表面右侧开设有孔洞。
进一步的，所述旋转管的外表面开设有漏水孔，所述旋转管的顶部固定焊接有圆柱板，所述圆柱板远离旋转管的一端与电机的输出端活动连接。
进一步的，所述轴承装置包括外壳，所述外壳的内壁滑动连接有滚珠，所述滚珠与旋转管的外表面滑动连接。
进一步的，所述一号水管的右侧连通有支管，所述支管依次贯穿机架和水槽并延伸至水槽的内部。
进一步的，所述所述风机通过吸风管与火焰反应腔连通，所述风机的出风管贯穿水洗反应室并延伸至水洗反应室内部。
工作原理：使用时，先使废气输出端通过废气输出管输送废气进入火焰反应室，再使得燃气输送端通过燃气输送管输送燃气进入燃气反应箱内，同时启动一号水泵，使得一号水泵通过二号水管把水箱内的水吸出，再通过一号水管把水排入水反应腔内，再启动打火装置，使得推杆带动摩擦石在打火石的表面摩擦出火星，使得火星引着透过漏气孔进入打火室的燃气，使得整个火焰反应腔燃烧废气，同时水反应腔的底部受到火焰喷头的加热，使得水反应腔内的水加热气化，使得水蒸气增大与废气的反应面积，被火焰煅烧过得废气与空气中被气化的水蒸汽进行反应，使得废气初步与水反应，另一部分废气进入水反应腔与水进行反应，使得废气进一步与水反应，废气中的氟化物经过煅烧后生成HF气体，再启动风机，使得风机把HF气体通过进风管吸出火焰反应腔，再通过出风管排入水洗反应室，出风管正对着二氧化硅反应盒，使得排入的HF气体把二氧化硅反应室内的二氧化硅粉末吹出二氧化硅反应盒，增大二氧化硅与HF气体的接触，同时启动电机，使得电机转动带动旋转管，在启动二号水泵，使得二号水泵通过三号水管把水箱内的水吸出，再通过四号水管把水排入旋转管内，使得水在旋转管离心力的作用下透过漏水孔被喷洒在水洗反应室内，使得水与HF气体充分的融合，进而初步与漂浮在空气中的二氧化硅反应，消除一部分的废气中的氟化物，同时打开支管的阀门，使得水进入水槽内，水槽与火焰反应腔的内壁相连，使得火焰反应腔的热能被水槽内的水吸收，使得避免了热能的流逝，同时水槽的温度升高，进一步加快了HF气体和水融合与二氧化硅反应，使得废气内的氟化物完全消除。
有益效果
相比较现有技术：
1、该半导体制程废气中氟化物的净化装置，通过一号水泵、支管、风机、二氧化硅反应盒、二号水泵、三号水管、四号水管、电机和旋转管的相互配合，启动风机，使得风机把HF气体通过进风管吸出火焰反应腔，再通过出风管排入水洗反应室，出风管正对着二氧化硅反应盒，使得排入的HF气体把二氧化硅反应室内的二氧化硅粉末吹出二氧化硅反应盒，增大二氧化硅与HF气体的接触，同时启动电机，使得电机转动带动旋转管，再启动二号水泵，使得二号水泵把水箱内的水排入旋转管内，使得水在旋转管离心力的作用下透过漏水孔被喷洒在水洗反应室内，使得水与HF气体充分的融合，进而初步与漂浮在空气中的二氧化硅反应，消除一部分的废气中的氟化物，同时打开支管的阀门，水进入水槽内，水槽与火焰反应腔的内壁相连，使得火焰反应腔的热能被水槽内的水吸收，避免了热能的流逝，同时水槽的温度升高，进一步加快了HF气体和水融合与二氧化硅反应，综上所述该净化装置，把废气内的氟化物净化的更加彻底，更加高效，节约了净化时间，同时采用热能的循环利用节约能源，更加环保。
2、该半导体制程废气中氟化物的净化装置，通过火焰反应腔、空心管、燃气反应装置、燃气反应箱、火焰喷头、水反应腔、一号水泵、一号水管、二号水管和打火装置的相互配合，启动一号水泵，使得一号水泵通过二号水管把水箱内的水吸出，再通过一号水管把水排入水反应腔内，再启动打火装置，推杆带动摩擦石在打火石的表面摩擦出火星，火星引着透过漏气孔进入打火室的燃气，使得整个火焰反应腔燃烧废气，同时水反应腔的底部受到火焰喷头的加热，水反应腔内的水加热气化，使得水蒸气增大与废气的反应面积，被火焰煅烧过得废气与空气中被气化的水蒸汽进行反应，使得废气初步与水反应，另一部分废气进入水反应腔与水进行反应，使得废气进一步与水反应，综上所述该净化装置使得把高温反应与水反应结合，节约反应时间和节约能源。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明打火装置结构示意图；
图3为本发明二氧化硅反应盒结构示意图；
图4为本发明旋转管结构示意图；
图5为本发明轴承装置结构示意图。
图中：1、机架；2、废弃输出端；3、火焰反应腔；4、空心管；5、燃气反应装置；51、燃气输出端；52、燃气反应箱；6、火焰喷头；7、水反应腔；8、燃气输出管；9、一号水泵；10、一号水管；101、支管；11、水箱；12、二号水管；13、打火装置；131、打火室；132、打火石；133、摩擦石；134、推杆；135、弹簧；136、漏气孔；14、风机室；15、风机；16、水洗反应室；17、风喷头；18、二氧化硅反应盒；181、二氧化硅粉末；182、孔洞；19、二号水泵；20、三号水管；21、四号水管；22、轴承装置；221、外壳；222、滚珠；23、电机；24、旋转管；241、漏水孔；242、圆柱板；25、水槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-5所示，本发明实施例提供一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架1，机架1的左端通过废气管连通有废弃输出端2，机架1的顶端固定安装有火焰反应腔3，火焰反应腔3的内壁底端固定安装有空心管4，空心管4的顶部固定安装燃气反应装置5，燃气反应装置5包括燃气反应箱52，火焰反应腔3通过进气口连通有燃气输出端51，燃气反应箱52的外表面固定安装有火焰喷头6，燃气反应箱52的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔7，燃气反应箱52与燃气输出端51连通有燃气输出管8，机架1的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵9，一号水泵9与空心管4连通有一号水管10，一号水管10的右侧连通有支管101，支管101依次贯穿机架1和水槽25并延伸至水槽25的内部，机架1的内壁底部固定安装有水箱11，一号水泵9与水箱11连通有二号水管12，火焰反应腔3的内部底端固定焊接有打火装置13，打火装置13包括打火室131，打火室131的内部固定焊接用打火石132，打火石132的外表面滑动连接有摩擦石133，摩擦石133远离打火石132的一端活动连接有推杆134，推杆134的外表面相背的一侧固定安装有弹簧135，打火室131的内壁开设有漏气孔136，通过火焰反应腔3、空心管4、燃气反应装置5、燃气反应箱52、火焰喷头6、水反应腔7、一号水泵9、一号水管10、二号水管12和打火装置13的相互配合，启动一号水泵9，使得一号水泵9通过二号水管12把水箱11内的水吸出，再通过一号水管10把水排入水反应腔7内，再启动打火装置13，使得整个火焰反应腔3燃烧废气，同时水反应腔7的底部受到火焰喷头6的加热，水反应腔7内的水加热气化，使得水蒸气增大与废气的反应面积，被火焰煅烧过得废气与空气中被气化的水蒸汽进行反应，使得废气初步与水反应，另一部分废气进入水反应腔7与水进行反应，使得废气进一步与水反应，综上所述该净化装置使得把高温反应与水反应结合，节约反应时间和节约能源，火焰反应腔3的右侧固定焊接有风机室14，风机室14的内部通过安装板固定安装有风机15，机架1的顶部固定焊接有水洗反应室16，风机15通过吸风管与火焰反应腔3连通，风机15的出风管贯穿水洗反应室16并延伸至水洗反应室16内部，风机15的出气管顶部固定安装有风喷头17，水洗反应室16的内壁右侧固定焊接有二氧化硅反应盒18，二氧化硅反应盒18的内部放置有二氧化硅粉末181，二氧化硅反应盒18外表面右侧开设有孔洞182，机架1的底部通过螺栓固定安装有二号水泵19，二号水泵19与水箱11连通有三号水管20，二号水泵19与水洗反应室16连通有四号水管21，水洗反应室16的内壁底端固定安装有轴承装置22，轴承装置22包括外壳221，外壳221的内壁滑动连接有滚珠222，滚珠222与旋转管24的外表面滑动连接，水洗反应室16的顶部通过安装板固定安装有电机23，轴承装置22的顶部活动连接有旋转管24，旋转管24的外表面开设有漏水孔241，旋转管24的顶部固定焊接有圆柱板242，圆柱板242远离旋转管24的一端与电机23的输出端活动连接，水洗反应室16内部设置有水槽25，通过一号水泵9、支管101、风机15、二氧化硅反应盒18、二号水泵19、三号水管20、四号水管21、电机23和旋转管24的相互配合，启动风机15，使得风机15把HF气体通过进风管吸出火焰反应腔3，再通过出风管排入水洗反应室16，出风管正对着二氧化硅反应盒18，使得排入的HF气体把二氧化硅反应盒18内的二氧化硅粉末181吹出二氧化硅反应盒18，增大二氧化硅粉末181与HF气体的接触，同时启动电机23，使得电机23转动带动旋转管24，再启动二号水泵19，使得二号水泵19把水箱11内的水排入旋转管24内，使得水在旋转管24离心力的作用下透过漏水孔241被喷洒在水洗反应室16内，使得水与HF气体充分的融合，进而初步与漂浮在空气中的二氧化硅粉末181反应，消除一部分的废气中的氟化物，同时打开支管101的阀门，水进入水槽25内，水槽25与火焰反应腔3的内壁相连，使得火焰反应腔3的热能被水槽25内的水吸收，避免了热能的流逝，同时水槽25的温度升高，进一步加快了HF气体和水融合与二氧化硅粉末181反应，综上所述该净化装置，把废气内的氟化物净化的更加彻底，更加高效，节约了净化时间，同时采用热能的循环利用节约能源，更加环保。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的左端通过废气管连通有废气输出端(2)，所述机架(1)的顶端固定安装有火焰反应腔(3)，所述火焰反应腔(3)的内壁底端固定安装有空心管(4)，所述空心管(4)的顶部固定安装燃气反应装置(5)，所述燃气反应装置(5)包括燃气反应箱(52)，所述火焰反应腔(3)通过进气口连通有燃气输出端(51)，所述燃气反应箱(52)的外表面固定安装有火焰喷头(6)，所述燃气反应箱(52)的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔(7)，所述燃气反应箱(52)与燃气输出端(51)连通有燃气输出管(8)，所述机架(1)的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵(9)，所述一号水泵(9)与空心管(4)连通有一号水管(10)，所述机架(1)的内壁底部固定安装有水箱(11)，所述一号水泵(9)与水箱(11)连通有二号水管(12)，所述火焰反应腔(3)的内部底端固定焊接有打火装置(13)，所述打火装置(13)包括打火室(131)，所述打火室(131)的内部固定焊接用打火石(132)，所述打火石(132)的外表面滑动连接有摩擦石(133)，所述摩擦石(133)远离打火石(132)的一端活动连接有推杆(134)，所述推杆(134)的外表面相背的一侧固定安装有弹簧(135)，所述打火室(131)的内壁开设有漏气孔(136)，所述火焰反应腔(3)的右侧固定焊接有风机室(14)，所述风机室(14)的内部通过安装板固定安装有风机(15)，所述机架(1)的顶部固定焊接有水洗反应室(16)，所述风机(15)的出气管顶部固定安装有风喷头(17)，所述水洗反应室(16)的内壁右侧固定焊接有二氧化硅反应盒(18)，所述机架(1)的底部通过螺栓固定安装有二号水泵(19)，所述二号水泵(19)与水箱(11)连通有三号水管(20)，所述二号水泵(19)与水洗反应室(16)连通有四号水管(21)，所述水洗反应室(16)的内壁底端固定安装有轴承装置(22)，所述水洗反应室(16)的顶部通过安装板固定安装有电机(23)，所述轴承装置(22)的顶部活动连接有旋转管(24)，所述水洗反应室(16)内部设置有水槽(25)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述二氧化硅反应盒(18)的内部放置有二氧化硅粉末(181)，所述二氧化硅反应盒(18)外表面右侧开设有孔洞(182)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述旋转管(24)的外表面开设有漏水孔(241)，所述旋转管(24)的顶部固定焊接有圆柱板(242)，所述圆柱板(242)远离旋转管(24)的一端与电机(23)的输出端活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述轴承装置(22)包括外壳(221)，所述外壳(221)的内壁滑动连接有滚珠(222)，所述滚珠(222)与旋转管(24)的外表面滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述一号水管(10)的右侧连通有支管(101)，所述支管(101)依次贯穿机架(1)和水槽(25)并延伸至水槽(25)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述风机(15)通过吸风管与火焰反应腔(3)连通，所述风机(15)的出风管贯穿水洗反应室(16)并延伸至水洗反应室(16)内部。
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