CN104380495A

CN104380495A - 升华纯化设备和方法

Info

Publication number: CN104380495A
Application number: CN201380026400.3A
Authority: CN
Inventors: 金大勋; 金时龙; 朴正桓; 朴范圭; 朴成浩; 郑钟元; 南英雄; 白晶守
Original assignee: Rohm and Haas Electronic Materials Korea Ltd
Current assignee: Rohm and Haas Electronic Materials Korea Ltd; Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Priority date: 2012-05-21
Filing date: 2013-05-20
Publication date: 2015-02-25
Also published as: EP2831935A1; US20150108668A1; EP2831935A4; KR20130129728A; WO2013176443A1; JP2015529538A; TW201400177A

Abstract

本发明涉及用于纯化有机发光二极管(OLED)材料的升华纯化设备和方法。常规升华纯化设备是间歇式的，其中通过加载一个源材料到处理室然后从处理室卸出纯化材料来进行一次升华纯化处理。这些处理是手动进行的，因此不可能连续生产OLED用的纯化材料。因此，很难提高产量和生产率。根据本发明，加载源材料和卸出纯化材料的操作是自动进行的，因此能够连续进行纯化OLED用的源材料的工艺。

Description

升华纯化设备和方法

发明领域

本发明涉及用于纯化有机发光二极管(OLED)的材料的设备和方法，更具体涉及用于在真空条件下升华和重结晶有机材料的设备和方法。

发明背景

通常，用于有机发光二极管(OLED)的材料需要纯化。OLED材料的纯化技术希望从复合材料中仅仅提取电致发光所需的纯材料，并将提取的组分用于薄膜沉积。随着OLED材料纯化技术的进步，色纯度和发光效率也得到提高，并延长了OLED的发光寿命。为了大规模制造OLED材料，很重要的是需要操作时间更短和纯化效率更高的OLED材料纯化技术。

有机材料的升华纯化方法公开在H.J.Wagner等人的文章中，《材料学报(Journal of Materials Science)》，17，2781，(1982)。在这篇文章中，长约1米的玻璃管插入用于导热的铜管中，且待纯化并用于生产OLED材料的源材料放置在玻璃管的一端区域中。加热器围绕内含源材料的铜管，且玻璃管内部维持真空状态。加热器加热玻璃管中的源材料，从而使源材料升华。玻璃管具有温度梯度，从而在玻璃管的另一端使得升华的材料冷却并重结晶。因此，在所述玻璃管的另一端区域中形成重结晶的有机材料。

通常，纯化装置由于纯化工艺的限制是间歇式的。源材料加载后就能使用，且纯化材料在升华纯化工艺后卸出。从而完成第一个过程。升华纯化设备及使用该设备的升华纯化方法公开在韩国待审专利申请10-2010-0114342中。但是，在该文献中公开的常规升华纯化设备和方法在生产率和产量上受到限制，因为该方法是依次手动进行的。

发明内容

技术问题

本发明涉及上述常规设备和方法中的问题的解决，且希望提供一种升华纯化设备和方法，其中源材料的加载和转移以及纯化材料的卸出自动进行，从而可以进行连续工艺，且每个过程可同时平行进行，从而提高用于有机发光二极管(OLED)的材料的纯化工艺的生产率，实现大规模生产。

技术方案

本发明一方面提供了一种升华纯化设备，其包括：

第一机器人，所述第一机器人具有用来将包含源材料的容器加载到处理室中的臂；

所述处理室用来进行升华纯化工艺以从源材料得到纯化材料，所述包含源材料的容器和收集纯化材料的收集器位于处理室中的预定位置；以及

第二机器人，所述第二机器人具有用来从所述处理室卸出包含纯化材料的收集器的臂。

所述升华纯化设备还可包括预热室，所述预热室用于对包含在所述容器中的源材料进行预热处理，其中预热的源材料通过第一机器人加载到所述处理室中。

所述升华纯化设备还可包括冷却室，所述冷却室用于对包含在所述收集器中的纯化材料进行冷却处理，其中纯化材料通过第二机器人加载到所述冷却室中。

本发明另一方面提供了一种升华纯化方法，其包括：

在预热室中预热包含在容器中的源材料；

使用第一机器人的臂将包含所述预热的源材料的容器加载到处理室中，并将所述容器定位在预定位置；

进行升华纯化工艺以在所述处理室中从源材料得到纯化材料，其中纯化材料收集在位于预定位置的收集器中；

使用第二机器人的臂从所述处理室卸出包含纯化材料的收集器；以及

在进行所述升华纯化工艺的同时开始另一预热处理。

所述升华纯化方法还可包括通过所述第二机器人将包含纯化材料的卸出的收集器加载到冷却室，以进行纯化材料的冷却处理，其中所述冷却处理与处理室中的另一升华纯化工艺同时进行。

本发明的有益效果

根据本发明的升华纯化设备和方法，所述源材料的加载和纯化材料的卸出自动进行以形成连续工艺，从而减少OLED材料纯化工艺所需的时间。因此，提高生产率和降低生产成本。另外，可同时平行进行多个工艺，从而显著提高每个处理室的生产率。因此，提高OLED生产车间每单位面积的产量。另外，整体连续自动工艺防止将杂质加入到纯化材料中，从而形成具有高纯度的纯化OLED材料。因此，可提高OLED的发光效率和寿命。

附图说明

图1a和1b显示了本发明第一实施方式的升华纯化设备。

图2a和2b显示了本发明第二实施方式的升华纯化设备。

图3a和3b显示了本发明第三实施方式的升华纯化设备。

图3a和3b显示了本发明第四实施方式的升华纯化设备。

发明的具体实施方式

根据图1a，显示了本发明第一实施方式的升华纯化设备100。本发明的升华纯化设备100包括包含OLED升华纯化工艺所用源材料的源材料容器120和包含在纯化工艺中纯化的OLED材料的纯化材料收集器130。优选地，源材料容器120是舟形的，且所述纯化材料收集器130可以是管型的(即收集管)。

另外，本发明的升华纯化设备100包括处理室110，其中进行用于生产OLED材料的升华纯化工艺。所述处理室110包含外部管111、加热器112以及门113和114。所述升华纯化工艺在所述外部管111中进行。所述外部管111由透明材料例如石英或硼硅酸盐玻璃形成，且基本上具有圆柱形形状。加热器112包围所述外部管111。所述外部管111可分成多个区，且这些区可通过加热器112调节到不同温度。门113和114设置在所述外部管的两端。包含源材料的源材料容器120通过门113转移到外部管111中，且加载在所述外部管111中。当完成纯化工艺时，空的源材料容器120从所述外部管111卸出。类似地，空的纯化材料收集器130通过门114转移到外部管111中，且加载在所述外部管111中。当完成升华纯化工艺时，包含纯化材料的纯化材料收集器130从所述外部管111卸出。处理室110的内部通过真空泵(图中未显示)维持真空状态。或者，所述处理室110还可包括捕获器(trap)或阀门(图中未显示)。

所述处理室110中的升华纯化工艺如下所示。所述源材料容器120通过位于处理室110一端的门113转移到外部管111中，并加载在外部管111中。当通过加热器112将源材料加热到高于将要在纯化工艺中得到的OLED材料的升华点时，源材料升华并分散在所述外部管111中。当通过加热器112将分散的源材料加热到低于将要在纯化工艺中得到的OLED材料的升华点时，OLED材料收集在所述纯化材料收集器130中。当完成升华纯化工艺时，包含纯化材料的纯化材料收集器130通过门114从所述处理室110卸出到处理室外部。

再来看图1a，本发明的升华纯化设备100还包括用于将源材料容器120加载到处理室110的转移室140、源材料存储装置160和预热室180。所述转移室140具有在所述处理室110和预热室180之间、在处理室140中自动转移源材料容器120的机器人141。所述机器人141用机器人141的臂举起并转移所述源材料容器120。或者，本发明的转移室140还可包括连接到所述转移室140的真空泵或阀(图中未显示)。

在本发明的第一实施方式中，所述转移室140通过门113连接到所述处理室的一端。所述源材料存储装置160通过所述转移室140的另一个门连接到所述转移室140，且预热室180通过所述转移室140的其他门连接到所述转移室140。所述处理室110、转移室140、源材料存储装置160和预热室180可在过程中根据需要相互隔开。

所述源材料存储装置160可以是室，其中存储包含源材料的一个或多个源材料容器120。或者，所述源材料存储装置160还可包括连接到源材料存储装置160的真空泵或阀(图中未显示)。当转移室140和源材料存在装置160之间的门打开时，机器人141使用臂将多个源材料容器120中的一个从源材料存储装置160转移到转移室140。

当转移室140和预热室180之间的门打开时，机器人141通过机器人141的臂举起所述源材料容器120并将其转移到预热室180。所述转移室140和预热室180之间的门关闭，且预热室将源材料预热到比源材料在处理室110中加热的温度要低的温度。所述机器人141使用机器人141的臂举起所述包含所述预热的源材料的源材料容器120并将其从预热室180转移到转移室140。当处理室110的门113打开时，所述机器人141将包含源材料的源材料容器120加载到所述处理室110。

为了进行连续处理以及提高处理效率，在上述升华纯化工艺正在进行的过程中，机器人141将包含源材料的下一个源材料容器120从源材料存储装置160转移到转移室140，然后将所述源材料容器120加载到预热室180中。下一次的预热处理也如上所述以相同的方式在预热室180中进行。由于本发明在预热室中独立采用了预热处理，缩短了处理室110中的加热时间。通常，预热处理和升华纯化工艺都在处理室中进行。但是，本发明的升华纯化设备通过采用与处理室110独立的预热室180减少了处理室110中进行预热处理的时间，从而处理室110可进行操作更多次，因为处理室110中的预热时间减少了。因此，升华纯化处理的总体生产率提高了。

同时，当在处理室110中完成前一次纯化处理时，机器人141用其臂举起并转移空的源材料容器120(其在完成纯化处理后离开)到转移室140，然后转移空的源材料容器120到源材料存储装置160，并在源材料存储装置160中堆叠空的源材料容器120。此时，在预热室180中同时进行预热处理。

再来看图1a，本发明的升华纯化设备110还包含转移室150、纯化材料存储装置170和冷却室190，其用于将包含纯化材料的纯化材料收集器130从处理室110上卸出的自动化工艺。所述转移室150具有自动转移纯化材料收集器130的机器人151。所述机器人151用其臂转移纯化材料收集器130。或者，本发明的转移室150还可包括连接到所述转移室150的真空泵或阀(图中未显示)。

在本发明的第一实施方式中，所述转移室150通过位于处理室110的另一端的门114连接到处理室110。所述纯化材料存储装置170通过所述转移室150的另一个门连接到所述转移室150，且冷却室190通过所述转移室150的其他门连接到所述转移室150。所述处理室110、转移室150、纯化材料存储装置170和冷却室190可在过程中根据需要相互隔开。

所述纯化材料存储装置170可以是室，其中存储包含纯化材料的一个或多个空的纯化材料收集器130。或者，所述纯化材料存储装置170还可包括连接到纯化材料存储装置170的真空泵或阀(图中未显示)。在处理室110中进行纯化处理之前，当转移室150和纯化材料存储装置170之间的门打开时，机器人151通过其臂举起多个空的纯化材料收集器130中的一个并将其从纯化材料存储装置170转移到转移室150。当处理室110的门114打开时，机器人151用其臂将空的纯化材料收集器130转移到处理室110中。

当在处理室110中完成纯化处理时，处理室110的门114再次打开，机器人151用其臂卸出包含纯化材料的纯化材料收集器130到转移室150。当转移室150和冷却室190之间的门打开时，机器人151通过机器人151的臂将纯化材料收集器130转移到冷却室190。冷却室190的门关闭，且冷却室190对包含在纯化材料收集器130中的纯化材料进行冷却。冷却室190的温度低于纯化材料收集器130在处理室中加热的温度，且高于室温。

另外，机器人151将用于下一次纯化处理的空的纯化材料收集器130从纯化材料存储装置170转移到转移室150，且将纯化材料收集器130转移到处理室110，然后进行升华纯化处理。冷却处理可在冷却室190中与所述升华纯化处理同时进行。通常，升华纯化工艺和冷却处理都在处理室中进行。但是，本发明的升华纯化设备通过采用与处理室110独立的冷却室190减少了处理室110中进行冷却处理的时间，从而处理室110可进行更多次操作，因为处理室110中的冷却时间减少了。因此，升华纯化处理的总体生产率提高了。

在常规升华纯化设备中，预计在处理室中一般约需1小时30分钟到2小时30分钟来进行预热处理，约需6-7小时来进行升华纯化处理，以及约需1小时30分钟到2小时30分钟来进行冷却处理。也就是说，在处理室中总共需要约9-12小时。但是，根据本发明的升华纯化设备，所述处理在预热室180、处理室110和冷却室190中独立进行，因此总共需要约6-7个小时来在处理室110中进行处理。因此，升华纯化处理的总时间缩短了。

所述机器人151用其臂举起包含冷却的纯化材料的纯化材料收集器130，将纯化材料收集器130从冷却室190转移到转移室150，并将所述纯化材料收集器130转移到纯化材料存储装置170中。上述升华纯化处理连续重复进行。因此，一个或多个包含冷却的纯化材料的纯化材料收集器130存储在所述纯化材料存储装置170中。之后，纯化材料存储装置170的内部调整到大气压力，然后收集包含在每个纯化材料收集器130中的纯化材料。

图1b显示了升华纯化设备100’，其部分改进了图1a所示的第一实施方式的设备。图1b的升华纯化设备100’还包括独立存储装置161，其中在纯化处理之后存储空的源材料容器120。在图1a中，纯化处理之前包含源材料的源材料容器和纯化处理之后空的源材料容器120都存储在源材料存储装置160中。但是，在图1b所示的升华纯化设备100’中，包含源材料的源材料容器120(其存储在源材料存储装置160中)通过机器人141经由转移室140转移到预热室180中，进行预热处理，然后转移到处理室110中，但是，纯化处理之后空的源材料容器120通过机器人141从处理室110卸出，并经由转移室140转移并存储在存储装置161中，其中存储装置161中存储有空的源材料容器120。

再次来看图1b，本发明的升华纯化设备100'还包括独立存储装置171，其中存储有用于纯化处理的空的纯化材料收集器130。在图1a中，纯化处理之前空的纯化材料收集器130和纯化处理之后包含纯化材料的纯化材料收集器130都存储在纯化材料存储装置170中。但是，在图1b中，包含纯化材料的纯化材料收集器130通过机器人151从处理室110卸出，并经由转移室150转移到冷却室190，进行冷却处理，并转移到纯化材料存储装置170且存储在其中，但是，用于纯化处理的空的纯化材料收集器130存储在与转移室150连接的独立存储装置171中，并通过机器人151经由转移室150从独立存储装置171转移到处理室110以进行纯化处理。

图2a显示了本发明第二实施方式的升华纯化设备200。在本发明的第二实施方式中，转移室140经由门113连接到处理室110的一端，且预热室280经由转移室140的其他门连接到转移室140。源材料存储装置260经由预热室280的门连接到预热室280。所述处理室110、转移室140、源材料存储装置260和预热室280可在过程中根据需要相互隔开。

在源材料存储装置260中，堆叠一个或多个包含源材料的源材料容器120。或者，所述源材料存储装置260还可包括连接到源材料存储装置260的真空泵或阀(图中未显示)。当源材料存储装置260和预热室280之间的门打开时，多个源材料容器120中的一个从源材料存储装置260转移到预热室280。在这种情况下，转移室140的机器人141的臂可具有足够的长度，以穿过预热室280的两个门，且臂可将源材料容器120从源材料存储装置260转移到预热室280中。或者，可在源材料存储装置260和预热室280之间进一步提供与转移室140和机器人141相同或相似的其他单元(图中未显示)，因此源材料容器120可通过所述单元转移。接着，如所述第一实施方式所述，在预热室280中进行包含源材料的源材料容器120的预热处理。

当在处理室110中完成前一个纯化处理时，移动所述源材料存储装置260并将其连接到转移室140，机器人141将纯化处理之后空的源材料容器120转移到转移室140，然后转移源材料存储装置260，并在源材料存储装置260中堆叠空的源材料容器120。此时，在预热室280中同时进行预热处理。

当完成预热处理时，机器人141将包含预热的源材料的源材料容器120从预热室280转移到转移室140。当处理室110的门打开时，所述机器人141将包含源材料的源材料容器120再次加载到所述处理室110中，且在处理室110中进行纯化处理。

再次来看图2a，在本发明的第二实施方式中，转移室150通过门114连接到处理室110的一端。冷却室290经由转移室150的门连接到转移室150，且纯化材料存储装置270经由冷却室290的门连接到冷却室290。所述处理室110、转移室150、纯化材料存储装置270和冷却室290可在过程中根据需要相互隔开。

包含纯化材料的一个或多个空的纯化材料收集器130堆叠在所述纯化材料存储装置270中。或者，所述纯化材料存储装置270还可包括连接到纯化材料存储装置270的真空泵或阀(图中未显示)。为了在处理室110的纯化处理之前将空的纯化材料收集器130转移到处理室110，纯化材料存储装置270(其连接到冷却室290)移动到转移室150。当转移室150和纯化材料存储装置270之间的门打开时，机器人151将多个空的纯化材料收集器130中的一个从纯化材料存储装置270转移到转移室150。当处理室110的门打开时，所述机器人151将包含纯化材料的纯化材料收集器130转移到所述处理室110。

当在处理室110中完成纯化处理时，处理室110的门114再次打开，机器人151卸出包含纯化材料的纯化材料收集器130到转移室150中。当连接转移室150和冷却室290的门打开时，机器人151将纯化材料收集器130转移到冷却室290。冷却室290的门关闭，且冷却室290冷却包含在纯化材料收集器130中的纯化材料。

另外，机器人151将用于下一次纯化处理的空的纯化材料收集器130从纯化材料存储装置270转移到转移室150，且将空的纯化材料收集器130转移到处理室110，然后进行下一次升华纯化处理。此时，在冷却室290中同时进行冷却处理。

当在冷却室290中完成冷却处理时，如图2a所示，移动纯化材料存储装置270并连接到冷却室290。当冷却室290和纯化材料存储装置270之间的门打开时，包含纯化材料的纯化材料收集器130从冷却室290卸出到纯化材料存储装置270。在这种情况下，转移室150的机器人151的臂可具有足够的长度，以穿过冷却室290的两个门，且臂可将纯化材料收集器130从冷却室290转移到纯化材料存储装置270。或者，可在纯化材料存储装置270和冷却室290之间进一步提供与转移室150和机器人151相同或相似的其他单元(图中未显示)，因此纯化材料收集器130可通过所述单元转移。

图1b显示了升华纯化设备200’，其部分改进了图2a所示的第二实施方式的设备。图2b的升华纯化设备200’还包括独立存储装置261，其中在纯化处理之后存储空的源材料容器120。在图2a中，纯化处理之前包含源材料的源材料容器120和纯化处理之后空的源材料容器120都存储在源材料存储装置260中，源材料存储装置260移动到转移室140的门或预热室280的门，且根据相应的处理选择性连接到转移室140和预热室280。在图2b所示的升华纯化设备200’中，源材料存储装置260连接到预热室280。包含源材料的源材料容器120从源材料存储装置260加载到预热室280中，且纯化处理之后空的源材料容器120存储在与转移室140连接的独立存储装置261中。

再次来看图2b，本发明的升华纯化设备200'还包括独立存储装置271，其中存储有用于纯化处理的空的纯化材料收集器130。在图2a的升华纯化设备200中，用于纯化处理的空的纯化材料收集器130和纯化处理之后包含纯化材料的纯化材料收集器130都存储在纯化材料存储装置270中，将纯化材料存储装置270移动到转移室150的门或冷却室290的门，且根据相应的处理选择性连接到转移室150和冷却室290。在图2b所示的升华纯化设备200’中，纯化材料存储装置270连接到冷却室290，且包含纯化材料的冷却的纯化材料收集器130从冷却室290卸出到纯化材料存储装置270中，且存储在纯化材料存储装置270中。用于纯化处理的空的纯化材料收集器130存储在与转移室150连接的独立存储装置271中，然后转移到转移室150以进行纯化处理。

图3a显示了本发明第三实施方式的升华纯化设备300。在本发明的第三实施方式中，转移室140经由门113连接到处理室110的一端，且源材料存储装置360经由转移室140的其他门连接到转移室140。预热室380经由源材料存储装置360的门连接到源材料存储装置360。所述处理室110、转移室140、源材料存储装置360和预热室380可在过程中根据需要相互隔开。

纯化处理之前包含源材料的源材料容器120和纯化处理之后空的源材料容器120都存储在源材料存储装置360中。或者，所述源材料存储装置360还可包括连接到源材料存储装置360的真空泵或阀(图中未显示)。

多个源材料容器120中的一个通过机器人141从源材料存储装置360转移到预热室380，且在预热室380中进行包含源材料的源材料容器120的预热处理。当完成预热处理时，机器人141通过源材料存储装置360将包含预热的源材料的源材料容器120从预热室380转移到转移室140，然后将源材料容器120再次加载到处理室110中。在处理室110中进行纯化处理。

当在处理室110中完成纯化处理时，机器人141将纯化处理之后空的源材料容器120转移到转移室140，然后将空的源材料容器120转移到源材料存储装置360，并将空的源材料容器120堆叠在源材料存储装置360中。此时，在预热室380中同时进行下一个预热处理。

这里，已经提到源材料容器120在源材料存储装置360和预热室380之间通过机器人141转移。或者，可在源材料存储装置360和预热室380之间进一步提供与转移室140和机器人141相同或相似的其他单元(图中未显示)，因此源材料容器120可通过所述单元转移。

再次来看图3a，在本发明的第三实施方式中，转移室150通过门114连接到处理室110的一端。纯化材料存储装置370经由转移室150的其他门连接到转移室150，且冷却室390经由纯化材料存储装置370的门连接到纯化材料存储装置370。所述处理室110、转移室150、纯化材料存储装置370和冷却室390可在过程中根据需要相互隔开。

用于纯化处理的空的纯化材料收集器130和纯化处理之后包含纯化材料的纯化材料收集器130存储在纯化材料存储装置370中。或者，所述纯化材料存储装置370还可包括连接到纯化材料存储装置370的真空泵或阀(图中未显示)。

当在处理室110中完成纯化处理时，机器人151从处理室110卸出包含纯化材料的纯化材料收集器130到转移室150中，然后通过纯化材料存储装置370从转移室150将纯化材料收集器130转移到冷却室390中。冷却室390冷却包含在纯化材料收集器130中的纯化材料。当在冷却室390中完成冷却处理时，机器人151将包含纯化材料的冷却的纯化材料收集器130从冷却室390加载到纯化材料存储装置370，然后将纯化材料收集器130存储在纯化材料存储装置370中。

另外，机器人151将用于下一次纯化处理的空的纯化材料收集器130从纯化材料存储装置370转移到转移室150，且将纯化材料收集器130转移到处理室110，然后进行下一次升华纯化处理。此时，在冷却室390中进行冷却处理。

这里，已经提到纯化材料收集器130在纯化材料存储装置370和冷却室390之间通过安装在转移室150中的机器人151转移。或者，可在纯化材料存储装置370和冷却室390之间进一步提供与转移室150和机器人151相同或相似的其他单元(图中未显示)。

图3b显示了升华纯化设备300’，其部分改进了图3a所示的第三实施方式的设备。在图3b的升华纯化设备300’中，包含源材料的源材料容器120存储在源材料存储装置360中，且纯化处理之后空的源材料容器120存储在独立的存储装置361中。源材料存储装置360和独立的存储装置361可左右、上下或其他各个方向移动，以根据相应的处理连接至转移室140或预热室180。

再次来看图3b，在升华纯化设备300’中，包含纯化材料的纯化材料收集器130存储在纯化材料存储装置370中，且用于纯化处理的空的纯化材料收集器130存储在独立的存储装置371中。纯化材料存储装置370和独立的存储装置371可左右、上下或其他各个方向移动，以根据相应的处理连接至转移室150或冷却室160。

图4描述了本发明第四实施方式的升华纯化设备，其部分改进了图1a所示的设备100。图1的转移室140具有多个门。但是，在第四实施方式中，转移室140具有一个门，且转移室440发生旋转和/或移动，且连接到处理室110、源材料存储装置160或预热室180。接着，进行相应的处理。同样地，用于卸出工艺的转移室450可具有一个门。转移室450旋转和/或移动，且连接到处理室110、纯化材料存储装置170或冷却室190。接着，进行相应的处理。

如上所述，本发明的实施方式使用了机器人141和151作为转移源材料容器120和纯化材料收集器130的装置。或者，机器人141和151可以是由远程控制器控制的输送带或任何其他自动传输装置。

因此，本发明已经参照上述示例性实施方式进行描述。本领域普通技术人员可以理解这些实施方式可以改进的形式进行，且没有偏离本发明的实质性特点。因此，所述实施方式应理解为解释本发明，并没有限制本发明的范围。本发明的范围由所附的权利要求书限定，而不是上述描述，与上述范围等同的所有不同点都应包括在本发明的范围内。

附图标记的描述

100:升华纯化设备, 110:处理室, 120:源材料容器, 130:纯化材料收集器, 141:机器人, 151:机器人, 160:源材料存储装置, 170:纯化材料存储装置, 180:预热室, 190:冷却室

Claims

1.一种升华纯化设备，所述升华纯化设备包括：

第二机器人，所述第二机器人具有用于从所述处理室卸出包含纯化材料的收集器的臂。

2.如权利要求1所述的升华纯化设备，其特征在于，所述升华纯化设备还包括预热室，所述预热室用于包括在所述容器中的源材料的预热处理，其中预热的源材料通过第一机器人加载到所述处理室中。

3.如权利要求1所述的升华纯化设备，其特征在于，所述升华纯化设备还包括冷却室，所述冷却室用于对包括在所述收集器中的纯化材料进行冷却处理，其中纯化材料通过第二机器人加载到所述冷却室中。

4.一种升华纯化方法，所述升华纯化方法包括：

在预热室中预热包含在容器中的源材料；

进行升华纯化工艺以从所述处理室中的源材料得到纯化材料，其中纯化材料收集在位于预定位置的收集器中；

在进行所述升华纯化工艺的同时，开始另一预热处理。

5.如权利要求4所述的升华纯化方法，其特征在于，所述升华纯化方法还包括通过第二机器人将卸出的包含纯化材料的收集器加载到冷却室，以冷却处理所述纯化材料，

所述冷却处理与处理室中的另一升华纯化处理同时进行。