Processo planar
O processo planar é um processo de fabricação usado na indústria de semicondutores para construir componentes individuais de um transistor e, por sua vez, conectar esses transistores. É o principal processo pelo qual os chips de circuito integrado de silício são construídos e é o método mais comumente usado para produzir junções durante a fabricação de dispositivos semicondutores.[1] O processo utiliza os métodos de passivação de superfície e oxidação térmica. O processo planar foi desenvolvido na Fairchild Semiconductor em 1959. O processo planar provou ser um dos avanços mais importantes na tecnologia de semicondutores.[1]
- ↑ a b Butterfield, Andrew J.; Szymanski, John, eds. (2018). A Dictionary of Electronics and Electrical Engineering (em inglês). 1. [S.l.]: Oxford University Press. ISBN 978-0-19-872572-5. doi:10.1093/acref/9780198725725.001.0001
