井式/立式真空炉主要用于半体器件烧结、封焊,太阳能电池片烘、焊接金属化管壳等密性封装,璃容器的烧结各种零件氢氮保护下进行的工艺
。
井式真空炉主要技术参数
u真空室工位数:1-3位
u真空度:1Pa,加扩散为5x10-3Pa
u工作度:<1000℃
u充的最高:0.3Mpa(可)
u不锈钢内胆:Φ150-Φ350x1300mm(用户自定)
u恒区:600-1200mm±1℃
u方式:三点三段采用原装进口高精度仪
u曲线:9段升降/999小时
u工作方式:自动手动自由转换
u单点精度:±1℃/24h
u正、负采用数字显示
u可多工位同时工作