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AT511225A1 - DEVICE AND METHOD FOR REDUCING A VIBRATION OF AN IN PARTICULAR TRANSPARENT PLATE - Google Patents

DEVICE AND METHOD FOR REDUCING A VIBRATION OF AN IN PARTICULAR TRANSPARENT PLATE Download PDF

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AT511225A1
AT511225A1 ATA475/2011A AT4752011A AT511225A1 AT 511225 A1 AT511225 A1 AT 511225A1 AT 4752011 A AT4752011 A AT 4752011A AT 511225 A1 AT511225 A1 AT 511225A1
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AT
Austria
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plate
vibration
compensation
oscillation
measurement data
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ATA475/2011A
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Austrian Ct Of Competence In Mechatronics
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Publication date
Application filed by Austrian Ct Of Competence In Mechatronics filed Critical Austrian Ct Of Competence In Mechatronics
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Abstract

Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Reduktion einer Schwingung einer insbesondere transparenten Platte (2), insbesondere einer Scheibe gezeigt, bei dem Messdaten vom Randbereich (4) der schwingenden Platte (2) aufgenommen und in Abhängigkeit dieser Messdaten (6, 6', 6", 6'") die Platte (2) über deren Randbereich (4) mit einer Kompensationsschwingung derart belastet werden, dass damit eine zumindest teilweise Reduktion der Schwingung der Platte (2) eintritt. Um eine besonders standfestes und effizientes Verfahren zu schaffen, wird vorgeschlagen dass Messdaten (6, 6', 6", 6"') an Stellen (8, 8', 8", 8"') des Randbereichs (4) mit maximaler Krümmung (MV, M2', M3') von Schwingungsmoden (M1, M2, M3) der Platte (2) aufgenommen, durch Linearkombination dazu geeigneter Messdaten (6, 6', 6", 6"') Parameter (9', 10', 1V) zu wenigstens zwei Schwingungsmoden (M1, M2, M3) der Platte (2) bestimmt, in Abhängigkeit dieser Parameter (9', 10', 1V) für jeden Quadranten (15, 16, 17, 18) der Platte (2) Schwingungsanteile (15', 16', 17', 18') an der Kompensationsschwingung berechnet werden und damit jeder diesbezügliche Quadrant (15, 16, 17, 18) der Platte (2) zur gemeinsamen Ausbildung der Kompensationsschwingung belastet wird.The invention relates to a device and a method for reducing a vibration of a particularly transparent plate (2), in particular a pane, in which measured data are recorded from the edge area (4) of the vibrating plate (2) and are dependent on these measured data (6, 6 ', 6 ", 6 '"), the plate (2) is loaded with a compensation oscillation over its edge region (4) such that an at least partial reduction of the oscillation of the plate (2) occurs. In order to create a particularly stable and efficient method, it is proposed that measurement data (6, 6 ', 6 ", 6"') be provided at points (8, 8 ', 8 ", 8"') of the edge region (4) with maximum curvature (MV, M2 ', M3') of vibration modes (M1, M2, M3) of the plate (2) recorded by linear combination of suitable measurement data (6, 6 ', 6 ", 6"') parameters (9 ', 10' , 1V) to at least two oscillation modes (M1, M2, M3) of the plate (2), in dependence on these parameters (9 ', 10', 1V) for each quadrant (15, 16, 17, 18) of the plate (2 ) Vibration components (15 ', 16', 17 ', 18') are calculated on the compensation oscillation and thus each respective quadrant (15, 16, 17, 18) of the plate (2) is loaded for the common formation of the compensation oscillation.

Description

Faxabscndeif: +43 577678 4820 PA 4828 LINZ 04/04/Ί1 19:39 S.: 4^21 * * »« ·<>·Fax number: +43 577678 4820 PA 4828 LINZ 04/04 / Ί1 19:39 S .: 4 ^ 21 * * »« · < >

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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Reduktion einer Schwingung einer insbesondere transparenten Platte, insbesondere einer Scheibe, bei dem Messdaten vom Randbereich der schwingenden Platte aufgenommen und in Abhängigkeit dieser Messdaten die Platte über deren Randbereich mit einer Kompensationsschwingung derart belastet wird, dass damit eine zumindest teilweise Reduktion der Schwingung der Platte eintrittThe invention relates to a device and a method for reducing a vibration of a particular transparent plate, in particular a disc, taken in the measurement data from the edge region of the vibrating plate and the plate is loaded on the edge region with a compensation vibration in response to these measurement data such that thus a At least partial reduction of the vibration of the plate occurs

Um die Geräuschbelastung eines Innenraums durch dessen schwingende Fensterscheibe zu reduzieren, ist es aus dem Stand der Technik bekannt (EP 0 964 387 A2), die zu kompensierende Schwingung über Sensoren aulzunehmen und mit Hilfe von mathematischen Algorithmen daraus Parameter (Frequenz, Amplitude, Phase etc.) zu gewinnen. Über diese Parameter wird dann eine Kompensationsschwingung errechnet, die über Aktoren auf die Platte aufgetragen wird. Über eine Interferenz der beiden Schwingungen wird eine Schwingungsreduktion der Scheibe erreicht, wobei Sensoren und Aktoren im Randbereich der Scheibe angeordnet sind. Nachteilig bei einer derartigen Vorrichtung sowie eines derartigen Verfahrens sind Konstruktions- und Verfahrensaulwand zur Regelung der Schwingungskompensati-on. So hat für jeden Aktor sowohl eine für seine Lage spezifische Ansteuerung zu bestehen als auch muss eine für seine Lage spezifische Teilschwingung der Kompensationsschwingung errechnet werden. Bei einer Vielzahl an Sensoren bedeutete dies nachteilig unter anderem eine hohe Kanaldichte zur Ansteuerung, hohe Rechenleistungen zur Schwingungskompensation sowie nachteilig auch komplexe und zeitaufwendige Verfahrensabläufe. Durch derartige Vorrichtungen und Verfahren sind daher meist kostengünstige und robuste Lösungen zur Schwingungskompen-sation nicht möglich. 04/04/2011 19:42In order to reduce the noise load of an interior through its oscillating window pane, it is known from the prior art (EP 0 964 387 A2) to assume the oscillation to be compensated via sensors and use parameters (frequency, amplitude, phase, etc .) to win. These parameters are then used to calculate a compensation oscillation that is applied to the board via actuators. Through an interference of the two oscillations, a vibration reduction of the disc is achieved, wherein sensors and actuators are arranged in the edge region of the disc. A disadvantage of such a device and such a method are design and Verfahrensaulwand to control the Schwingungskompensati-on. Thus, for each actuator, a drive specific to its position must exist as well as a partial vibration of the compensation oscillation specific to its position must be calculated. In the case of a large number of sensors, this disadvantageously meant, inter alia, a high channel density for the control, high computing power for vibration compensation and, disadvantageously, also complex and time-consuming process sequences. By such devices and methods therefore usually inexpensive and robust solutions for Schwingungskompen-sation are not possible. 04/04/2011 19:42

Nr.: R298 P.004/021No .: R298 P.004 / 021

Faxabsender: +43 577678 4828 PA 4828 LINZ 84/84/11 19:39 5/21 ··*« ·· · f »«Fax Sender: +43 577678 4828 PA 4828 LINZ 84/84/11 19:39 5/21 ·· * «·· · f» «

• · * · Ψ S.: -2-• · * · Ψ S .: -2-

Außerdem ist aus dem Stand der Technik ein Verfahren zur Schwingungskompensation von Balken bekannt, bei dem über eine modale Filterung eine Trennung der Sensorsignale in Anteile der einzelnen Schwingungsmoden durchgeführt wird. Solch ein Verfahren ist auch unter dem Fachbegriff Methode der unabhängigen Modalraumregelung bekannt („IMSC: Independent Modal Space Control“). Diese Anteilstrennung kann durch eine Linearkombination zweier Sensorsignale geschaffen werden, wobei jedoch diese Sensorsignale dafür geeignet sein müssen bzw. die Sensorsignale bzw. Messdaten von geeigneten Stellen an der Struktur aufgenommen werden müssen. Zu diesem Zweck werden Sensoren verteilt über die Balkenstruktur angeordnet. Zwar kann durch diese Modalraumregelung der Vorteil der Unabhängigkeit der Moden untereinander ausgenützt werden, die Sensoranordnungen können jedoch zu Eigenwertverschiebungen führen, was nachteilig hinsichtlich einer Schwingungskompensation sein kann.In addition, a method for vibration compensation of beams is known from the prior art, in which a separation of the sensor signals into portions of the individual vibration modes is performed via a modal filtering. Such a method is also known by the technical term method of independent modal space control ("IMSC: Independent Modal Space Control"). This separation of components can be created by a linear combination of two sensor signals, but these sensor signals must be suitable for this, or the sensor signals or measurement data must be taken from suitable locations on the structure. For this purpose sensors are arranged distributed over the beam structure. Although this Modalraumregelung the advantage of the independence of the modes can be exploited with each other, however, the sensor arrangements can lead to Eigenwertverschiebungen, which may be disadvantageous in terms of vibration compensation.

Die Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt, ein Verfahren zur Schwingungskompensation einer insbesondere transparenten Platte der eingangs geschilderten Art derart zu verbessern, dass damit einerseits standfest eine vergleichsweise hohe Auslöschung von Plattenschwingungen ermöglicht, andererseits jedoch ein geringer Verfahrensaufwand besteht, der keine Beeinträchtigung der Platte, insbesondere deren Sichtbereichs erfordert.The invention is therefore based on the object to improve a method for vibration compensation of a particular transparent plate of the type described in such a way that on the one hand steadfast allows a comparatively high extinction of plate vibrations, on the other hand, however, a low process cost, which does not affect the plate, especially their field of vision requires.

Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, dass Messdaten an Stellen des Randbereichs mit maximaler Krümmung von Schwingungsmoden der Platte aufgenommen, durch Linearkombination dazu geeigneter Messdaten Parameter zu wenigstens zwei Schwingungsmoden der Platte bestimmt, in Abhängigkeit dieser Parameter für jeden Quadranten der Platte Schwingungsanteile an der Kompensationsschwingung berechnet werden und damit jeder diesbezügliche Quadrant der Platte zur gemeinsamen Ausbildung der Kompensationsschwingung belastet wird.The invention solves this problem by measuring data taken at locations of the edge region with maximum curvature of vibration modes of the plate, determined by linear combination suitable measurement parameters to at least two vibration modes of the plate, depending on these parameters for each quadrant of the plate vibration components to the compensation oscillation are calculated and thus each relevant quadrant of the plate is charged to the common formation of the compensation oscillation.

Werden Messdaten an Stellen des Randbereichs mit maximaler Krümmung von Schwingungsmoden der Platte aufgenommen und durch Linearkombination dazu 04/04/2011 19:43If measured data are taken at points of the edge area with maximum curvature of vibration modes of the plate and by linear combination to 04/04/2011 19:43

Nr.: R298 P.005/021 ♦43 57767B 4020 04/04/11 19:39 S.: 6/21No .: R298 P.005 / 021 ♦ 43 57767B 4020 04/04/11 19:39 S .: 6/21

Pfi 4020 LINZ ·* * * 9999 9 *999 9* • 99· · « * · • · · * · * · *·»·Pfi 4020 LINZ * * * * 9999 9 * 999 9 * • 99 · · «« * · · · · * * * * * · »·

• * · · ^ · **<« · V -3- geeigneter Messdaten Parameter zu wenigstens zwei Schwingungsmoden der Platte bestimmt, dann kann das Verfahren der unabhängigen Modalraumregelung auch bei Platten angewendet werden, die empfindlich auf Eigenwertverschiebungen zufolge der Sensormassen reagieren. Außerdem kann dieses Verfahren auch bei transparenten Platten, beispielsweise Scheiben, Glasscheiben, Windschutzscheiben etc. verwendet werden, weil keine Sensoren bzw. Aktoren im Sichtbereich vorgesehen werden müssen. In Abhängigkeit dieser Parameter können dann Schwingungsanteile an der Kompensationsschwingung berechnet werden, wobei zur weiteren Verfahrensvereinfachung für jeden Quadranten der Platte lediglich ein Schwingungsanteil berechnet wird. Mit diesen Schwingungsanteilen kann dann jeder diesbezügliche Quadrant der Platte belastet werden, um damit gemeinsam die Kompensationsschwingung auszubilden. Mit Hilfe der Schwingungsanteile für die Quadranten der Platte kann unter anderem eine vergleichsweise hohe Verfahrensvereinfachung ermöglicht werden, wodurch mit erheblicher Robustheit eine schnelle Schwingungsdampfung möglich werden kann. Die Erfindung kann sich daher vom Stand der Technik trotz reduziertem Verfahrensaulwand durch eine schnellere und standfestere Schwingungsdämpfung abheben, wobei zu diesem Zweck auch keine optische Beeinträchtigung der Transparenz der Platte in Kauf genommen werden muss.If appropriate measurement data are determined for at least two vibration modes of the disk, then the independent mode space control method can also be applied to disks which are sensitive to eigenvalue shifts due to the sensor masses. In addition, this method can also be used with transparent panels, for example panes, glass panes, windshields, etc., because no sensors or actuators have to be provided in the field of vision. As a function of these parameters, it is then possible to calculate vibration components on the compensation oscillation, with only one oscillation component being calculated for each quadrant of the plate for further method simplification. With these vibration components, each relevant quadrant of the plate can then be loaded in order to jointly form the compensation oscillation. With the help of the vibration components for the quadrants of the plate, inter alia, a comparatively high process simplification can be made possible, whereby with considerable robustness rapid vibration damping can be possible. The invention can therefore stand out from the prior art, despite reduced Verfahrensaulwand by a faster and more stable vibration damping, with no optical impairment of the transparency of the plate must be taken into account for this purpose.

Werden die Quadranten mit dem gleichen Schwingungsanteil mehrmals parallel belastet, dann kann das Verfahren zur Schwingungskompensation verbessert werden, weil damit aufgrund mehrerer parallel belasteter Stellen der Platte eine gleichmäßigere Gesamtbelastung der Quadranten ausgenutzt werden kann.If the quadrants are loaded several times in parallel with the same vibration component, then the method for vibration compensation can be improved, because a more even total load of the quadrants can thus be exploited on account of several points of the plate loaded in parallel.

Das Verfahren kann verbessert werden, wenn an den Stellen zur Aufnahme von Messdaten keine Schwingungsanteile auf die Platte eingebracht werden. Nachteilige Effekte von Überlagerungen können damit vermieden werden, wodurch außerdem die Standfestigkeit des Verfahrens verbessert werden kann.The method can be improved if no vibration components are applied to the plate at the points for taking measurement data. Adverse effects of overlays can thus be avoided, which also the stability of the process can be improved.

Werden jeweils zwischen zwei Quadranten Messdaten aufgenommen und über deren Linearkombination Parameter zu wenigstens den ersten drei Schwingungsmo- 04/04/2011 19:43If measured data are recorded between two quadrants and their linear combination includes parameters for at least the first three oscillation modes. 04/04/2011 19:43

Nr.: R298 P.006/021No .: R298 P.006 / 021

Faxabsender: +43 S7767B 4B20 PA 4020 LINZ S. : 7221 04204211 19:39 -4- den der Platte berechnet, so können insbesondere die Moden mit hohem Anteil an einer Plattenschwingung reduziert werden. Mit einem vergleichsweise geringen Verfahrensaufwand kann damit eine besonders robuste und effiziente Schwingungs-kompensation ermöglicht werden.Fax sender: +43 S7767B 4B20 PA 4020 LINZ S.: 7221 04204211 19:39 -4- which calculates the plate, in particular the modes with a high proportion of a plate oscillation can be reduced. With a comparatively low process complexity, a particularly robust and efficient vibration compensation can thus be made possible.

Werden mit Hilfe der Linearkombination die Amplituden bestimmt, dann kann auf schnelle und einfache Weise eine Schwingungskompensation dieser Moden ermöglicht werden. Die Dynamik sowie die Standfestigkeit des Verfahrens kann damit erhöht werden, insbesondere wenn hierbei die ersten drei Schwingungsmoden berücksichtigt werden.If the amplitudes are determined with the aid of the linear combination, vibration compensation of these modes can be made possible in a quick and simple manner. The dynamics as well as the stability of the method can thus be increased, in particular if in this case the first three vibration modes are taken into account.

Es ist weiter die Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zur Schwingungskompensation der eingangs geschilderten Art auf konstruktiv einfache Weise derart zu verbessern, dass damit nicht nur ein vergleichsweise hoher Wirkungsgrad in der Schwingungskompensation möglich wird, sondern auch eine hohe Regeldynamik erreicht werden kann.It is a further object of the invention to improve a device for vibration compensation of the type described in a structurally simple manner such that not only a comparatively high efficiency in the vibration compensation is possible, but also a high control dynamics can be achieved.

Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, dass Sensoren im Randbereich an Stellen mit maximaler Krümmung von Schwingungsmoden vorgesehen sind und dass die Steuereinrichtung sowohl wenigstens zwei mit den Sensoren verbundene modale Filter zur Trennung der Messdaten in Anteile einzelner Schwingungsmoden der Platte, als auch für jeden Filter einen damit bzw. mit jedem Filter verbundenen Regler zur Erzeugung von Regelgrößen in Abhängigkeit der abgetrennten Anteile der Messdaten sowie je mit wenigstens einem Aktor eines Quadranten verbundene Schaltstufen zum Zusammenfügen der Regelgrößen zu Schwingungsanteilen an der Kompensationsschwingung in Abhängigkeit der quadrantenweisen Ansteuerung der Aktoren aufweist.The invention achieves the stated object by providing sensors in the edge region at points with maximum curvature of vibration modes, and in that the control device has at least two modal filters connected to the sensors for separating the measurement data into fractions of individual vibration modes of the plate, as well as for each filter Having a connected thereto or with each filter controller for generating controlled variables as a function of the separated portions of the measured data and each associated with at least one actuator of a quadrant switching stages for joining the controlled variables to vibration components of the compensation vibration in dependence of the quadrant-wise control of the actuators.

Sind Sensoren im Randbereich an Stellen mit maximaler Krümmung von Schwingungsmoden vorgesehen, dann kann damit auf einfache Weise eine schnelle und maximale Schwingungskompensation ermöglicht werden, wenn die Messdaten der Sensoren für eine unabhängige Modalraumregelung verwendet werden. Zu diesem 04/04/2011 19:44If sensors are provided in the peripheral area at locations with maximum curvature of vibration modes, then it can be easily made possible a quick and maximum vibration compensation, if the measurement data of the sensors are used for an independent Modalraumregelung. For this 04/04/2011 19:44

Nr.: R298 P. 007/021 «43 577678 402Θ PA 4020 LINZ s. : 8/21 04/04/11 19:39 4« «I • · 4 · ♦ « * * « -5No .: R298 P. 007/021 «43 577678 402Θ PA 4020 LINZ s. : 8/21 04/04/11 19:39 4 «« I · · 4 · ♦ «* *« -5

Zweck weist die Steuereinrichtung sowoht wenigstens zwei mit den Sensoren verbundene modale Filter zur Trennung der Messdaten in Anteile einzelner Schwingungsmoden der Platte, als auch für jeden Filter einen damit verbundenen Regler zur Erzeugung von Regelgrößen in Abhängigkeit der abgetrennten Anteile der Messdaten auf. Um eine konstruktive Einfachheit in der Steuerung der Aktoren zu schaffen, wird weiter vorgeschtagen, je mit wenigstens einem Aktor eines Quadranten verbundene Schaltstufen zum Zusammenfügen der Regelgrößen zu Schwingungsanteilen an der Kompensationsschwingung in Abhängigkeit der quadrantenweisen Ansteuerung der Aktoren vorzusehen. Im Gegensatz zum Stand der Technik kann daher mit einer vergleichsweise niedrigen Anzahl an Regelgrößen bzw. auch an Schwingungsanteilen eine ausreichende Kompensationsschwingung erzeugt werden, was zu einem vergleichsweise hohen Wirkungsgrad in der Kompensation von Modenschwingungen bzw. der Schwingung der Platte führen kann. Außerdem ist mit Hilfe der quadrantenweisen Sichtweise bzw. der quadrantenweisen Krafteinleitung auf die Platte eine schnelle und damit hochdynamische Kompensation der Plattenschwingungen möglich, so dass die Vorrichtung trotz konstruktiver Einfachheit einen vergleichsweise hohen Wirkungsgrad und hohe Standfestigkeit aufweisen kann.Purpose, the controller sowoht at least two modal filters connected to the sensors for the separation of the measured data in shares of individual vibration modes of the plate, as well as for each filter an associated controller for generating controlled variables as a function of the separated portions of the measured data. In order to create a constructive simplicity in the control of the actuators, it is further proposed to provide switching stages connected to at least one actuator of a quadrant for joining the controlled variables to oscillatory components on the compensation oscillation as a function of the quadrant-wise actuation of the actuators. In contrast to the prior art, therefore, a sufficient compensation vibration can be generated with a comparatively low number of control variables or also on vibration components, which can lead to a comparatively high efficiency in the compensation of mode oscillations or the vibration of the plate. In addition, with the help of the quadrant-wise view or the quadrant-wise application of force to the plate, a fast and thus highly dynamic compensation of the plate vibrations possible, so that the device despite constructive simplicity can have a comparatively high efficiency and high stability.

Erhöhte Krafteinleitung in die Platte kann ermöglicht werden, wenn in jedem Quadranten der Platte eine Aktorgruppe aus parallel geschalteten und verteilt angeordneten Aktoren vorgesehen ist. Außerdem kann damit ein gleichmäßigerer Kräfteeintrag als bei einer punktuellen Belastung der Platte geschaffen werden.Increased force introduction into the plate can be made possible if in each quadrant of the plate an actuator group of parallel and distributed actuators is provided. In addition, it can be used to create a more uniform force input than with a punctual load on the plate.

Die Einflüsse der entscheidenden Eigenmoden der Platte können insbesondere damit erfasst und kompensiert werden, wenn jeweils zwischen zwei Quadranten wenigstens ein Sensor vorgesehen ist. Außerdem kann damit die Gefahr einer Rückkopplung zwischen Sensoren und Aktoren deutlich verringert werden, was die Standfestigkeit der Vorrichtung erhöhen kann, insbesondere wenn die Sensoren auf der gegenüberliegenden Plattenseite der Aktoren vorgesehen sind. 04/04/2011 19:44In particular, the influences of the decisive eigenmodes of the plate can be detected and compensated for if at least one sensor is provided in each case between two quadrants. In addition, so that the risk of feedback between sensors and actuators can be significantly reduced, which can increase the stability of the device, especially when the sensors are provided on the opposite side of the plate actuators. 04/04/2011 19:44

Nr. : R298 P.008/021 ♦43 S77678 4020 04/04/11 19:39 S.: 9/21No .: R298 P.008 / 021 ♦ 43 S77678 4020 04/04/11 19:39 S .: 9/21

PA 402Θ LINZ '1 M ···· · Ott .. *•4· * · t , • · · · · . . . ...PA 402Θ LINZ '1 M ···· · Ott .. * • 4 · * · t, · · · · ·. , , ...

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Weist die Steuereinrichtung drei mit den Sensoren verbundene modale Filter zur Schwingungskompensation der ersten drei Schwingungsmoden der Platte auf, dann konnte überraschend festgestellt werden, dass jene Moden verringert werden können, die auf eine Plattenschwingung entscheidenden Einfluss haben. Ein besonders hoher Wirkungsgrad in der Schwingungskompensation kann dadurch erreicht werden.If the control device has three modal filters connected to the sensors for vibration compensation of the first three vibration modes of the plate, then it has surprisingly been found that those modes can be reduced which have a decisive influence on a plate vibration. A particularly high efficiency in the vibration compensation can be achieved.

Um über die Amplitude von Schwingungsmoden eine Dämpfungsregelung der Plattenschwingung zu erreichen, kann vorgesehen sein, dass die modalen Filter mit den Sensoren verbundene Addierer und/oder Subtrahierer aufweisen. Ober die Parameter der Amplitude kann unter anderem eine schnelle und standfeste Vorrichtung zur Schwingungskompensation über beispielsweise einfache nachgeschaltete Proportionalglieder ermöglicht werden.In order to achieve a damping control of the plate oscillation via the amplitude of oscillation modes, it may be provided that the modal filters have adders and / or subtractors connected to the sensors. Among other things, the parameters of the amplitude can be used to enable a fast and stable device for vibration compensation via, for example, simple downstream proportional elements.

Besondere Verhältnisse können geschaffen werden, wenn ein Verfahrens zur unabhängigen Modalraumregelung zur Schwingungskompensation einer schwingenden Platte unter Berücksichtigung sowohl einer Messdatenaufnahme im Randbereich der Platte für die Modalraumregelung, als auch einer quadrantenweisen Beaufschlagung der Platte mit in Abhängigkeit der Modalraumregelung erzeugten Schwingungsanteilen zur gemeinsamen Ausbildung einer Kompensationsschwingung verwendet wird.Particular circumstances can be created when a method for independent Modalraumregelung for vibration compensation of a vibrating plate taking into account both a measurement data recording in the edge region of the plate for the Modalraumregelung, as well as a quadrant wise action on the plate generated depending on the Modalraumregelung vibration components used to jointly form a compensation oscillation becomes.

In den Zeichnungen ist beispielsweise der Erfindungsgegenstand anhand eines AusfUhrungsbeispiels dargestellt. Es zeigenFor example, the subject matter of the invention is illustrated in the drawings with reference to an exemplary embodiment. Show it

Fig. 1 eine Draufeicht auf eine Vorrichtung zur Reduktion einer Schwingung einer Platte,1 is a plan view of a device for reducing a vibration of a plate,

Fig. 2 eine Steuereinrichtung der Vorrichtung nach Fig. 1 und die Fig. 3 bis 5 Darstellungen zur Schwingungskompensation unterschiedlicher Schwingungsmoden der Vorrichtung nach Fig. 1.2 shows a control device of the device according to FIG. 1 and FIGS. 3 to 5 representations for vibration compensation of different vibration modes of the device according to FIG. 1.

Das beispielsweise nach Fig. 1 dargestellte Ausführungsbeispiet zeigt eine Vorrichtung 1 zur Schwingungskompensation mit einer Platte 2, die an Ihren Stirnseiten 04/04/2011 19:45The Ausführungsbeispiet shown, for example, according to Fig. 1 shows a device 1 for vibration compensation with a plate 2, the front ends 04/04/2011 19:45

Nr. : R298 P.009/021No .: R298 P.009 / 021

Faxabsender: «43 577678 4028 PA 4020 LINZ S. : 10/21 04/04/11 19:39 *· · · «IM · » * · · * • « · · * * -7- beispielsweise Ober eine nicht näher dargestellte Einspannung in einem Rahmen gelagert ist. Andere Montagemittel sind vorstellbar, so auch eine feste Einspannung über eine Leiste oder eine insbesondere weiche Dichtung. Die Platte 2 ist schwingfähig, was unter anderem auch nicht erwünschte Schwingungen zulässt. Um diese Schwingungen zu reduzieren, sind in Form von Piezoelementen Aktoren 3, 3‘, 3“, 3“‘ auf der Platte 2 vorgesehen und zwar in deren Randbereich 4, um damit die Transparenz der Platte 2 nicht zu verringern bzw. einen mittige Gewichtsbelastung der Platte 2 zu vermeiden. Die zu kompensierende Schwingung der Platte 2 wird über Sensoren 5, 5‘, 5“, 5'" gemessen, wobei durch diese Messung Messdaten 6, 6‘, 6", 6“' aufgenommen werden. Die Sensoren 5, 5\ 5“, 5‘" sind aus vorstehenden Gründen ebenso auf der Platte 2 in deren Randbereich 4 vorgesehen, vorzugsweise auf der den Aktoren 3, 3', 3“, 3'" gegenüberliegenden Plattenseite, was an der strichpunktierten Darstellung der Sensoren 5, 5\ 5“, 5‘“ in den Figuren erkennbar ist. Mit Hilfe einer Steuereinrichtung 7 werden nun diese Messdaten 6, 6‘, 6“, 6‘“ der Sensoren 5, 5‘, 5", 5‘“ verarbeitet und die Aktoren 3, 3\ 3“, 3‘“ in Abhängigkeit diese Messdaten 6, 6', 6“, 6"‘ derart angesteuert, dass diese 3, 3‘, 3“, 3“‘ auf die Platte 2 eine Kompensationsschwingung zur Reduktion der Schwingung der Platte 2 aufbringen können bzw. die Platte 2 diesbezüglich belasten. Werden eine Vielzahl an Aktoren 3, 3\ 3“, 3'“ verwendet, dann kann dies nachteilig bei der Steuereinrichtung 7 zu einem hohen Konstruktionsaufwand als auch zu einem aufwendigen Berechnungsverfahren führen, wodurch nicht nur die Standfestigkeit, sondern auch die Dynamik zur Schwingungsreduktion vermindert werden kann. Aus diesem Grund schlägt die Erfindung vor, eine unabhängige Modalraumregelung (IMSC) unter Berücksichtigung einerseits von randseitig platzierten Sensoren 5, 5', 5“, 5'“ und andererseits einer quartalsweisen Ansteuerung der Aktoren 3, 3'( 3“, 3‘“ zu verwenden. Dazu werden die Sensoren 5, 5‘, 5“, 5‘“ im Randbereich 4 an den Stellen 8, 8‘, 8", 8“' mit maximaler Krümmung M1‘ und/oder, M2‘ und/oder M3‘ von wenigstens zwei Schwingungsmoden M1 und/oder M2 und/oder M3t etc. vorgesehen, was insbesondere im Zusammenhang mit den Figuren 3, 4 und 5 entnommen werden kann. Im Allgemeinen wird erwähnt, dass durchaus auch ein Nahbereich zu diesen Stellen M1‘ und/oder, M2‘ und/oder M3‘ vorstellbar ist, wobei desweiteren nicht an allen diesen Stellen mit maximaler Krümmung M1‘ und/oder M2‘ und/oder M3' von P.010/021 04/04/2011 19:45 Nr.: R298 : 11^21Fax sender: «43 577678 4028 PA 4020 LINZ S.: 10/21 04/04/11 19:39 * · · ·« IM · »* · · * *« «· * * -7- For example, above a not shown Clamping is stored in a frame. Other mounting means are conceivable, as well as a fixed clamping over a bar or a particular soft seal. The plate 2 is capable of oscillating, which among other things also allows undesirable vibrations. In order to reduce these vibrations, actuators 3, 3 ', 3 ", 3"' are provided on the plate 2 in the edge region 4, in order not to reduce the transparency of the plate 2 or a central weight load to avoid the plate 2. The vibration of the plate 2 to be compensated is detected by sensors 5, 5 ', 5 ", 5' " measured, whereby measurement data 6, 6 ', 6 ", 6"' are recorded by this measurement. The sensors 5, 5 \ 5 ", 5 '" are also provided for reasons above on the plate 2 in the edge region 4, preferably on the the actuators 3, 3 ', 3 ", 3' " opposite plate side, which can be seen in the dash-dotted lines of the sensors 5, 5 \ 5 ", 5 '" in the figures. By means of a control device 7, these measurement data 6, 6 ', 6 ", 6'" of the sensors 5, 5 ', 5 ", 5'" are now processed and the actuators 3, 3 \ 3 ", 3 '" in dependence on these Measurement data 6, 6 ', 6 ", 6"' controlled such that these 3, 3 ', 3 ", 3"' on the plate 2 can apply a compensation vibration to reduce the vibration of the plate 2 and the plate 2 in this regard , If a plurality of actuators 3, 3 \ 3 ", 3 '" used, then this can disadvantageously in the controller 7 lead to a high design effort as well as a complex calculation method, which not only reduces the stability, but also the dynamics for vibration reduction can be. For this reason, the invention proposes an independent Modalraumregelung (IMSC) taking into account, on the one hand edge-mounted sensors 5, 5 ', 5 ", 5'" and on the other hand, a quarterly control of the actuators 3, 3 '(3 ", 3'" For this purpose, the sensors 5, 5 ', 5 ", 5'" in the edge region 4 at the points 8, 8 ', 8 ", 8"' with maximum curvature M1 'and / or, M2' and / or M3 'provided by at least two vibration modes M1 and / or M2 and / or M3t, etc., which can be taken in particular in connection with Figures 3, 4 and 5. In general, it is mentioned that quite close to these points M1' and and / or 'M2' and / or M3 'is conceivable, whereby furthermore not at all these locations with maximum curvature M1' and / or M2 'and / or M3' of P.010 / 021 04/04/2011 19:45 no .: R298: 11 ^ 21

Faxabsender: *43 S77678 4020 PA 4028 LIMZ 04/04/H 19.39 S ·* ·* *·♦·* ·#·« «· ·*·· · · a * * *· · * »«< » « « , • * · · * · · * » « ψ »< *« ♦♦ * »< -8-Fax Sender: * 43 S77678 4020 PA 4028 LIMZ 04/04 / H 19.39 S * * * * * ♦ * * # # «« · · * · · · · a * * * · * * «« < »« «, * * · · * · · *» «Ψ» < * «♦♦ *» < -8th-

Schwingungsmoden M1 und/oder M2 und/oder M3 Sensoren 5, 5', 5“, 5‘" vorgesehen werden müssen, um damit eine unabhängige Modalraumregelung (IMSC) zu schaffen, wie dies beispielsweise auch an gleicher Sensorplatzierung trotz unterschiedlicher Eigenmoden Ml, M2 und M3 gemäß den Figuren 3, 4 und 5 erkannt werden kann, Die nach Flg. 2 dargestellte Steuereinrichtung 7 der Vorrichtung 1 ist nun mit den Sensoren 5, 5', 5", 5"* verbunden und verarbeitet die Messdaten 8, 6\ 6“, 6'“. Zu diesem Zweck sind 5, 5', 5“, 5'“ mit modalen Filtern 9, 10, 11 verbunden, die die Messdaten 6, 6‘, 6“, 6‘“ in Anteile 9', 10', 11' einzelner Schwingungsmoden M1, M2, M3 der Platte 2 trennen, Durch eine Verwendung von 3 modalen Filtern 9, 10, 11 kann eine Schwingungskompensation der ersten drei Schwingungsmoden Mt, M2, M3 der Platte 2 ermöglicht werden. Diese Anteile 9', 10‘, 11' der modalen Filter 9, 10, 11 werden nun je einem Regler 12, 13,14 zugeführt, die je eine Regelgröße 12‘, 13', 14' zum Dämpfen dieser Anteile 9‘, 10‘, 11' erzeugen. Um nun jedem Quadraten 15,16, 17 und 18 der Platte 2 einen diesbezüglichen Schwingungsanteil 15‘, 17’, 18‘ und 19‘ zuführen zu können, sind Schaltstufen 19, 20, 21, 22 vorgesehen, die die Regelgrößen 12', 13’, 14’ in richtiger Polarität miteinander verbinden. Die Schaltstufen 19, 20, 21, 22 fügen daher die Regelgrößen 12‘, 13’, 14' zu Schwingungsanteilen 15‘, 16‘, 17' und 18' an der Kompensationsschwingung in Abhängigkeit der quadrantenweisen Ansteuerung der Aktoren 3, 3', 3“, 3“' zusammen.Vibration modes M1 and / or M2 and / or M3 sensors 5, 5 ', 5 ", 5' " must be provided in order to create an independent Modalraumregelung (IMSC), as can be recognized, for example, the same sensor placement despite different eigenmodes Ml, M2 and M3 according to Figures 3, 4 and 5, according to Flg. 2 of the device 1 is now connected to the sensors 5, 5 ', 5 ", 5" * and processes the measurement data 8, 6 \ 6 ", 6'". For this purpose, 5, 5 ', 5 ", 5'" connected to modal filters 9, 10, 11, the measurement data 6, 6 ', 6 ", 6'" in shares 9 ', 10', 11 'single By using 3 modal filters 9, 10, 11, vibration compensation of the first three vibration modes Mt, M2, M3 of the disk 2 can be made possible. These portions 9 ', 10', 11 'of the modal filter 9, 10, 11 are now each a controller 12, 13,14 supplied, each having a controlled variable 12', 13 ', 14' for damping these shares 9 ', 10th ', 11' generate. In order to be able to supply a respective vibration component 15 ', 17', 18 'and 19' to each of the squares 15, 16, 17 and 18 of the plate 2, switching stages 19, 20, 21, 22 are provided which control variables 12 ', 13 ', 14' connect in the correct polarity. The switching stages 19, 20, 21, 22 therefore add the controlled variables 12 ', 13', 14 'to oscillation components 15', 16 ', 17' and 18 'to the compensation oscillation as a function of the quadrant-wise actuation of the actuators 3, 3', 3 ", 3" 'together.

Die Steuereinrichtung 7 weist noch Inverter 23 und ADC (Analog-Digital Konverter) 24 sowie DAG (Digital-Analog Konverter) 25 auf, wobei der Regier 12, 13, 14 der Einfachheit wegen als P-Regler ausgeführt sind. Hoch- und/oder Tiefpassfilter können diese Regier 12, 13, 14 begleiten, um die Anteile 9‘, 10', 11' zu den gegengeregelten Moden M1, M2, M3 zu schärfen, wobei diese Filter der Einfachheit halber nicht dargestellt worden sind.The controller 7 also has inverter 23 and ADC (analog-to-digital converter) 24 and DAG (digital-to-analog converter) 25, wherein the regulator 12, 13, 14 are designed as a P-controller for simplicity. High- and / or low-pass filters may accompany these regulators 12, 13, 14 in order to sharpen the components 9 ', 10', 11 'to the oppositely controlled modes M1, M2, M3, these filters not being shown for the sake of simplicity.

Im Allgemeinen wird erwähnt, dass nach den Figuren drei Moden M1, M2, M3 einer modalen Regelung unterworfen werden, Es ist jedoch durchaus im Rahmen der Erfindung, weniger oder mehrere Moden damit zu behandeln. Insbesondere könnten beispielsweise alleine die Sensoren 5 und 5" zur unabhängigen Modairaumregelung 04/04/2011 19:45In general it is mentioned that according to the figures three modes M1, M2, M3 are subjected to a modal regulation, but it is quite within the scope of the invention to treat fewer or more modes with it. In particular, for example, sensors 5 and 5 alone could " to the independent Modairaumregelung 04/04/2011 19:45

Nr.: R298 P.011/021No .: R298 P.011 / 021

Faxabsender: +43 S77678 4020 PA 4020 LINZ 04/04/11 19:39 S.: 12/21 *» ·· *«· 0 fit« |t * * i · · · | · * ·· * * « I ··»· * ·» f * *«·* » | » * ·· * · · · · · * * -9- der Moden M1 und M2 bzw. alleine die Sensoren 5‘ und 5“' zur unabhängigen Modalraumregelung der Moden M1 und M3 verwendet werden.Fax Sender: +43 S77678 4020 PA 4020 LINZ 04/04/11 19:39 S .: 12/21 * »·· *« · 0 fit «| t * * i · · · | · * ·· * * «I ··» · * · »f * *« · * »| Of the modes M1 and M2 or alone the sensors 5 'and 5 "' are used for the independent modal space control of the modes M1 and M3.

Eine gleichmäßigere Kraftaufbringung auf die Platte 2 zu Zwecken einer verbesserten Schwingungsreduktion ergibt sich, wenn in jedem Quadranten 15,16,17 und 18 der Platte 2 eine Aktorgruppe 26, 27, 28 und 29 aus parallel geschalteten und verteilt angeordneten Aktoren 3, 3‘, 3“, 3“' vorgesehen ist. Die Aktoren der jeweiligen Aktorgruppen sind am Rand der Platte 2 verteilt angeordnet, so dass diese beispielsweise auch um die Ecken der Platte 2 verlaufen. Die Anzahl der Aktoren 3, 3\ 3", 3"' ist frei wählbar und kann beispielsweise durch die zu erzeugende Kraftgröße bestimmt sein.A more uniform application of force to the plate 2 for purposes of improved vibration reduction results when in each quadrant 15,16,17 and 18 of the plate 2, an actuator group 26, 27, 28 and 29 of parallel and distributed actuators arranged 3, 3 ', 3 ", 3" 'is provided. The actuators of the respective actuator groups are arranged distributed on the edge of the plate 2, so that they extend, for example, around the corners of the plate 2. The number of actuators 3, 3 \ 3 ", 3 " ' is freely selectable and can be determined, for example, by the force magnitude to be generated.

Hohe Stabilität in der Regelung ergibt sich, wenn jeweils zwischen zwei Quadranten 15 und 16 bzw. 16 und 17 bzw. 17 und 18 bzw. 18 und 15 ein Sensor 5, 5', 5“, 5“' angeordnet ist, wie dies insbesondere der Fig. 1 entnommen werden kann. Außerdem können damit mindestens Schwingungen von drei Moden M1, M2, M3 kompensiert werden. Konstruktiv einfach liegen die Sensoren 5, 5‘, 5“, 5‘“ auf der den Aktoren 3,3', 3", 3‘" gegenüberliegenden Plattenseite der Platte 2.High stability in the control results when between each two quadrants 15 and 16 or 16 and 17 or 17 and 18 or 18 and 15, a sensor 5, 5 ', 5 ", 5"' is arranged, as this particular of Fig. 1 can be removed. In addition, at least vibrations of three modes M1, M2, M3 can be compensated for. The sensors 5, 5 ', 5 ", 5'" are structurally simple on the actuators 3, 3 ', 3 ", 3'". opposite plate side of the plate. 2

Die modalen Filter 9, 10, 11 weisen Addierer 30 und/oder Subtrahierer 31 auf, um damit die Amplitude 32, 33, 34 der Schwingung der einzelnen Moden M1. M2 und M3 zu bestimmen. Durch solch eine Signalkombination müssen die Amplitude 32, 33, 34 jedoch auf einen gemittelten Wert angepasst werden, auf Grund dessen die Proportionalglieder 35 (Reduktion auf 1/4 der bestimmten Amplitudenhöhe) und 36 (Reduktion auf 1/2 der bestimmten Amplitudenhöhe) vorgesehen werden, wie dies der Fig. 2 entnommen werden kann. 04/04/2011 19:46The modal filters 9, 10, 11 comprise adders 30 and / or subtracters 31, in order thereby to reduce the amplitude 32, 33, 34 of the oscillation of the individual modes M1. To determine M2 and M3. By such a signal combination, however, the amplitude 32, 33, 34 must be adjusted to an averaged value, on the basis of which the proportional terms 35 (reduction to 1/4 of the determined amplitude level) and 36 (reduction to 1/2 of the determined amplitude level) are provided as can be seen in FIG. 2. 04/04/2011 19:46

Nr.: R298 P.012/021No .: R298 P.012 / 021

Claims (11)

Faxabsender: +43 577678 4020 PA 4020 LINZ S.: 13/21 04/04/11 19:39 Faxabsender: +43 577678 4020 PA 4020 LINZ S.: 13/21 04/04/11 19:39 *··* *· (00 078PAT) ]el 00 I « li«i f 0 * * · t « 0 I · f « * « * · * * t « t < · • * * * · a • · · · « 9 m Patentanwalt Dipl.-lng. Friedrich Jell Hittmairstraße 11, A-4020 Linz Patentansprüche: 1. Verfahren zur Reduktion einer Schwingung einer insbesondere transparenten Platte (2), insbesondere einer Scheibe, bei dem Messdaten vom Randbereich (4) der schwingenden Platte (2) aufgenommen und in Abhängigkeit dieser Messdaten (6, 6‘, 6", 6"1) die Platte (2) über deren Randbereich (4) mit einer Kompensationsschwingung derart belastet wird, dass damit eine zumindest teilweise Reduktion der Schwingung der Platte (2) eintritt, dadurch gekennzeichnet, dass Messdaten (6, 6\ 6“, 6'") an Stellen (8, 8‘, 8", 8‘") des Randbereichs (4) mit maximaler Krümmung (MV, M2\ M3‘) von Schwingungsmoden (M1, M2, M3) der Platte (2) aufgenommen, durch Linearkombination dazu geeigneter Messdaten (6, 6‘, 6“, 6"') Parameter (9‘, 10\ 1V) zu wenigstens zwei Schwingungsmoden (M1, M2, M3) der Platte (2) bestimmt, in Abhängigkeit dieser Parameter (9*, 10*. 11') für jeden Quadranten (15,16, 17.18) der Ratte (2) Schwingungsantei/e (15‘, 16', 17', 18') an der Kompensationsschwingung berechnet werden und damit jeder diesbezügliche Quadrant (15, 16, 17.18) der Platte (2) zur gemeinsamen Ausbildung der Kompensationsschwingung belastet wird.Fax Sender: +43 577678 4020 PA 4020 LINZ S .: 13/21 04/04/11 19:39 Fax Sender: +43 577678 4020 PA 4020 LINZ S: 13/21 04/04/11 19:39 * ·· * * · (00 078PAT)] el 00 I «li« if 0 * * · t «0 I · f« * «* · * * t« t < • • * * * · a • · · · «9 m Patent Attorney Dipl.-lng. Friedrich Jell Hittmairstraße 11, A-4020 Linz Claims: 1. A method for reducing a vibration of a particular transparent plate (2), in particular a disc, recorded in the measurement data from the edge region (4) of the vibrating plate (2) and in dependence of these measurement data (6, 6 ', 6 ", 6" 1) the plate (2) is loaded with a compensation oscillation over its edge region (4) such that an at least partial reduction of the oscillation of the plate (2) occurs, characterized in that Measurement data (6, 6 \ 6 ", 6 '") at locations (8, 8', 8 ", 8 '") of the edge region (4) with maximum curvature (MV, M2 \ M3') of vibration modes (M1 , M2, M3) of the plate (2), by linear combination of suitable measurement data (6, 6 ', 6 ", 6"'), parameters (9 ', 10 \ 1V) for at least two vibration modes (M1, M2, M3) of the plate (2) determines, as a function of these parameters (9 *, 10 *. 11 '), for each quadrant (15, 16, 17.1 8) of the rat (2) oscillation components (15 ', 16', 17 ', 18') are calculated on the compensation oscillation, and thus each quadrant (15, 16, 17, 18) of the plate (2) for common formation of the compensation oscillation is charged. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Quadranten (15, 16, 17, 18) mit dem gleichen Schwingungsanteil (15‘, 16', 17', 18‘) mehrmals parallel belastet werden.2. The method according to claim 1, characterized in that the quadrants (15, 16, 17, 18) with the same vibration component (15 ', 16', 17 ', 18') are loaded several times in parallel. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass an den Stellen (8, 8‘, 8“, 8'") zur Aufnahme von Messdaten (6, 6', 6", 6'“) keine Schwingungsanteile (15‘, 16‘, 17‘, 18') auf die Platte (2) eingebracht werden.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that at the points (8, 8 ', 8 ", 8'") for receiving measurement data (6, 6 ', 6 ", 6'") no vibration components ( 15 ', 16', 17 ', 18') are placed on the plate (2). 4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils zwischen den zwei Quadranten (15 und 16, 16 und 17, 17 und 18, 18 und 15) 04/04/2011 19:46 Nr. : R298 P.013/021 Faxabsender: *43 S77678 4020 PA 4020 LI HZ 04/04/11 19:39 S.: 14/21 - 2 - Messdaten (6, 6\ 6", 6“') aufgenommen und über deren Linearkombination Parameter (9\ 10', 11‘) zu wenigstens den ersten drei Schwingungsmoden (M1, M2, M3) der Platte (2) berechnet werden,4. The method according to claim 1, 2 or 3, characterized in that in each case between the two quadrants (15 and 16, 16 and 17, 17 and 18, 18 and 15) 04/04/2011 19:46 No: R298 P .013 / 021 Fax sender: * 43 S77678 4020 PA 4020 LI HZ 04/04/11 19:39 S .: 14/21 - 2 - Measurement data (6, 6 \ 6 ", 6" ') recorded and their linear combination parameters (9 \ 10 ', 11') to at least the first three modes of vibration (M1, M2, M3) of the plate (2) are calculated, 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mit Hilfe der Linearkombination die Amplituden (32, 33, 34) der insbesondere ersten drei Schwingungsmoden (M1, M2, M3) bestimmt werden.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that with the aid of the linear combination, the amplitudes (32, 33, 34) of the particular first three vibration modes (M1, M2, M3) are determined. 6. Vorrichtung zur Reduktion einer Schwingung einer wenigstens bereichsweise eingespannten und insbesondere zumindest teilweise transparenten Platte (2), insbesondere einer Scheibe, mit Über wenigstens im Randbereich (4) der Platte (4) vorgesehenen Aktoren (3, 3‘, 3“, 3'“), insbesondere Piezoelementen, mit über im Randbereioh (4) der Platte (2) vorgesehenen Sensoren (5, 5', 5", 5‘“) zur Aufnahme von Messdaten (6, 6‘, 6“, 6‘“) zur Plattenschwingung und mit einer mit den Sensoren (5, 5‘, 5", 5"‘) und Aktoren (3, 3‘, 3“, 3"’) verbundenen Steuereinrichtung (7) zur Erzeugung einer von den aufgenommenen Messdaten (6, 6\ 6“, 6“') abhängigen Kompensationsschwingung zur Reduktion der Schwingung der Platte, dadurch gekennzeichnet, dass Sensoren (5, 5‘, 5“, 5“') im Randbereich (4) an Stellen mit maximaler Krümmung (M1‘, M2‘, M3‘) von Schwingungsmoden (M1, M2, M3) vorgesehen sind und dass die Steuereinrichtung (7) sowohl wenigstens zwei mit den Sensoren (5, 5‘, 5", 5‘“) verbundene modale Filter (9,10,11) zur Trennung der Messdaten (6, 6\ 6“, 6“') in Anteile (9‘, 10‘, 11‘) einzelner Schwingungsmoden (Ml, M2, M3) der Platte (2), als auch für jeden Filter (9, 10, 11) einen damit verbundenen Regler (12, 13, 14) zur Erzeugung von Regelgrößen (12‘, 13', 14') in Abhängigkeit der abgetrennten Anteile (9‘, 10‘, 11’) der Messdaten (6, 6\ 6“, 6‘“) sowie je mit wenigstens einem Aktor (3, 3', 3“, 3‘") eines Quadranten (15, 16, 17, 18) verbundene Schaltstufen (19, 20, 21, 22) zum Zusammenfügen der Regelgrößen (12', 13‘, 14') zu Schwingungsanteilen (15', 16', 1T, 18') an der Kompensationsschwingung in Abhängigkeit der quadrantenweisen Ansteuerung der Aktoren (6, 6', 6", 6‘") aufweist. 04/04/2011 19:47 Nr.: R298 P.014/021 +43 577678 4020 PA 4020 LINZ S.: 15/21 04/04/11 19:39 »0 «* 9·«·« *··+ ·· 9*·· · I ψ » -3-6. Apparatus for reducing a vibration of an at least partially clamped and in particular at least partially transparent plate (2), in particular a disc with over at least in the edge region (4) of the plate (4) provided actuators (3, 3 ', 3 ", 3 '"), In particular piezo elements, with sensors (5, 5', 5", 5 '") provided in the edge region (4) of the plate (2) for taking measurement data (6, 6', 6", 6 '"). ) to the plate oscillation and to a control device (7) connected to the sensors (5, 5 ', 5 ", 5"') and actuators (3, 3 ', 3 ", 3"') for generating one of the recorded measurement data ( 6, 6 \ 6 ", 6" ') dependent compensation vibration for reducing the vibration of the plate, characterized in that sensors (5, 5', 5 ", 5" ') in the edge region (4) at points with maximum curvature (M1 ', M2', M3 ') of vibration modes (M1, M2, M3) are provided, and that the control device (7) is both least s two modal filters (9, 10, 11) connected to the sensors (5, 5 ', 5 ", 5'") for separating the measured data (6, 6 \ 6 ", 6" ') into components (9', 10 ', 11') of individual vibration modes (Ml, M2, M3) of the plate (2), as well as for each filter (9, 10, 11) an associated controller (12, 13, 14) for generating controlled variables (12 ', 13', 14 ') depending on the separated portions (9', 10 ', 11') of the measured data (6, 6 \ 6 ", 6 '") and each with at least one actuator (3, 3', 3 ", 3 '") of a quadrant (15, 16, 17, 18) connected switching stages (19, 20, 21, 22) for joining the control variables (12', 13 ', 14') to vibration components (15 ', 16 ', 1T, 18') at the compensation oscillation in dependence of the quadrant-wise actuation of the actuators (6, 6 ', 6 ", 6'"). 04/04/2011 19:47 No .: R298 P.014 / 021 +43 577678 4020 PA 4020 LINZ S: 15/21 04/04/11 19:39 »0« * 9 · «·« * ·· + ·· 9 * ·· · I ψ »-3- 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass in jedem Quadranten (15, 16, 17, 18) der Platte (2) eine Aktorgruppe (26, 27, 28, 29) aus parallel geschatteten und verteilt angeordneten Aktoren (3, 3‘, 3“, 3‘“) vorgesehen ist.7. The device according to claim 6, characterized in that in each quadrant (15, 16, 17, 18) of the plate (2) an actuator group (26, 27, 28, 29) of parallel shaded and distributed actuators arranged (3, 3 ', 3 ", 3'") is provided. 8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass jeweils zwischen zwei Quadranten (15 und 16, 16 und 17, 17 und 18, 18 und 15) wenigstens ein Sensor (5, 5‘, 5“, 5'"), insbesondere auf der den Aktoren (3, 3‘, 3“, 3“‘) gegenüberliegenden Plattenseite, vorgesehen ist.8. Apparatus according to claim 6 or 7, characterized in that in each case between two quadrants (15 and 16, 16 and 17, 17 and 18, 18 and 15) at least one sensor (5, 5 ', 5 ", 5' " ), in particular on the actuators (3, 3 ', 3 ", 3"') opposite plate side, is provided. 9. Vorrichtung nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (7) drei mit den Sensoren (5, 5', 5“, 5“*) verbundene modale Filter (9, 10, 11) zur Schwingungskompensation der ersten drei Schwingungsmoden (M1, M2, M3) der Platte (2) aufweist.9. Apparatus according to claim 6, 7 or 8, characterized in that the control device (7) has three connected to the sensors (5, 5 ', 5 ", 5" *) modal filter (9, 10, 11) for vibration compensation of first three vibration modes (M1, M2, M3) of the plate (2). 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die modalen Filter (9, 10, 11) mit den Sensoren (5, 5‘, 5", 5“') verbundene Addierer (30) und/oder Subtrahierer (31) aufweisen.10. Device according to one of claims 6 to 9, characterized in that the modal filter (9, 10, 11) with the sensors (5, 5 ', 5 ", 5"') connected adders (30) and / or subtractors (31). 11. Verwendung eines Verfahrens zur unabhängigen Modalraumregelung zur Schwingungskompensation einer schwingenden Platte (2) unter Berücksichtigung sowohl einer Messdatenaufnahme im Randbereich (4) der Platte (2) für die Modalraumregelung als auch einer quadrantenweisen Beaufschlagung der Platte (2) mit in Abhängigkeit der Modalraumregelung erzeugten Schwingungsanteilen (15% 16‘, 17‘, 16') zur gemeinsamen Ausbildung einer Kompensationsschwingung. 04/04/2011 19:47 Nr R298 P.015/02111. Use of a method for independent Modalraumregelung for vibration compensation of a vibrating plate (2) taking into account both a measurement data recording in the edge region (4) of the plate (2) for the Modalraumregelung as well as a quadranteweise admission of the plate (2) generated depending on the Modalraumregelung Vibration components (15% 16 ', 17', 16 ') for the common formation of a compensation oscillation. 04/04/2011 19:47 No R298 P.015 / 021
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