TWI286610B - Optical variable attenuator and optical module - Google Patents

Description

1286610 量增加。而且，如可動反射鏡處於完全偏離輸入用光路以 及輸出用光路之位置時，因為利用可動反射鏡之光之反射 完全沒有發生，反射光不會導入輸出用光路，其結果變為 衰減無限大之狀態。因此本發明之光可變衰減器，因為係 利用可動反射鏡之光之反射，不會受到可動反射鏡邊緣部 之光之繞射影響。同時，與作為改變光衰減量之構件僅使 用光閘不同，可動反射鏡只有一面即可。因此，可由用簡 單的構造’確實降低因光之繞射效果而造成之偏光依存捐 失。此時’可以做到在光衰減量1 〇 dB時之偏光依存損失比 0.2 dB小。 較理想之情形為：可動反射鏡係利用微小電子機器系統 技術形成。由此，因為可使可動反射鏡尺寸變小，所以能 夠使光可變衰減器小型化。 同時，較理想之情形為：輸入用光路以及輸出用光路係 用光波導路形成，在基礎構件中，設有輸入用光路以及輸 出用光路相連接之溝部，可動反射鏡在插入溝内部狀態下 可以移動。因此利用光波導路形成輸入用光路以及輸出用 光路，可以很容易利用半導體製造技術製造具有輸入用光 路以及輸出用光路之基礎構件，且可以謀求低成本化。 此情形，較理想之情形為：輸入用光路和輸出用光路之 虛擬交叉角度係9度以上。此時，所謂虚擬交叉角度，是指 在假設直接筆直延伸輸入用光路以及輸出用光路時交叉之 角度。利用此種虛擬交叉成為角度9度以上，因為用可動反 射鏡反射降低返回輸入用光路的光，可以抑制減少因返回 86107 1286610 調整光衰減量之光可變衰減器，如上所述，以簡單之構造， 而可以確實降低因光之繞射效果而造成之偏光依存損失。 【實施方式】 以下’就本發明相關之光可變衰減器及光模組之適合之 實施形態，參閱圖面加以說明。 圖1係表示有關本發明之光可變衰減器之一實施形態之 平面圖，圖2係該光可變衰減器之垂直方向剖面圖。在圖1 以及圖2中，本實施形態之光可變衰減器1具有平面波導路 2，在該平面波導路2中，設有形成光路A〜D之光波導路3。 此時，光路A構成輸入用光路，光路B構成輸出用光路。在 平面波導路2中，在平面波導路2之寬度方向設置與延伸之 光路A〜D連接之溝部4。 此種具有光路A〜D以及溝部4之平面波導路2係如以下方 法製造。即，首先在平面波導路2上，交叉狀形成2只光波 導路3。接著，利用例如反應離子蝕刻（RIE)，在2只光波導 路3之交叉部形成溝部4。由此，形成光路A〜D。 在平面波導路2上，設置利用微小電子機器系統（MEMS) 技術形成之致動器結構體5。致動器結構體5，在平面波導 路2上面具有懸臂支撐之懸臂梁6，該懸臂梁6係從平面波導 路2之一端部延伸至溝部4之位置。在懸臂梁6之前端側部 分，設有多只梳齒7。懸臂梁6，較理想之情形為：從低成 本化之觀點出發，用具有導電性矽（Si)形成。 在懸臂梁6之前端部上，固定著使通過輸入用光路A上之 光面向光輸出用光路B反射之可動反射鏡8。該可動反射鏡 86107 -10- 1286610 8 ’其構成係將其放入平面波導路2之溝部*内。另外，可動 反射鏡8,例如其尺寸為厚度3〇 μιη，高度5〇 ，寬度5〇叫^。 此時，將光路A，D以及光路b，C用各條線連接時，這些 線父叉之角度（輸入用光路A與輸出用光路虛擬交叉角度） Θ，最好在9度以上（參照圖3)。由此，從輸入用光路A發出 之光用可動反射鏡8反射時，因為該反射光大致上沒有返回 輸入用光路A ,降低了因返回光（洩漏光）而造成之光損失 (反射損耗）。此時，一邊確保所希望之光反射率，而一邊為 使平面波導路2之寬度方向尺寸變小，輸入用光路a與輸出 用光路B之虛擬交叉角度㊀最好保持在9〜2〇度的範圍内。 可動反射鏡8 ’與懸臂梁6同樣，由具有導電性si形成。 而且’在可動反射鏡8表面，塗敷金（Au)，銀（Ag)，鋁（A1) 等。由此，因對於如紅外光之光通訊用波長頻帶光反射率 變高，可降低對於輸出用光路B之光之插入損失。 同時’致動器結構體5具有在平面波導路2上面設置之電 極9。該電極9上，在懸臂梁6之各梳齒7之間設有插入之多 只梳齒10。電極9也與懸臂梁6同樣，由具有導電性之以形 成。 此種懸臂梁6，包含可動反射鏡8以及電極9之致動器結構 體5，利用例如感應結合電漿反應性離子蝕刻（icp-RlE)製 造。 以上之平面波導路2以及致動器結構體5，與在平面波導 路2兩端側配置之光纖陣列（未圖示）同樣，收納於封裝體内 (未圖示）。然後，在該封裝體内，填充與光波導路3同等之 86107 -11 - 1286610 折射率之匹配油（例如矽樹脂）。由此，在平面波導路2之溝 邵4内也充滿了匹配油。因此，因為在輸入用光路a以及輸 出用光路B與可動反射鏡8之間不會產生折射率之不連續 面’可以降低對於輸出用光路B之光之插入損失。 同時’懸臂梁6與電極9介由電壓源丨1連接，利用該電壓 源11在懸臂梁6與電極9之間施加電壓，使兩者間產生靜電 力。然後’利用該靜電力將懸臂梁6之前端側部分向電極9 吸引彎曲’伴隨於此可動反射鏡8在插入平面波導路2之溝 邵4内之狀態向電極9側移動（參照圖因此在懸臂梁6與電 極9之間產生靜電力並驅動可動反射鏡8，所以可以謀求省 電力化。 此時，因為在懸臂梁6上設有梳齒7，在電極9上設有梳齒 10，懸臂梁6以及電極9之表面面積整體上變大。因此，因 為僅該部分之懸臂梁6與電極9之間產生之靜電力增大，可 以降低在懸臂梁6與電極9之間施加之電壓。 在如以上I光可變衰減器1中，利用電壓源11之供應電壓 在關閉狀態時，如圖1所示懸臂梁6筆直延伸。在該狀態下， 從輸入用光路A發出之光，因為用可動反射鏡8全部反射並 射入輸出用光路B，可以獲得作為光衰減器之最小之光衰減 量。 從這種初期狀態開始，如利用電壓源叫懸臂梁6與電極 9之間施加電壓，通過在懸臂梁6與電極9之間產生之靜電 力，可動反射鏡8向電極9側移動。在該狀態下，因為僅從 輸入用光路A發出之光之—部分，用可動反射鏡仏射並射 86107 -12- 1286610 入輸出用光路B，剩餘的光射入光路D，所以光衰減量變大。 而且’如進一步提高懸臂梁6與電極9之間施加之電壓， 如圖3所示’可動反射鏡8從輸入用光路a以及輸出用光路b 完全離開。在該狀態下，從輸入用光路A發出之光，因為不 會用可動反射鏡8反射，而全邵射入光路d，所以光衰減量 變為無限大（所謂光閘狀態）。 因此在光可變衰減器1中，利用改變在懸臂梁6與電極9 之間施加之電壓，使可動反射鏡8之反射光之光量可變，而 肩i光衣減1。此時’在懸臂梁6中設有梳齒7，在電極9設 有梳齒10，懸臂梁6之前端側部分與電極9相互接近。為此， 對於施加電壓之光衰減量之線形性變為良好，所以容易控 制光衰減量。 如上所述在本實施形態之光可變衰減器1中，因為其構成 係利用藉由可動反射鏡8之反射光，所以不會受到在可動反 射鏡8之邊緣部產生之光之繞射之影響。因此，可以抑制因 那種光之繞射效果而造成之偏光依存損失（PDL)。同時，因 為無需將應該降低光之繞射之可動反射鏡8之邊緣部分充 分變薄（例如1 μπι以下），所以可動反射鏡8容易製造。此外， 因為使用一面可動反射鏡8，驅動可動反射鏡8之致動器也 具備一組即可，可使光可變衰減器之構造簡潔化。 圖4係表示在上述之光可變衰減器中插入損失（光衰減量） 與PDL之相關關係之實際測量資料。該實際測量資料之橫 軸表示向懸臂梁與電極之間供應之電壓，實際測量資料之 左側縱軸表示插入損失，實際測量資料之右側縱軸表示 86107 -13- 1286610

L如從同圖所了解，l〇 dB衰減時之PDL·，大約〇· i 5 dB 變成非常小。 圖5係表不有關本發明之光可變衰減器之其他實施形態 之平面圖圖中，在與上述之實施形態同一或者同等之構 件中裇有同樣之符號，並省略該說明。 在圖5中，本實施形態之光可變衰減器1A，具有與上述致 動器結構體5同等之致動器結構體5A。該致動器結構體 5A，在初期狀態中其構成係將可動反射鏡8從輸入用光路a 以及輻出用光路B完全分離。在該狀態，因為從輸入用光路 AI出之光用可動反射鏡8完全不反射，所以光衰減量為無 限大。 從此種初期狀態開始，如利用電壓源丨丨在懸臂梁6與電極 9之間施加電壓，通過兩者間產生之靜電力可動反射鏡8向 電極9側移動。在該狀態下，因為從輸入用光路A發出之光 的一部分用可動反射鏡8反射並導入輸出用光路B，光衰減 里k小。並且’如可動反射鏡8達到如圖6所示之位置，因 為從輸入用光路A發出之光用可動反射鏡8全部反射並導入 輸出用光路B，光衰減量變成最小。 圖7係表示具備上述之光可變衰減器之光模組的一個例 子。在同圖中，光模組12係具有將從波長多工之信號中加 強/減弱任意波長信號之功能之光分歧插入多路調制器 (OADM)。 OADM 12具備擁有多數之2x2光電開關13之光電開關陣 列14，以及擁有多數之光可變衰減器丨之光可變衰減器陣列 86107 -14- 1286610 1 5。各光電開關1 3與各光可變衰減器1，介由主導波路16 (相 當於上述之輸入用光路A)相互連接。同時，各光電開關13， 介由主導波路17與分波器18連接。該分波器18，將經1條光 纖19傳送之波長不同之多數光信號依照各波長分波。各光 可變衰減器1，介由主導波路20 (相當於上述之輸出用光路b) 與合波器21連接。該合波器21將各波長之光信號合波導入1 條光纖22。在各主導波路20中，設有檢測在光可變衰減器1 中衰減之光功率之光電監視器23。同時，在各光電開關13 中，加強用波導路24以及減弱用波導路25相互連接。 光電開關陣列14，光可變衰減器陣列15以及光電監視器 23，與控制器26連接。該控制器26，包含向各光電開關13 供應電壓之多數電壓源，以及向各光可變衰減器丨供應電壓 之多數電壓源（上述）。控制器26,根據光電監視器23之檢測 值，向各光可變衰減器1送出電壓信號，使輸出光量成為所 希望值。同時，控制器26，向各光電開關13送出電壓信號， 實施波導路16，17，24，25之光路切換。 另外，本發明不限定於上述實施形態。例如，在上述實 施形態中，係利用通過在懸臂梁6與電極9之間產生之靜電 力使可動反射鏡8驅動之靜電致動器，但也可以使用利用電 磁力使可動反射鏡8驅動之電磁致動器等。 同時，在上述實施形態中，其構成係向穿過輸入用光路A 以及輸出用光路B之平面波導路2之寬度方向使可動反射鏡 8驅動，但其構成也可以係使可動反射鏡8向上下方向等驅 動。 86107 -15 · 1286610 2 A(3) B(3) C(3) D(3) 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 平面波導路 光波導路 光波導路 光波導路 光波導路 溝部 致動器結構體 懸臂梁 梳齒 可動反射鏡 電極 梳齒 電壓源

OADM 光電開關 光電開關陣列 光可變衰減器陣列 主導波路 主導波路 分波器 光纖 主導波路 合波器 光纖 86107 -17 1286610 23 光電監視器 24 加強用波導路 25 減弱用波導路 26 控制器 86107

Claims (1)

1286⑽: ·減雜王麵 拾、申請專利範園： 1. -種，可變衰減器，其特徵在於包含： 構件’其係包括輸人用光路以及輸出用光路者； 用=2鏡、’其係連接於支撐構件’且將在前述輸入 k過<光向前述輸出用光路反射者；及 驅動機構，其係使前述可動反射鏡移動者； 月'J述驅動機構包含在前述基礎構件上設置之電極，以 :使在前述支撐構件與前述電極之間產生靜電力之機 構， 、前述輸人用光路以及前述輸出用光路係Μ波導路形 成， 在前述基礎構件中，設有與前述輸入用光路以及前述 輸出用光路連接之溝部， 前述可動反射鏡，其設置為在插入前述溝部内之狀態 下可以移動者。 2. 如申請專利範圍第1項之光可變衰減器，其中前述支撐構 件被支撐於前述基礎構件上。 3. 如申請專利範圍第i項之光可變衰減器，其中前述可動反 射鏡係利用微小電子機器系統技術形成者。 4. 如申請專利範圍第工項之光可變衰減器，其中前述輸入用 先路與前述輸出用光路之虛擬交叉角度為9度以上者。 5. 如申請專利範圍第！項之光可變衰減器，其中在前述溝部 内，填充具有與前述光波導路同等之折射率之匹配油者。 6· 一種光可變衰減器，其特徵在於包含： 彳 86107-960305.doc 1286610 >；· 基礎構件，其係包括輸入用光路以及輸出用光路者； 可動反射鏡，其係將在前述輸入用光路上通過之光向 前述輸出用光路反射者；及 驅動機構，其係使前述可動反射鏡移動者，· 前述可動反射鏡連接於懸臂梁，該懸臂梁被支撐於基 礎構件上， 前述驅動機構包含在前述基礎構件上設置之電極，以 及使在則述懸臂梁與前述電極纟間產生靜電力之機構 者。 7·如申請專利範圍第6項之光可變衰減器，其中 在前述懸臂梁上設有多數之第1梳齒， 在則逑“亟上’設有插入前述各第1梳齒間之多數之第 2梳齒。 昂 8·如:請專利範圍第6項之光可變衰減器，其中 前述可動反射鏡，前述懸臂梁以及前述電極，係由且 有導電性之Si形成， /、 在前述可動反射鏡之表面，塗敷有Au，Ag，A1中之任 一者。 I :二二專利範圍第1項之光可變衰減器’其中在光衰減量 中 <偏光依存損失比0.2 dB小者。 ίο. -種光t组，其特徵在於包含如中請專利範 可變衰減器者。 〜又先 11.如申請專利範園第!項之光可變衰減 件包含懸臂梁。 Tk叉知構 86107-960305.doc