5um软打标P2P高性能调Q纳秒激光器

Vivio 调 Q纳秒激光器采用一体化概念，配备了完全集成的单板电源和控制电子设备。不仅具备独特超洁净紫外线技术，还集成了闭环空气净化系统，确保了超长的紫外线寿命，可以离线操作。

• 对脉冲能量具有准确、高速的控制

• 脉冲稳定性

• 脉冲宽度短

• 坚固紧凑的激光一体化设计

• 激光寿命长

• 运行成本低

在晶圆软打标的过程中，激光器的选择和参数设置至关重要。

能量密度、峰值功率和脉宽决定了打标的深度和点径。光斑聚焦在工件表面的形状决定了点的圆度，而激光脉冲能量的稳定性P2P (pulse to pulse stability)是关键因素，微小的能量变化也可能会影响标记的质量。
Iradion 的 Nanio 系列和 Vivio系列激光器具有 P2P 性能，可真实达到 2％ 以内，是业界头部水平。5um深度的软打标，深度误差仅 ±0.1um
合理选择激光器及其参数，可以有效提升打标质量和生产效率，确保半导体产品的可追溯性和质量控制。