[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

AT402617B - Anlage zum automatisierten, hermetischen anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen verschliessen von gehäusen - Google Patents

Anlage zum automatisierten, hermetischen anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen verschliessen von gehäusen Download PDF

Info

Publication number
AT402617B
AT402617B AT0117095A AT117095A AT402617B AT 402617 B AT402617 B AT 402617B AT 0117095 A AT0117095 A AT 0117095A AT 117095 A AT117095 A AT 117095A AT 402617 B AT402617 B AT 402617B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
welding
electrode
diagram
chamber
plant according
Prior art date
Application number
AT0117095A
Other languages
English (en)
Other versions
ATA117095A (de
Inventor
Gerhard Ing Zeindl
Frowald Ing Angerer
Karl Ing Schweitzer
Original Assignee
Datacon Schweitzer & Zeindl Gm
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Datacon Schweitzer & Zeindl Gm filed Critical Datacon Schweitzer & Zeindl Gm
Priority to AT0117095A priority Critical patent/AT402617B/de
Priority to EP96921811A priority patent/EP0837751A1/de
Priority to AU62930/96A priority patent/AU6293096A/en
Priority to PCT/AT1996/000121 priority patent/WO1997002920A1/de
Publication of ATA117095A publication Critical patent/ATA117095A/de
Application granted granted Critical
Publication of AT402617B publication Critical patent/AT402617B/de

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K11/00Resistance welding; Severing by resistance heating
    • B23K11/002Resistance welding; Severing by resistance heating specially adapted for particular articles or work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/36Electric or electronic devices
    • B23K2101/40Semiconductor devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Resistance Welding (AREA)

Description

AT 402 617 B
Die Erfindung betrifft eine Anlage zum automatisierten, hermetischen Verschließen von Gehäusen, vorzugsweise von Metallgehäusen, in denen insbesondere in Sauerstoff- und wasserdampffreier Atmosphäre befindliche elektronische Bauteile angeordnet sind, wobei eine mit Stickstoffüberdruck oder Unterdrück betriebene Schweißkammer vorgesehen ist, die mindestens einen mit zwei zueinander bewegbaren Elektroden ausgebildeten Schweißkopf und entsprechende Zu- und Abführeinrichtungen für die Gehäuse zum und vom Schweißkopf aufweist.
Derartige Anlagen finden vorwiegend in der Herstellung von Elektronikbauteilen ihre Anwendung.
Bei herkömmlichen Maschinen wurden bisher sogenannte Glove-Boxen" eingebaut. Dies sind Kammern, die mit reinem Stickstoff gespült und mit leichten Innendruck betrieben werden, um ein Eindringen der Umweltatmosphäre bei eventuellen Undichtheiten zu verhindern. Servicearbeiten mußten mit Gummihandschuhen von außen durchgeführt werden. Ist eine derartige Wartung nicht möglich, mußte die Box bzw. Kammer geöffnet werden. Um wieder eine saubere Atmosphäre für die Schweißung zu erreichen, mußte die Kammer lange, unter Umständen länger als einen Tag, mit reinem Stickstoff gespült werden.
Zeitraubende Betriebsunterbrechnungen wirken sich natürlich in der industriellen Massenfertigung äußerst nachteilig aus.
Darüber hinaus wurden die Elektroden entweder über großvolumige Pneumatikzylinder oder über Exzenterantriebe bewegt. Jeder dieser Antriebe hat jedoch auch Nachteile. So ist zwar der Pneumatikantrieb flexibel im Öffnungsweg und bei der Druckeinstellung, jedoch die Öffnungs- und Schließzeiten sind außerordentlich lang. Der Exzenterantrieb weist zwar hohe Schließgeschwindigkeit auf, ist aber äußerst unflexibel Im Bewegungsablauf.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Anlage zu schaffen, die die oben genannten Nachteile vermeidet und die darüber hinaus eine höhere Qualität in der Fertigung gewährleistet. Ein Qualitätsmaßstab für derartige Anlagen ist es, daß ein hermetisches dichtes Verschließen der Gehäuse möglich ist, wobei der Innenraum der Gehäuse absolut frei von Sauerstoff und Wasserdampf sein soll.
Die eingangs zitierte erfindungsgemäße Anlage ist dadurch gekennzeichnet, daß die Schweißkammer evakuierbar ist und der Schweißkopf mindestens eine über einen Servoantrieb bewegbare Elektrode aufweist. Mit der Erfindung ist es erstmals möglich, Servicearbeiten wie beispielsweise das regelmäßige Wechseln der Elektroden in kürzester Zeit durchzuführen. Darüber hinaus erlaubt der Servoantrieb, durch seine kurzen Schließzeiten, eine hohe Taktfrequenz in der Fertigungsstraße. Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß die Anlage in Kompaktbauweise gebaut werden kann, sodaß ein möglichst geringes Evakuiervolumen auftritt.
So wird die Schweißkammer nach den Service- oder Wartungsarbeiten dicht verschlossen und evakuiert, wobei diese Evakuierung in durchschnittlich 15 Minuten durchgeführt ist. Alle atmosphärischen Gase werden abgesaugt und anschließend wird die Schweißkammer mit inertem Gas gefüllt. In kürzester Zeit ist die Anlage wieder betriebsbereit.
Nach einem besonderen Merkmal der Erfindung ist die Schweißkammer an einen Gastrocknungskreislauf angeschlossen. Dieser Gastrocknungskreislauf besteht im wesentlichen aus zwei Trocknungspatronen, die ein Gastrocknungsmittel beinhalten und wobei jede Trocknungspatrone separat an die Schweißkammer angeschlossen ist. Eine Patrone trocknet das Inertgas der im Betrieb befindlichen Schweißkammer. Bei der anderen Patrone wird dem Trocknungsmittel über Vacuum und Temperatur die aufgenommene Feuchtigkeit entzogen. Durch diese alternierende Vorgangsweise ist die Betriebsfähigkeit der Anlage immer gewährleistet.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist der im Schweißkopf befindliche Schweißraum, der das zum Verschweißen vorgesehene Gehäuse umgibt, bei geschlossenen Elektroden evakuierbar. Um eine noch höhere Gasfreiheit im Innenraum des zu verschließenden Gehäuses zu erhalten, wird kurz vor dem Verschweißen im Schweißkopf bei geschlossenen Elektroden evakuiert. Dabei sind Vacuumwerte in der Größenordnung von 10 Torr zu erreichen.
Nach einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung weist mindestens eine Elektrode des Schweißkopfes einen Kanal zur Evakuierung und einen Dichtring für die Abdichtung zur zweiten Elektrode auf. Der Vorgang im Schweißkopf ist folgender: Nach dem Einlegen des Gehäuses in eine Elektrode wird die zweite Elektrode geschlossen, bis der O-Ring abdichtet. Nach einigen Sekunden des Evakuierens werden die Elektroden auf die Schweißposition geschlossen. Nach dem Schweißvorgang werden die Elektroden geöffnet, und das Gehäuse mittels des Auswerfers ausgebracht. Die einfache Einrichtung zum Evakuieren hat eine deutliche Qualitätsverbesserung nach sich gezogen.
Gemäß einem besonderen Merkmal der Erfindung sind der Schweißkammer ein Trocknungsofen und gegebenenfalls eine nachfolgende Vorkammer zur Zwischenlagerung der zu verschließenden Gehäuse vorgebaut, wobei die Eintrittsöffnung in die Schweißkammer über eine Schleusenklappe verschließbar ist. Durch die Schleusenklappe ist der einwandfreie Betrieb der Schweißkammer sichergestellt. Die aus dem 2
AT 402 617 B
Trocknungsofen kommenden Gehäuse dürfen mit der Umweltatmosphäre nicht mehr in Berührung kommen. So können also Gehäuse, die aus dem Trocknungsofen angeliefert werden, auch bei Servicearbeiten in der Schweißkammer vorgelagert werden. Darüber hinaus muß durch die Schleusenklappe nach den Servicearbeiten nur die Schweißkammer evakuiert werden, s Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist der Schweißkammer eine Ausgangsschleusenkammer nachgebaut, die sowohl evakuierbar als ach mit Inert-Gas spülbar ist, und deren Ein- und Austrittsöffnung mit je einer Schleusenklappe verschließbar ist. Um eine Verunreinigung der Inertgas-Atmosphäre in der Schweißkammer bei der Ausbringung der Gehäuse zu verhindern, ist die Ausgangsschleusenkammer 8mit ihren zwei Schleusenklappen vom besonderen Vorteil. io Nach einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung ist dem Stickstoff zum Betrieb der Schweißkammer Helium-Gas zugesetzt. Dieses zugesetzte Heliumgas ist ein Indikator für die Schweißqualität. Ist nämlich ein Gehäuse nach dem Schweißvorgang undicht so strömt das Gas aus und wird mit einem Sensor erfaßt. Eine schnelle Methode zur Qualitätskontrolle ist vorzugsweise bei Stichproben damit gegeben.
Gemäß einem besonderen Merkmal der Erfindung besteht der Servoantrieb aus einem elektronisch 75 gesteuerten Elektromotor, der eine Spindel, vorzugsweise eine Kugelumlaufspindel antreibt. Dieser einfache Antrieb für die Schließung und Öffnung der Elektrode hat sich bestens bewährt. Vor allem durch die Einsteilbarkeit der Geschwindigkeit und auch des Beschleunigungsvorganges kann die Taktfrequenz der Fertigung enorm erhöht werden.
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist die Elektrode über eine Federung vorzugsweise 20 ein Federnpaket vertikal abgestützt. Diese federnde Abstützung hat den Zweck, daß beim eigentlichen Schweißvorgang die Bördelung des Gehäuses praktisch null wird, und die Elektrode minimal nachfahren muß, um eine optimale Verschließung zu ermöglichen.
Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung erfolgt die zur Evakuierung notwendige Abdichtung am rotierenden Spindelteil. Eine derartige Abdichtung ist mit herkömmlichen Maschinenbauelementen durchzu-25 führen, wobei eine hohe Betriebssicherheit gewährleistet ist.
Die Erfindung wird an Hand von Ausführungsbeispielen, die in der Zeichnung dargestellt sind, näher erläutert. Die Fig. 1 zeigt den schematischen Aufbau der Gesamtanlage, Fig. 2 den Schweißkopf mit dem Servoantrieb, Fig. 3 eine evakuierbare Elektrode und Fig. 4 den Bewegungsablauf beim Schweißen.
Gemäß der Fig. 1 besteht die Anlage zum Verschließen der Metallgehäuse aus mehreren Kammern. 30 Das Kernstück dieser Anlage ist die Schweißkammer 1, in der auch der Schweißkopf 2 angeordnet ist.
Da in den Metallgehäusen elektronische Bauteile vorgesehen sind, müssen diese Metallgehäuse in Sauerstoff- und wasserdampffreier Atmosphäre verschlossen werden. Damit diese Atmosphäre gegeben ist, wird die Schweißkammer 1 im Betrieb mit einem Stickstoffüberdruck, gegebenenfalls auch mit einen Unterdrück, betrieben. Der später noch näher beschriebene Schweißkopf 2 besteht aus zueinander 35 bewegbaren Elektroden. Da diese Elektroden in regelmäßigen Abständen gewartet werden müssen, muß die Schweißkammer 1 zwangsweise geöffnet werden. Um nach diesen Wartungsarbeiten wieder eine saubere Atmosphäre in der Schweißkammer 1 für die Schweißung zu erreichen, ist diese evakuierbar. So wird die Schweißkammer nach den Service- oder Wartungsarbeiten dicht verschlossen und evakuiert. Die atmosphärischen Gase werden abgesaugt und anschließend wird die Schweißkammer 1 gegebenenfalls mit 40 inertem Gas gefüllt, sodaß sie wieder in kürzester Zeit betriebsbereit ist.
Der Schweißkammer 1 sind ein Trocknungsofen 3 und eine Vorkammer 4 vorgebaut. Darüber hinaus weist die Schweißkammer 1 auch eine Ausgangsschleusenkammer 5 auf. Sicherlich äußerst wichtig bei dieser Anlage ist es, daß mindestens die Öffnungen der Schweißkammer 1 also die Eintrittsöffnung von der Vorkammer 4 in die Schweißkammer 1 sowie auch die Öffnung von der Schweißkammer 1 in die 45 Austrittsschleusenkammer 5 über Schleusenklappen 6, 7 verschließbar sind. Die Ausgangsschleusenkam-mer 5 ist auch ausgangsseitig mit einer Schleusenklappe 8 versehen. Darüber hinaus ist auch die Verbindungsöffnung von Trocknungsofen 3 zur Vorkammer 4 mit einer Verbindungsschleuse 9 versehen.
Die mit den elektronischen Bauteilen versehenen Metallgehäuse werden im Trocknungsofen 3 getrocknet, in der Vorkammer 4 zwischengelagert, in der Schweißkammer 1 verschlossen und über die Ausgangs-50 Schleusenkammer 5 ausgebracht.
Um in der Schweißkammer 1 immer eine für das Verschließen optimale Atmosphäre zu haben, ist die Schweißkammer 1 an einen Gastrocknungskreislauf angeschlossen.
Gemäß der Fig. 2 weist der Schweißkopf 2 zum Bewegen der Elektrode 10 einen Servoantrieb 11 auf. Im Gehäuse 12 des Schweißkopfes 2 ist über eine Spindellagerung 13 die Spindel 14 gelagert. Außerhalb 55 des Gehäuses 12 ist über einen Antriebsriemen 15 der Servoantrieb 11 mit der Spindel 14 verbunden. Natürlich ist sowohl die Spindellagerung 13 wie auch die Welle des Servoantriebes 11 vakuumabgedichtet.
Die Spindel 14 ist mit einer Spindelmutter 16 versehen, die wiederum über mindestens zwei Bolzen 17 die Elektrode 10 bewegt. Die Bolzen 17 weisen eine Federung 19 auf. Die Federung 18 kann auch ein 3

Claims (10)

  1. AT 402 617 B Federnpaket sein. Mit diesem einfachen Antrieb, der sich durch die Einsteilbarkeit der Geschwindigkeit und des Beschleunigungsvorganges auszeichnet, kann die Taktfrequenz der Fertigung enorm erhöht werden. Um eine noch höhere Gasfreiheit im Innenraum des zu verschließenden Gehäuses zu erhalten, wird kurz vor dem Verschweißen im Schweißkopf 2 bei geschlossenen Elektroden 10 evakuiert. Gemäß Fig. 3 weist dazu sowohl die obere Elektrode 10a als auch die untere Elektrode 10b je einen Kanal 19 zur Absaugung bzw. Evakuierung auf. Das zu verschweißende Metallgehäuse 20 liegt in einer entsprechenden Ausnehmung der unteren ElektrodelOb. Die obere Elektrode 10a weist für die Abdichtung zur zweiten Elektrode 10b einen Dichtring 21 auf. Nach dem Schließen der Elektroden 10a, 10b und vor dem Verschweißen wird evakuiert, diese zusätzliche Evakuierung hat eine deutliche Qualitätsverbesserung gebracht. Gemäß der Fig. 4 ist der Bewegungsablauf im Zuge des Schweiß Vorganges über die Zeit dargestellt. Das Diagramm a zeigt den Kraftaufbau während des Schweißvorganges, das Diagramm b den Federweg der Federung 18, das Diagramm c die Bewegung der Elektrode 10a, das Diagramm d den Bewegungsablauf des Servoantriebes und das Diagrammm e die Summation der Bewegungsabläufe bzw. die Geschwindigkeit des Gesamtsystems. Nach dem Einlegen des Gehäuses 20 mit dem zu verschweißenden Element in der unteren Elektrode 10b wird, wie aus dem Diagramm e ersichtlich der Servoantrieb mit maximaler Geschwindigkeit bis zum ersten Berührungspunkt mit dem zu verschweißenden Element gestartet. Kurz vor Erreichen des Aufsetzpunktes (Diagramm e Punkt 30) wird abgebremst und danach mit reduzierter Geschwindigkeit des Servoantriebes ein Kraftaufbau zwischen den beiden zu verschweißenden Teilen bis zu einer Maximalkraft. Während dieser letzten Phase wird die Federung 18 endgültig gespannt (Diagramm b), wobei die Elektrode 10a die maximale Anpreßkraft im Punkt 31 erreicht hat (Diagramm a). Im Zeitpunkt 32 erfolgt der Schweißvorgang, wobei die Verformung der zu verschweißenden Elemente durch die Federung 18 ausgeglichen wir (Diagramm b Punkt 33) Nach Abschluß des Schweißvorganges erfolgt eine Rückführung der Elektrode in die Ausgangsposition mit maximaler Geschwindigkeit (Diagramm e Position 34). Patentansprüche 1. Anlage zum automatisierten, hermetischen Verschließen von Gehäusen vorzugsweise von Metallgehäusen, in denen insbesondere in Sauerstoff- und wasserdampffreier Atmosphäre befindliche elektronische Bauteile angeordnet sind, wobei eine mit Stickstoffüberdruck oder Unterdrück betriebene Schweißkammer vorgesehen ist, die mindestens einen mit zwei zueinander bewegbaren Elektroden ausgebildeten Schweißkopf und entsprechende Zu- und Abführeinrichtungen für die Gehäuse zum und vom Schweißkopf aufweist, dadurch gekennzeichnet daß die Schweißkammer (1) evakuierbar ist und der Schweißkopf (2) mindestens eine über einen Servoantrieb (11) bewegbare Elektrode (10) aufweist.
  2. 2. Anlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schweißkammer (1) an einen Gastrocknungskreislauf angeschlossen ist.
  3. 3. Anlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß der im Schweißkopf (2) befindliche Schweißraum, der das zum Verschweißen vorgesehene Gehäuse (12) umgibt, bei geschlossenen Elektroden (10a, 10b) evakuierbar ist.
  4. 4. Anlage nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet daß mindestens eine Elektrode (10a, 10b) des Schweißkopfes (2) einen Kanal (19) zur Evakuierung und einen Dichtring (21) für die Abdichtung zur zweiten Elektrode aufweist.
  5. 5. Anlage nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet daß der Schweißkammer (1) ein Trocknungsofen (3) und gegebenenfalls eine nachfolgende Vorkammer (4) zur Zwischenlagerung der zu verschließenden Gehäuse vorgebaut sind, wobei die Eintrittsöffnung in die Schweißkammer (1) über eine Schleusenklappe (6) verschließbar ist.
  6. 6. Anlage nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet daß der Schweißkammer (1) eine Ausgangsschleusenkammer (5) nachgebaut ist, die sowohl evakuierbar als auch mit Inert-Gas spülbar ist, und deren Ein- und Austrittsöffnung mit je einer Schleusenklappe (7, 8) verschließbar ist. 4 AT 402 617 B
  7. 7. Anlage nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß dem Stickstoff zum Betrieb der Schweißkammer (1) Helium-Gas zugesetzt ist.
  8. 8. Anlage nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Servoantrieb (11) aus einem elektronisch gesteuerten Elektromotor, der eine Spindel (14), vorzugsweise eine Kugeiumlaufspindel antreibt, besteht.
  9. 9. Anlage nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet daß die Elektrode (10) über eine Federung (19), vorzugsweise ein Federnpaket vertikal abgestützt ist.
  10. 10. Anlage nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Evakuierung notwendige Abdichtung am rotierenden Spindelteil erfolgt. Hiezu 4 Blatt Zeichnungen 5
AT0117095A 1995-07-11 1995-07-11 Anlage zum automatisierten, hermetischen anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen verschliessen von gehäusen AT402617B (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT0117095A AT402617B (de) 1995-07-11 1995-07-11 Anlage zum automatisierten, hermetischen anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen verschliessen von gehäusen
EP96921811A EP0837751A1 (de) 1995-07-11 1996-07-11 Anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen
AU62930/96A AU6293096A (en) 1995-07-11 1996-07-11 System for automated hermetic sealing of casings
PCT/AT1996/000121 WO1997002920A1 (de) 1995-07-11 1996-07-11 Anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT0117095A AT402617B (de) 1995-07-11 1995-07-11 Anlage zum automatisierten, hermetischen anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen verschliessen von gehäusen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
ATA117095A ATA117095A (de) 1996-11-15
AT402617B true AT402617B (de) 1997-07-25

Family

ID=3508128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT0117095A AT402617B (de) 1995-07-11 1995-07-11 Anlage zum automatisierten, hermetischen anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen verschliessen von gehäusen

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0837751A1 (de)
AT (1) AT402617B (de)
AU (1) AU6293096A (de)
WO (1) WO1997002920A1 (de)

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8362075B2 (en) 2005-05-17 2013-01-29 Merck Sharp & Dohme Corp. Cyclohexyl sulphones for treatment of cancer
GB0603041D0 (en) 2006-02-15 2006-03-29 Angeletti P Ist Richerche Bio Therapeutic compounds
US8173629B2 (en) 2006-09-22 2012-05-08 Merck Sharp & Dohme Corp. Method of treatment using fatty acid synthesis inhibitors
PL2109608T3 (pl) 2007-01-10 2011-08-31 Msd Italia Srl Indazole podstawione grupą amidową jako inhibitory polimerazy poli(ADP-rybozy)-(PARP)
CN101679266B (zh) 2007-03-01 2015-05-06 诺华股份有限公司 Pim激酶抑制剂及其应用方法
CN101754965B (zh) 2007-05-21 2014-03-19 诺华股份有限公司 Csf-1r抑制剂、组合物及使用方法
CA2690191C (en) 2007-06-27 2015-07-28 Merck Sharp & Dohme Corp. 4-carboxybenzylamino derivatives as histone deacetylase inhibitors
WO2010114780A1 (en) 2009-04-01 2010-10-07 Merck Sharp & Dohme Corp. Inhibitors of akt activity
EP2440058A4 (de) 2009-06-12 2012-11-21 Dana Farber Cancer Inst Inc Verschmolzene heterozyklische verbindungen und anwendungen davon
MY174452A (en) 2009-10-14 2020-04-19 Schering Corp Substituted piperidines that increase p53 activity and the uses thereof
EP2547661A2 (de) 2010-03-16 2013-01-23 Dana-Farber Cancer Institute, Inc. Indazolverbindungen und ihre verwendung
WO2011163330A1 (en) 2010-06-24 2011-12-29 Merck Sharp & Dohme Corp. Novel heterocyclic compounds as erk inhibitors
CN107090456B (zh) 2010-08-02 2022-01-18 瑟纳治疗公司 使用短干扰核酸的RNA干扰介导的联蛋白(钙粘蛋白关联蛋白质),β1基因表达的抑制
RU2624045C2 (ru) 2010-08-17 2017-06-30 Сирна Терапьютикс,Инк ОПОСРЕДУЕМОЕ РНК-ИНТЕРФЕРЕНЦИЕЙ ИНГИБИРОВАНИЕ ЭКСПРЕССИИ ГЕНОВ ВИРУСА ГЕПАТИТА B (HBV) С ПРИМЕНЕНИЕМ МАЛОЙ ИНТЕРФЕРИРУЮЩЕЙ НУКЛЕИНОВОЙ КИСЛОТЫ (миНК)
EP2608669B1 (de) 2010-08-23 2016-06-22 Merck Sharp & Dohme Corp. Neue pyrazolo-[1,5-a-]pyrimidinderivate als mtor-hemmer
US8946216B2 (en) 2010-09-01 2015-02-03 Merck Sharp & Dohme Corp. Indazole derivatives useful as ERK inhibitors
EP2615916B1 (de) 2010-09-16 2017-01-04 Merck Sharp & Dohme Corp. Kondensierte pyrazolderivate als neue erk-hemmer
EP3766975A1 (de) 2010-10-29 2021-01-20 Sirna Therapeutics, Inc. Rna-interferenz-vermittelte inhibition von genexpression unter verwendung kurzer interferierender nukleinsäure (sina)
WO2012087772A1 (en) 2010-12-21 2012-06-28 Schering Corporation Indazole derivatives useful as erk inhibitors
IN2013MN02170A (de) 2011-04-21 2015-06-12 Piramal Entpr Ltd
EP2770987B1 (de) 2011-10-27 2018-04-04 Merck Sharp & Dohme Corp. Neue verbindungen als erk-hemmer
WO2013165816A2 (en) 2012-05-02 2013-11-07 Merck Sharp & Dohme Corp. SHORT INTERFERING NUCLEIC ACID (siNA) COMPOSITIONS
AU2013323508B2 (en) 2012-09-28 2017-11-02 Merck Sharp & Dohme Corp. Novel compounds that are ERK inhibitors
US9758522B2 (en) 2012-10-19 2017-09-12 Dana-Farber Cancer Institute, Inc. Hydrophobically tagged small molecules as inducers of protein degradation
PT2925888T (pt) 2012-11-28 2017-12-13 Merck Sharp & Dohme Composições e métodos para tratamento do cancro
CA2895504A1 (en) 2012-12-20 2014-06-26 Merck Sharp & Dohme Corp. Substituted imidazopyridines as hdm2 inhibitors
WO2014120748A1 (en) 2013-01-30 2014-08-07 Merck Sharp & Dohme Corp. 2,6,7,8 substituted purines as hdm2 inhibitors
EP3041938A1 (de) 2013-09-03 2016-07-13 Moderna Therapeutics, Inc. Kreisförmige polynukleotide
JO3589B1 (ar) 2014-08-06 2020-07-05 Novartis Ag مثبطات كيناز البروتين c وطرق استخداماتها
WO2016160617A2 (en) 2015-03-27 2016-10-06 Dana-Farber Cancer Institute, Inc. Inhibitors of cyclin-dependent kinases
JOP20190055A1 (ar) 2016-09-26 2019-03-24 Merck Sharp & Dohme أجسام مضادة ضد cd27
EP3525785A4 (de) 2016-10-12 2020-03-25 Merck Sharp & Dohme Corp. Kdm5-inhibitoren
CN110650976B (zh) 2017-04-13 2024-04-19 赛罗帕私人有限公司 抗SIRPα抗体
EP3706747A4 (de) 2017-11-08 2021-08-04 Merck Sharp & Dohme Corp. Prmt5-inhibitoren
US10947234B2 (en) 2017-11-08 2021-03-16 Merck Sharp & Dohme Corp. PRMT5 inhibitors
WO2019148412A1 (en) 2018-02-01 2019-08-08 Merck Sharp & Dohme Corp. Anti-pd-1/lag3 bispecific antibodies
EP3833668A4 (de) 2018-08-07 2022-05-11 Merck Sharp & Dohme Corp. Prmt5-inhibitoren
US11981701B2 (en) 2018-08-07 2024-05-14 Merck Sharp & Dohme Llc PRMT5 inhibitors
WO2024180169A1 (en) 2023-03-02 2024-09-06 Carcimun Biotech Gmbh Means and methods for diagnosing cancer and/or an acute inflammatory disease

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3190952A (en) * 1963-02-21 1965-06-22 Bitko Sheldon Welded hermetic seal
JPS59147785A (ja) * 1983-02-09 1984-08-24 Origin Electric Co Ltd 抵抗溶接方法
FI76220C (fi) * 1984-09-17 1988-09-09 Elkotrade Ag Foerfarande foer inkapsling av pao ett baerarband anordnade halvledarkomponenter.

Also Published As

Publication number Publication date
WO1997002920A1 (de) 1997-01-30
ATA117095A (de) 1996-11-15
EP0837751A1 (de) 1998-04-29
AU6293096A (en) 1997-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT402617B (de) Anlage zum automatisierten, hermetischen anlage zum automatisierten, hermetischen verschliessen von gehäusen verschliessen von gehäusen
DE2624156C1 (de) Einrichtung zur Behandlung von flachen Werkstücken mit Strömungsitteln
DE2609115C2 (de) Vakuum-Zerstäubungsvorrichtung
DE3105831C2 (de) Vorrichtung zur Elektronenstrahl-Bearbeitung von Metallwerkstücken
EP1481429B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum einfüllen flüchtiger flüssigkeiten in gehäuse elektrischer bauelemente und zum verschliessen der gehäuse
DE69937483T2 (de) Vakuumvorrichtung
DE3508004A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum reinigen von formen
DE3507337A1 (de) Vorrichtung zur durchfuehrung von prozessen im vakuum
DE2544533A1 (de) Lagervorrichtung zur vorratshaltung von probenbehaeltern
EP0689904A1 (de) Glovebox
DE10225607A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
DE19626861B4 (de) Vakuumbehandlungsanlage zum Aufbringen dünner Schichten auf Substrate, beispielsweise auf Scheinwerferreflektoren
EP2913573A1 (de) Vakuumventil
EP0837154A1 (de) Vakuumbeschichtungsanlage
EP3733536A1 (de) Schalenverschliessmaschine
EP0492114A1 (de) Zerstäubungsanlage
DE3343193A1 (de) Gas-wolfram-bogenschweissvorrichtung
EP1429885B1 (de) Werkstückzufuhrvorrichtung für eine elektronenstrahlbearbeitungsvorrichtung
DE4110118C2 (de) Gaspistole für ein Ionenstrahlbearbeitungsgerät und deren Verwendung
DE3526676C2 (de)
EP0622301B1 (de) Evakuiervorrichtung
EP4358286A1 (de) Füllkopf
WO2010063436A1 (de) Vorrichtung zur bearbeitung von werkstücken unter vakuum mit einem relativ zu dem gehäuse drehbaren gehäuseboden
EP0639441A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ausschäumen von Gehäusen mit FCKW-freien Polyurethan-Schaumstoffen
DE4405500C2 (de) Einrichtung zur Durchführung elektronenstrahltechnologischer Prozesse im Vakuum

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties
EIH Change in the person of patent owner
ELJ Ceased due to non-payment of the annual fee