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WO2014027585A1 - アクチュエータ - Google Patents

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Publication number
WO2014027585A1
WO2014027585A1 PCT/JP2013/071242 JP2013071242W WO2014027585A1 WO 2014027585 A1 WO2014027585 A1 WO 2014027585A1 JP 2013071242 W JP2013071242 W JP 2013071242W WO 2014027585 A1 WO2014027585 A1 WO 2014027585A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
side chamber
piston
actuator
pressure
valve
Prior art date
Application number
PCT/JP2013/071242
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
貴之 小川
Original Assignee
カヤバ工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by カヤバ工業株式会社 filed Critical カヤバ工業株式会社
Priority to KR1020147033492A priority Critical patent/KR101683358B1/ko
Priority to US14/407,474 priority patent/US9677579B2/en
Priority to EP13879378.1A priority patent/EP2848820A4/en
Priority to CN201380030553.5A priority patent/CN104364534B/zh
Priority to CA2878144A priority patent/CA2878144C/en
Publication of WO2014027585A1 publication Critical patent/WO2014027585A1/ja
Priority to IN546KON2015 priority patent/IN2015KN00546A/en

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • F15B2211/7051—Linear output members
    • F15B2211/7053—Double-acting output members

Definitions

  • the present invention relates to an actuator.
  • the actuator is used, for example, between a vehicle body and a carriage in order to suppress left-right vibration with respect to the traveling direction of the vehicle body in a railway vehicle.
  • JP2010-65797A includes a cylinder, a piston that is slidably inserted into the cylinder, a rod that is inserted into the cylinder and connected to the piston, a rod side chamber and a piston side chamber partitioned by the piston in the cylinder, A first open / close valve provided in the middle of the first passage that communicates the rod side chamber and the piston side chamber, and a second passage provided in the middle of the second passage that communicates the piston side chamber and the tank.
  • An actuator comprising an on-off valve, a pump for supplying liquid to the rod side chamber, a motor for driving the pump, a discharge passage for connecting the rod side chamber to the tank, and a variable relief valve provided in the middle of the discharge passage is disclosed. ing.
  • the direction of thrust to be output is determined by appropriately opening and closing the first on-off valve and the second on-off valve, and the pump is rotated at a constant speed by a motor to supply a constant flow rate into the cylinder.
  • the pressure in the cylinder by adjusting the relief pressure of the variable relief valve, it is possible to output a desired magnitude of thrust in the desired direction.
  • Such an actuator requires a variable relief valve in order to control the magnitude of thrust.
  • the variable relief valve is large in size because of its very complicated structure, and also requires a driver (drive device) for driving. For this reason, there exists a problem that an actuator becomes large-sized and the mounting property to a rail vehicle etc. is bad, the whole cost is high and it is uneconomical.
  • the present invention aims to provide a small and low-cost actuator.
  • an actuator includes a cylinder, a piston that is slidably inserted into the cylinder, a rod that is inserted into the cylinder and connected to the piston, and the piston is inserted into the cylinder.
  • FIG. 1 is a circuit diagram of an actuator according to this embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating pressure flow characteristics in the passive valve according to the present embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a current loop according to the present embodiment.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between the thrust of the actuator and the torque of the motor according to the present embodiment.
  • the actuator 1 includes a cylinder 2, a piston 3 that is slidably inserted into the cylinder 2, and a rod 4 that is inserted into the cylinder 2 and connected to the piston 3. And a first open / close valve 9 provided in the middle of a first passage 8 communicating with the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6, which is partitioned in the cylinder 2 by the piston 3.
  • a second on-off valve 11 provided in the middle of a second passage 10 communicating the piston side chamber 6 and the tank 7, a pump 12 for supplying a working fluid to the rod side chamber 5, and a motor 15 for driving the pump 12
  • a discharge passage 18 for connecting the rod side chamber 5 to the tank 7 and a passive valve 19 provided in the middle of the discharge passage 18, and configured as a single rod type actuator. That.
  • the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 are filled with working fluid such as working oil as working fluid, and the tank 7 is filled with gas in addition to working fluid.
  • the working fluid used for the operation of the actuator 1 may be a gas in addition to the above liquid.
  • the tank 7 does not need to be pressurized by compressing and filling the gas.
  • the first opening / closing valve 9 brings the first passage 8 into communication and the second opening / closing valve 11 is closed, and the pump 12 is driven by the motor 15 to supply the working fluid into the cylinder 2. In this way, it is driven to extend. Further, the actuator 1 causes the second on-off valve 11 to communicate with the second passage 10 and close the first on-off valve 9, drives the pump 12 with the motor 15, and supplies the working fluid into the cylinder 2. By supplying, it is driven to contract.
  • the cylinder 2 has a cylindrical shape, the right end in FIG. 1 is closed by a lid 13, and an annular rod guide 14 is attached to the left end in FIG.
  • a rod 4 that is movably inserted into the cylinder 2 is slidably inserted into the rod guide 14.
  • the rod 4 has one end protruding outside the cylinder 2 and the other end connected to a piston 3 slidably inserted into the cylinder 2.
  • a space between the outer periphery of the rod 4 and the rod guide 14 is sealed by a seal member (not shown), whereby the inside of the cylinder 2 is maintained in a sealed state.
  • the rod-side chamber 5 and the piston-side chamber 6 partitioned in the cylinder 2 by the piston 3 are filled with working oil as the working fluid as described above.
  • the cross-sectional area of the rod 4 is halved of the cross-sectional area of the piston 3, and the pressure receiving area of the piston 3 on the rod side chamber 5 side becomes half of the pressure receiving area on the piston side chamber 6 side. ing. For this reason, if the pressure in the rod side chamber 5 is the same during the extension driving and the contraction driving, the thrust generated in both expansion and contraction becomes equal, and the flow rate relative to the displacement amount of the actuator 1 is the same on both expansion and contraction.
  • the actuator 1 when the actuator 1 is driven to extend, the rod-side chamber 5 and the piston-side chamber 6 are in communication with each other, so that the pressure in the rod-side chamber 5 and the piston-side chamber 6 becomes equal, and the rod-side chamber 5 in the piston 3 is equal.
  • a thrust is generated by multiplying the pressure receiving area difference between the piston side chamber 6 side and the piston side chamber 6 side by the above pressure.
  • the actuator 1 when the actuator 1 is driven to contract, the communication between the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 is cut off and the piston side chamber 6 is in communication with the tank 7, so that the pressure in the rod side chamber 5 and the rod in the piston 3 Thrust is generated by multiplying the pressure receiving area on the side chamber 5 side.
  • the thrust generated by the actuator 1 is a value obtained by multiplying a half of the cross-sectional area of the piston 3 by the pressure in the rod side chamber 5 in both expansion and contraction. Therefore, when the thrust of the actuator 1 is controlled, both the extension drive and the contraction drive may be adjusted to the pressure aimed at the rod side chamber 5. Since the pressure receiving area on the rod side chamber 5 side of the piston 3 is set to one half of the pressure receiving area on the piston side chamber 6 side, when the same thrust is generated on both sides of the expansion and contraction, the rod side chambers on the expansion side and the contraction side. The pressure of 5 becomes the same, and the control becomes simple.
  • a lid 13 that closes the left end of the rod 4 in FIG. 1 and the right end of the cylinder 2 includes a mounting portion (not shown) so that the actuator 1 can be interposed between the vehicle body and the axle of the vehicle. ing.
  • the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 communicate with each other by a first passage 8, and a first opening / closing valve 9 is provided in the middle of the first passage 8.
  • the first passage 8 communicates the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 outside the cylinder 2 but may be provided in the piston 3.
  • the first on-off valve 9 is an electromagnetic on-off valve.
  • the first on-off valve 9 includes a valve 9a having a communication position 9b and a cutoff position 9c, a spring 9d that urges the valve 9a so as to take the cutoff position 9c, and a valve 9a that communicates with the spring 9d when energized. And a solenoid 9e for switching to the position 9b.
  • the valve 9a of the first on-off valve 9 is in the communication position 9b, the first passage 8 is opened and the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 communicate with each other.
  • the valve 9a of the first on-off valve 9 is in the cutoff position 9c, the communication between the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 is blocked.
  • the piston side chamber 6 and the tank 7 are communicated with each other by a second passage 10, and a second opening / closing valve 11 is provided in the middle of the second passage 10.
  • the second on-off valve 11 is an electromagnetic on-off valve.
  • the second on-off valve 11 includes a valve 11a having a communication position 11b and a cutoff position 11c, a spring 11d that urges the valve 11a so as to take the cutoff position 11c, and a valve 11a that opposes the spring 11d when energized. And a solenoid 11e for switching to the position 11b.
  • the valve 11a of the second on-off valve 11 When the valve 11a of the second on-off valve 11 is in the communication position 11b, the second passage 10 is opened and the piston-side chamber 6 and the tank 7 communicate with each other.
  • the valve 11a of the second on-off valve 11 is in the cutoff position 11c, the communication between the piston side chamber 6 and the tank 7 is blocked.
  • the pump 12 is driven by a motor 15 and discharges hydraulic oil only in one direction.
  • the discharge port of the pump 12 communicates with the rod side chamber 5 through the supply passage 16, and the suction port communicates with the tank 7.
  • the motor 15 is driven to rotate by receiving a current supply from the controller C.
  • the motor 15 that is a drive source for driving the pump 12 does not require switching of the rotation direction, and thus high responsiveness to the rotation direction switching is required.
  • an inexpensive motor 15 can be used correspondingly.
  • a check valve 17 for preventing the backflow of hydraulic oil from the rod side chamber 5 to the pump 12 is provided in the supply passage 16.
  • the rod side chamber 5 and the tank 7 are connected through a discharge passage 18.
  • a passive valve 19 having a predetermined pressure flow rate characteristic for the working fluid flowing from the rod side chamber 5 to the tank 7 is provided.
  • the passive valve 19 includes a valve body 19a and a spring 19b that urges the valve body 19a from the back side.
  • the flow of the hydraulic oil is predetermined. Give resistance.
  • the passive valve 19 has a pressure flow characteristic in which the pressure loss is uniquely determined with respect to the flow rate passing therethrough.
  • the valve body 19a is opened and the spring 19b is contracted with the upstream pressure to increase the degree of opening, that is, the flow passage area is increased, this is indicated by the line A in FIG.
  • the pressure increases at a constant slope with respect to the flow rate.
  • the flow passage area does not increase any more, and therefore, the characteristic is slightly smaller than the line A as shown by the line B in FIG.
  • the pressure flow characteristics of the passive valve 19 are not limited to the characteristics shown in FIG. 2, and may be any characteristics in which the pressure loss is uniquely determined with respect to the flow rate.
  • the actuator 1 is provided with a rectifying passage 20 that allows only the flow of hydraulic oil from the piston side chamber 6 toward the rod side chamber 5 and a suction passage 21 that allows only the flow of hydraulic oil from the tank 7 toward the piston side chamber 6. It is done.
  • the thrust on both sides of the actuator 1 can be controlled by controlling the pressure in the rod side chamber 5 as described above.
  • the first opening / closing valve 9 is set to the communication position 9b
  • the second opening / closing valve 11 is set to the cutoff position 11c
  • the motor 15 is driven to drive the cylinder from the pump 12 to the cylinder.
  • the cylinder 2 and the tank 7 are placed in a disconnected state, and the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 are in communication with each other, and hydraulic oil is supplied from both to the pump 12.
  • the piston 3 is pushed to the left in FIG. 1, and the actuator 1 is extended.
  • the pressure in the rod side chamber 5 corresponding to the thrust to be output becomes the target pressure.
  • a target pressure is obtained by a calculation process of the controller C.
  • the thrust to be output to the actuator 1 may be input to the controller C from a control device higher than the controller C, or the controller C calculates in accordance with a predetermined control law. You may do it.
  • the pressure flow characteristic of the passive valve 19 shown in FIG. 2 is used.
  • the flow rate that passes through the passive valve 19 is determined from the target pressure, and the hydraulic oil is supplied to the passive valve 19 according to the determined flow rate.
  • the flow rate ⁇ corresponding to the pressure ⁇ is read from the pressure flow characteristic diagram of the passive valve 19 as shown in FIG. Can be obtained.
  • the flow rate corresponding to the target pressure may be obtained by performing map calculation by the controller C using such a pressure flow rate characteristic, or may be obtained by using a function having the target pressure as a parameter. By doing so, the pressure loss at the passive valve 19 becomes equal to the target pressure.
  • the pressure on the upstream side in the passive valve 19 becomes higher than the atmospheric pressure, which is the tank pressure, by the target pressure, and upstream of the passive valve 19.
  • the pressure in the rod side chamber 5 becomes the target pressure. More specifically, the hydraulic oil discharged from the pump 12 does not flow to the tank 7 via the cylinder 2 because the second on-off valve 11 is in the cutoff position 11c, and all of the hydraulic oil discharged by the pump 12 is discharged.
  • the flow rate passes through the passive valve 19 and is returned to the tank 7. For this reason, the pressure in the rod side chamber 5 becomes higher than the pressure in the tank 7 by the pressure loss of the passive valve 19.
  • the rotational speed of the motor 15 is uniquely obtained. If the motor 15 is controlled to the obtained rotational speed, the pressure in the rod side chamber 5 is adjusted to the target pressure, and the thrust of the actuator 1 is controlled to a desired magnitude. Therefore, the controller C obtains the flow rate of the passive valve 19 from the target pressure, obtains the rotational speed of the motor 15 from this flow rate, and controls the motor 15 to the obtained rotational speed.
  • the rotation speed of the motor 15 may be controlled by monitoring the rotation speed of the motor 15 and performing feedback control. When the motor 15 is an AC motor or a brushless motor, a sensor that senses the position of the rotor of the motor 15 is essential.
  • the rotational speed may be monitored using this sensor.
  • a sensor for monitoring the rotation speed may be provided separately. If the tank pressure is not atmospheric pressure, the flow rate corresponding to the pressure difference between the target pressure and the tank pressure is read from the pressure flow characteristic diagram shown in FIG. 2, and the pump 12 discharges the read flow rate. The rotational speed of the motor 15 may be controlled so as to do this. By doing so, the pressure loss in the passive valve 19 becomes equal to the difference between the target pressure and the tank pressure, and the pressure on the upstream side of the passive valve 19 becomes higher than the tank pressure by the difference. Therefore, the pressure in the rod side chamber 5 upstream of the passive valve 19 becomes the target pressure.
  • the motor 15 is driven from the pump 12 to the cylinder 2 by setting the first opening / closing valve 9 to the cutoff position 9c and the second opening / closing valve 11 to the communication position 11b.
  • the piston side chamber 6 and the tank 7 are in communication with each other, and the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 are shut off, so that hydraulic oil is supplied from the pump 12 only to the rod side chamber 5.
  • the piston 3 is pushed rightward in FIG. 1, and the actuator 1 is contracted.
  • the pressure in the rod side chamber 5 corresponding to the thrust to be output becomes the target pressure.
  • the pressure flow characteristic of the passive valve 19 may be used in the same manner as before. Also in this case, the hydraulic oil discharged from the pump 12 does not flow to the tank 7 via the cylinder 2 and the entire flow rate passes through the passive valve 19 because the first opening / closing valve 9 is in the cutoff position 9c. And returned to the tank 7.
  • the discharge flow rate of the pump 12 is obtained, the rotation speed of the motor 15 is obtained from this discharge flow rate, and the motor 15 is controlled to the obtained rotation speed, so that the pressure in the rod side chamber 5 is set to the target.
  • the pressure is adjusted and the thrust of the actuator 1 is controlled to a desired magnitude.
  • the actuator 1 When the actuator 1 extends, the hydraulic oil is insufficient in the cylinder 2, so that the hydraulic oil is supplied from the pump 12 into the cylinder 2. Further, when the actuator 1 contracts, the hydraulic oil becomes excessive in the cylinder 2, so that the hydraulic oil is discharged from the cylinder 2 to the tank 7 through the discharge passage 18. That is, when the actuator 1 expands and contracts, the flow rate passing through the passive valve 19 changes. Therefore, when the expansion / contraction speed of the actuator 1 increases, the control responsiveness when the pressure in the rod side chamber 5 follows the target pressure deteriorates.
  • the first on-off valve 9 is set to the communication position 9b
  • the second on-off valve 11 is set to the shut-off position 11c
  • the motor 15 is driven to operate from the pump 12 into the cylinder 2.
  • Supply oil In this way, the cylinder 2 and the tank 7 are placed in a disconnected state, and the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 are in communication with each other, and hydraulic oil is supplied from both to the pump 12. As a result, the piston 3 is pushed leftward in FIG. 1, and the actuator 1 is extended.
  • the controller C adjusts the torque of the motor 15 to multiply the pressure in the rod side chamber 5 by the pressure in the rod side chamber 5 and the pressure difference in the piston 3 between the piston side chamber 6 side and the rod side chamber 5 side. Is adjusted to achieve the desired thrust. Since the pump 12 is driven by the torque of the motor 15 and the pump 12 receives the pressure of the rod side chamber 5, the pressure of the rod side chamber 5 is controlled by adjusting the torque of the motor 15 proportional to the discharge pressure of the pump 12. be able to.
  • the controller C includes a current loop L that receives a torque command and controls the current flowing through the motor 15.
  • the current loop L is obtained by the current sensor 30 that detects a current flowing in a winding (not shown) of the motor 15, a calculation unit 31 that calculates a deviation between the torque command and the current detected by the current sensor 30, and the calculation unit 31.
  • a compensator 32 that generates a current command from the deviation.
  • the compensator 32 performs well-known compensation such as proportional-integral compensation and proportional-derivative-integral compensation, for example. However, compensation other than the above may be performed.
  • the controller C obtains the target pressure that is the pressure in the rod side chamber 5 corresponding to the thrust to be output to the actuator 1, obtains the necessary torque that is the torque necessary to realize this target pressure, and realizes this necessary torque.
  • the current command to be performed is obtained as a torque command.
  • the controller C actually sets the thrust as a parameter.
  • the torque command may be obtained directly from the thrust.
  • the relationship between the torque of the motor 15 and the thrust can be approximated by a linear expression with the friction torque of the pump 12 as an intercept, so that a torque command can be easily obtained from the thrust.
  • the thrust and the torque command are input to the current loop L described above, and a current is supplied to the motor 15, and the torque of the motor 15 is controlled in accordance with the torque command.
  • the pressure in the rod side chamber 5 is adjusted to the target pressure, and as a result, the thrust output from the actuator 1 is controlled to a desired magnitude of thrust.
  • the motor 15 is driven from the pump 12 to the cylinder 2 by setting the first opening / closing valve 9 to the cutoff position 9c and the second opening / closing valve 11 to the communication position 11b.
  • the piston side chamber 6 and the tank 7 are in communication with each other, and the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 are shut off, so that hydraulic oil is supplied from the pump 12 only to the rod side chamber 5.
  • the piston 3 is pushed rightward in FIG. 1, and the actuator 1 is contracted.
  • the torque of the motor 15 is adjusted by the controller C in the same manner as described above, and multiplied by the pressure in the rod side chamber 5 and the pressure receiving area difference between the piston side chamber 6 side and the rod side chamber 5 side in the piston 3. What is necessary is just to adjust the pressure of the rod side chamber 5 so that a value may become the said desired thrust.
  • the actuator 1 can exert a thrust in both directions of expansion and contraction, and the thrust can be easily controlled by providing the passive valve 19 without using the variable relief valve.
  • the actuator 1 according to the present embodiment since the small passive valve 19 is used with a simple configuration, a driver is not necessary, and the actuator 1 is smaller than the conventional actuator. 1 cost is reduced. Therefore, the mountability of the actuator 1 on a railway vehicle or the like is dramatically improved, and the practicality is further improved.
  • both the first on-off valve 9 and the second on-off valve 11 are set to the communication positions 9b, 11b, the hydraulic oil discharged from the pump 12 through the cylinder 2 can be returned to the tank 7, and the actuator 1 can be unloaded.
  • the hydraulic oil supplied from the pump 12 during unloading and the flow of hydraulic oil by the expansion and contraction operation passes through the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 in order, and finally returns to the tank 7. Therefore, even if gas is mixed in the rod side chamber 5 or the piston side chamber 6, it can be discharged to the tank 7 independently, preventing deterioration of the responsiveness of the generation of propulsive force and maintenance for performance recovery. It is not necessary to perform the operation frequently, and maintenance labor and cost burden can be reduced.
  • the flow of the hydraulic oil passes through the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6 in order and finally returns to the tank 7, so that pressure is applied to the rod side chamber 5 and the piston side chamber 6. I won't be ashamed. Therefore, since it is not necessary to provide a low pressure priority shuttle valve for stabilizing the thrust, the problem of the hitting sound of the low pressure priority shuttle valve is solved, and the quietness of the actuator 1 is improved. There is no discomfort.
  • the actuator 1 according to the present embodiment is provided with a rectifying passage 20 and a suction passage 21. For this reason, when the first on-off valve 9 and the second on-off valve 11 are both shut off positions 9c and 11c and the drive of the pump 12 is stopped when the pump 12 is forcibly expanded and contracted by an external force, the hydraulic oil is moved from the cylinder 2 by expansion and contraction. Is discharged to the tank 7 through the passive valve 19, and when the hydraulic oil is insufficient in the cylinder 2, the hydraulic oil is supplied from the tank 7 into the cylinder 2 through the suction passage 21. .
  • the actuator 1 according to the present embodiment can also function as a passive damper that exhibits a damping force commensurate with the pressure loss of the passive valve 19. That is, even if the first on-off valve 9 and the second on-off valve 11 take the cutoff positions 9c and 11c and the pump 12 is stopped, the actuator 1 can exhibit a passive damper function as a fail safe. It does not become impossible to stretch.
  • the check valve 17 is provided in the middle of the supply passage 16 downstream of the pump 12, even when the actuator 1 is forcibly expanded and contracted by an external force, the rod side chamber 5 Therefore, the backflow of hydraulic oil from the pump to the pump 12 is prevented, and a thrust greater than the thrust due to the torque of the motor M can be obtained.

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Abstract

　本発明は、アクチュエータであって、シリンダと、シリンダ内に摺動自在に挿入されるピストンと、シリンダ内に挿入されてピストンに連結されるロッドと、シリンダ内にピストンで区画したロッド側室とピストン側室と、タンクと、ロッド側室とピストン側室とを連通する第一通路の途中に設けた第一開閉弁と、ピストン側室とタンクとを連通する第二通路の途中に設けた第二開閉弁と、ロッド側室へ作動油を供給するポンプと、ポンプを駆動するモータと、ロッド側室とタンクを接続する排出通路と、排出通路の途中に設けられて所定の圧力流量特性を有するパッシブ弁と、をさらに備えた。

Description

アクチュエータ
　本発明は、アクチュエータに関する。
　アクチュエータは、たとえば、鉄道車両において車体の進行方向に対して左右方向の振動を抑制するために、車体と台車との間に介装されて使用される。
　ＪＰ２０１０－６５７９７Ａには、シリンダと、シリンダ内に摺動自在に挿入されるピストンと、シリンダ内に挿入されてピストンに連結されるロッドと、シリンダ内にピストンで区画したロッド側室とピストン側室と、を有する伸縮体と、タンクと、ロッド側室とピストン側室とを連通する第一通路の途中に設けた第一開閉弁と、ピストン側室とタンクとを連通する第二通路の途中に設けた第二開閉弁と、ロッド側室へ液体を供給するポンプと、ポンプを駆動するモータと、ロッド側室をタンクへ接続する排出通路と、排出通路の途中に設けた可変リリーフ弁と、を備えるアクチュエータが開示されている。
　このアクチュエータによれば、第一開閉弁と第二開閉弁を適宜開閉させることで出力する推力の方向を決定し、且つ、モータでポンプを定速度で回転させ、一定流量をシリンダ内へ供給するようにしつつ、可変リリーフ弁のリリーフ圧を調節することでシリンダ内の圧力を制御することで、所望する大きさの推力を望む方向へ出力することができる。
　このようなアクチュエータは、推力の大きさをコントロールするために可変リリーフ弁が必要である。しかし、可変リリーフ弁は、構造が非常に複雑であるため大型であり、駆動するためのドライバ（駆動装置）も必要とする。このため、アクチュエータが大型化し鉄道車両等への搭載性が悪く、全体のコストが高く不経済であるという問題がある。
　本発明は、小型でかつ低コストなアクチュエータを提供することを目的とする。
　本発明のある態様によれば、アクチュエータであって、シリンダと、当該シリンダ内に摺動自在に挿入されるピストンと、シリンダ内に挿入されてピストンに連結されるロッドと、ピストンによってシリンダ内に区画されるロッド側室とピストン側室と、タンクと、ロッド側室とピストン側室とを連通する第一通路に設けられる第一開閉弁と、ピストン側室とタンクとを連通する第二通路に設けられる第二開閉弁と、ロッド側室へ作動流体を供給するポンプと、当該ポンプを駆動するモータと、ロッド側室とタンクを接続する排出通路と、当該排出通路に設けられて所定の圧力流量特性を有するパッシブ弁と、を備える。
図１は、本実施形態に係るアクチュエータの回路図である。 図２は、本実施形態に係るパッシブ弁における圧力流量特性を示す図である。 図３は、本実施形態に係る電流ループの一例を示す図である。 図４は、本実施形態に係るアクチュエータの推力とモータのトルクとの関係を示す図である。
　以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
　本実施形態に係るアクチュエータ１は、図１に示すように、シリンダ２と、シリンダ２内に摺動自在に挿入されるピストン３と、シリンダ２内に挿入されてピストン３に連結されるロッド４と、ピストン３によってシリンダ２内に区画されるロッド側室５とピストン側室６と、タンク７と、ロッド側室５とピストン側室６とを連通する第一通路８の途中に設けられる第一開閉弁９と、ピストン側室６とタンク７とを連通する第二通路１０の途中に設けられる第二開閉弁１１と、ロッド側室５へ作動流体を供給するポンプ１２と、当該ポンプ１２を駆動するモータ１５と、ロッド側室５をタンク７へ接続する排出通路１８と、排出通路１８の途中に設けられたパッシブ弁１９と、を備えており、片ロッド型のアクチュエータとして構成されている。また、ロッド側室５とピストン側室６には、作動流体として作動油等の作動液が充填されるとともに、タンク７には、作動液のほかに気体が充填されている。アクチュエータ１の作動に使用される作動流体は、上記の液体の他、気体を用いることも可能である。なお、タンク７内は、気体を圧縮して充填することによって加圧状態とする必要は無い。
　アクチュエータ１は、第一開閉弁９が第一通路８を連通状態とするとともに第二開閉弁１１を閉じた状態とし、モータ１５でポンプ１２を駆動して、シリンダ２内へ作動流体を供給することで、伸長駆動する。また、アクチュエータ１は、第二開閉弁１１が第二通路１０を連通状態とするとともに第一開閉弁９を閉じた状態とし、モータ１５でポンプ１２を駆動して、シリンダ２内へ作動流体を供給することで、収縮駆動する。
　以下、各部について詳細に説明する。シリンダ２は筒状であって、図１中の右端は蓋１３によって閉塞され、図１中の左端には環状のロッドガイド１４が取り付けられる。また、シリンダ２内に移動自在に挿入されるロッド４が、ロッドガイド１４内に摺動自在に挿入されている。ロッド４は、一端をシリンダ２外へ突出させており、他端はシリンダ２内に摺動自在に挿入されるピストン３に連結される。
[規則91に基づく訂正 15.11.2013]　
　ロッド４の外周とロッドガイド１４との間は図示を省略したシール部材によってシールされており、これによりシリンダ２内は密閉状態に維持される。そして、ピストン３によってシリンダ２内に区画されるロッド側室５とピストン側室６には、上述のように作動流体として作動油が充填されている。
　アクチュエータ１では、ロッド４の断面積をピストン３の断面積の二分の一にしており、ピストン３のロッド側室５側の受圧面積がピストン側室６側の受圧面積の二分の一となるようになっている。このため、伸長駆動時と収縮駆動時とでロッド側室５の圧力を同じくすると、伸縮の双方で発生される推力が等しくなり、アクチュエータ１の変位量に対する流量も伸縮両側で同じとなる。
　詳しく説明すると、アクチュエータ１を伸長駆動させる場合、ロッド側室５とピストン側室６とが連通した状態となるため、ロッド側室５内とピストン側室６内の圧力が等しくなって、ピストン３におけるロッド側室５側とピストン側室６側の受圧面積差と上記圧力を乗じた推力が発生する。反対に、アクチュエータ１を収縮駆動させる場合、ロッド側室５とピストン側室６との連通が断たれてピストン側室６がタンク７に連通した状態となるので、ロッド側室５内の圧力とピストン３におけるロッド側室５側の受圧面積を乗じた推力を発生する。このように、アクチュエータ１の発生推力は伸縮の双方でピストン３の断面積の二分の一にロッド側室５の圧力を乗じた値となる。したがって、アクチュエータ１の推力を制御する場合、伸長駆動、収縮駆動共に、ロッド側室５の圧力を狙った圧力に調節すればよい。ピストン３のロッド側室５側の受圧面積は、ピストン側室６側の受圧面積の二分の一に設定されているので、伸縮両側で同じ推力を発生する場合には、伸長側と収縮側でロッド側室５の圧力が同じとなり、制御が簡素となる。さらに、この場合には、変位量に対する流量も同じとなるので伸縮両側で応答性が同じとなる利点がある。なお、ピストン３のロッド側室５側の受圧面積をピストン側室６側の受圧面積の二分の一に設定しない場合にあっても、ロッド側室５の圧力でアクチュエータ１の伸縮両側の推力の制御をすることができる点は変わらない。
　ロッド４の図１中の左端とシリンダ２の右端を閉塞する蓋１３は、図示しない取付部を備えており、アクチュエータ１を車両における車体と車軸との間に介装することができるようになっている。
　ロッド側室５とピストン側室６とは、第一通路８によって連通されており、第一通路８の途中には、第一開閉弁９が設けられている。第一通路８は、シリンダ２外でロッド側室５とピストン側室６とを連通しているが、ピストン３に設けられてもよい。
　第一開閉弁９は、電磁開閉弁である。第一開閉弁９は、連通ポジション９ｂと遮断ポジション９ｃとを有するバルブ９ａと、遮断ポジション９ｃをとるようにバルブ９ａを付勢するバネ９ｄと、通電時にバネ９ｄに対抗してバルブ９ａを連通ポジション９ｂに切換えるソレノイド９ｅと、を備える。第一開閉弁９のバルブ９ａが、連通ポジション９ｂであるときには、第一通路８を開放してロッド側室５とピストン側室６とが連通する。第一開閉弁９のバルブ９ａが、遮断ポジション９ｃであるときには、ロッド側室５とピストン側室６との連通が遮断される。
　ピストン側室６とタンク７とは、第二通路１０によって連通されており、第二通路１０の途中には、第二開閉弁１１が設けられている。第二開閉弁１１は、電磁開閉弁である。第二開閉弁１１は、連通ポジション１１ｂと遮断ポジション１１ｃとを有するバルブ１１ａと、遮断ポジション１１ｃをとるようにバルブ１１ａを付勢するバネ１１ｄと、通電時にバルブ１１ａをバネ１１ｄに対抗して連通ポジション１１ｂに切換えるソレノイド１１ｅと、を備える。第二開閉弁１１のバルブ１１ａが、連通ポジション１１ｂであるときには、第二通路１０を開放してピストン側室６とタンク７とが連通する。第二開閉弁１１のバルブ１１ａが、遮断ポジション１１ｃであるときには、ピストン側室６とタンク７との連通が遮断される。
　ポンプ１２は、モータ１５によって駆動され、一方向のみに作動油を吐出する。ポンプ１２の吐出口は供給通路１６によってロッド側室５へ連通され、吸込口はタンク７と連通する。ポンプ１２がモータ１５によって駆動されると、タンク７から作動油を吸込んでロッド側室５へ作動油を供給する。モータ１５は、コントローラＣから電流供給を受けて回転駆動される。上述のようにポンプ１２は、一方向のみに作動油を吐出するので回転方向の切換動作がなく、回転切換時に吐出量が変化するといった問題は皆無である。このため、ポンプ１２は、安価なギアポンプ等を使用することができる。さらに、ポンプ１２の回転方向が常に同一方向であるので、ポンプ１２を駆動する駆動源であるモータ１５にあっても回転方向の切換が不要であるから、回転方向切換に対する高い応答性が要求されず、その分、モータ１５も安価なものを使用することができる。
　なお、供給通路１６の途中には、ロッド側室５からポンプ１２への作動油の逆流を阻止する逆止弁１７が設けられる。
　また、ロッド側室５とタンク７とは排出通路１８を通じて接続されている。排出通路１８の途中には、ロッド側室５からタンク７へ流れる作動流体に対しての所定の圧力流量特性を有するパッシブ弁１９が設けられている。
　パッシブ弁１９は、弁体１９ａと、弁体１９ａを背面側から付勢するばね１９ｂと、を備えており、上流側であるロッド側室５から作動油が供給されると作動油の流れに所定の抵抗を与える。たとえば、図２に示すように、パッシブ弁１９は、通過する流量に対して一義的に圧力損失が決まる圧力流量特性を備えている。弁体１９ａが開弁して上流側の圧力とともにばね１９ｂが縮んで開弁度合いが増加していく状況、つまり、流路面積が増加していく状況では、図２中に線Ａで示したように、流量に対して一定の傾きで圧力が増加する。開弁度合いが最大となるとそれ以上流路面積が増加することがないため、図２中に線Ｂに示したように、線Ａより傾きが若干小さい特性となる。なお、パッシブ弁１９の圧力流量特性は、図２に示した特性に限られるものではなく、流量に対して圧力損失が一義的に決まる特性であればよい。
　アクチュエータ１には、ピストン側室６からロッド側室５へ向かう作動油の流れのみを許容する整流通路２０と、タンク７からピストン側室６へ向かう作動油の流れのみを許容する吸込通路２１と、が設けられる。
　次に、アクチュエータ１の作動について説明する。アクチュエータ１を作動させる場合、上述のようにロッド側室５の圧力を制御することでアクチュエータ１の伸縮両側の推力を制御することができる。
　具体的な方法の一つとしては、パッシブ弁１９の圧力流量特性を利用してロッド側室５の圧力を調節することによって、アクチュエータ１の推力を所望の値に制御するものがある。
　たとえば、アクチュエータ１に伸長方向の所望の推力を出力させる場合、第一開閉弁９を連通ポジション９ｂとし、第二開閉弁１１を遮断ポジション１１ｃとし、さらに、モータ１５を駆動してポンプ１２からシリンダ２内へ作動油を供給する。このようにすることで、シリンダ２とタンク７とは遮断状態におかれるとともに、ロッド側室５とピストン側室６とが連通状態におかれて両者にポンプ１２から作動油が供給される。この結果、ピストン３が図１中の左方へ押され、アクチュエータ１は伸長作動する。
　アクチュエータ１に出力させたい推力とロッド側室５の圧力とは上記したように比例関係にあるので、出力させたい推力に対応したロッド側室５の圧力が目標圧力となる。このような目標圧力は、コントローラＣの演算処理によって求められる。また、アクチュエータ１に出力させたい推力については、図示はしないが、コントローラＣよりも上位の制御装置からコントローラＣに入力するようにしてもよいし、コントローラＣが所定の制御則に則って演算するようにしてもよい。ロッド側室５内の圧力を目標圧力にするには、図２に示すパッシブ弁１９の圧力流量特性を利用する。具体的に説明すると、目標圧力からパッシブ弁１９を通過する流量を求め、求めた流量どおりにパッシブ弁１９に作動油を供給する。目標圧力から流量を求めるには、例えば、タンク圧が大気圧であり目標圧力がαである場合、図２に示すようにパッシブ弁１９の圧力流量特性図から圧力αに対応する流量βを読み取ることにより求めることができる。目標圧力に対応する流量は、このような圧力流量特性を用いて、コントローラＣにてマップ演算を行って求めてもよいし、目標圧力をパラメータとした関数を用いて求めてもよい。このようにすることで、パッシブ弁１９での圧力損失が目標圧力と等しくなる。つまり、上記のように求めた流量通りに作動油を供給することで、パッシブ弁１９内の上流側の圧力は、タンク圧である大気圧より目標圧力分だけ高くなり、パッシブ弁１９の上流のロッド側室５内の圧力が目標圧力となる。より詳細に説明すると、ポンプ１２から吐出された作動油は、第二開閉弁１１が遮断ポジション１１ｃとなっているために、シリンダ２を介してタンク７へは流れず、ポンプ１２が吐出した全流量がパッシブ弁１９を通過してタンク７へ戻される。このため、ロッド側室５内の圧力は、パッシブ弁１９の圧力損失分だけタンク７内の圧力より高い圧力となる。ロッド側室５内の圧力を目標圧力とすることができるポンプ１２の吐出流量が求まれば、モータ１５の回転速度が一義的に求まる。モータ１５を求めた回転速度に制御すれば、ロッド側室５内の圧力が目標圧力に調節され、アクチュエータ１の推力が所望する大きさに制御される。よって、コントローラＣは、目標圧力からパッシブ弁１９の流量を求め、この流量からモータ１５の回転速度を求め、モータ１５を求めた回転速度に制御する。モータ１５の回転速度の制御は、モータ１５の回転速度をモニタして、フィードバック制御するようにすればよい。モータ１５がＡＣモータやブラシレスモータである場合、モータ１５のロータの位置をセンシングするセンサが必須であるので、このセンサを利用して回転速度をモニタすればよい。モータ１５がブラシ付きのモータであって回転速度をモニタするセンサを有していない場合には、別途、回転速度をモニタするセンサを設ければよい。なお、タンク圧が大気圧ではない場合には、目標圧力とタンク圧との差圧分の圧力に対応する流量を、図２に示す圧力流量特性図から読み取り、読み取った流量をポンプ１２が吐出するようにモータ１５の回転速度を制御すればよい。このようにすることで、パッシブ弁１９での圧力損失が、目標圧力とタンク圧との差分と等しくなり、パッシブ弁１９の上流側の圧力が当該差分だけタンク圧より高くなる。よって、パッシブ弁１９の上流のロッド側室５内の圧力が、目標圧力となる。
　反対に、アクチュエータ１に収縮方向の所望の推力を出力させる場合、第一開閉弁９を遮断ポジション９ｃとし、第二開閉弁１１を連通ポジション１１ｂとして、モータ１５を駆動してポンプ１２からシリンダ２内へ作動油を供給する。このようにすることで、ピストン側室６とタンク７とは連通状態におかれるとともに、ロッド側室５とピストン側室６とが遮断状態におかれてロッド側室５のみにポンプ１２から作動油が供給される。この結果、ピストン３が図１中の右方へ押されアクチュエータ１は収縮作動する。
　この場合もアクチュエータ１に出力させたい推力とロッド側室５の圧力とは上記したように比例関係にあるため、出力させたい推力に対応したロッド側室５の圧力が目標圧力となる。ロッド側室５内の圧力を目標圧力にするには、先ほどと同様にパッシブ弁１９の圧力流量特性を利用すればよい。この場合も、ポンプ１２から吐出された作動油は、第一開閉弁９が遮断ポジション９ｃとなっているために、シリンダ２を介してはタンク７へ流れず、全流量がパッシブ弁１９を通過してタンク７へ戻される。したがって、上述したものと同様に、ポンプ１２の吐出流量を求め、この吐出流量からモータ１５の回転速度を求め、モータ１５を求めた回転速度に制御することにより、ロッド側室５内の圧力が目標圧力に調節され、アクチュエータ１の推力が所望する大きさに制御される。
　アクチュエータ１が伸長する際には、シリンダ２で作動油が不足するので、ポンプ１２から作動油がシリンダ２内に供給される。また、アクチュエータ１が収縮する際には、シリンダ２内で作動油が過剰となるため、シリンダ２内から排出通路１８を介してタンク７へ作動油が排出される。つまり、アクチュエータ１が伸縮するとパッシブ弁１９を通過する流量が変化するので、アクチュエータ１の伸縮速度が高くなると、ロッド側室５内の圧力を目標圧力に追随させる際の制御応答性が劣化する。このため、ロッド側室５内の圧力を検出する圧力センサを設け、ロッド側室５内の圧力をフィードバックしてモータ１５の回転速度を制御するようにすれば、ロッド側室５内の圧力の目標圧力に対する追随性を向上させることができる。
　次に、アクチュエータ１を作動させる具体的な方法の二つめとしては、モータ１５のトルクを制御することによってロッド側室５の圧力を調節して、アクチュエータの推力を所望の値に制御するものがある。
　アクチュエータ１に伸長方向の所望の推力を出力させる場合、第一開閉弁９を連通ポジション９ｂとし、第二開閉弁１１を遮断ポジション１１ｃとして、モータ１５を駆動してポンプ１２からシリンダ２内へ作動油を供給する。このようにすることで、シリンダ２とタンク７とは遮断状態におかれるとともに、ロッド側室５とピストン側室６とが連通状態におかれて両者にポンプ１２から作動油が供給される。この結果、ピストン３が図１中の左方へ押されアクチュエータ１は伸長作動する。
　この動作とともに、コントローラＣでモータ１５のトルクを調節することにより、ロッド側室５の圧力をロッド側室５の圧力とピストン３におけるピストン側室６側とロッド側室５側の受圧面積差とを乗じた値が上記所望の推力となるように調節する。モータ１５のトルクでポンプ１２を駆動しており、ポンプ１２はロッド側室５の圧力を受けるため、ポンプ１２の吐出圧力に比例するモータ１５のトルクを調節することでロッド側室５の圧力を制御することができる。
　具体的には、コントローラＣは、図３に示すように、トルク指令の入力を受けてモータ１５に流れる電流を制御する電流ループＬを備えている。電流ループＬは、モータ１５の図示しない巻線に流れる電流を検出する電流センサ３０と、トルク指令と電流センサ３０で検出した電流との偏差を演算する演算部３１と、演算部３１で求めた偏差から電流指令を生成する補償器３２と、を備えている。補償器３２は、たとえば、比例積分補償や、比例微分積分補償といった周知の補償を行うが、上記以外の補償を行うようにしてもよい。
　コントローラＣは、アクチュエータ１に出力させたい推力に対応するロッド側室５内の圧力である目標圧力を求め、この目標圧力を実現するのに必要なトルクである必要トルクを求め、この必要トルクを実現する電流指令をトルク指令として求める。なお、推力から目標圧力を求めることができ、目標圧力から必要トルクを求めることができ、必要トルクから電流指令であるトルク指令を求めることができるため、実際には、コントローラＣは、推力をパラメータとして、推力からトルク指令を直接に求めるようにすればよい。具体的には、モータ１５のトルクと推力との関係は、図４に示すように、ポンプ１２の摩擦トルクを切片とした一次式で近似することができるため、推力からトルク指令を簡単に求めることができる。そして、推力とこのトルク指令は、上記した電流ループＬに入力されて、モータ１５へ電流が供給され、モータ１５のトルクがトルク指令どおりに制御される。これによりロッド側室５内の圧力が目標圧力に調節され、結果、アクチュエータ１が出力する推力が所望する推力の大きさに制御されることになる。
　反対に、アクチュエータ１に収縮方向の所望の推力を出力させる場合、第一開閉弁９を遮断ポジション９ｃとし、第二開閉弁１１を連通ポジション１１ｂとして、モータ１５を駆動してポンプ１２からシリンダ２内へ作動油を供給する。このようにすることで、ピストン側室６とタンク７とは連通状態におかれるとともに、ロッド側室５とピストン側室６とが遮断状態におかれてロッド側室５のみにポンプ１２から作動油が供給される。この結果、ピストン３が図１中の右方へ押されアクチュエータ１は収縮作動する。
　この動作とともに、上記した手順と同様にして、コントローラＣでモータ１５のトルクを調節して、ロッド側室５の圧力とピストン３におけるピストン側室６側とロッド側室５側の受圧面積差とを乗じた値が上記所望の推力となるようにロッド側室５の圧力を調節すればよい。
　このように、アクチュエータ１は伸長および収縮方向の双方向へ推力を発揮することができ、可変リリーフ弁を用いずパッシブ弁１９を設けることで、その推力を簡単に制御することができる。本実施形態に係るアクチュエータ１によれば、簡単な構成で小型なパッシブ弁１９を用いているので、ドライバも不要であり、従来のアクチュエータと比較して、アクチュエータ１がより小型となるため、アクチュエータ１のコストが低減される。よって、アクチュエータ１の鉄道車両等のへの搭載性も飛躍的に向上し、より実用性が向上する。
　また、圧力から流量を算出することができるので、パッシブ弁１９のオーバーライド特性の影響はなく、安価で小型なパッシブ弁を用いることができる。
　ポンプ１２は一方向のみに吐出するので、回転切換時の容量変動の心配が無く安価なポンプ１２を使用でき、ポンプ１２の駆動源であるモータ１５にあっても回転方向切換において高い応答性が要求されることもないのでモータ１５をも安価なものを使用できる。
　また、第一開閉弁９と第二開閉弁１１を共に連通ポジション９ｂ，１１ｂとする場合には、シリンダ２内を介してポンプ１２から吐出される作動油をタンク７へ戻すことができ、アクチュエータ１をアンロードすることができる。アンロード時におけるポンプ１２からの作動油供給および伸縮作動による作動油の流れは、ロッド側室５、ピストン側室６を順に通過して最終的にタンク７へ還流するようになっている。したがって、ロッド側室５あるいはピストン側室６内に気体が混入しても、自立的にタンク７へ排出させることができ、推進力発生の応答性の悪化を阻止できるとともに、性能回復のためのメンテナンスを頻繁に行う必要もなくなり、保守面における労力とコスト負担を軽減することができる。
　さらに、上述のように作動油の流れはロッド側室５、ピストン側室６を順に通過して最終的にタンク７へ還流するようになっているので、ロッド側室５内とピストン側室６内に圧力が籠ってしまうことがない。したがって、推力安定のための低圧優先シャトル弁を設ける必要が無いため、低圧優先シャトル弁の打音の問題が解消され、アクチュエータ１の静粛性が向上し、車両へ搭載しても車両搭乗者に不快感等を抱かせることがない。
　また、本実施形態に係るアクチュエータ１には、整流通路２０と吸込通路２１が設けられる。このため、外力によって強制的に伸縮させられる場合において、第一開閉弁９と第二開閉弁１１を共に遮断ポジション９ｃ，１１ｃとしてポンプ１２の駆動を停止させると、伸縮によってシリンダ２内から作動油が押し出されてパッシブ弁１９を介してタンク７へ排出され、シリンダ２内で作動油が不足する場合には作動油がタンク７から吸込通路２１を介してシリンダ２内に供給されることになる。このように、本実施形態に係るアクチュエータ１は、パッシブ弁１９の圧力損失に見合った減衰力を発揮するパッシブなダンパとしても機能することができる。つまり、第一開閉弁９と第二開閉弁１１が遮断ポジション９ｃ，１１ｃをとり、ポンプ１２が停止状態となっても、アクチュエータ１はフェールセーフとしてパッシブなダンパ機能を発揮することができるため、伸縮不能となってしまうことがない。
　さらに、本実施形態においては、ポンプ１２の下流である供給通路１６の途中に逆止弁１７を設けているので、外力によってアクチュエータ１が強制的に伸縮させられる場合にあっても、ロッド側室５からポンプ１２への作動油の逆流が阻止され、モータＭのトルクによる推力以上の推力を得ることができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
　本願は２０１２年８月１３日に日本国特許庁に出願された特願２０１２－１７９１５５に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる

Claims (7)

  1. 　アクチュエータであって、
    　シリンダと、
    　当該シリンダ内に摺動自在に挿入されるピストンと、
    　前記シリンダ内に挿入されて前記ピストンに連結されるロッドと、
    　前記ピストンによって前記シリンダ内に区画されるロッド側室とピストン側室と、
    　タンクと、
    　前記ロッド側室と前記ピストン側室とを連通する第一通路に設けられる第一開閉弁と、
    　前記ピストン側室と前記タンクとを連通する第二通路に設けられる第二開閉弁と、
    　前記ロッド側室へ作動流体を供給するポンプと、
    　当該ポンプを駆動するモータと、
    　前記ロッド側室と前記タンクを接続する排出通路と、
    　当該排出通路に設けられて所定の圧力流量特性を有するパッシブ弁と、を備えるアクチュエータ。
  2. 　請求項１に記載のアクチュエータであって、
    　前記シリンダ内の目標圧力と前記パッシブ弁の圧力流量特性とに基づいて前記モータの回転速度を制御することにより、出力する推力を制御するアクチュエータ。
  3. 　請求項１に記載のアクチュエータであって、
    　前記シリンダ内の目標圧力に基づいて前記モータのトルクを制御することにより、出力する推力を制御するアクチュエータ。
  4. 　請求項１に記載のアクチュエータであって、
    　前記モータを制御する電流ループをさらに備え、
    　前記シリンダ内の目標圧力から前記電流ループへ与えるトルク指令を求め、前記モータを制御するアクチュエータ。
  5. 　請求項１に記載のアクチュエータであって、
    　前記タンクから前記ピストン側室へ向かう作動流体の流れのみを許容する吸込通路と、
    　前記ピストン側室から前記ロッド側室へ向かう作動流体の流れのみを許容する整流通路と、をさらに備えるアクチュエータ。
  6. 　請求項１に記載のアクチュエータであって、
    　前記ポンプと前記ロッド側室との間に、前記ロッド側室から前記ポンプへ向かう作動流体の流れを防止する逆止弁をさらに備えるアクチュエータ。
  7. 　請求項１に記載のアクチュエータであって、
    　前記第一開閉弁および前記第二開閉弁は、電磁開閉弁であって、非通電時にバネによって遮断ポジションをとるアクチュエータ。
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