[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

NL179434B - Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting, omvattende een halfgeleiderlichaam met een door een dunne isolerende laag van het halfgeleiderlichaam gescheiden geleidende stuurelektrode. - Google Patents

Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting, omvattende een halfgeleiderlichaam met een door een dunne isolerende laag van het halfgeleiderlichaam gescheiden geleidende stuurelektrode.

Info

Publication number
NL179434B
NL179434B NLAANVRAGE7314576,A NL7314576A NL179434B NL 179434 B NL179434 B NL 179434B NL 7314576 A NL7314576 A NL 7314576A NL 179434 B NL179434 B NL 179434B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
semiconductor body
manufacturing
insulating layer
semiconductor
device containing
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7314576,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL179434C (nl
NL7314576A (nl
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL7314576A publication Critical patent/NL7314576A/xx
Publication of NL179434B publication Critical patent/NL179434B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL179434C publication Critical patent/NL179434C/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
    • H01L21/32—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/106—Masks, special
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00—Metal treatment
    • Y10S148/141—Self-alignment coat gate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
NLAANVRAGE7314576,A 1972-10-27 1973-10-23 Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting, omvattende een halfgeleiderlichaam met een door een dunne isolerende laag van het halfgeleiderlichaam gescheiden geleidende stuurelektrode. NL179434C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP47107222A JPS5910073B2 (ja) 1972-10-27 1972-10-27 シリコン・ゲ−トｍｏｓ型半導体装置の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7314576A NL7314576A (nl) 1974-05-01
NL179434B true NL179434B (nl) 1986-04-01
NL179434C NL179434C (nl) 1986-09-01

Family

ID=14453572

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7314576,A NL179434C (nl) 1972-10-27 1973-10-23 Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting, omvattende een halfgeleiderlichaam met een door een dunne isolerende laag van het halfgeleiderlichaam gescheiden geleidende stuurelektrode.

Country Status (10)

Country Link
US (1) US3906620A (nl)
JP (1) JPS5910073B2 (nl)
CA (1) CA1032659A (nl)
DE (1) DE2352331A1 (nl)
FR (1) FR2204892B1 (nl)
GB (1) GB1428713A (nl)
HK (1) HK30179A (nl)
IT (1) IT998866B (nl)
MY (1) MY7900036A (nl)
NL (1) NL179434C (nl)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2554450A1 (de) * 1975-12-03 1977-06-16 Siemens Ag Verfahren zur herstellung einer integrierten schaltung
JPS5293278A (en) * 1976-01-30 1977-08-05 Matsushita Electronics Corp Manufacture for mos type semiconductor intergrated circuit
US4553314B1 (en) * 1977-01-26 2000-04-18 Sgs Thomson Microelectronics Method for making a semiconductor device
IT1089299B (it) * 1977-01-26 1985-06-18 Mostek Corp Procedimento per fabbricare un dispositivo semiconduttore
DE2858815C2 (de) * 1977-01-26 1996-01-18 Sgs Thomson Microelectronics Verfahren zur Ausbildung eines Feldeffekttransistors in einer Halbleitervorrichtung
US4259779A (en) * 1977-08-24 1981-04-07 Rca Corporation Method of making radiation resistant MOS transistor
US4240196A (en) * 1978-12-29 1980-12-23 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Fabrication of two-level polysilicon devices
DE2902665A1 (de) * 1979-01-24 1980-08-07 Siemens Ag Verfahren zum herstellen von integrierten mos-schaltungen in silizium-gate- technologie
US4287661A (en) * 1980-03-26 1981-09-08 International Business Machines Corporation Method for making an improved polysilicon conductor structure utilizing reactive-ion etching and thermal oxidation
US4667395A (en) * 1985-03-29 1987-05-26 International Business Machines Corporation Method for passivating an undercut in semiconductor device preparation
JPH01235254A (ja) * 1988-03-15 1989-09-20 Nec Corp 半導体装置及びその製造方法
US5550069A (en) * 1990-06-23 1996-08-27 El Mos Electronik In Mos Technologie Gmbh Method for producing a PMOS transistor
US6780718B2 (en) 1993-11-30 2004-08-24 Stmicroelectronics, Inc. Transistor structure and method for making same
KR970003837B1 (en) * 1993-12-16 1997-03-22 Lg Semicon Co Ltd Fabrication of mosfet
JP2001291861A (ja) * 2000-04-05 2001-10-19 Nec Corp Ｍｏｓトランジスタ、トランジスタ製造方法
US8435873B2 (en) * 2006-06-08 2013-05-07 Texas Instruments Incorporated Unguarded Schottky barrier diodes with dielectric underetch at silicide interface
KR101163224B1 (ko) * 2011-02-15 2012-07-06 에스케이하이닉스 주식회사 듀얼 폴리게이트 형성방법 및 이를 이용한 반도체소자의 제조방법

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB967002A (en) * 1961-05-05 1964-08-19 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to semiconductor devices
NL131898C (nl) * 1965-03-26
NL6617141A (nl) * 1966-02-11 1967-08-14 Siemens Ag
US3764865A (en) * 1970-03-17 1973-10-09 Rca Corp Semiconductor devices having closely spaced contacts
US3798752A (en) * 1971-03-11 1974-03-26 Nippon Electric Co Method of producing a silicon gate insulated-gate field effect transistor
CA910506A (en) * 1971-06-25 1972-09-19 Bell Canada-Northern Electric Research Limited Modification of channel regions in insulated gate field effect transistors
US3775191A (en) * 1971-06-28 1973-11-27 Bell Canada Northern Electric Modification of channel regions in insulated gate field effect transistors
JPS5340762B2 (nl) * 1974-07-22 1978-10-28

Also Published As

Publication number Publication date
IT998866B (it) 1976-02-20
GB1428713A (en) 1976-03-17
NL179434C (nl) 1986-09-01
FR2204892B1 (nl) 1976-10-01
DE2352331A1 (de) 1974-05-16
MY7900036A (en) 1979-12-31
FR2204892A1 (nl) 1974-05-24
US3906620A (en) 1975-09-23
NL7314576A (nl) 1974-05-01
CA1032659A (en) 1978-06-06
HK30179A (en) 1979-05-18
JPS4966074A (nl) 1974-06-26
JPS5910073B2 (ja) 1984-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL179434C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting, omvattende een halfgeleiderlichaam met een door een dunne isolerende laag van het halfgeleiderlichaam gescheiden geleidende stuurelektrode.
NL164379B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elektrisch geleidende buis van polytetrafluoretheen.
NL145087B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van elektrisch contactmateriaal, alsmede elektrisch contact vervaardigd door toepassing van deze werkwijze.
NL182999C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting, waarbij in een halfgeleiderlichaam een begraven laag van isolerend materiaal wordt gevormd.
NL175772C (nl) Veldeffectgeheugentransistor met geisoleerde stuurelektrode die door een samengestelde isolatielaag wordt gescheiden van de kanaalzone.
NL173105C (nl) Halfgeleidergeheugenelement bevattende een ladingsopslagelement in de vorm van een zwevende geleidende laag, die door een isolerende laag van een halfgeleiderlichaam is gescheiden.
NL164424C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffect- transistor met een geisoleerde stuurelektrode, waarbij een door een tegen oxydatie maskerende laag vrijgelaten deel van het oppervlak van een siliciumlichaam aan een oxydatiebehandeling wordt onderworpen ter verkrijging van een althans gedeeltelijk in het siliciumlichaam verzonken siliciumoxydelaag.
NL152713B (nl) Elektrisch verbindingsorgaan voor het door middel van een enkele handeling elektrisch verbinden van de elektrisch geleidende kernen van geisoleerde draden.
NL150273B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een cryogene dunne lagenschakeling met ten minste een cryotron.
NL184267C (nl) Glasemailweerstandmateriaal, elektrische weerstand, die dit materiaal bevat, en werkwijze voor het vervaardigen van deze weerstand.
NL152029B (nl) Werkwijze en inrichting voor het opstuiven van dunne lagen vast materiaal, in het bijzonder elektrische weerstandslagen voor geintegreerde schakelingen, alsmede dragerlichaam voorzien van een aldus aangebrachte laag.
NL173113C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffecttransistor met een geisoleerde stuurelektrode van polykristallijn silicium.
NL144758B (nl) Werkwijze voor het prepareren van een dunne isolerende film, alsmede een dunne, zo nodig door een drager ondersteunde, isolerende film, verkregen volgens deze werkwijze.
NL161306C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van veldeffecttransis- toren met geisoleerde stuurelektrode.
NL149859B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting met een ohms contact, alsmede halfgeleiderinrichting, vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL185432C (nl) Halfgeleidercondensator, omvattende een halfgeleidersubstraat, voorzien van een elektrodegebied dat zich uitstrekt langs een van groeven voorzien deel van een oppervlak van het halfgeleidersubstraat.
NL161922B (nl) Halfgeleiderinrichting bevattende een halfgeleider- lichaam met twee onderling gescheiden delen van een halfgeleiderschakelelement, die grenzen aan een opper- vlak van het halfgeleiderlichaam, en een door een isolerende laag van het oppervlak gescheiden elektrisch geleidende laag tegenover het halfgeleiderlichaam tussen de twee delen.
NL169120B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een elektrisch element en element verkregen volgens deze werkwijze.
NL173662C (nl) Elektrode voor elektrochemische processen.
NL161304C (nl) Halfgeleiderinrichting met een laagvormig gebied en een door een isolerendelaag van het laagvormig gebied gescheiden elektrodelaag, zodat bij het aanleggen van een geschikte potentiaal op de elektrodelaag in het laagvormig gebied een uitputtingszone wordt gevormd.
NL177263B (nl) Halfgeleiderinrichting voorzien van onderling gescheiden elektroden die zijn gevormd uit een samengestelde elektrodelaag.
NL155399B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van veldeffecttransistoren met geisoleerde stuurelektrode, alsmede aldus vervaardigde veldeffecttransistoren.
NL160988B (nl) Halfgeleiderinrichting met een halfgeleiderlichaam, be- vattende ten minste een eerste veldeffecttransistor met geisoleerde stuurelektrode en werkwijze voor de vervaar- diging van de halfgeleiderinrichting.
NL145730B (nl) Elektrische keten voorzien van een veldeffecttransistor met geisoleerde poortelektrode, alsmede een werkwijze voor het vervaardigen van een veldeffecttransistor en een volgens deze werkwijze vervaardigde veldeffecttransistor.
NL174304C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, die uit complementaire veldeffecttransistors met een geisoleerde stuurelektrode is samengesteld.

Legal Events

Date Code Title Description
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
V4 Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent