CN106914994A - 保持具接头 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够消除保持具的晃动而切实地对其进行保持的保持具接头。其构成为具备：朝下开口且在上下延伸的开口孔(3)、水平设置于开口孔(3)内远离该开口孔(3)的轴心的位置的平行销(5)、配置于开口孔(3)的最内部的磁体(4)、以及在开口孔(3)的内面以在俯视视角下呈V字形的方式左右对称地形成的一对垂直的平坦面(6、6)，各平坦面(6)分布在与平行销(5)正交的水平的虚拟直线(L)的左右而形成，且插入开口孔(3)的保持具(20)的安装部周面(27)通过平行销(5)的推压与该左右的平坦面(6、6)接触。

Description

保持具接头

技术领域

本发明涉及一种保持具接头，其用于对下端具备切割轮(也称划线轮)的保持具进行保持。本发明的保持具接头用于如下所述基板加工装置，该基板加工装置通过一边在基板表面推压切割轮一边进行划线，从而在基板上加工出划分线(截断用的槽)，并进行截断(断开)，本发明的保持具接头尤其适用于用以形成曲线的划分线的基板加工装置。

背景技术

以往，已知有如下所述基板加工装置，其在由玻璃、硅、陶瓷、半导体等脆性材料构成的基板、贴合基板(以下简称“基板”)的表面，用切割轮形成沿着划分预定线的划分线，或是从截断预定线进行完全截断(例如参照专利文献1、专利文献2)。

图7为表示下述专利文献等中公开的以往的基板加工装置的立体图。

基板加工装置B具备用于载置并保持作为加工对象的基板W的水平的载台31。载台31构成为能够通过内置有马达的旋转驱动部32在水平面内转动，且能够沿着水平的轨道33、33在Y方向上移动。该Y方向上的移动通过依靠马达34而转动的螺旋轴35进行。

而且，以横跨于载台31上的方式设置有桥38，该桥38具有隔着载台31设置的一对支柱36、36、以及以连接这些支柱36、36的方式在X方向上水平延伸的导杆37。导杆37上设置有在X方向上水平延伸的导向件39，划线头40配置为能够沿着导向件39在X方向上移动。划线头40在X方向上的移动依靠马达41的驱动来进行。另外，在划线头40上经由保持具接头10可装卸地安装有具备切割轮21的保持具20，且在划线头40的内部组装有可使保持具接头10升降的升降机构(省略图示)。

通过上述结构，在载置于载台31上的基板W上推压切割轮21，同时使切割轮21与载台31中的某一方或双方移动，由此，能够在基板W上沿X-Y方向进行划线而形成划分线，并对基板W进行截断。

图8～11表示保持具20以及保持具接头10的结构。

保持具20具备大致圆柱状的躯干部22、以及在躯干部22的下端平行于躯干部22的轴心而形成的一对平坦面23、23，且这对平坦面23、23之间形成有与该平坦面23平行的切槽24，在该切槽24，经由水平的轮轴25可自由旋转地安装有切割轮21。

另外，躯干部22的上部为用于在保持具接头10定位并安装的安装部26。安装部26由切掉圆柱状的躯干部22的一部分而形成的平坦的垂直面26a、以及与该垂直面26a的下端连接形成的倾斜面26b构成。倾斜面26b与轮轴25平行地形成，由此，切割轮21的朝向相对于倾斜面26b与下述的平行销15的切线正交。另外，躯干部22由铁等磁性体金属构成。

保持具接头10在上部具备与基板加工装置B的划线头40连结的轴承11，其下部为用于对保持具20进行保持的保持部12。在保持部12的内部设置有在上下方向上延伸且其截面大致为圆形的开口孔13，且在其最内部(最上端)安装有磁体14。开口孔13的内径形成为比插入的保持具20的躯干部22的外径稍大，在与保持具20的安装部26上的倾斜面26b的背面侧、即安装部周面27相对的位置，设置有相对于开口孔13的内周面沿着垂直方向的凹状的凹陷加工部(逃げ加工部)16。另外，在开口孔13的与凹陷加工部16相对的内面，也设置有为使安装部26容易插入而使孔径扩大的凹陷加工部17。

进一步，在开口孔13的内部，在远离开口孔13的轴心的位置设置有在与该轴心正交的方向上延伸的定位用的平行销15。在保持具20的安装部26被插入保持具接头10的开口孔13时，该平行销15与安装部26的倾斜面26b接触，将倾斜面26b背面侧的安装部周面27向开口孔13的内面推压，且以使保持具20的方向、姿势一定的方式进行定位。

将保持具20安装于保持具接头10时，将保持具20的安装部26侧插入保持具接头10的开口孔13并进行安装。若将安装部26插入保持具接头10的开口孔13中，则在平行销15与安装部26的倾斜面26b接触而进行定位的同时，保持具20的上端部被磁体14吸引而被保持。由此，能够以保持具20的姿势自动地朝向一定方向的状态安装于保持具接头10。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公开2010-000744号公报

专利文献2：日本专利公开2011-218815号公报

发明内容

(一)要解决的技术问题

上述结构中，在保持具接头10的开口孔13的与保持具20的安装部周面27相对的内周面上，设置有沿着垂直方向的凹状的凹陷加工部16，因此安装部26的倾斜面26b被平行销15推压时，如图11所示，在凹陷加工部16的缘部附近，在开口孔13的内周面的P1、P2两处，安装部周面27进行线接触从而被保持。此时，理想情况是，如图10的(b)所示，连结接触点P1、P2的线与平行销15平行，接触点P1、P2与平行销15的中央接触点P3相连而形成的形状为等腰三角形，平行销15向保持具20施加的推压力左右平衡地负载在接触点P1、P2上。

通常，在加工直线的划分线的情况下，可以维持平行销15向保持具20施加的推压力左右平衡地负载在接触点P1、P2上的状态。但是，在加工曲线的划分线的情况下，由于相对于切割轮21的行进方向的横向的力会通过切割轮21施加在保持具20上，因此划线后接触点P1、P2可能会偏离理想的点。

如果发生这种现象，保持具的稳定性会恶化，切割轮的位置及朝向会发生横向偏离，从而难以高精度地加工划分线。

因此，本发明鉴于上述问题，其目的在于，提供一种在加工曲线的划分线的情况下也能够消除保持具的晃动而切实地对其进行保持的保持具接头。

(二)技术方案

为了解决上述问题，本发明采取了如下技术方案。即，本发明的保持具接头是一种对具备切割轮的保持具进行保持的保持具接头，其构成为具备：朝下开口且在上下延伸的开口孔、设置于所述开口孔内的定位部件、配置于所述开口孔的最内部的磁体、以及在所述开口孔的内面以在俯视视角下呈V字形的方式左右对称地形成的一对垂直的平坦面，所述左右的平坦面分布在与所述定位部件的中央正交的水平的虚拟直线的左右而形成，且插入所述开口孔的保持具的安装部周面形成为与所述左右的平坦面接触。

在此，较佳地，所述左右的平坦面所呈的角度形成在50～100度、优选形成在60度。

(三)有益效果

在本发明中，由于在保持具接头的开口孔的内面，以呈V字形的方式形成有承受保持具的安装部周面的左右的平坦面，因此，能够使保持具安装部周面的位置精确地与左右的平坦面进行线接触而进行安装，而且在进行曲线的划线加工等的、保持具受到横向的力的情况下，也能够使保持具安装部周面切实地与保持具接头的左右的平坦面接触而对其进行保持。由此，能够高精度地加工划分线。另外，在进行直线的划线加工的情况下，也能抑制因施加突发力而引发的保持具在保持具接头内的摇动，因此，能够使划线精度更加稳定。

另外，在本发明中，在上述结构的基础上，较佳地构成为，在所述开口孔的内面设置将插入该开口孔的保持具向所述平坦面的方向弹性地推压的弹性部件。

由此，插入开口孔的保持具的躯干部以始终朝向平坦面被弹性地推压的状态被保持，能够进一步提高插入保持具时的稳定性。

附图说明

图1为表示本发明的保持具接头与安装于该保持具接头的保持具的立体图。

图2为表示图1的保持具接头的构造的纵截面图。

图3为图2中的C-C线截面图。

图4为表示图1的保持具接头的保持具安装状态的纵截面图。

图5为图4中的D-D线截面的放大图。

图6为表示本发明的保持具接头的另一实施例的纵截面图与横截面图。

图7为表示使用了保持具接头的基板加工装置的立体图。

图8为表示安装于保持具接头的保持具的立体图。

图9为表示以往的保持具接头的构造的纵截面图与保持部的仰视图。

图10为表示图9的保持具接头的保持具安装状态的纵截面图与E-E线截面的放大图。

图11为表示以往的保持具接头上的保持具的接触点的说明图。

附图标记说明

A-保持具接头；L-虚拟直线；1-轴承；2-保持部；3-开口孔；4-磁体；5-平行销；6-平坦面；7-弹性部件；20-保持具；21-切割轮；22-躯干部；26-安装部；27-安装部周面。

具体实施方式

以下将基于表示实施方式的附图对本发明进行详细说明。

图1～5示出了本发明的保持具接头A，与之连接的保持具20与上述图8的保持具20相同。

保持具接头A在上部具备轴承1，下部为对保持具20进行保持的保持部2，该保持具接头A利用上部的轴承1的部分可转动地安装于基板加工装置B(参照图7)的划线头40。在保持部2的内部，设置有在上下方向上延伸的开口孔3，且在最内部安装有磁体4。

在开口孔3的内部，作为定位部件，在远离开口孔3的轴心的位置设置有在与该轴心正交的方向上延伸的定位用的平行销5。在保持具20被插入开口孔3时，该平行销5与保持具20的倾斜面26b接触，将倾斜面26b背面侧的安装部周面27向平坦面6、6推压，且以使保持具20的方向、姿势一定的方式进行定位。以下对该结构进行详述。

此外，在开口孔3的内面，沿垂直方向形成有以在俯视视角下呈V字形的方式左右对称地配置的一对平坦面6、6。如图3所示，这些左右的平坦面6、6分布在与平行销5的中央正交的水平的虚拟直线L的左右而形成，且形成为在保持具20被插入开口孔3时与保持具20的安装部周面27接触。较佳地，该左右的平坦面6、6所呈的角度α形成在50～100度的范围内。在本实施例的情况下，被插入的保持具20的躯干部22的直径为5mm，与之相对，形成的角为60度。

在上述结构中，将保持具20安装于保持具接头A时，如图4所示，首先将保持具20的安装部26侧插入保持具接头A的开口孔3并进行安装。由此，在平行销5与安装部26的倾斜面26b接触而进行定位的同时，保持具20的上端部被磁体4吸引而被保持。这时，通过磁体4拉升保持具20，因此安装部26的倾斜面26b被平行销5推压。即，如图5所示，倾斜面26b背面侧的安装部周面27与呈V字形配置的左右的平坦面6、6通过线接触向其推压，从而，以保持具20的姿势自动地朝向一定方向的状态安装于保持具接头A。

此外，在将左右的平坦面6、6所呈的角度设为60度且将直径为5mm的保持具20的躯干部22插入保持具接头A的开口孔3的情况下，平坦面6、6上的线接触点P1、P2与平行销5的中央接触点P3相连而形成的形状大致为正三角形，各接触点P1～P3被平衡分配，能够稳定地对保持具20进行保持。

这样，由于在开口孔3的内面，呈V字形配置地设置有承受保持具20的安装部周面27的左右的平坦面6、6，因此能够使保持具20的安装部周面27的位置精确地与平坦面6、6进行线接触而进行安装，而且在进行曲线的划线加工等的、保持具20受到相对于切割轮21的行进方向的横向力的情况下，也能够使安装部周面27切实地与左右的平坦面6、6接触而安装在保持具接头A上。因此，在曲线的划线加工中，不会出现切割轮横向错位或位置移动，能够高精度地形成整齐的划分线。

图6表示本发明的保持具接头的另一实施例。在该实施例中，在上述结构的基础上，还设置有将插入保持具接头A’的开口孔3的保持具20的躯干部22向平坦面6、6的方向弹性地推压的弹性部件7，作为该弹性部件7的一例，使用球塞来进行说明。

弹性部件(球塞)7是由筒状的壳体7a、以周面的一部分从壳体7a的顶端突出的状态出没自由地保持在壳体7a的球7b、以及始终对该球7b向突出方向施力的弹簧7c构成，安装于保持具接头A’的开口孔3的开口部附近且与平坦面6、6相反的一侧的内面。

即，通过由弹性部件7将插入开口孔3的保持具20的躯干部22向平坦面6、6弹性地推压，由此，能够进一步切实地提高保持具20插入时的稳定性，从而切实地消除晃动。另外，通过将弹性部件7的安装位置设置于开口孔3的开口部附近且远离平行销5的下方位置，由此，能够在上方的平行销5与下方的弹性部件7这上下两处向平坦面6、6推压保持具20的躯干部22，能够进一步提高将保持具20保持在保持具接头A’时的稳定性。

此外，在上述实施例中，作为弹性部件7，使用了球塞，但也可以使用板簧等弹性材料代替球塞。

另外，作为定位部件，只要在保持具20被插入保持具接头10的开口孔13并被磁体4拉升时，能够将安装部26背面侧的安装部周面27向开口孔13的内面推压即可，可以设为球等任意形状来代替平行销。同样，安装部26的形状也可以根据定位部件的形状而变更。

以上对本发明代表性的实施例进行了说明，但本发明不一定被特定为上述实施方式，在实现其目的且不脱离权利要求书的范围内，可以进行适当修改、变更。

工业实用性

本发明能够在如下基板加工装置中用作对切割轮的保持具进行保持的保持具接头，该基板加工装置通过一边在基板表面推压切割轮一边进行划线，从而在基板上加工出截断用的划分线，并截断基板。

Claims (3)

1.一种保持具接头，其是对具备切割轮的保持具进行保持的保持具接头，其具备：

朝下开口且在上下延伸的开口孔、

设置于所述开口孔内的定位部件、

配置于所述开口孔的最内部的磁体、以及

在所述开口孔的内面以在俯视视角下呈V字形的方式左右对称地形成的一对垂直的平坦面，

所述左右的平坦面分布在与所述定位部件的中央正交的水平的虚拟直线的左右而形成，

且插入所述开口孔的保持具的安装部周面形成为与所述左右的平坦面接触。

2.根据权利要求1所述的保持具接头，其特征在于，所述左右的平坦面所呈的角度形成在50～100度的范围内。

3.根据权利要求1或2所述的保持具接头，其特征在于，在所述开口孔的内面设置有将插入该开口孔的保持具向所述平坦面的方向弹性地推压的弹性部件。