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BE873142A - Procede d'usinage de barreaux et tubes de silicium par enlevement de matiere et dispositif pour la mise en oeuvre du procede - Google Patents

Procede d'usinage de barreaux et tubes de silicium par enlevement de matiere et dispositif pour la mise en oeuvre du procede

Info

Publication number
BE873142A
BE873142A BE192618A BE192618A BE873142A BE 873142 A BE873142 A BE 873142A BE 192618 A BE192618 A BE 192618A BE 192618 A BE192618 A BE 192618A BE 873142 A BE873142 A BE 873142A
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
tubes
implementing
removing material
silicon bars
machining silicon
Prior art date
Application number
BE192618A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Wacker Chemitronic
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wacker Chemitronic filed Critical Wacker Chemitronic
Publication of BE873142A publication Critical patent/BE873142A/fr

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B5/00—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor
    • B24B5/02—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work
    • B24B5/04—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally
    • B24B5/047—Machines or devices designed for grinding surfaces of revolution on work, including those which also grind adjacent plane surfaces; Accessories therefor involving centres or chucks for holding work for grinding cylindrical surfaces externally of workpieces turning about a vertical axis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
BE192618A 1977-12-30 1978-12-28 Procede d'usinage de barreaux et tubes de silicium par enlevement de matiere et dispositif pour la mise en oeuvre du procede BE873142A (fr)

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DE19772758887 DE2758887A1 (de) 1977-12-30 1977-12-30 Verfahren zum abtragenden bearbeiten von siliciumstaeben und -rohren sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens

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BE192618A BE873142A (fr) 1977-12-30 1978-12-28 Procede d'usinage de barreaux et tubes de silicium par enlevement de matiere et dispositif pour la mise en oeuvre du procede

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