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低真空SEMとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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低真空SEM　LVSEM: low-vacuum SEM,Natural SEM,Wet SEM

試料室の圧力を数十〜数百 Paまで上げられるようにしたSEM。残留ガス分子と電子の衝突によって出来るプラスイオンを利用して帯電を中和し、非導電性試料を無コーティング観察することができる。このほか、ガス放出が非常に多い試料の観察、含水試料の簡易凍結観察などにも用いられる。電子光学系と試料室の間にはオリフィスを置いて、差動排気を行うほか、通常の二次電子検出器だと放電を起こす可能性があるので、反射電子検出器やガス増幅を用いた特殊な二次電子検出器（ESD）を用いる。Natural SEM、Wet SEMといった商品名で呼ばれることもある。
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