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CN108372040A - 一种喷嘴保湿切换机构 - Google Patents

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CN108372040A
CN108372040A CN201611053171.6A CN201611053171A CN108372040A CN 108372040 A CN108372040 A CN 108372040A CN 201611053171 A CN201611053171 A CN 201611053171A CN 108372040 A CN108372040 A CN 108372040A
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王岳天
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Shenyang Xinyuan Microelectronics Equipment Co Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B12/00—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area
    • B05B12/02—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling time, or sequence, of delivery
    • B05B12/04—Arrangements for controlling delivery; Arrangements for controlling the spray area for controlling time, or sequence, of delivery for sequential operation or multiple outlets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work

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  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

本发明涉及半导体生产领域，具体地说是一种喷嘴保湿切换机构，包括旋转电缸、喷嘴组件、保湿盒、摆臂、升降气缸、胶臂和开门气缸，其中喷嘴组件置于保湿盒内，旋转电缸、保湿盒和开门气缸均设置于胶臂上，所述喷嘴组件设有旋转盘，在所述旋转盘上设有多个喷嘴，且所述旋转盘通过所述旋转电缸驱动旋转，所述胶臂通过所述升降气缸驱动升降，所述升降气缸可移动地设置于所述摆臂上，在所述保湿盒内设有出胶口，在保湿盒底侧设有开门，出胶时任一喷嘴位于所述出胶口上方，且所述保湿盒底侧开门通过所述开门气缸打开。本发明可实现喷嘴的快速切换及胶体保湿的功能，有效防止喷嘴堵塞。

Description

一种喷嘴保湿切换机构
技术领域
本发明涉及半导体生产领域，具体地说是一种喷嘴保湿切换机构。
背景技术
在半导体工业中，匀胶工艺需要使用多种不同粘度性质的光刻胶，因此必须配有相应数量的管路进行供胶，并根据不同需求选取相应的喷嘴移动至晶元上方进行涂胶，而光刻胶的溶剂因为具有挥发性，很容易使喷嘴处出现结块堵塞。
发明内容
本发明的目的在于提供一种喷嘴保湿切换机构，该机构可实现喷嘴的快速切换及胶体保湿的功能，有效防止喷嘴堵塞。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种喷嘴保湿切换机构，包括旋转电缸、喷嘴组件、保湿盒、摆臂、升降气缸、胶臂和开门气缸，其中喷嘴组件置于保湿盒内，旋转电缸、保湿盒和开门气缸均设置于胶臂上，所述喷嘴组件设有旋转盘，在所述旋转盘上设有多个喷嘴，且所述旋转盘通过所述旋转电缸驱动旋转，所述胶臂通过所述升降气缸驱动升降，所述升降气缸可移动地设置于所述摆臂上，在所述保湿盒内设有出胶口，在保湿盒底侧设有开门，出胶时任一喷嘴位于所述出胶口上方，且所述保湿盒底侧开门通过所述开门气缸打开。
所述喷嘴组件包括转轴、旋转盘和喷嘴，其中所述转轴上端与旋转电缸相连，所述转轴下端伸入至保湿盒中与所述旋转盘相连。
所述喷嘴包括胶管、管夹和压环，所述胶管依次穿过所述压环和管夹，所述压环固定在旋转盘上，所述管夹通过所述压环压紧。
所述管夹为锥状结构且前端开有沟槽。
所述压环通过孔用挡圈固定在旋转盘上。
所述保湿盒中设有保湿盒内腔和保湿盒外腔，其中旋转盘设置于保湿盒内腔中，所述保湿盒内腔和保湿盒外腔相通，挥发性保湿溶剂设置于保湿盒外腔中。
所述旋转盘与保湿盒上盖为止口配合。
所述保湿盒内腔中设有出胶口，且所述出胶口周向设有凸出的圆台。
所述保湿盒外腔腔壁上设有可开启关闭的补液口。
所述摆臂上设有排废盒。
本发明的优点与积极效果为：
1、本发明设有保湿盒，能够在喷嘴运动的过程中全程保湿，并且有效保证保湿液体不会污染晶片，同时也有效防止喷嘴堵塞。
2、本发明设有旋转盘携带全部喷嘴，可以满足应用于RRC工艺的喷嘴切换，切换方式简单，能够完成喷嘴快速切换，缩短工艺时间。
3.本发明设有排废盒和用于打开保湿盒的开门气缸，预出胶简单且收废容易；
4.本发明设有升降气缸，能够保证喷嘴高度在合适范围。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明喷嘴旋转盘及喷嘴组件示意图；
图3为本发明保湿盒示意图；
图4为本发明的工作原理图。
其中，1为旋转电缸，2为喷嘴组件，3为保湿盒，4为排废盒，5为摆臂，6为升降气缸，7为胶臂，8为开门气缸，201为转轴，202为旋转盘，203为胶管，204为管夹，205为压环，301为保湿盒内腔，302为保湿盒外腔，303为出胶口。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1所示，本发明包括旋转电缸1、喷嘴组件2、保湿盒3、排废盒4、摆臂5、升降气缸6、胶臂7和开门气缸8，其中喷嘴组件2置于保湿盒3内，旋转电缸1、保湿盒3和开门气缸8均设置于胶臂7上，所述喷嘴组件2设有旋转盘202，所述旋转盘202上设有多个喷嘴，所述旋转盘202通过所述旋转电缸1驱动旋转以转换不同喷嘴，所述胶臂7固装在升降气缸6上并通过所述升降气缸6驱动升降，在所述摆臂5上设有移动块，升降气缸6安装所述移动块上，所述移动块通过设置于摆臂5上的驱动装置驱动沿摆臂5水平移动，所述驱动装置为本领域公知技术，在所述保湿盒3底侧设有开门，当需要排胶时，所述保湿盒3底侧开门通过所述开门气缸8打开，在所述摆臂5上设有排废盒4，所述排废盒4用于预出胶。
如图2所示，所述喷嘴组件2包括转轴201、旋转盘202和喷嘴，其中所述转轴201上端与旋转电缸1相连，所述旋转盘202设置于保湿盒3中，所述转轴201下端伸入至保湿盒3中与所述旋转盘202相连，旋转电缸1即通过所述转轴201带动旋转盘202转动对喷嘴进行切换。所述喷嘴包括胶管203、管夹204和压环205，所述胶管203依次穿过所述压环205和管夹204，其中所述管夹204为锥状结构，防止运动中胶管203向下移动，并在前端开有沟槽，实现夹紧功能，压环205压紧所述管夹204，所述压环205通过孔用挡圈固定在旋转盘202上，防止胶管203的抽出。在旋转切换喷嘴的过程中，管夹204随着胶管203相对旋转盘202转动一定角度，这个相对转动解决了胶管203产生扭矩而影响使用寿命的问题。
如图3所示，所述保湿盒3中设有保湿盒内腔301和保湿盒外腔302，其中旋转盘202设置于保湿盒内腔301中，且所述旋转盘202与保湿盒3上盖形成止口配合实现盒体的相对密封，完成保湿功能的挥发性溶剂设置于保湿盒外腔302中，所述保湿盒内腔301和保湿盒外腔302相通，使得机构工作时保湿盒内腔301充满由保湿盒外腔302挥发的溶剂气体，完成保湿功能，所述保湿性挥发溶剂为本领域公知技术。在保湿盒内腔301中设有出胶口303，在所述出胶口303周向设有凸出的圆台，以防止胶滴落至腔室内或者溶剂凝结滴落直接由出胶口303流出导致晶片污染，另外在保湿盒内腔室301内设有真空排废口，以吸出保温盒外腔302可能流的溶剂。所述保湿盒外腔302盛放定量的溶剂且为环状结构，能够有效缓冲运动时液体的回流，在所述保湿盒外腔302腔壁上设有可开启关闭的补液口，根据不同溶剂特性，定期由补液口向所述保湿盒外腔302内补入定量的溶剂，保证保湿盒3内溶剂含量。
在晶片表面进行匀胶涂布时，相应的喷嘴2处于保湿盒3内的出胶口303正上方，胶管203与出胶口303同心，且胶管203外径远小于出胶口303直径，保证胶体不会出现挂粘，能够顺利涂布在晶片上。
本发明的工作原理为：
如图1和图4所示，所述旋转盘202通过所述旋转电缸1驱动旋转以转换不同喷嘴，喷嘴切换完成后，开门气缸8打开保湿盒3底侧的开门，使喷嘴由出胶口303向排废盒4中喷出一定胶体，完成预出胶，然后关闭所述开门，升降气缸6带动胶臂7提升至设定高度，并且摆臂5上的移动块带动胶臂7向晶元中心移动，并在运动过程中打开保湿盒排废真空口，吸出外腔可能流出的溶剂，直至回到起始位后关闭；在晶元正上方打开保湿盒3底侧的开门，相应的喷嘴出胶，胶液由保湿盒内腔301中的出胶口303流出涂布晶片，晶片完成涂布后关闭所述开门，胶臂7返回起始位，返回起始位后，旋转盘202回到常位，打开保湿盒3补液口，向保湿盒外腔302补入一定量的保湿液，即完成切换保湿过程。

Claims (10)

1.一种喷嘴保湿切换机构，其特征在于：包括旋转电缸(1)、喷嘴组件(2)、保湿盒(3)、摆臂(5)、升降气缸(6)、胶臂(7)和开门气缸(8)，其中喷嘴组件(2)置于保湿盒(3)内，旋转电缸(1)、保湿盒(3)和开门气缸(8)均设置于胶臂(7)上，所述喷嘴组件(2)设有旋转盘(202)，在所述旋转盘(202)上设有多个喷嘴，且所述旋转盘(202)通过所述旋转电缸(1)驱动旋转，所述胶臂(7)通过所述升降气缸(6)驱动升降，所述升降气缸(6)可移动地设置于所述摆臂(5)上，在所述保湿盒(3)内设有出胶口(303)，在保湿盒(3)底侧设有开门，出胶时任一喷嘴位于所述出胶口(303)上方，且所述保湿盒(3)底侧开门通过所述开门气缸(8)打开。
2.根据权利要求1所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述喷嘴组件(2)包括转轴(201)、旋转盘(202)和喷嘴，其中所述转轴(201)上端与旋转电缸(1)相连，所述转轴(201)下端伸入至保湿盒(3)中与所述旋转盘(202)相连。
3.根据权利要求1或2所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述喷嘴包括胶管(203)、管夹(204)和压环(205)，所述胶管(203)依次穿过所述压环(205)和管夹(204)，所述压环(205)固定在旋转盘(202)上，所述管夹(204)通过所述压环(205)压紧。
4.根据权利要求3所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述管夹(204)为锥状结构且前端开有沟槽。
5.根据权利要求3所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述压环(205)通过孔用挡圈固定在旋转盘(202)上。
6.根据权利要求1所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述保湿盒(3)中设有保湿盒内腔(301)和保湿盒外腔(302)，其中旋转盘(202)设置于保湿盒内腔(301)中，所述保湿盒内腔(301)和保湿盒外腔(302)相通，挥发性保湿溶剂设置于保湿盒外腔(302)中。
7.根据权利要求7所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述旋转盘(202)与保湿盒(3)上盖为止口配合。
8.根据权利要求7所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述保湿盒内腔(301)中设有出胶口(303)，且所述出胶口(303)周向设有凸出的圆台。
9.根据权利要求7所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述保湿盒外腔(302)腔壁上设有可开启关闭的补液口。
10.根据权利要求1所述的喷嘴保湿切换机构，其特征在于：所述摆臂(5)上设有排废盒(4)。
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