CN107014520A - 一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法 - Google Patents
一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107014520A CN107014520A CN201710353372.6A CN201710353372A CN107014520A CN 107014520 A CN107014520 A CN 107014520A CN 201710353372 A CN201710353372 A CN 201710353372A CN 107014520 A CN107014520 A CN 107014520A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- capillary
- fiber
- optical fiber
- fiber grating
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/32—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
本发明涉及一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法，可用于航空航天、兵器、核工业等领域中的结构件表面温度和气流温度等高温温度的精密测量，属于光纤传感测量技术领域。该传感器包括作为温度测量敏感元件的光纤光栅和作为封装结构的非金属毛细管，利用焊接方法实现光纤和毛细管的一体化封装，减小了传感器结构尺寸，降低了封装结构与光纤之间热不匹配性的影响，避免了胶粘剂引起的容易老化和蠕变、以及高温下软化甚至分解的问题，提高了传感器的工作温度范围，以及在高温等恶劣环境下工作的长期稳定性和可靠性，可用于航空航天、兵器、核工业等领域中的结构件表面温度和气流温度等高温温度的精密测量。
Description
技术领域
本发明涉及一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法，可用于航空航天、兵器、核工业等领域中的结构件表面温度和气流温度等高温温度的精密测量，属于光纤传感测量技术领域。
技术背景
在航空航天、兵器、核工业等极端恶劣环境的应用中，需要对结构件或者气流等温度进行稳定的测量，其工作温度多数高于300℃，个别应用如发动机等甚至超过1000℃以上，同时，由于对温度传感器结构尺寸的限制以及电磁干扰等的影响，诸如热电偶和高温计等常规传感器经常难以在此类恶劣环境中使用。
光纤光栅是在光纤中构建的敏感元件，通过对特定波长的反射光谱进行检测，可以实现对环境温度的测量，并且光信号传输方式使其具备抗电磁干扰的优点。通过使用温度和工作环境的不同，光纤可以采用石英光纤或具备更高熔点的蓝宝石等晶体类光纤，光纤光栅可以采用准分子激光或者飞秒激光的刻制方式实现，同时，光纤光栅由于其敏感元件尺寸小和可复用的优点可以较好地实现温度场的测量。但是，如果在安装或嵌入高温等恶劣环境之前，必须对光纤光栅进行进一步的封装，形成温度传感器，对于高温环境下使用的光纤光栅温度传感器，其耐久性和寿命不但取决于光纤光栅本身，而且取决于传感器封装结构的设计、封装材料的选择以及封装工艺的实现方法。
为此，国内外开展了很多针对光纤光栅温度传感器封装的研究，如：王宏亮等人提出的双光纤光栅传感器。采用高温恒弹合金作为光纤光栅的基底材料，并通过粘接胶，将压力传感光纤光栅和温度传感光纤光栅与基底材料封装为一体，组成温度和压力双光纤光栅传感器，该结构可实现315℃下的温度测量和补偿；张智禹等人提出的新型耐高温光纤光栅温度传感器将光栅用绝热材料封装，通过杠杆结构与铝棒连接，通过光栅产生应变实现高温测量，该结构测量温度可达310℃；VenkataReddyMamidi等人提出了一种基于光纤光栅和氮化铝结构的光纤温度传感器，氮化铝毛细管长20cm、直径2mm，由于的氮化铝较脆，因此再次封装进一个不锈钢管内，其使用温度为20℃-650℃；Amir Azhari等人提出了一种基于光纤光栅和氧化锆陶瓷管的光纤温度传感器，该传感器使用温度为600℃以上；申请号为201210264642.3的专利提供一种全金属封装的耐高温光纤光栅传感器及其制造方法，该专利采用经高温退火处理得到的再生光纤光栅作为敏感元件，以磁控溅射方法在光纤表面形成粘接层和导电层，并通过电镀方法将光纤埋入柔性结构金属基底中，实现全金属封装，传感器在20-600℃内具有良好的温度传感性能；申请号为201080015823.1的专利公开了一种包括贵金属管道和两根光纤的温度传感器封装，通过高温陶瓷材料或高温陶瓷与金属粉末的混合物实现传感器封装与粘接，该传感器主要用于煤气化器中的高温测量，测量温度最高可达1204℃。
综上所述，现有光纤光栅温度传感器大多采用金属作为封装结构，金属结构具有导热快、鲁棒性高的优点，但是存在结构尺寸大、制作难度高的问题，同时其热膨胀系数与光纤之间存在差异，尤其是高温下的热不匹配性加大，降低了传感器的可靠性；如果采用非金属封装结构，也以陶瓷基作为材料主体，存在脆性较大、需要设计二次封装保护的问题。另外，光纤光栅与封装结构间的连接与固定多采用有机粘合剂的方法实现，有机粘合剂容易老化和蠕变，尤其是高温条件下有机粘合剂加速老化，当温度超过250℃后，大多数有机粘合剂开始软化甚至分解，产生对石英光纤具有应力腐蚀作用的氢气，加速石英光纤的疲劳过程，无法实现光纤光栅与封装结构间的有效连接，随着工作时间加长，传感器的可靠性逐渐降低，不能很好的应用于400℃以上等高温环境的温度测量。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有光纤光栅温度传感器金属化封装结构尺寸大、制作难度高、热不匹配性大以及有机粘合剂耐温低、可靠性差的不足，而提出了一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法,该传感器可实现(-55～1100)℃的温度测量。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的。
一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，包括：作为温度测量敏感元件的光纤光栅、作为封装结构的非金属毛细管、光纤和腔体，其中光纤光栅刻在光纤上。连接关系为：将刻有光纤光栅的光纤插入毛细管中，光纤端面和毛细管端面间具有一定的间距作为腔体，腔体尺寸经过设计，保证光纤光栅的自由伸缩，以隔绝应变，实现温度测量。
其中，所述光纤可以是石英光纤、蓝宝石光纤、YAG晶体光纤、光子晶体光纤等耐高温光纤。
所述光纤光栅可以是通过准分子激光或者飞秒激光刻制得到的光栅。
所述非金属毛细管可以是石英玻璃毛细管、硼硅玻璃毛细管和蓝宝石晶体毛细管可耐高温的非金属毛细管。
所述非金属毛细管可以是双端开口毛细管，也可以是单端封闭毛细管。
所述毛细管式光纤光栅高温温度传感器可以在后续根据试验环境要求，使用贵金属管、陶瓷管等结构进行二次封装，以提高鲁棒性和可靠性。
一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器的制作方法，包括以下步骤：
(1)在光纤上通过激光刻制得到光纤光栅；
(2)放置光纤与毛细管；
(3)光纤与毛细管对准与穿接；
(4)焊接。
所述步骤(1)中，通过准分子激光或者飞秒激光刻制得到光纤光栅。
所述步骤(2)中，把光纤放入圆柱形光纤夹具中，放置到焊接系统平台的一号调节架中；将毛细管放置到毛细管夹持器中，放置到焊接系统平台的二号调节架中。
所述步骤(3)中，通过与计算机测量控制平台连接的CCD9观察焊接系统平台，调节一号旋钮和二号旋钮，使光纤和毛细管对准，并将光纤穿入到毛细管中。
所述步骤(4)中，打开激光器引导光，调节毛细管夹持器的二号旋钮，确定焊接位置，并调节光纤夹具的一号旋钮确定光纤穿入的位置，即光纤端面与毛细管端面间的距离；通过计算机测量控制平台控制激光器发射的激光脉冲，通过光路，实现光纤和毛细管的焊接；通过CCD9观察焊点形状，对焊接质量进行初判；通过与光纤末端连接的光谱解调设备对光纤光栅光谱信号进行检测，确认光纤光栅温度传感器的封装质量。
其中，步骤(4)所述激光器可以是CO2激光器等气体激光器、飞秒激光器等固体激光器、光纤激光器等二极管泵浦激光器。
本发明所示的传感器毛细管内的腔体可以是空气腔，也可以在后续工艺中填充可耐高温的导热材料，以提高导热效率。
有益效果：
本发明对比已有技术有以下显著创新点：
1.利用可耐高温的非金属毛细管作为光纤光栅温度传感器的封装结构，减小了传感器结构尺寸，避免了金属材料与光纤之间的热匹配性差异较大的问题。
2.利用激光焊接技术实现光纤光栅敏感元件和毛细管封装结构的安装与固定，避免了有机粘合剂容易老化和蠕变、以及高温下软化甚至分解的问题。
加入上述创新点后，本发明具有如下优点：
由以上两个创新点综合实现的光纤光栅温度传感器，扩展了光纤光栅温度传感器的工作温度范围，提高了光纤光栅温度传感器在高温等恶劣环境下工作的长期稳定性和可靠性。
附图说明
图1为本发明光纤光栅高温温度传感器原理结构示意图；
图2为本发明光纤光栅高温温度传感器制作方法原理框图；
图3为本发明制作方法中光纤夹持与固定模块局部放大示意图；
其中，1-光纤，2-焊点，3-光纤光栅，4-非金属毛细管，5-腔体，6-光纤端面，7-毛细管端面，8-光路，9-CCD，10-计算机测量控制平台，11-激光器，12-焊接系统平台，13-光纤光栅温度传感器，14-光谱解调设备，15-圆柱形光纤夹具，16-一号调节架，17-毛细管夹持器，18-二号调节架，19-一号旋钮，20-二号旋钮。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
实施例1
如图1所示，一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，包括：作为温度测量敏感元件的光纤光栅3、作为封装结构的非金属毛细管4、光纤1和腔体5，其中光纤光栅3刻在光纤1上。连接关系为：将刻有光纤光栅3的光纤1插入非金属毛细管4中，光纤端面6和毛细管端面7间具有一定的间距作为腔体5，腔体5尺寸经过设计，保证光纤光栅3的自由伸缩，以隔绝应变，实现温度测量。
下面以石英光纤、准分子激光刻制的光纤光栅敏感元件和双端开口的石英玻璃毛细管为例，具体描述传感器的制作方法。
一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器的制作方法，如图2所示，包括如下步骤：
(1)在光纤1上通过准分子激光刻制得到光纤光栅3；
(2)把光纤1放入圆柱形光纤夹具15中，放置到焊接系统平台12的一号调节架16中，如图3所示；
(3)将双端开口的非金属毛细管4放置到毛细管夹持器17中，放置到焊接系统平台12的二号调节架18中；
(4)通过与计算机测量控制平台10连接的CCD9观察焊接系统平台12，调节一号旋钮19和二号旋钮20，使光纤1和非金属毛细管4对准，并将光纤1穿入到非金属毛细管4中。
(5)打开激光器11的引导光，调节二号旋钮20，确定焊接位置；
(6)调节一号旋钮19确定光纤1穿入的位置，即光纤端面6与毛细管端面7间的距离；
(7)通过计算机测量控制平台10控制激光器11发射的激光脉冲，通过光路8，实现光纤1和非金属毛细管4的焊接；
(8)通过CCD9观察焊点2形状，对焊接质量进行初判；
(9)通过与光纤1连接的光谱解调设备14对光纤光栅3的光谱信号进行检测，确认光纤光栅温度传感器13的封装质量。
(10)该传感器可实现(-55～600)℃的温度测量。
实施例2
如图1所示，一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，包括：作为温度测量敏感元件的光纤光栅3、作为封装结构的非金属毛细管4、光纤1和腔体5，其中光纤光栅3刻在光纤1上。连接关系为：将刻有光纤光栅3的光纤1插入非金属毛细管4中，光纤端面6和毛细管端面7间具有一定的间距作为腔体5，腔体5尺寸经过设计，保证光纤光栅3的自由伸缩，以隔绝应变，实现温度测量。
下面以石英光纤、飞秒激光刻制的光纤光栅敏感元件和单端封闭的蓝宝石晶体毛细管为例，具体描述传感器的制作方法。
一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器的制作方法，如图2所示，包括如下步骤：
(1)在光纤1上通过飞秒激光刻制得到光纤光栅3；
(2)把光纤1放入圆柱形光纤夹具15中，放置到焊接系统平台12的一号调节架16中，如图3所示；
(3)将单端封闭的非金属毛细管4放置到毛细管夹持器17中，放置到焊接系统平台12的二号调节架18中；
(4)通过与计算机测量控制平台10连接的CCD9观察焊接系统平台12，调节一号旋钮19和二号旋钮20，使光纤1和非金属毛细管4对准，并将光纤1穿入到毛细管4中。
(5)打开激光器11的引导光，调节二号旋钮20，确定焊接位置；
(6)调节一号旋钮19确定光纤1穿入的位置，即光纤端面6与毛细管端面7间的距离；
(7)通过计算机测量控制平台10控制激光器11发射的激光脉冲，通过光路8，实现光纤1和非金属毛细管4的焊接；
(8)通过CCD9观察焊点2形状，对焊接质量进行初判；
(9)通过与光纤1连接的光谱解调设备14对光纤光栅3的光谱信号进行检测，确认光纤光栅温度传感器13的封装质量。
以上结合附图对本发明的具体实施方式作了说明，但这些说明不能被理解为限制了本发明的范围，本发明的保护范围由随附的权利要求书限定，任何在本发明权利要求基础上的改动都是本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，其特征在于：作为温度测量敏感元件的光纤光栅、作为封装结构的非金属毛细管、光纤和腔体，其中光纤光栅刻在光纤上；连接关系为：将刻有光纤光栅的光纤插入非金属毛细管中，光纤端面和毛细管端面间具有一定的间距作为腔体，腔体尺寸经过设计，保证光纤光栅的自由伸缩，以隔绝应变，实现温度测量。
2.如权利要求1所述的一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，其特征在于：所述的光纤可以是石英光纤、蓝宝石光纤、YAG晶体光纤、光子晶体光纤。
3.如权利要求1所述的一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，其特征在于：所述的光纤光栅可以通过准分子激光或者飞秒激光刻制得到。
4.如权利要求1所述的一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，其特征在于：所述的非金属毛细管包括石英玻璃毛细管、硼硅玻璃毛细管、蓝宝石晶体毛细管。
5.如权利要求1所述的一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，其特征在于：所述的非金属毛细管可以是双端开口毛细管，也可以是单端封闭毛细管。
6.如权利要求1所述的一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，其特征在于：所述的腔体可以是空气腔，也可以在后续工艺中填充可耐高温的导热材料，以提高导热效率。
7.如权利要求1所述的一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器，其特征在于：所述的毛细管式光纤光栅高温温度传感器可以在后续根据试验环境要求，使用贵金属管、陶瓷管等结构进行二次封装，以提高鲁棒性和可靠性。
8.一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一、在光纤上通过激光刻制得到光纤光栅：可通过准分子激光或者飞秒激光刻制得到光纤光栅；
步骤二、放置光纤与毛细管：把光纤放入圆柱形光纤夹具中，放置到焊接系统平台的一号调节架中；将毛细管放置到毛细管夹持器中，放置到焊接系统平台的二号调节架中；
步骤三、光纤与毛细管对准与穿接：通过与计算机测量控制平台连接的CCD9观察焊接系统平台，调节一号旋钮和二号旋钮，使光纤和毛细管对准，并将光纤穿入到毛细管中；
步骤四、焊接：打开激光器引导光，调节毛细管夹持器的二号旋钮，确定焊接位置，并调节光纤夹具的一号旋钮确定光纤穿入的位置，即光纤端面与毛细管端面间的距离；通过计算机测量控制平台控制激光器发射的激光脉冲，通过光路，实现光纤和毛细管的焊接；通过CCD9观察焊点形状，对焊接质量进行初判；通过与光纤末端连接的光谱解调设备对光纤光栅光谱信号进行检测，确认光纤光栅温度传感器的封装质量。
9.如权利要求8所述的一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器的制作方法，其特征在于：所述步骤四中的激光器可以是CO2激光器的气体激光器、飞秒激光器的固体激光器或者光纤激光器的二极管泵浦激光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710353372.6A CN107014520A (zh) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710353372.6A CN107014520A (zh) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107014520A true CN107014520A (zh) | 2017-08-04 |
Family
ID=59449244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710353372.6A Pending CN107014520A (zh) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107014520A (zh) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108106751A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-06-01 | 俞婷 | 蓝宝石光子晶体光纤光栅超高温分布式传感器的制备工艺 |
| CN108332878A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-07-27 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种光纤光栅温度传感器及制备方法 |
| CN108362394A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-08-03 | 南开大学 | 基于飞秒激光写入的晶体光波导散斑温度测量方法及系统 |
| CN109357786A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-02-19 | 湖北工业大学 | 一种基于蓝宝石光纤光栅传感器的温度检测系统及方法 |
| CN109668652A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-04-23 | 武汉工程大学 | 一种玻璃管填充的光纤温度测量装置 |
| CN110031936A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-07-19 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 一种激光熔融式光纤准直器及其制作工具和方法 |
| CN110220613A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-10 | 南京师范大学 | 一种蓝宝石管黑体腔光纤测温装置 |
| CN110579288A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-12-17 | 西北大学 | 一种基于双毛细玻璃管封装光纤传感器 |
| CN110579287A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-12-17 | 西北大学 | 一种基于单毛细玻璃管封装光纤传感器及测试方法 |
| CN110631728A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-12-31 | 兴勤（宜昌）电子有限公司 | 一种玻璃封装温度传感器自动焊接封装设备 |
| CN111060214A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-24 | 上海传输线研究所（中国电子科技集团公司第二十三研究所） | 一种光纤光栅测温传感器及射频电缆内导体的测温方法 |
| CN111579113A (zh) * | 2019-02-18 | 2020-08-25 | 中国科学院半导体研究所 | 温度场测量装置及方法 |
| CN112378429A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-02-19 | 西北大学 | 基于毛细管封装光纤光栅温度压力传感器 |
| CN112731585A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-04-30 | 北京信息科技大学 | 一种利用高温退火制备蓝宝石再生光栅高温传感器方法 |
| CN112880584A (zh) * | 2021-02-09 | 2021-06-01 | 北京航天控制仪器研究所 | 光纤光栅预加载压应力的耐高温应变传感器及其制备方法 |
| CN113155163A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-07-23 | 西北大学 | 基于双毛细管封装光纤温度压力传感器 |
| CN114199406A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-18 | 哈尔滨电机厂有限责任公司 | 一种发电机光纤测温元件制作工艺方法 |
| CN114935115A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-08-23 | 武汉理工大学 | 一种流体管道用集成式测温结构及封装方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6125216A (en) * | 1997-06-19 | 2000-09-26 | British Aerospace Public Limited Company | Strain isolated optical fibre bragg grating sensor |
| CN201794579U (zh) * | 2010-05-28 | 2011-04-13 | 北京康华盛鸿能源科技发展有限公司 | 一种准分布式光纤光栅温度传感器的封装结构 |
| US20120039357A1 (en) * | 2010-08-16 | 2012-02-16 | Marc Levesque | Fiber-optic temperature sensor assembly |
| CN202599565U (zh) * | 2012-05-18 | 2012-12-12 | 南开大学 | 非金属封装光纤光栅传感器 |
-
2017
- 2017-05-18 CN CN201710353372.6A patent/CN107014520A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6125216A (en) * | 1997-06-19 | 2000-09-26 | British Aerospace Public Limited Company | Strain isolated optical fibre bragg grating sensor |
| CN201794579U (zh) * | 2010-05-28 | 2011-04-13 | 北京康华盛鸿能源科技发展有限公司 | 一种准分布式光纤光栅温度传感器的封装结构 |
| US20120039357A1 (en) * | 2010-08-16 | 2012-02-16 | Marc Levesque | Fiber-optic temperature sensor assembly |
| CN202599565U (zh) * | 2012-05-18 | 2012-12-12 | 南开大学 | 非金属封装光纤光栅传感器 |
Cited By (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108106751A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-06-01 | 俞婷 | 蓝宝石光子晶体光纤光栅超高温分布式传感器的制备工艺 |
| CN108106751B (zh) * | 2017-12-13 | 2019-10-25 | 武汉从时光瑞光电技术有限公司 | 蓝宝石光子晶体光纤光栅超高温分布式传感器的制备工艺 |
| CN108332878A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-07-27 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种光纤光栅温度传感器及制备方法 |
| CN108362394B (zh) * | 2018-02-12 | 2019-08-23 | 南开大学 | 基于飞秒激光写入的晶体光波导散斑温度测量方法及系统 |
| CN108362394A (zh) * | 2018-02-12 | 2018-08-03 | 南开大学 | 基于飞秒激光写入的晶体光波导散斑温度测量方法及系统 |
| CN109357786A (zh) * | 2018-12-03 | 2019-02-19 | 湖北工业大学 | 一种基于蓝宝石光纤光栅传感器的温度检测系统及方法 |
| CN111579113A (zh) * | 2019-02-18 | 2020-08-25 | 中国科学院半导体研究所 | 温度场测量装置及方法 |
| CN109668652A (zh) * | 2019-02-28 | 2019-04-23 | 武汉工程大学 | 一种玻璃管填充的光纤温度测量装置 |
| CN109668652B (zh) * | 2019-02-28 | 2020-10-23 | 武汉工程大学 | 一种玻璃管填充的光纤温度测量装置 |
| CN110031936A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-07-19 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 一种激光熔融式光纤准直器及其制作工具和方法 |
| CN110220613A (zh) * | 2019-06-24 | 2019-09-10 | 南京师范大学 | 一种蓝宝石管黑体腔光纤测温装置 |
| CN110631728A (zh) * | 2019-06-26 | 2019-12-31 | 兴勤（宜昌）电子有限公司 | 一种玻璃封装温度传感器自动焊接封装设备 |
| CN110631728B (zh) * | 2019-06-26 | 2020-11-10 | 兴勤（宜昌）电子有限公司 | 一种玻璃封装温度传感器自动焊接封装设备 |
| CN110579288A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-12-17 | 西北大学 | 一种基于双毛细玻璃管封装光纤传感器 |
| CN110579287A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-12-17 | 西北大学 | 一种基于单毛细玻璃管封装光纤传感器及测试方法 |
| CN110579288B (zh) * | 2019-09-16 | 2020-11-13 | 西北大学 | 一种基于双毛细玻璃管封装光纤传感器 |
| CN111060214A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-24 | 上海传输线研究所（中国电子科技集团公司第二十三研究所） | 一种光纤光栅测温传感器及射频电缆内导体的测温方法 |
| CN112378429A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-02-19 | 西北大学 | 基于毛细管封装光纤光栅温度压力传感器 |
| CN113155163A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-07-23 | 西北大学 | 基于双毛细管封装光纤温度压力传感器 |
| CN112731585A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-04-30 | 北京信息科技大学 | 一种利用高温退火制备蓝宝石再生光栅高温传感器方法 |
| CN112731585B (zh) * | 2020-12-08 | 2022-10-11 | 北京信息科技大学 | 一种利用高温退火制备蓝宝石再生光栅高温传感器方法 |
| CN112880584A (zh) * | 2021-02-09 | 2021-06-01 | 北京航天控制仪器研究所 | 光纤光栅预加载压应力的耐高温应变传感器及其制备方法 |
| CN114199406A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-18 | 哈尔滨电机厂有限责任公司 | 一种发电机光纤测温元件制作工艺方法 |
| CN114199406B (zh) * | 2021-12-10 | 2024-05-07 | 哈尔滨电机厂有限责任公司 | 一种发电机光纤测温元件制作工艺方法 |
| CN114935115A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-08-23 | 武汉理工大学 | 一种流体管道用集成式测温结构及封装方法 |
| CN114935115B (zh) * | 2022-06-20 | 2023-01-03 | 武汉理工大学 | 一种流体管道用集成式测温结构及封装方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107014520A (zh) | 一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法 | |
| CA2709495C (en) | Diaphragm pressure measuring cell arrangement | |
| US10457588B2 (en) | Lead-through or connecting element with improved thermal loading capability | |
| WO2008092372A1 (fr) | Détecteur de fabry-pérot à fibre optique et son procédé de fabrication | |
| TW201003054A (en) | Optical interferometric pressure sensor | |
| CN106643901B (zh) | 超高温光纤f-p温度压力复合传感器与系统 | |
| CN102636290A (zh) | 一种fbg高温传感器的低温无胶化封装工艺 | |
| CN108332878A (zh) | 一种光纤光栅温度传感器及制备方法 | |
| US20040047395A1 (en) | Method for continuously measuring melting steel temperature and measuring temperature pipe | |
| CN105784197B (zh) | 一种大范围超高温温度传感系统与方法 | |
| RU2013120383A (ru) | Корпусирование фотонно-кристаллических датчиков, предназначенных для экстремальных условий | |
| CN107063554A (zh) | 一种一体化光纤大压力传感器及其制作方法 | |
| Lei et al. | Laser-assisted embedding of all-glass optical fiber sensors into bulk ceramics for high-temperature applications | |
| CN109307561A (zh) | 一种具有高可靠的光纤高温传感器及其制作方法 | |
| CN106546354B (zh) | 一种基于fbg的超高温传感器 | |
| CN110207732A (zh) | 一种超高温蓝宝石光纤f-p温度应变复合传感器 | |
| Niewczas et al. | Induction heating assisted optical fiber bonding and sealing technique | |
| CN103048064A (zh) | 一种焊接封装的光纤宏弯损耗温度传感器制造方法 | |
| CN105784002A (zh) | 一种温度压力测量装置及测试方法 | |
| CN114184301A (zh) | 一种超耐高温光纤光栅温度传感器及信号解调方法 | |
| CN201993183U (zh) | 一种高增敏光纤光栅温度传感器 | |
| CN115628826A (zh) | 适用于真空高温高电压带电部件的光纤布拉格光栅温度传感器 | |
| RU2796773C1 (ru) | Способ сварки волокон разнородных материалов | |
| He et al. | Encapsulated Sapphire Fiber Bragg Grating Sensor with Improved High-Temperature Performance | |
| Dietz | Optical fiber sealing with solder glass: design guidelines |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20170804 |