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CH349247A - Verfahren und Einrichtung zur Durchführung von Glimmentladungsprozessen - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Durchführung von Glimmentladungsprozessen

Info

Publication number
CH349247A
CH349247A CH349247DA CH349247A CH 349247 A CH349247 A CH 349247A CH 349247D A CH349247D A CH 349247DA CH 349247 A CH349247 A CH 349247A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
carrying
glow discharge
discharge processes
out glow
processes
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Berghaus Bernhard
Original Assignee
Berghaus Elektrophysik Anst
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Berghaus Elektrophysik Anst filed Critical Berghaus Elektrophysik Anst
Publication of CH349247A publication Critical patent/CH349247A/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018—Glow discharge
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
    • B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
CH349247D 1956-07-14 1956-07-14 Verfahren und Einrichtung zur Durchführung von Glimmentladungsprozessen CH349247A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH865455X 1956-07-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH349247A true CH349247A (de) 1960-10-15

Family

ID=4543585

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH349247D CH349247A (de) 1956-07-14 1956-07-14 Verfahren und Einrichtung zur Durchführung von Glimmentladungsprozessen

Country Status (5)

Country Link
US (1) US2969475A (de)
CH (1) CH349247A (de)
DE (1) DE1054427B (de)
FR (1) FR1178871A (de)
GB (1) GB865455A (de)

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Also Published As

Publication number Publication date
GB865455A (en) 1961-04-19
DE1054427B (de) 1959-04-09
US2969475A (en) 1961-01-24
FR1178871A (fr) 1959-05-15

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