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CN108116889A - 悬吊式运输系统 - Google Patents

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CN108116889A
CN108116889A CN201711226361.8A CN201711226361A CN108116889A CN 108116889 A CN108116889 A CN 108116889A CN 201711226361 A CN201711226361 A CN 201711226361A CN 108116889 A CN108116889 A CN 108116889A
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China
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crane rail
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rail
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成爀济
李圣铉
蔡成根
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Semes Co Ltd
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Abstract

一种悬吊式运输系统，包括：一对行车轨道，设置在半导体生产线的顶板；载运工具，用于保持匣盒并沿着行车轨道移动，该载运工具包括一对驱动轮以及辅助轮，一对驱动轮被配置成与行车轨道旋转接触，辅助轮具有倾斜的桨轮；以及辅助轨道，用于在行车轨道的弯曲路径上支承辅助轮，该辅助轨道包括倾斜的上端面，该倾斜的上端面具有与所述桨轮的端面相对应的倾斜角度，由此在驱动轮沿着弯曲路径移动的同时补偿各个驱动轮的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。

Description

悬吊式运输系统
技术领域
本发明的实施方式是关于一种悬吊式运输系统。具体来说，本发明的示例性实施方式是关于一种用于运输匣盒的用在半导体生产线的悬吊式运输系统，其中，在匣盒中贮存有多个晶片，在半导体生产线中半导体处理设备被布置成直列型。
背景技术
一般来说，用于制造半导体器件的半导体处理设备被连续排列以对半导体基板执行各种处理。在匣盒中贮存有多个晶片的状态下，被执行半导体制造工艺的晶片可被提供至各个半导体处理设备，或者可使用匣盒从各个半导体处理设备收回晶片。
匣盒通过悬吊式运输系统(在下文中称为“OHT”)来运输，悬吊式运输系统包括行车轨道和载运工具，载运工具能够保持匣盒并沿着行车轨道行进。而且，OHT系统包括转向轨道、与行车轨道旋转接触的行车轨道、以及与转向轨道旋转接触的转向轮，其中，转向轨道设置在半导体生产线的顶板，半导体处理设备连续排列在半导体生产线中。
被提供在载运工具上的转向轮沿着转向轨道旋转，由此能够在分支区域调整载运工具的移动方向，其中，转向轨道在分支区域从行车轨道分支出来。
当驱动轮沿着行车轨道的弯曲路径移动时，驱动轮可能会具有与外侧线速度不同的内侧线速度。由于内侧线速度与外侧线速度之间的差异，驱动轮可能无法顺畅地沿着行车轨道滚动而滑动。因此，在驱动轮与行车轨道之间可能会产生摩擦力，从而造成微粒产生。其结果，微粒可能会污染半导体处理设备所具有的空隙。
发明内容
本发明的示例性实施方式提供一种OHT系统，其能够减少可能会因驱动轮与行车轨道之间的摩擦力而产生的微粒的量。根据本发明的一方案，提供了一种OHT系统。该OHT系统包括：一对行车轨道，设置在半导体生产线的顶板；载运工具，用于保持匣盒并沿着行车轨道移动，该载运工具包括一对驱动轮以及辅助轮，一对驱动轮被配置成与行车轨道旋转接触，辅助轮具有倾斜的桨轮；以及辅助轨道，用于在行车轨道的弯曲路径上支承辅助轮，该辅助轨道包括倾斜的上端面，该倾斜的上端面具有与桨轮的端面相对应的倾斜角度，由此在驱动轮在弯曲路径上行进的同时补偿各个驱动轮的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。
在一示例性实施方式中，桨轮可向外朝着辅助轮的中心轴线倾斜。
根据一示例性实施方式，该OHT系统可进一步包括：导轨，被定位成沿着行车轨道且在行车轨道上方，该导轨用于引导载运工具的行进和转向；以及导轮，设置在载运工具的上端面，该导轮被配置成与导轨旋转接触来引导载运工具的行进和转向。
在一示例性实施方式中，对桨轮的倾斜角度和辅助轨道的倾斜的上端面的倾斜角度根据行车轨道中的弯曲路径的曲率半径进行相应调整。
在此，桨轮的倾斜角度和倾斜的上端面的倾斜角度可与行车轨道中的弯曲路径的曲率半径成反比。
在一示例性实施方式中，辅助轮的倾斜的端面可具有与桨轮的端面基本相同的倾斜角度。
据此，本发明的OHT系统包括辅助轮以及辅助轨道，其中辅助轮具有倾斜的桨轮，辅助轨道包括具有与桨轮的端面相同的倾斜角度的倾斜的上端面，由此在驱动轮沿着弯曲路径移动的同时补偿各个驱动轮的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。如此，当沿着行车轨道的弯曲路径移动时，可使载运工具中的车轮的接触摩擦减至最小。据此，能够减少车轮的磨损，提高车轮的耐用性，增长车轮和轨道的保养周期，并且提高半导体处理设备所具有的空隙的清洁度。
此外，由于当载运工具行驶在载运工具的弯曲路径上时车轮的接触摩擦减至最小，因此能够降低载运工具的振动程度，且能够提高载运工具的稳定性。
附图说明
通过结合附图对示例性实施方式进行的详细描述，将更清楚地理解本发明的上述以及其他特征和优点，其中：
图1是示出根据本发明的一示例性实施方式的OHT系统的俯视图；
图2是示出图1中的OHT系统中的载运工具的俯视图，该载运工具沿着行车轨道的弯曲路径行驶；
图3是沿图2中A-A’线的剖视图。
具体实施方式
在下文中将参考示出了本发明的实施方式的附图更充分地描述本发明。然而，本发明能够以多种不同的形式实施并且不应被解释为限于本文中所描述的实施方式。这些实施方式是为了使本公开完全和完整，并且将本发明的范围完整地传达给本领域的技术人员而提供。在附图中，为了清楚起见，可能夸大层和区域的大小和相对大小。
应当理解的是，当将一个元件或层称为在另一个元件或层“上”、“被连接到”或者“被联接到”另一个元件或层时，其可为直接在其它元件或层上、直接被连接到或者被联接到其它元件或层、或者存在居于其间的元件或层。与此相反，当将一个元件称为“直接在”另一个元件或层“上”、“直接被连接到”或者“直接被联接到”另一个元件或层时，这意味着并不存在居于其间的元件或层。全文中，相同的标记表示相同的元件。如在本文中使用的，术语“和/或”包括一个或多个相关联的所列项目的任何和全部组合。
应当理解的是，尽管术语第一、第二、第三等在本文可用于描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但这些元件、部件、区域、层和/或部分应不受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件、部件、区域、层或部分与另一个区域、层或部分区分开来。因此，以下讨论的第一元件、部件、区域、层或部分在不背离本发明的教导的情况下可被称为第二元件、部件、区域、层或部分。
在本文中为便于说明可使用“在…的下方”、“在…下面”、“较低的”、“在…上方”、“较高的”等空间相对术语来描述如图所示的一个元件或特征与另一个元件或特征的关系。应当理解的是，空间相对术语旨在涵盖器件在使用或操作中除了图中所描绘的方位之外的不同方位。例如，如果图中的器件翻转，则描述成“在其他元件或特征下面”或“在其他元件或特征下方”的元件被定向成“在其他元件或特征上方”。因此，示例的术语“在…下面”能够涵盖在上方和在下方这两种方位。器件可以另外的方式定向(旋转90度或在其他方位上)，并且可相应地解释在本文中使用的空间相对描述词语。
在本文中使用的术语只用于说明特定实施方式，并非旨在对本发明进行限定。在本文中使用的单数形式“一”、“一个”、和“所述/该”旨在包括复数形式，除非在上下文中另外明确地指出。应当理解的是，当在说明书中使用术语“组成”和/或“包含/包括”时，其明确指定存在所声明的特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件，但不排除存在或添加一个或多个其他的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组合的情况。
在本文中参考本发明的理想实施方式(和中间结构)的示意图的剖视图来描述本发明的实施方式。如此，可预期由于例如制造技术和/或容差而导致的所图示的形状的变化。因此，本发明的实施方式不应被解释为限于本文中所图示区域的特定形状，而是包括由于例如制造而导致的形状偏差。例如，图示为矩形的注入区域在其边缘通常具有圆形的或弯曲的特征和/或注入浓度梯度，而不是从注入区域到非注入区域的二元改变。同样地，通过注入而形成的埋藏区域可导致该埋藏区域与注入进行时所经过的表面之间的区域中的一些注入。因此，图中所示区域实质上是示意性的，并且它们的形状并非旨在示出器件的区域的实际形状，也并非旨在限制本发明的范围。
除非另外定义，在本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本领域的技术人员的一般理解相同的意义。应当理解的是，术语，例如在常用词典中定义的那些，应被解释为具有与它们在相关领域的背景和/或上下文中的含义一致的含义，并且将不以理想化或过度正式的意义进行解释，除非在本文中清楚地如此定义。
图1是示出根据本发明的一示例性实施方式的OHT系统的俯视图。图2是示出图1中的OHT系统中的载运工具的俯视图，该载运工具沿着行车轨道的弯曲路径行驶。图3是沿图2中A-A’线的剖视图。
参照图1至图3，根据本发明的一示例性实施方式的OHT系统100包括一对行车轨道110、载运工具120、辅助轨道130、以及导轨140。
行车轨道110被设置在半导体生产线的顶板，半导体生产线包括布置成连续型的多个半导体处理设备。一对行车轨道110可提供一路径，载运工具120沿着该路径移动。
行车轨道110包括直线路径112和弯曲路径114。弯曲路径114被定位在分支区域或接合区域，其中，行车轨道110在分支区域分支，且行车轨道110在接合区域相互接合。
载运工具120可用于保持能够贮存有多个晶片的匣盒(未图示)。因此，载运工具120在沿着行车轨道110行驶的同时于半导体制造设备之间移交匣盒。
载运工具120包括驱动轮122和辅助轮124。
驱动轮122被提供在载运工具120的两侧，且能够在与行车轨道110相接触的同时沿着行车轨道110旋转。
辅助轮124被定位在驱动轮122的外侧。辅助轮124与驱动轮122同轴且被配置成与驱动轮122一同旋转。
各个辅助轮124可包括具有倾斜的端面的桨轮125。详细来说，各个辅助轮124的桨轮125可具有如下的倾斜的端面：在向外方向上并且朝着各个辅助轮124的中心轴线倾斜。因此，各个辅助轮124可具有沿着向外方向变细的形状。举例来说，各个辅助轮124具有圆形的截顶圆锥体形状。各个辅助轮124具有基本上比外径大的内径，因此各个辅助轮124的内侧线速度比各个辅助轮124的外侧线速度大。
辅助轨道130用于支承其中一个辅助轮124，该辅助轮124沿着行车轨道110的弯曲路径114移动。辅助轨道130包括形成在其上部的倾斜的端面132。倾斜的端面132可形成为向内朝着行车轨道110的内侧倾斜。倾斜的端面132可具有与各个辅助轮124所具备的桨轮125基本相同的倾斜角度。因此，其中一个辅助轮124可在与辅助轨道130相接触、同时沿着行车轨道110的弯曲路径114旋转，从而载运工具120在水平状态下不倾斜的行进。
由于各个驱动轮122从外部到内部具有恒定的直径，当载运工具120沿着行车轨道110的弯曲路径114行进时，各个驱动轮122的内侧线速度比各个驱动轮122的外侧线速度大。与此同时，由于各个辅助轮124具有比外径大的内径，各个辅助轮124的内侧线速度比各个辅助轮124的外侧线速度大。因此，当载运工具120沿着行车轨道110的弯曲路径114移动时，可通过各个辅助轮124的内侧线速度与外侧线速度之间的差异来补偿各个驱动轮122的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。
因此，当载运工具120沿着弯曲路径114行进时，驱动轮122和辅助轮124不会相对于行车轨道110和辅助轨道130滑动，且驱动轮122和辅助轮124能够与行车轨道110和辅助轨道130旋转接触，由此，能够使对驱动轮122和辅助轮124造成的驱动轮122和辅助轮124的接触摩擦减至最小。
其结果，能够减少驱动轮122和辅助轮124的磨损，且能够提高驱动轮122和辅助轮124的耐用性。此外，能够延长驱动轮122和辅助轮124以及行车轨道110和辅助轨道130的保养周期，并且能够提高半导体处理设备所具有的空隙(space)？？的清洁度。而且，当载运工具120沿着弯曲路径114行进时，能够降低载运工具110的振动程度并且提高载运工具110的运行稳定性。
可根据行车轨道110中的弯曲路径114的曲率半径(也就是载运工具120的旋转半径)改变辅助轮124和辅助轨道130的倾斜角度。确切地说，若行车轨道110中的弯曲路径114的曲率半径变小，则驱动轮122的内侧线速度与外侧线速度之间的差异将增大。因此，能够通过增大辅助轮124的倾斜角度和辅助轨道130的倾斜度来补偿驱动轮122的内侧与外侧线速度之间的差异。
同样地，若弯曲路径114的曲率半径沿着行车轨道110增大，则驱动轮122的内侧与外侧线速度之间的差异变小。因此，辅助轮124和辅助轨道130的倾斜角度能够变小来补偿驱动轮122的内侧与外侧线速度之间的差异。据此，行车轨道110中的弯曲路径114的曲率半径可与辅助轮124和辅助轨道130的倾斜角度成反比。
导轨140被定位成沿着其中一个行车轨道110且在行车轨道110上方。
当一对行车轨道110被提供时，一对导轨140被提供在行车轨道110之间。
导轨140可被定位在分支区域或接合区域，其中，行车轨道110在分支区域分支，且行车轨道110在接合区域相互接合。
导轨140可包括直线导轨142和弯曲导轨144。
直线导轨142引导载运工具120在行车轨道110中的分支区域直线移动。弯曲导轨144引导载运工具120在分支区域改道或在接合区域接合。
在一示例性实施方式中，载运工具120进一步包括导轮126。
导轮126被提供在载运工具120的上表面，且与导轨140旋转接触。一对导轮126可被提供并且可选择性地与导轨140的直线导轨142和弯曲导轨144的任一个相接触。当导轮126与直线导轨142相接触时，载运工具120能够在行车轨道110的分支区域直线行驶，而当导轮126与弯曲导轨144相接触时，载运工具120在行车轨道110的分支区域改道，或者载运工具120可在行车轨道110的接合区域被接合。由于当载运工具120行进时，导轮126与导轨140持续接触，载运工具120能够更稳定地行进。由于导轮126与导轨140旋转接触，因此能够在行车轨道110的分支区域或行车轨道110的接合区域引导载运工具120的行进方向。
如上所述，根据本发明的OHT系统，当沿着行车轨道的弯曲路径行进时，能够使载运工具中的车轮的接触摩擦减至最小。据此，能够减少车轮的磨损，提高车轮的耐用性，增长车轮和轨道的保养周期，并且提高半导体处理设备所具有的空隙的清洁度。此外，由于当载运工具行驶在载运工具的弯曲路径上时车轮的接触摩擦减至最小，因此能够降低载运工具的振动程度，且能够提高载运工具的稳定性。
前述内容是对本发明的说明，不应被解释为对本发明进行限定。虽然已描述了本发明的几个示例性实施方式，但本领域的技术人员将容易地理解，在不实质上背离本发明的新颖教导和优点的情况下，能够对示例性实施方式进行许多修改。相应地，所有这些修改都旨在被涵盖在由权利要求定义的本发明的范围内。在权利要求中，装置加功能条款旨在涵盖在本文中描述为执行所述功能的结构，不仅涵盖结构等价物，而且涵盖等价结构。因此，应当理解的是，前述内容是对本发明的说明，不应被解释为使本发明限于所公开的具体实施方式，并且对所公开的实施方式以及其他实施方式的修改旨在被涵盖在所附权利要求的范围内。本发明由所附权利要求和包括在本文中的权利要求的等价物定义。

Claims (6)

1.一种悬吊式运输系统，包括：
一对行车轨道，设置在半导体生产线的顶板；
载运工具，配置成保持匣盒并沿着所述行车轨道移动，所述载运工具包括一对驱动轮、以及辅助轮，所述一对驱动轮被配置成与所述行车轨道旋转接触，所述辅助轮具有倾斜的桨轮；以及
辅助轨道，配置成在所述行车轨道的弯曲路径上支承所述辅助轮，所述辅助轨道包括倾斜的上端面，所述倾斜的上端面具有与所述桨轮的端面相对应的倾斜角度，由此在所述驱动轮沿着所述弯曲路径行进的同时补偿各个所述驱动轮的内侧线速度与外侧线速度之间的差异。
2.根据权利要求1所述的悬吊式运输系统，其中，所述桨轮向外朝着所述辅助轮的中心轴线倾斜。
3.根据权利要求1所述的悬吊式运输系统，进一步包括：
导轨，被定位成沿着所述行车轨道且在所述行车轨道上方，所述导轨配置成引导所述载运工具的行进和转向；以及
导轮，设置在所述载运工具的上端面，所述导轮被配置成与所述导轨旋转接触来引导所述载运工具的行进和转向。
4.根据权利要求1所述的悬吊式运输系统，其中，对所述桨轮的倾斜角度和所述辅助轨道的所述倾斜的上端面的倾斜角度根据所述行车轨道中的所述弯曲路径的曲率半径进行相应调整。
5.根据权利要求4所述的悬吊式运输系统，其中，所述桨轮和所述倾斜的上端面的倾斜角度与所述行车轨道中的所述弯曲路径的所述曲率半径成反比。
6.根据权利要求1所述的悬吊式运输系统，其中，所述辅助轮的所述倾斜的端面具有与所述桨轮的端面基本相同的倾斜角度。
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