Methylsilan

Methylsilan kann in quantitativer Ausbeute durch Umsetzung von Monochlorsilan mit einem Überschuss von Dimethylzink hergestellt werden.^[2]

${\displaystyle \mathrm {SiH_{3}Cl+\ Zn(CH_{3})_{2}\ {\xrightarrow[{}]{}}\ Si(CH_{3})H_{3}\ +\ ClZnCH_{3}} }$ 

Methylsilan ist ein extrem entzündbares, farbloses Gas (Flammpunkt ≤ −30 °C) mit widerlichem Geruch. Es ist schwerer als Luft (relative Gasdichte= 1,606), bildet mit Luft explosive Gemische (untere Explosionsgrenze bei 1,3 Vol.-% bzw. 25 g·m⁻³, obere Explosionsgrenze bei 88,9 Vol.-% bzw. 1705 g·m⁻³) und kann sich an der Luft selbst entzünden. Die Zündtemperatur wurde mit 160 °C bestimmt.^[3] Der Stoff fällt somit in die Temperaturklasse T4. Es zersetzt sich bei Erhitzung.^[1]

Methylsilan wird bei der chemischen Gasphasenepitaxie (VPE) von Germanium-dotierten Siliciumcarbidschichten (Ge:SiC) verwendet.^[4]

• Dimethylsilan
• Trimethylsilan
• Tetramethylsilan

1. ↑ ^{a b c d e f g h i j k} Eintrag zu Methylsilan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 8. Januar 2021. (JavaScript erforderlich)
2. ↑ Alfred Stock, Carl Somieski: Siliciumwasserstoffe VI.: Chlorierung und Methylierung des Monosilans. In: Berichte der deutschen chemischen Gesellschaft (A and B Series). Band 52, Nr. 4, 12. April 1919, S. 695, doi:10.1002/cber.19190520410. 
3. ↑ Chemsafe Datenbank für sicherheitstechnische Kenngrößen im Explosionsschutz, PTB Braunschweig/BAM Berlin, abgerufen am 7. Januar 2024.
4. ↑ Airliquide: Methylsilane