TW200937122A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Description

200937122 … ^六、發明說明： - 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關感光性樹脂組成物。 【先前技術】 - 近年來’已開發出許多以液晶顯示器、有機EL顯示器 ， 為代表之顯示元件，並已進入實用化。用於製造包含於此 等顯示元件中的圖案，也有各種感光性樹脂組成物的提 議’例如已揭示以含有鹼可溶性樹脂及光聚合起始劑所構 ❹ 成的感光性樹脂組成物（如後述之專利文獻1)。 [專利文獻1]曰本特開平^433600號公報 【發明内容】 當使用已往的感光性樹脂組成物所形成的圖案曝露於 高溫時’有透明性下降的問題。 本發明人等針對上述問題而探討的結果，發現可形成 耐熱光穿透率優異的圖案之感光性樹脂組成物。 本發明之感光性樹腊組成物含有含石夕之丙稀酸系樹脂 ® (A)、石夕氧烧化合物（B)(但（A)除外）及感光物質(〇。 同時，本發明之上述感光性樹脂組成物組成物，其中 含矽之丙烯酸系樹脂（A)是含有:至少由具有矽原子的^加 水分解性聚合性不飽和化合物（A1)與不飽和羧酸及/嘎不 飽和羧酸酐（A2)聚合而成的共聚物之含矽之丙烯酸系樹 脂。 、 同時’本發明之上述感光性樹脂組成物組成物，其中 具有矽原子的非加水分解性聚合性不飽和化合物（Μ 弋 320856 200937122 (I)表示的化合物。 R5

[式（I)中，R1表示氫原子或甲基。 R 表不 _〇-(CH2)W-、~C( = 0)_0-(CH2)»-或-（CH2)W-。含在 R2 中的碳原子也可以雜原子取代。W表示0至8的整數。 R3至R5分別獨立地表示碳數1至12的脂肪族烴基、碳 數6至12的芳基或碳數7至12的芳烷基。含在該脂肪族 烴基、芳基及芳烷基中的氫原子，也可以鹵素原子取代。 y表示1至5的整數，x及z分別獨立地表示〇至5的 整數。] 同時’本發明之上述感光性樹脂組成物，其中含矽之 丙烯酸系樹脂（A)為復含有由可與（A1)&(A2)共聚合的單 體（A3)(但是（A1)及（A2)除外）聚合而成的共聚物之含矽之 丙烯酸系樹脂。 同時’本發明之上述感光性樹脂組成物，其中矽氧烷 化合物⑻（但是（A)除外）為含有源自式⑴表示的單體之 結構單位的化合物。 K8"Si(〇R9)4_n (π ) 4 320856 200937122 [式（Π)中’ R及R9分別獨立地表示碳數1至i2的脂肪族 •烴基、碳數6至12的芳基或碳數7至12的芳烧基。該脂 肪族烴基、芳基及芳烧基中的氫原子也可以重氮原子、氣 •原子、氣原子、氰基、經基、碳數1至4的烧氧基、胺基、 硫醇基、亞胺基、環氧基或（甲基）丙歸醯基取代。n表示〇 至3的整數。當n為2以下的整數時，r9可分別為同一種 類或不同種類的基。當η為2以上的整數時，^可分別為 同一種類或不同種類的基。] ❹ it時，本發蚊含有熱硬化促進#KD)的上職光性樹 月曰組成物。 同時，本發明是含有溶劑⑻的上述感光性樹脂組成 物。 、1¾時，本發明是含有光增感劑⑺的上述感紐樹脂組 成物。 同時’本發明是使用上述感光性樹脂組成物而形成的 ❾ 圖案。 同時’本發·明疋含有上述圖案的顯示元件 【實施方式】 (實施發明的最佳形態） 以下，詳細說明本發明。 本發明的感光性樹脂組成物是含有含發之丙婦酸系樹 脂(A)。 、 所謂含矽之丙烯酸系樹脂（A)，是指含有石夕原子的丙稀 酸酯或甲基丙稀酸酯的聚合物。 320856 5 200937122 切之丙烯酸系樹脂⑷較 的非加水分解性聚合性不飽 夕3有使具有石夕原 稱為（A1))，與不飽和魏化5物⑼（以下有時亦 有時亦稱卿聚合而成=飽和竣酸肝⑽以 脂0 子 下 之含矽之丙烯酸系樹 所謂（A1)，疋非加水分解性 而含有聚合性基及 改即‘不含加水性基（例如 烷氧基、烷氧斂基或羧基等）的化合物， 不飽和鍵的化合物。 〇 所謂（A2)中料飽㈣酸，是指具有錢和鍵的羧 酸’而不鮮㈣較減有錢讀的魏肝。 (A1)較佳為式（I)表示的化合物。

Ο) ❹ [式（I)中，R1表示氫原子或甲基。 R2 表示-0-(CH2V、-C( = 〇)-0-(CH2)^_(CH2)w…含在 r2 中的碳原子也可以雜原子取代。w表示〇至8的整數。 R3至R5分別獨立地表示碳數i幻2的月旨肪族煙基、碳 數6至12的芳基或碳數7至12 #芳烧基。含在該脂肪族 烴基、芳基及芳烷基中的氫原子，也可以齒素原子取代。 320856 6 200937122 整數 不1至5的整數，X及z分別獨立地表示0至5之 Λ wΚ，可舉例如單鍵；酯鍵；.醚鍵； 亞甲基、伸乙其、一 基、四亞甲某二亞甲基、卜甲基伸乙基、2-甲基伸乙 基三亞甲基,基三亞甲基、2_甲基三亞甲基、3-甲 氧基亞甲基、^^伸乙基、2—乙基伸乙基等伸烧基； ❹ ❹ 基伸乙基、基、氧基伸丙基、硫基亞甲基、硫 伸丙基等含基、胺基亞甲基、胺基伸乙基、胺基 並以單鍵、的伸燒基等， 佳。 迎甲基、伸乙基、氧基亞曱基、氧基伸乙基為 非加非加水分解性的1價基之中。至於此等 基所形成的群細:’可選擇選自非聚合性的基及聚合性的 加水分解性如任何基。而所謂非加水分解性基’在 加水分η如’絲基、料錢絲絲等）於可 存在的性質之臭。’疋具衫能加水分解，而其本身安定 至於 R3 5 〇5 正丁美、 ’可舉例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、 基、第三丁基、辛基、十二綱數1至 苯，、聯苯基、#基等絲； 甲苯基、苯基、三甲苯基等芳燒基。 較，的月曰肪族沒基為尹基、乙基；較佳的芳基為苯基、五 氟苯土 £較佳的是苯基。同時，較佳的芳貌基為三象歹 320856 7 200937122 基苯基、雙（三氟甲基）苯基。 至於式⑴表示的化合物，可舉例如甲基 一 基矽烷基曱基）酯、甲基丙烯酸（笨基二曱基矽烷 ^甲 1-(3-曱基丙烯醯氧基丙基3,3,3_五甲基°一石酯、 烧、1-(3-甲基丙稀酿氧基丙基）聚二甲基石夕氧燒氧 醯氧基丙基甲基雙（三曱基矽烷氧）矽烷、3一 : '"丙烯 基丙基三（三甲基矽氧烷）矽烷、第r基-兩稀酿氧 J ^一甲基乙嫌|μ 烧、稀丙基二甲基;^烧、烯丙基三？基魏、三 基石夕烧、甲基⑽酸三曱基石夕燒基酷、乙稀基二乙基= 矽烷、乙烯基三（三甲基矽烷氧基）矽烷、乙烯基三^基 烧、乙稀基曱基雙（三甲基矽烷氧基）石夕烷、苯基二甲基乙 烯基魏、苯基甲基乙縣#料，料化合物可單獨使 用或複數種組合使用。 至於（Α1)’也可使用如fm_07u(Mw:1〇〇〇,式（卜^))、 FM-0721(Mw . 5000 ’ 式（卜卜1))、fm_〇725(Mw : 10000，式 (1-1-1))、FM-〇7〇i(Mw : 42〇，式（卜卜n)、FM—〇7〇1T(Mw : 420 ’ 式（1-2-1))(均為 Chiss〇(股）製）、x_22_174DX(Mw : 4600，式（I-卜 1))、X一24_82〇1(Mw : 21〇〇)、x_22__2426(Mw : 12000，式（I—M))、X-22-2404(Mw : 420，式（1-2-1))、 X-22-2406C均為信越化學工業（股）製）等市售品。 ?h3 ch3/ 〇h3\ ch3 / ch3 \ HZC=C-|—O-iCH^-si^o-si-J-RS (1-1-1) H2C=C-C-0-C3H6-Si-|-〇4i-CH3 ) (i^i) CH3 \ ChJ y 〇 \ d；H3 /4 [式G_1_1)中，R5、W及y表示與上述同義。] 至於（A2)，可舉例如丙烯酸 '甲基丙烯酸、巴豆酸等 8 320856 200937122 ^ 不飽和單羧酸類； * 順丁烯二酸、反丁烯二酸、檸康酸、中康酸、伊康酸等不 飽和二羧酸類； . 前述不飽和二羧酸類的酸酐（無水物）； ' 琥珀酸單[2-(甲基）丙烯醯氧基乙基]酯、反丁烯二酸單 • [2-(甲基）丙烯醯氧基乙基]酯等二價以上的多元羧酸之單 [2-(甲基）丙烯醯氧基烷基]酯類； 如同α-(羥基甲基）丙烯酸，在同一分子中含有羥基及羧基 ❹ 的不飽和丙烯酸酯類等。此等之中，丙烯酸、甲基丙烯酸、 順丁烯酸酐等，因共聚合反應性、對驗性水溶液之溶解性 高而較適用。此等可單獨使用，或組合使用。 另外，含矽之丙烯酸系樹脂（Α)較佳為復含有可與（Α1) 及（Α2)共聚合的單體（Α3)(但是（Α1)及（Α2)除外。以下也稱 為「（A3)」。）聚合而成的共聚物所成之含石夕之丙烯酸系樹 脂。 q (A3)較佳為具有選自環氧基、環氧丙基（oxetanyl)、 活性亞曱基及活性次曱基（methine)所形成的群組中之至 少一種基與不飽和鍵的化合物。例如，（甲基）丙浠酸縮水 甘油基酯、（曱基）丙烯酸4-羥基丁基酯縮水甘油醚、（甲 基）丙烯酸（3, 4-環氧基環己基）甲酯、3-(甲基）丙烯醯氧基 甲基環氧丙烷、3-曱基-3-(甲基）丙烯醯氧基曱基環氧丙 烧、3-乙基-3-（曱基）丙婦酿氧基曱基環氧丙烧、2-苯基 -3-(曱基）丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、2-三氟甲基_3-（甲基） 丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、2-五氟乙基-3-(甲基）丙烯醯氧 9 320856 200937122 基曱基環氧丙烷、3-甲基-3-(曱基）丙烯醯氧基乙基環氧丙 烷、3-甲基-3-(甲基）丙烯醯氧基乙基環氧丙烷、2-苯基 -3-(甲基）丙烯醯氧基乙基環氧丙烷、2-三氟甲基-3_(曱基） 丙烯醯氧基乙基環氧丙烷或2-五氟乙基-3-(曱基）丙烯醯 氧基乙基環氧丙烷等，較佳為3-(甲基）丙烯醯氧基甲基環 氧丙烷、3-甲基-3-(甲基）丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、3-乙基-3-(甲基）丙烯醯氧基甲基環氧丙烷、2-苯基-3-(曱基） 丙烯醢氧基曱基環氧丙烷、2-三氟甲基-3-(甲基）丙烯醯氧 基曱基環氧丙烷、2-五氟乙基-3-(甲基）丙烯醯氧基甲基環 氧丙烷、3-甲基-3-(甲基）丙烯醯氧基乙基環氧丙烷、2-苯基-3-(甲基）丙烯醯氧基乙基環氧丙烷、2-三氟甲基 -3-(甲基）丙烯醯氧基乙基環氧丙烷或2-五氟乙基-3-(曱 基）丙烯醯氧基乙基環氧丙烷。 具有前述環氧基與不飽和鍵的化合物，較佳為脂肪族 多環化合物的環上具有環氧基，且具有不飽和鍵的化合 物。至於該脂肪族多環化合物，可舉例如二環戊烷、三環 癸烷、降冰片烷、異降冰片烷、二環辛烷、二環壬烷、二 環十一烷、三環十一烷、二環十二烷、三環十二烷等，較 佳為碳數8至12的化合物。 更較佳的化合物，可舉出選自式（ΙΠ)表示的化合物及 式（IV)表示的化合物所形成之群組中的至少一種化合物。 200937122

[式（瓜）及式（IV)中，R表示可以氫原子或羥基取代的碳數 1至4之脂肪族烴基。X表示可含有單鍵或雜氧子的碳數1 至6的伸烷基。] Ο 至於R，可舉例如氫原子、甲基、乙基、正丙基、異 丙基、正丁基、第二丁基、第三丁基等脂肪族烴基；羥基 甲基、1-羥基乙基、2-羥基乙基、1-羥基-正丙基、2-羥基 -正丙基、3-經基-正丙基、1-經基-異丙基、2-經基-異丙 基、1-經基-正丁基、2-經基-正丁基、3-經基-正丁基、4-羥基-正丁基等含有羥基的脂肪族烴基，較佳為氫原子、甲 基、羥基甲基、1-羥基乙基及2-羥基乙基，更較佳為氫原 子及甲基。 © 至於X，可舉例如單鍵，或亞甲基、伸乙基伸丙基 等伸烷基； 氧基亞甲基、氧基伸乙基、氧基伸丙基、硫基亞甲基、硫 基伸乙基、硫基伸丙基、胺基亞甲基、胺基伸乙基、胺基 伸丙基等含雜原子的伸烷基等， 較佳為單鍵、亞甲基、伸乙基、氧基亞甲基、氧基伸乙基， 更較佳為單鍵及氧基伸乙基。 至於式（皿）表示的化合物，可舉例如式（m-ι)至式（m 11 320856 200937122 佳為式（m-i) -15)表不的化合物等，較佳為式（皿丨）、式（皿_3)、式（羾 -5)、式（Π_7)、式（瓜-9)、式（ΠΙ-11)至式（ffl'15)，更較 式（诅-7)、式（皿-9)、式（ΠΙ-15)。

?H35? ;Q— —Q H2C=CH-G—0 0 h2c=ch-c—o—ch2 ο H2CaCH«C-0-C2H4 H2C=CH—C—Ο—〇2士~~o ch3o • I II Η2〇=0—C™0 CHS 0 ,,Λ I li H2C=(3-""-C—0 —CHg CH30 u Λ I II —iwQ—Q—Q2H4

(m-i3)

O

H2C=CH-C—0—〇2Η4—s o II Η2〇=ΟΗ"*0·~0"™·〇2Η4~·Ν H HgC—C"~C—O —C2H4—S

(m-4) (ΠΙ>6) CH3 0 h2c=c—c—o—cyv-N·

CHaOH ο h2c=c--c—0

〇

HgO^sQ — —Q ~—0

C2H4OH 0 H2C—C~· — c 一 0 (ΠΜ5)

至於式（IV)表示的化合物，可舉例如式（汉〜丨）至式（IV -15)表示的化合物等，較佳為式（jyy)、式（IV_3)、式 -5)、式（IV-7)、式OV-9)、式（IV-H)至式（IV]5)，更較 佳為式（IV-1)、式（IV-7)、式（IV—9)、式（IV_15)。 〇 320856 12 200937122 5/ Ο ?h3j

h2c=ch-c—ο ο h2c=ch-c—o-ch2 H2C=CH-C—O—C2H4 ο II H2C=CH—C 一O—(^一丨 ch3o I II h2c=c一c H2C=sCe_*C—〇—C2H4 CH30 h2c=c—C—0—C2H4—0

ch3o H2C=C—C—O-C2H4-N (IV-15)

(IV-2) H2C=CH，C—O — C2H4-S ο II H2C=CH-C—Ο —C2H4—N H CH30 I 11 „ u Q HZC=C一C—O—C2H4-S

(IV-6) (IV-8)

(IV-10) ch2oh o h2c=c-c—0

(TV-12)

H2C—C

(IV-14) 選自式On )表示的化合物及式（iv)表示的化合物所形 成的群組中之至少一種化合物，可各別單獨使用。同時’ ο 此等化合物可以任意比率混合。混合時的混合比率為莫界 比時，較佳為（式（瓜）表示的化合物y:(式（IV)表示的化合 物）=5 : 95至95 : 5 ’更較佳為丨〇 : 9〇至9〇 : 1〇，特佳 為 20 : 80 至 8〇 : 20 。 至於具有選自前述活性亞甲基及活性次甲基所形成的 群組中之至少一種的基與不飽和鍵的化合物，可舉例如式 (V-1)至式（v_18)表示的化合物等。 13 320856 200937122

(V-2) (V-4) (V-6) (V-8) (v-io) (V-12)

(V-13)

0 Ό O 0 0Λρ〇从 (V-14)

o

O

、CN (V-15) (V-16)

、NO a (V-17)

0 0 S (V-18) 其中，較佳為式（v-l)表示的乙醢基乙酸2-(甲基丙 烯醯氧基）乙酯為佳。

(V-l) 14 320856 0 200937122 ' 含矽之丙烯酸系樹脂（A)復可加入其他可共聚合的單 - 體（A4)(但是（A1)、（A2)及（A3)除外。以下亦稱為「（A4)」）。 至於（A4)，可舉例如（曱基）丙烯酸曱酯、（甲基）丙烯酸乙 酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙烯酸第二丁酯、（曱基) • 丙烯酸第三丁酯等（甲基）丙烯酸烷基酯類； ， 丙烯酸甲酯、丙烯酸異丙酯等丙烯酸烷酯類； (甲基）丙烯酸環己基酯、（甲基)丙烯酸2-曱基環己基酯、 . , · (曱基）丙烯酸三環[5. 2. 1. 02·6]癸烷-8-基酯（在該技術領 ❹ 域中，其慣用名稱是（甲基）丙烯酸二環戊基酯）、（甲基） 丙烯酸二環戊基氧基乙基醋、（甲基）丙烯酸異萡基酯等（甲 基）丙烯酸環烷酯類； 丙烯酸環己基酯、丙烯酸2-甲基環己基酯、丙烯酸三環 [5.2. 1.02’6]癸烷-8-基酯（在該技術領域中，其慣用名稱為 丙烯酸二環戊基酯）、丙烯酸二環戊基氧基乙基酯、丙烯酸 異萡基酯等丙烯酸環狀烷基酯類； 0 苯基（甲基）丙烯酸酯、苯曱基（甲基）丙烯酸酯等（曱基）丙 烯酸芳酯類； 丙烯酸苯基酯、丙烯酸苯甲基酯等丙烯酸芳酯類； 順丁烯二酸二乙酯、反丁烯二酸二乙酯、伊康酸二乙酯等 二羧酸二酯； (曱基）丙烯酸2-羥基乙基酯、（曱基）丙烯酸2-羥基丙基酯 等羥基烷酯類； 雙環[2. 2. 1]庚-2-烯、5-曱基雙環[2. 2. 1]庚-2-烯、5-乙 基雙環[2.2. 1]庚-2-烯、5-羥基雙環[2.2. 1]庚-2-烯、5- 15 320856 200937122 羧基雙環[2. 2· 1]庚-2-烯、5-羥基曱基雙環[2· 2· 1]庚-2-烯、5-(2’ -羥基乙基）雙環[2. 2. 1]庚-2-烯、5-甲氧基雙 · 環[2. 2.1]庚-2-烯、5-乙氧基雙環[2.2. 1]庚-2-烯、5, 6-二羥基雙環[2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二羧基雙環[2. 2. 1]庚 . -2-烯、5, 6-二（羥基甲基)雙環[2.2. 1]庚-2-烯、5, 6~二 _ (2，-羥基乙基）雙環[2.2.1]庚-2-烯、5, 6-二曱氧基雙環 ， [2. 2. 1]庚-2-烯、5, 6-二乙氧基雙環[2. 2. 1]庚-2-烯、5-羥基-5-曱基雙環[2. 2,1]庚-2-烯、5-羥基-5-乙基雙環 [2. 2. 1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2.2. 1]庚-2-烯、5- 〇 羧基-5-乙基雙環[2. 2.1]庚-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基雙 環[2. 2. 1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2. 2. 1]庚-2-烯、 5-羧基-6-乙基雙環[2.2. 1]庚-2-稀、5, 6-二羧基雙環 [2. 2. 1]庚-2-稀酸Sf (亥米克酸軒（himic anhydride))、5-第三丁氧基羰基雙環[2.2. 1]庚-2-烯、5-環己氧基羰基雙 環[2. 2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基雙環[2. 2.1]庚-2-烯、 5, 6-二（第三丁氧基羰基）雙環[2. 2· 1]庚-2-烯、5, 6-二（環 八 V# 己氧基羰基）雙環[2. 2. 1]庚-2-烯等雙環不飽和化合物類； N-苯基順丁烯二醯亞胺、N_環己基順丁烯二醯亞胺、N-苯 甲基順丁婦-一酿亞胺、N_破ίό酿亞胺基-3~順丁稀二酿亞胺 本曱酸S旨、Ν-琥拍醯亞胺基-4-順丁焊二酿亞胺丁酸醋、Ν-琥轴醯亞胺基-6-順丁烯二醯亞胺己酸酯、Ν-破珀醯亞胺基 -3-順丁烯二醯亞胺丙酸酯、ν-(9-吖啶基）順丁烯二醯亞胺 等二羰基醯亞胺衍生物類； 苯乙烯、曱基苯乙烯、間-甲基笨乙烯、對—曱基苯乙烯、 320856 16 200937122 乙烯基甲苯、對-甲氧基苯乙稀、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯 •乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、醋酸乙烯酯、1，3-丁二烯、 異戊二烯、2, 3_二甲基-1，3—丁二烯等乙烯基化合物。 此等化合物之中，就共聚合反應性及對於鹼性水溶液 之;谷解性而寻’疋以本乙稀、N_苯基順丁烯二醯亞胺、n一 ，環己基順丁烯二醯亞胺、N-苯甲基順丁烯二醯亞胺等為 佳。此等化合物可單獨使用，或組合後使用： 含石夕之丙烯酸系樹脂（A)是至少含有聚合 €>成的共聚物所形成的含矽之丙烯酸系樹脂。也可配合需求 而含有來自（A3)的組成單位，以及進一步之來自（A4)的組 成單位。 當含矽之丙烯酸系樹脂（A)為僅由來自（A1)及（A2)的 組成單位形成時，以相對於組成前述共聚物的組成成分之 合計莫耳數的莫耳分率計，含矽之丙烯酸系樹脂（A)之來自 (A1)及（A2)的組成成分之比率，是以下述範圍者為佳。 ❹來自（A1)的組成單位：50至95莫耳％ 來自（A2)的組成單位：5至50莫耳％ 除了來自（A1)及（A2)的組成單位之外，當含石夕之丙浠 酸系樹艏(A)含有來自（A3)及（A4)的組成單位時，以相對於 組成前述共聚物的組成成分之合計莫耳數之莫耳分率計， 含矽之丙烯酸系樹脂（A)之來自(A1)至（A4)的組成成分之 比率，是以下述範圍者為佳。 來自（A1)的組成單位：5至75莫耳％ 來自（A2)的組成單位：5至.50莫耳％ 17 320856 200937122 來自（A3)的組成單位：〇至85莫耳％ 來自（Α4)的組成單位：〇至5〇莫耳％ 當組成成分的莫耳分率在該範圍内時，因可使含矽之 丙烯酸系樹脂（Α)與矽氧烷化合物（Β)(但（Α)除外）的相溶 性傾向良好，同時顯像時不易造成膜減少，並且顯像時非 畫素部份的脫落牲良好，而有良好解像性的傾向而佳。

製造含矽之丙烯酸系樹脂(Α)時，例如可參考文獻「高 分子合成的實驗法」（大津隆行著發行所（股）化學同人笫 1版第1刷1972年3月1曰發行）所揭示的方法及該文獻 所揭示的參考文獻。 ★具體上’是將定量的組成共聚物之單位（Α1)及（Α2) ，、聚合起始劑及溶劑裝入反應器中後，藉由氮氣取代氧 氣，於氧氣不存在下將其攪拌、加熱、保溫後，即可得聚 0物。而且，所得的聚合物可直接使用反應後的溶液、可 使用/農縮或稀釋後的溶液，也可使用以再沉殿等方法作成 111體（粉體）後取出者。 ❹ ν含矽之丙烯酸系樹脂（Α)換算成聚苯乙烯的重量平琴 =子量，宜為 3, 000 至 100, 000，並以 5, 〇〇〇 至 5〇, 〇〇〇’ 當含♦之丙騎系樹脂⑷的重量平均分子量為該 ==、因塗布性有變成良好的傾向，同時顯像時不易造; 性：二ί且顯像時非畫素部份的脫落性良好，可細 量量好佳。切之丙烯酸系樹脂⑴的分， 佳為1.2至4.0。分子量分布為該範圍時 320856 18 200937122 • 顯像性良妤而有解像性優異的傾向而較佳。 以相對於感光性樹脂組成物中的固形份（是指組成物 的成分中’於25 C時為固體者。）之質量分率計，含石夕之 丙烯酸系樹脂（Α)的含量較佳為5至90質量％，更較佳為 • 10至70質量％。當含矽之丙烯酸系樹脂（Α)之含量為該範 ' 圍時，有耐熱光穿透過率更為提昇的傾向而佳。 本說明書中的所謂财熱光穿透率’是指將含有感光性 * 樹脂組成物的塗膜加熱時’其光穿透率在加熱前後的可見 ❹光域中之變化率。 本發明的感光性樹鹰組成物是含有s夕氧燒化合物 (Β)(但（Α)除外）。 矽氧烷化合物（Β)(但（Α)除外）是以含有來自式（π )表 示的單體之結構單位的化合物為佳。 R8nSi(0R9)4-„ (Π) [式（H)中’ R8及r9是分別獨立表示碳數1至α的脂肪族 〇 煙基、碳數6至12的芳基或碳數7至12的芳烷基，該脂 肪族烴基、芳基及芳烷基的氫原子也可以重氫原子、氟原 子、氯原子、氰基、羥基、碳數1至4的烷氧基、胺基、 硫醇基、亞胺基、環氧基或（甲基）丙烯醯基取代。η表示0 至3的整數。當η為2以下的整數時，R9可分別為同一種 類或不同種類的基。當η為2以上的整數時，R8可分別為 同一種類或不同種類的基。] 發氣烷化合物（Β)(但（Α)除外）是含有來自式（Π )表示 的單體之結構單位的寡聚合物、聚合物或該等的混合物。 19 320856 200937122 至於R8及R9,例如，脂肪族烴基可列舉 t 丙基、丁ί、辛基、十二基，及該等基之重氫取代物基芳 基可列舉本基、聯苯基、萘基，及該等基之重氫 的各取代物；芳烷基可列舉曱苯基、二甲苯某—3氣 及該:基之重氣、氣或氣化物。至於較佳心=，， 可列舉曱基、3’3’3-三氟丙基、三氘曱基；至 的一 基，可列舉笨基、五1苯基、五氛苯基，而特佳的芳= 苯基。同時’較佳的芳絲，可列舉三氟曱基 : 氟甲基）笨基。

該脂肪族烴基、芳基及芳烷基的氫原子，也可以重氣 原子、氟原子、㈣子、氰基、羥基、碳數丨至4的燒^ 基、胺基、硫醇基、亞絲、環氧基或（甲基）_酿基取 代。

式（Π)表示的單體，例如可表示烷氧基矽烷、矽烷偶 合劑。具體上，可舉出四曱氧基矽烧、四乙氧基矽烷、四 丁氧基矽烷、四（2-甲基丙烯醯氧基乙氧基）矽烷、四（2— 丙烯醯氧基乙氧基）矽烷、四氣矽烷、四乙醯氧基矽烷、四 胺基矽烷、曱基三曱氧基矽烷、甲基三氯矽烷、甲基二氣 矽烷、甲基二甲氧基矽烷、曱基三乙醯氧基矽烷、曱基三 乙氧基矽烷、曱基三丁氧基矽烷、3, 3, 3—三氟丙基三甲^ 基矽烷、3’3, 3-三氟丙基三乙氧基矽烷、二甲基二甲氧基 矽烷、二甲基二氣矽烷、三甲基氯矽烷、三甲基甲氧基矽 烷、二乙基矽烧、三乙基氯矽烧、苯甲基三甲氧基矽燒、 苯基三甲氧基矽烷、苯基矽烷、苯基三乙醯氧基矽烷、笨 320856 20 200937122 ' 基三胺基矽烷、苯基三氣矽烷、苯基三乙氧基矽烷、:甲 -苯基三甲氧墓矽烷、三氟甲基苯基三甲氧基矽烷、聯本基 三甲氧基矽烷、聯苯基三氯矽烷、二苯基二甲氣基矽，、 二苯基二氯梦烧、乙婦基三曱氧基石夕炫、乙稀基一乙氧 - 矽烷、乙烯基三（2~甲氧基乙氧基）矽烷、N-(2-胺基乙 ， 基）-3-胺基丙基甲基二甲氧基矽烷、N_(2-胺基乙基）一3一 胺基丙基三甲氧基矽烷、3_胺基丙基三乙氧基矽炫、3-縮 水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、3一縮水甘油氧基丙基二甲 ❹氧基石夕院、2-(3,4-環氧基環己基）乙基三甲氧基矽烷、3-氣丙基曱基二甲氧基矽烷、3_氯丙基三甲氧基矽烷、3_甲 基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烧、3_硫醇基丙基三甲氧基 矽烷等。 石夕氧炫化合物⑻（但（A)除外）可表#有機聚砂氧燒 ::=:聚嫩樹脂可大致分為甲基聚嫩樹脂 與甲基本基聚石夕氧烧樹脂。 ' CH3S1O3 三維網狀 至於甲基聚碎氧烧樹脂，一般可舉出將Si〇2 /2、（CH3)2Si〇、（CH3)3Si0l/2的結構單位組合成^ 結構之共聚物^ 至於.甲基苯基聚梦氣烧樹脂，一般可舉出將 CH3Si〇3/2 ^ C6HsSi〇3/2 ^ (CH3)2Si0 > (CeH5)3Si〇3,2 組合成的三維網狀結構之共聚物，此等的耐熱性比墓 石夕氧燒樹脂為高。 在有機聚矽氧烷樹脂方面’例如可使用KR_242A、 KC-89 、 KC-89S 、 KR-500 、 X-40-9225 、 χ-40—9246 、 320856 21 200937122 X-40-9250 、 X-40-9227 、 Χ-40-9247 、 KR-251 、 Kr_4 KR-401N、KR-510、KR-9218、KR-217、X-41〜1〇53~、〇、 X-41-1056 、 X-41-1805 、 X-41-1810 、 X-40〜2651 、 X-40-2655A、KR-271、KR-282、KR-300、KR〜3]}、KR KR-213、KR-400、KR-255、ES-l〇01N、ES-10()2T、Es:12、 ES-5206、ES-5230、ES-5235、ES-9706(均為信越化 〇23、 (股）製）等市售品。 ° 學工業 矽氧烷化合物（B)的矽烷醇含有率（但是，矽烷 率是應用紅外線分析的3, SGGcnr1之oh基（來自残t 與來自um1之，甲基的吸收央峰之吸光纽7基)〇

AbS(3,50〇Cm—!)/AbS(l，271cm-1)。）宜為 1%以下。P 以相對於感光性樹脂組成物中的固形份（組成物中的 成分之中，於25°C時為固體者。）之質量分率計，石夕氧广 化合物⑻的含量較佳為2G至9Q f量％，更較佳為^ 80質量％。當石夕氧燒化合物⑻的含量為該範圍時，耐熱 光穿透率有更為提高的傾向而佳。 藉由含石夕之丙烯酸系樹脂⑴、石夕氧院化合物⑻（但 〇 除外）’即可提高本發明的感光性樹脂組成物之耐熱光穿透 本發明的感紐樹脂組成物中含有感光物f 感光物質⑹’可舉出光酸產生劑及光驗產生劑。、 光酸產生劑中有非離子性化合物與離子性化合物。 非離子性化合物，可使用例如含齒素化合物、重氮嗣 化合物、重氮甲烧化合物、硬化合物、確酸醋化合物、羧 320856 22 200937122 酸酯化合物、砜醯亞胺化合物、砜苯并三唑化合物等。 - 至於含鹵素化合物，可舉例如含鹵烧基的烴化合物、 含鹵烧基的雜環化合物等。較佳的含鹵素化合物方面，可 舉出1，1-雙（4-氯苯基）-2, 2, 2-三氯乙烷、2-苯基-4, 6-雙 - (三氯曱基）-s-三嗪、2-萘基-4, 6-雙（三氯甲基）-s-三嗪 ^ 等。 至於重氮嗣化合物，可舉例如1,3 -二闕-2 -重氮化合 物、重氮苯醌化合物、重氮萘醌化合物等。較佳的重氮酮 © 化合物，可舉出1，2-重氮萘醌-5-磺酸或1,2-重氮萘醌-4-磺酸與2, 3, 4, 4’ -四羥基二苯甲酮的酯化合物、1，2-重氮 萘醌-5-磺酸或1，2-重氮萘醌-4-磺酸與1，1，1-三（4-羥基 苯基）乙烷的酯化合物、1，2-重氮萘醌-5-磺酸或1，2-重氮 萘醌-4-磺酸與4,4’ -[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-卜曱基乙 基]苯基]亞乙基]二紛的i旨化合物等。 至於重氮曱烷化合物，可舉例如雙（三氟甲基磺醯基） 重氮甲烷、雙（環己基磺醯基）重氮甲烷、雙（笨基碜醯基） ◎ 重氮甲烷、雙（對-曱苯基磺醯基）重氮甲烷、雙（2, 4-二甲 苯基磺醯基）重氮甲烷、雙（對-氯苯基磺醯基）重氮曱烷、 曱基磺醯基-對-甲苯磺醯基重氮甲烷、環己基磺醯基（1，1-二甲基乙基磺醯基）重氮甲烷、雙（1，1-二甲基乙基磺醯基） 重氮甲烷、苯基磺醢基.（苯曱醯基）重氮甲烷等。 至於砜化合物，可舉例如；5-酮基砜化合物、磺醯 基砜化合物、二芳基二颯化合物等。較佳的颯化合物，可 舉出4-三苯甲醯甲基砜化合物、三甲苯基苯甲醯甲基砜化 23 320856 200937122 合物、雙（苯基磺醯基）甲烷、4-氯苯基-4-甲基苯基二颯化 合物等。 · 至於磺酸酯化合物，可舉例如烷基磺酸酯、鹵烷基磺 酸醋 '方基確酸酯、亞胺基確酸醋等.。較佳之例可舉出安 _ 息香曱苯績酸酯（benzoin tosylate)、五倍干酚三甲績酸 ’ 醋、硝基苯曱基-9,10-二乙氧基蒽-2-磺酸酯、2, 6-二硝基 ， 苯甲基笨磺酸酯等。至於亞胺基磺酸酯，可舉例如pAI_l〇l 〇^此]~11^231〇1(股）製）、？人1-1〇6(]^(1〇14 1^运&1〇1(股） 製）、C：GI-1311(日本汽巴（Ciba japan)(股）製）。 ❹ 至於羧酸酯化合物’可舉例如羧酸—鄰—硝基笨甲基酯。 _至於砜醯亞胺化合物，可舉例如N-(三氟甲基磺醯基 氧基）琥珀醯亞胺、N-(莰烷磺醯基氧基）琥珀醯亞胺、N_(4_ 甲基笨基磺醯基氧基）琥珀醯亞胺、N-(2-三氟甲基苯基績 ，氧基）琥轴醯亞胺、氟笨基績醯基氧基）琥绍酿亞 胺、N〜（三氟甲基磺醢基氧基）酞醯亞胺、N_(莰烷磺醯基氧 f )醜亞胺、㈣—三貌甲基苯基續酿基氧基）醜醜亞胺、 (2_~鼠笨基磺醯基氧基）酞醯亞胺、N_(三氟甲基磺醯基氧 〇 基:二笨基順丁稀二酿亞胺、N_(莰院續酿基氧基）二苯基順 T、一醯亞胺、N-(4-曱基苯基磺醯基氧基）二苯基順丁烯 _亞胺、N-(2-二氟甲基苯基磺醯基氧基）二笨基順丁烯 :酿亞胺、N~(4_氟苯基續醯基氧基）二苯基順丁烯二酿亞 —_N (弘氟笨基磺醯基氧基）二苯基順丁烯二醯亞胺、 卜（三，基賴基氧基）雙環[2.2·1]庚_5—烯-U-二m 醯亞胺、Ν'"(莰烷磺醢基氧基）雙環[2. 2· 1]庚-5-烯-2, 3~ 320856 24 200937122 二羧醯亞胺、N-(莰烷磺醯基氧基）-7-氧雜雙環[2.2. 1]庚 - -5-烯-2, 3-二羧醯亞胺、N-(三氟甲基磺醯基氧基）-7-氧雜 雙環[2. 2.1]庚-5-烯-2, 3-二羧醯亞胺、N-(4-甲基苯基磺 醯基氧基）雙環[2. 2.1]庚-5-烯-2, 3-二羧醯亞胺、N-(4- - 曱基苯基磺醯基氡基）-7-氧雜雙環[2.2. 1]庚-5-烯-2, 3- . 二羧醯亞胺、N-(2-三氟甲基苯基磺醯基氧基）雙環[2. 2. 1] 庚-5-稀-2，3_二叛酿亞胺、N-(2-三氟曱基苯基績酿基氧 基）-7-氧雜雙環[2. 2. 1]庚-5-烯-2, 3-二羧醯亞胺、N-(4-❹ 氟苯基磺醯基氧基）雙環[2.2. 1]庚-5-烯-2,3-二羧醯亞 胺、N-(4_氟苯基磺醯基氧基）-7-氧雜雙環[2. 2. 1]庚-5-烯-2, 3-二羧醯亞胺、N-(三氟曱基磺醯基氧基）雙環[2. 2. 1] 庚烧_5，6-氧基-2, 3-二叛Hi亞胺'、N-(获烧績酿基氧基）雙 環[2. 2. 1]庚烧-5，6-氧基-2，3-二叛酿亞胺、Ν.-(4-曱基苯 基確酿基氧基）雙環[2. 2. 1 ]庚烧-5，6-氧基-2，3_二叛酿亞 胺、Ν-(2-三氟曱基苯基磺醯基氧基）雙環[2.2. 1]庚烷 -5, 6-氧基-2, 3-二羧醯亞胺、Ν-(4-氟苯基磺醯基氧基）雙 ^ 環[2. 2. 1]庚烧-5，6-氧基-2, 3-二缓酿亞胺、Ν-(三氟甲基 苯基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、Ν-(莰烷磺醯基氧基） 萘基二羧醯亞胺、Ν-(4-甲基苯基磺醯基氧基）萘基二羧醯 亞胺、Ν-(2-三氟甲基苯基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、. Ν-(4-氟苯基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、Ν-(五氟乙基磺 酿暴氧基）蔡基二叛酿亞胺、Ν-(五氣丙基績酿基氧基）茶基 二羧醯亞胺、Ν-(九氟丙基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、 Ν-(乙基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、Ν-(丙基磺醯基氧基） 25 320856 200937122 萘基二羧醯亞胺、N-(丁基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、 N-(戊基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、N-(己基磺醯基氧基） 萘基二羧醯亞胺、N-(庚基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、 N-(辛基磺醯基氧基）萘基二羧醯亞胺、N-(壬基磺醯基氧基） 萘基二羧醯亞胺等。 至於礙苯并三°坐化合物’可舉例如1_三氟甲炫確酿基 氧基苯并三嗤、1-九氟丁基確醯基氧基苯并三σ坐、1-(4-甲基苯基磺醯基氧基）-苯并三唑等。 在離子性化合物方面，也可使用由鑌陽離子（onium cat ion)與來自路易斯酸的陰離子組成者。 至於前述鑌陽離子，可舉例如二苯基碘鏽、雙（對-甲 苯基）硪鏽、雙（對-第三丁基苯基）碘鏽、雙（對-辛基苯基） 碘鏽、雙（對-十八基苯基）碘鏽、雙（對-辛氧基苯基）碘鏽、 雙（對-十八氧基苯基）碘鑌、苯基（對-十八氧基苯基）碘 鑌、（對-曱苯基）（對-異丙基苯基)碘鏽、三苯基硫鏽、三（對 -曱苯基）硫鑛、三（對-異丙基苯基）硫鐵、三（2, 6 -二曱基 苯基）硫鏽、三（對-第三丁基苯基）硫鑌、三（對-氰基苯基） 硫鏽、三（對-氯苯基）硫鑌、二曱基（甲氧基）硫鏽、二曱基 (乙氧基）硫鏽、二甲基（丙氧基）硫鏽、二曱基（丁氧基）硫 鏽、二甲基（辛氧基）硫鑌、二曱基（十八烷氧基）硫鏽、二 曱基（異丙氧基）硫鏽、二甲基（第三丁基）硫鏽、二甲基（環 戊基氧）硫鏽、二曱基（環己基氧）硫鑌、二曱基（氟甲氧基） 硫鑌、二甲基（2-氯乙氧基）硫鏽、二曱基（3-溴丙氧基）硫 鐵、二甲基（4-氰基丁氧基）硫鐵、二甲基（8-碗基辛基氧基） 26 320856 200937122 .硫鎘、、二甲基(18-三氟曱基十八燒氧基）硫鎮、二甲 • 羥基異丙氧基）硫鏽或二甲基（三（三氣甲基）一？基（2~ 至於較佳的鑌陽離子，可舉例如雙（對、甲，）硫鐵等。 (對-甲苯基）(對-異丙基苯基）碟鏽、雙（對」第，基）峨鑌、 • 峨鐵、三苯基硫鎘或二_(對''第三丁基笨基）辟鐺.本基） . 至於來自路易斯酸的陰離子，可舉例如。 六氟砷酸鹽、六氟銻酸鹽或肆(五氟苯基)硼酸鹽' 〇 (五氟苯基）硼酸鹽 前述的鑌陽離子及來自路易斯酸的陰離子可作任 較佳的來自路易斯酸之陰離子，可舉似‘至於 η…、…。 4銻酸鹽或肆 組合 意的 至於陽離子^起㈣卜可舉例如二苯基购六_ 酸鹽、雙（對-曱苯基)碘鑌六氟磷酸鹽、雙（對—第=+ 基）蛾鏽六_酸鹽、雙（對-辛基苯基)韻六^酸 雙（對-十八基苯基）碘鑌六氟磷酸鹽、雙（對—辛氧美苯美 破鏽六氟侧、雙(對-十八燒氧基苯基)峨鏽六； 鹽、本基（對-十八燒氧基苯基)蛾鑌六氟魏鹽、（對—甲苯 基）（對-異丙基苯基)破鏽六氟磷酸鹽、甲基萘基蛾錯六氣 磷酸鹽、.乙基萘基蛾鑌六氟磷酸鹽、三苯基硫鐵六氣鱗酸 鹽、對-甲苯基）硫鑌六氟磷酸鹽、三（對—異丙基苯基） 硫鑌六氟磷酸鹽、三（2, 6-二甲基苯基）硫鑌六氟鱗酸鹽、 二（對-第二丁基苯基）硫鏘六氟磷酸鹽、三（對-氰基苯基） 瓜鑌’、氟鱗酸鹽、二（對-氯苯基）硫鏽六氟碟酸鹽、二甲基 萘基硫鑌六氟碟酸鹽、二乙基萘基硫鏽六氟磷酸鹽、二甲 27 320856 200937122 基（曱氧基）硫鏽六氟磷酸鹽、二甲基（乙氧基）硫鑌六氟磷 酸鹽、二甲基（丙氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二曱基（丁氧基） 硫鏽六氟磷酸鹽、二甲基（辛氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二甲 基（十八烷氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基（異丙氧基）硫鑌 六氟磷酸鹽、二曱基（第三丁氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二甲 基（環戊氧基）硫鏽六氟磷酸鹽、二曱基(環己氧基）硫鑌六 氟磷酸鹽、二甲基（氟甲氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基（2-氯乙氧基）硫鏽六氟磷酸鹽、二曱基（3-溴丙氧基）硫鑌六氟 磷酸鹽、二曱基（4-氰基丁氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基 (8-硝基辛氧基）硫鑌六氟磷酸鹽、二甲基（18-三氟曱基十 八烷氧基）硫鏽六氟磷酸鹽、二曱基（2-羥基異丙氧基）硫鑌 六氟磷酸鹽、二曱基（三（三氯甲基）曱基）疏鏽六氟磷酸鹽； 二苯基碘鑌六氟砷酸鹽、雙（對-甲苯基）碘鏽六氟砷酸鹽、 雙（對-第三丁基苯基）碘鏽六氟砷酸鹽、雙（對-辛基苯基） 碘鏽六氟砷酸鹽、雙（對-十八基苯基）碘鑌六氟砷酸鹽、雙 (對-辛氧基苯基）碘鏽六氟砷酸鹽、雙（對-十八烷氧基苯基） 碘鏽六氟砷酸鹽、苯基（對-十八烷氧基苯基）碘鏽六氟砷酸 鹽、（對-甲苯基）（對-異丙基苯基）碘鑌六氟砷酸鹽、甲基 萘基碘鑌六氟砷酸鹽、乙基萘基碘鑌六氟砷酸鹽、三苯基 硫鏽六氟砷酸鹽、三（對-曱苯基）硫鏽六氟砷酸鹽、三（對-異丙基苯基）硫鏽六氟砷酸鹽、三（2, 6-二甲基苯基）硫鏽六 氟砷酸鹽、三（對-第三丁基苯基）硫鑌六氟砷酸鹽、三（對-氰基苯基）硫鏽六氟砷酸鹽、三（對-氯苯基）硫鏽六氟砷酸 鹽、二曱基萘基硫鏽六氟砷酸鹽、二乙基萘基硫鏽六氟砷 28 320856 200937122 酸鹽、二甲基（曱氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二甲基（乙氧基） • 硫鏽六氟坤酸鹽、二曱基（丙氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二甲 基（丁氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二曱基（辛氧基）硫鏽六氟砷 酸鹽、二甲基(十八烷氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二曱基（異丙 - 氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二甲基（第三丁氧基）硫鑌六氟砷酸 . 鹽、二甲基（環戊氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二甲基（環己氧基） 硫鏽六氟坤酸鹽、二甲基（氟甲氧基）硫鑌六氟砷酸鹽、二 甲基（2-氯乙氧基)硫鏽六氟砷酸鹽、二甲基（3-溴丙氧基） © 硫鏽六氟砷酸鹽、二甲基（4-氰基丁氧基）硫鑌六氟砷酸 鹽、二曱基（8-硝基辛氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二曱基（18-三氟甲基十八烷氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二甲基（2-羥基異 丙氧基）硫鏽六氟砷酸鹽、二甲基（三（三氯曱基）曱基）硫鏽 六氟砷酸鹽； 二苯基碘鑌六氟銻酸鹽、雙（對-甲苯基）碘鑌六氟銻酸 鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘鏽六氟銻酸鹽、雙（對-辛基苯 基）碘鏽六氟銻酸鹽、雙（對-十八基苯基）碘鑌六氟銻酸 〇 鹽、雙（對-辛氧基苯基）碘鏽六氟銻酸鹽、雙（對-十八烷氧 基苯基）碘鑌六氟銻酸鹽、苯基（對-十八烷氧基笨基)碘鑌 六氟銻酸鹽、（對-甲苯基）（對-異丙基苯基）碘鏽六氟銻酸 鹽、甲基萘基碘鑌六氟銻酸鹽、乙基萘基碘鑌六氟銻酸鹽、 三苯基硫鑌六氟銻酸鹽、三（對-曱苯基）硫鑌六氟銻酸鹽、 三（對-異丙基苯基）硫鑌六氟銻酸鹽、三（2, 6-二甲基苯基） 硫鏽六氟銻酸鹽、三（對-第三丁基苯基）硫鏽六氟銻酸鹽、 三（對-氰基苯基）硫鑌六氟銻酸鹽、三（對-氯苯基）硫鑌六 29 320856 200937122 氟銻酸鹽、二甲基萘基硫鏽六氟銻酸鹽、二乙基萘基硫鏽 六氟銻酸鹽、二甲基（曱氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二甲基（乙 氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二甲基（丙氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、 二甲基（丁氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二甲基（辛氧基）硫鑌六 氟銻酸鹽、二甲基（十八烷氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二曱基 (異丙氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二曱基（第三丁氧基）硫鑌六 氟銻酸鹽、二甲基（環戊氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二甲基（環 己氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二曱基（氟曱氧基)硫鑌六氟銻酸 鹽、二甲基（2-氣乙氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二曱基（3-溴丙 氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二甲基（4-氰基丁氧基）硫銪六氟銻 酸鹽、二甲基(8-硝基辛氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二甲基（18-三氟甲基十八烷氧基）硫鑌六氟銻酸鹽、二甲基（2-羥基異 丙氧基）硫鏽六氟銻酸鹽、二曱基（三（三氯曱基）甲基）硫鑌 六氟銻酸鹽； 二苯基碘鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、雙（對-甲苯基）碘鑌 肆（五氟苯基）硼酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘鏽肆（五氟 苯基）硼酸鹽、雙（對-辛基苯基）碘鑌肆（五氟苯基）硎酸 鹽、雙（對-十八基苯基）碘鑌肆（五氟苯基）硼酸鹽、4-曱基 苯基[4-(1-甲基乙基）苯基]蛾鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、雙 (對-辛氧基苯基）碘鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、雙（對-十八烷 氧基苯基）碘鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、苯基（對-十八烷氧基 苯基）碘鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、（對-甲苯基）（對-異丙基 苯基）碘鏽肆（五氟苯基）侧酸鹽、甲基萘基碘鏽肆（五氟苯 基）硼酸鹽、乙基萘基碘鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、三苯基硫 30 320856 2〇〇937i22 麯 / 五氟一苯^猶鹽、三（對一甲苯基）硫鏘肆（五l苯基） (2, 二t—異丙基苯基）硫鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、三 丁其+Γ甲基苯基）硫鑷肆（五氟苯基）硼酸鹽、三（對-第三 '鑷肆(2=肆（五氣苯基）硼酸鹽、三（對-氰基苯基)硫 领酸瑰氣本基）爾鹽、三（對_氯苯基）硫鏽肆（五氟苯基） 苯基)硼酸鹽Si 二甲，(甲氧基)硫鑌肆(五氟 © 二甲复r 、 土（乙氧基）硫鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、 炉錄二γ丙氧基）硫錯肆（五氟苯基）观酸鹽、二甲基（丁氧基) 基HI氟㈣職鹽、二甲基(辛氧基)硫鑌肆(五氣苯 :、_ "，一曱基（十八垸氧基)硫鏘肆（五氟苯基）硼酸 7V 一甲基（異丙氧基）硫鐵肆（五氣苯基）韻鹽、二甲基 第二丁氧基）硫鏽肆（五絲基）獨酸鹽、二 環 z(五氣笨細—氧基)硫= :基)職鹽、二甲基（氟甲氧基）硫鏽肆(五氟苯細酸 ◎應-甲基(2一氯乙氧基〕硫鏽肆（五氟苯、基〕蝴酸鹽、二甲 基（3-漠丙氧基）硫鑌肆（五氟苯基）職鹽、二甲基（4-氛基 丁氧基）硫鏘肆（五氟笨基）硼酸鹽、二甲基（8_确基辛氧基土) 硫鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、二〒基〇8_三氟甲基十八燒氧 基）硫鑕肆（五氟苯基）賴鹽、二T基（㈡基異丙氧基） 硫鐺肆（五氟苯基）賴鹽、二甲基（三(三氯甲基）〒基）硫 鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽等；較佳的可舉例如雙（對-甲苯基） =鑌六氣磷酸鹽、（對-甲苯基）（對—異丙基苯基）破錯六土氣 *酸鹽、雙（對-第二丁基苯基）埃鑌六氟碟酸鹽、三苯基硫 320856 31 200937122 鑌六氟磷酸鹽、三（對-第三丁基苯基）硫鏽六氟磷酸鹽、雙 ’ (對-甲苯基）碘鏽六氟砷酸鹽、（對-甲苯基）（對-異丙基苯 ' 基）碘鑌六氟砷酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘鑌六氟砷酸 鹽、三苯基硫鏽六氟砷酸鹽、三（對-第三丁基苯基）硫鑌六 氟砷酸鹽、雙（對-曱苯基）碘鏽六氟銻酸鹽、（對-甲苯 ' 基）（對-異丙基苯基）碘鏽六氟銻酸鹽、雙（對-第三丁基苯 . 基）碘鏽六氟銻酸鹽、三苯基硫鏽六氟銻酸鹽、三（對-第三 丁基苯基）硫鑌六氟銻酸鹽、雙（對-甲苯基）碘鏽肆（五氟苯 基）硼酸鹽、（對-甲苯基）（對-異丙基苯基）碘鏽肆（五氟苯 〇 基）硼酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘鑌肆（五氟苯基）硼酸 鹽、三苯基硫鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、三（對-第三丁基苯 基）硫鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽等；更較佳的可舉例如雙（對-曱苯基）碘鏽六氟銻酸鹽、（對-甲苯基）（對-異丙基苯基） 碘鑌六氟銻酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）碘鑌六氟銻酸鹽、

三苯基硫鑌六氟銻酸鹽、雙（對-第三丁基苯基）硫鑌六氟銻 酸鹽、雙（對-曱苯基）碘鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、（對-曱苯 Q 基）（對-異丙基苯基）碘鏽肆（五氟苯基）硼酸鹽、雙（對-第 三丁基苯基）碘鑌肆（五氟苯基）硼酸鹽、三苯基硫鏘肆（五 氟苯基）硼酸鹽或三（對-第三丁基苯基)硫鏽肆（五氟苯基） 硼酸鹽等。 至於光鹼產生劑，可舉例如鈷等過渡金屬錯合物、鄰 硝基苯曱基胺甲酸酯類、α-二甲基-3, 5-二曱氧基苯曱 基胺甲酸酯類、肟（oxime)化合物、α-胺基苯乙酮類化合 物、聯β本β坐化合物等。 32 320856 200937122 在可由光照射而產生驗的 •機或無機的任何一種，但鱿由類，雖然較佳也可使用有 石夕之丙烯㈣細旨（A)細^卜心、射而的驗產生效率、含 驗的觸媒絲、由前錢合物⑻的聚合反應中該 • ^ θ 〇久應所得的聚合物對反應溶液 - 之溶解性等而言’是以α〜脸篡外 ., ^ 敗暴本乙酮類化合物或聯咪唑化 • 合物為佳。 至於前述的過渡金屬錯合物，可舉例如漠五氨链過氯 酸鹽、>臭五甲基紐過氣酸鹽、填五丙基胺銘過氯酸鹽、 ❹六氨始過氣酸鹽、六甲基胺銘過氣酸鹽、六丙基麟過氯 駿鹽等。 至於前述的鄭硝基笨甲基胺甲酸醋類，可舉例如[[(2一 硝基苯甲基）氧基]羰基]甲基胺、[[(2_硝基苯甲基）氧基] 幾基]丙基胺、[ [(2-硝基苯甲基）氧基]羰基]己基胺、[[(2-硝基苯甲基）氧基]羰基]環己基胺、[[(2_硝基苯甲基）氧基] 羰基]苯胺、[[(2-硝基苯曱基）氧基]羰基]哌啶、.雙[[(2_ ❾硝基苯甲基）氧基]羰基]六亞甲基二胺、雙[[(2-硝基苯甲 基）氧基]羰基]伸苯基二胺、雙[[(2_硝基苯甲基）氧基]羰 基]伸甲苯基二胺、雙[[(2-硝基苯甲基）氧基]羰基]二胺基 二苯基甲烷、雙[[(2-硝基苯甲基）氧基]羰基>比嗪、 [[(2, 6-二硝基苯甲基）氧基]羰基]甲基胺、[[(2, 6-二硝基 苯甲基）氧基]羰基]丙基胺、[[(2, 6-二硝基苯甲基)氧基] 幾基]已基胺、[[(2, 6-二硝基苯曱基）氧基]羰基]環已基 胺、[[(2, 6-二硝基苯甲基)氧基]羰基]苯胺、[[(2, 6-二硝 基笨甲基）氧基]羰基]裱啶、雙[[(2, 6-二硝基苯甲基）氧基] 33 320856 200937122 羰基]六亞曱基二胺、雙[[(2, 6-二硝基苯甲基）氧基]羰基】· 伸苯基二胺、雙[[(2,6-二硝基苯甲基）氧基]羰基]伸曱苯. 基二胺、雙[[(2,6-二硝基苯曱基）氧基]羰基]二胺基二苯 基曱烷、雙[[(2, 6-二硝基苯甲基）氧基]羰基]吼嗪等。 至於前述的α ’ α -二曱基-3, 5_二甲氧基苯曱基胺甲 _· 酸酯類’可舉例如[[(α，α-二甲基_3, 5_二甲氧基苯甲基）· 氧基]羰基]甲基胺、[[(α，α-二甲基-3, 5-二甲氧基苯甲 基）氧基]幾基]丙基胺、[[(α，二甲基-3, 5-二甲氧基苯 甲基）氧基]幾基]己基胺、[[(α，α-二曱基-3, 5-二甲氧基 〇 本甲基）氧基]幾基]環己基胺、[[(α，α _二甲基_3, 二甲 氧基本曱基）氧基]幾基]苯胺、[[(α, α-工甲基一3, 5-二甲 氧基苯甲基）氧基]羰基]哌啶、雙[[(α，α—二甲基一3, 5_ 二甲氧基苯甲基）氧基]羰基]六亞甲基二胺、雙[[(〇, α — 二甲基-3, 5-二甲氧基苯甲基）氧基]羰基]伸苯基二胺、雙 [[(α，〇: _一甲基-3, 5-二甲氧基苯甲基）氧基]幾基]伸甲 苯基二胺、雙[[(α，α-二甲基-3, 5-二曱氧基苯甲基）氧基] 幾基]一胺基一本基甲院、雙[[(α，α -二甲基-3, 5-二甲氧 ◎ 基本甲基）氧基]毅基]0比嘻等。 至於前述的肟化合物，可舉例如丙醯基苯乙酮肟、丙 醯基二苯甲酮肟、丙醯基丙酮肟、丁醯基笨乙酮肟、丁醯 基二苯甲酮將、丁醮基丙酮两、己二酿基苯乙酮两、已二 醯基二苯甲酮肟、己二醯基丙酮肟、丙烯醯基苯乙酮肟、 丙烯醯基二苯甲酮肟、丙烯醯基丙酮肟、〇_乙氧基羰基_ <2：-氧基亞胺基-1-苯基丙烷酮、式（jy)表示的化合物 34 320856 200937122 * (1，2-辛二酮’ 1-[4-(苯基硫基）苯基—，2-(〇-苯甲酿基 將）])(IRGACURE OXE-01 ;日本汽巴（Ciba Japan)(股）製）、 式（V)表示的化合物等’並以式（IV)表示的化合物為佳。

❹ 至於前述的α -胺基苯乙酮類化合物，可舉例如2-.苯 甲基一2-二甲基胺基-1-(4-(Ν-嗎基）苯基）丁烧-1-酮' 2-(2-曱基苯曱基）-2-二甲基胺基-ι-(4-(ν-嗎啉基）苯 基）-丁酮、2-(3-甲基苯甲基）-2-二甲基胺基-ΐ-(4-(Ν-嗎 琳基）苯基）-丁酮、2-(4-甲基苯曱基）-2-二甲基胺基 -1 -(4-(N-嗎啉基）苯基）-丁酮、2-(2-乙基苯曱基）-2-二甲 基胺基-1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）-丁酮、2-(2-丙基苯甲 基）-2-二甲基胺基-i-(4-(N-嗎琳基）苯基）-丁晒、2-(2-D 丁基笨甲基）-2-二甲基胺基-i — (4-(N-嗎琳基）苯基）_丁 酮、2-(2, 3-二曱基苯甲基>-2-二甲基胺基-i-(4-(N-嗎啉 基）苯基）-丁酮、2-(2,4-二曱基苯甲基）-2-二甲基胺基 1 (4_(N-嗎琳基）苯基）-丁嗣、2-(2-氯苯曱基）-2.-二甲基 胺基-1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）-丁酮、2-(2-溴苯甲基）—2-二甲基胺基-1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）-丁酮、2-(3-氯苯甲 基）-2-二甲基胺基-^(4-0-嗎啉基）苯基）一丁酮、2一（4— 氣苯甲基）-2-二甲基胺基-1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）一丁酿！、 320856 .35 200937122 2-(3-溴本曱基）-2-—甲基胺基-1-(4-(Ν-嗎嚇基）笨基）— 丁酮、2-(4-溴苯甲基）-2-二甲基胺基-ΐ-(4-(Ν-嗎啉基） 苯基）-丁酮、2-(2-甲氧基苯甲基）_2_二甲基胺基 -1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）-丁酮、2_(3_甲氧基苯甲基）一2_ 二甲基胺基-1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）_丁酮、2-(4-甲氧基苯 甲基）-2-二曱基胺基-1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）-丁綱、2__(2_ 曱基-4-曱氧基苯甲基)-2-二甲基胺基嗎啉基） 苯基）-丁酮、2-(2-甲基-4-溴苯甲基）-2-二甲基胺基 -1-(4-(Ν-嗎啉基）苯基）-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苯甲 基）-2-二曱基胺基-i-(4-(N-嗎啉基）苯基）_丁酮的募聚物 等。 至於前述的聯咪唑化合物，可舉例如2 2，_雙（2一氣 笨基）-4,4’，5’5’ -四苯基聯咪唑、2,2, _雙（2,3_二氣苯 )4,4 ，5, 5 -四苯基聯η米峻（例如，參照曰本特開平 6 75372號公報、日本特開平6_75373號公報等。）、2,2，一 氣苯基4,4，，5,5，-四苯基聯味。坐、2,2，-雙（2-^本基）-4,4，，5,5’ -四（烷氧基苯基）聯咪唑、2,2，_雙 氯苯基）~4, 4，，5, 5，-四（二烷氧基苯基）聯咪唑、 咪雙(2~氯苯基)—4,4’，5,5，-四(三烷氧基苯基)聯 =(例如，參照日本特公昭48_384〇3號公報、日本特開 2 174204號公報等。）、4 4’，5 5’ —位的苯基以叛烧 \取代的聯味唾化合物（例如，參照日本特開平7-10913 報等° )等’並舉例較佳為2, 2，-雙（2-氯苯 ，，，5 —四本基聯咪唑、2, 2，-雙（2, 3-二氣苯 320856 36 200937122 * 基）-4, 4’，5,5’ -四苯基聯咪嗤、2,2’ -雙（2在___知 . 基）-4,4’，5’5’ -四苯基聯咪唑、2,2’，4〜三（2〜氣苯 基）-5-（3, 4-二甲氧基苯基）-4, 5-二苯基-1，！，—聯£ 以相對於含矽之丙烯酸系樹脂（A)及矽氧燒化合物（B) 的合計量之質量分率計，感光物質（C)的含量較佳為〇丨至 40質量％，更較佳為1至30質量％。 當感光物質（C)的含量為前述的範圍時，將使感光性樹_ 脂組成物變成高感度’使用前述的感光性樹脂組成物所形 〇 成晝素部份的強度，或使前述晝素的表面之平滑性有良好 的傾向而佳。 同時，只要在不損及本發明的效果下，也可使用光增 感劑（F)，例如二苯甲酮類化合物、嗔吨酮（thioxanthone) 類化合物、蒽類化合物等。 更為具體時可舉出以下的化合物，此等化合物可各別 單獨使用’或組合二種以上後使用。 至於前述的二苯曱酮類化合物，可舉例如上苯曱酮、 鄰-苯甲酿基苯曱酸曱酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲醯基 -4’ -甲基二苯基硫化物、3,3’，4,4’ -四（第三丁基過氧. 羰基）二苯曱酮、2, 4, 6-三甲基二苯甲酮等。 至於前述的噻吨酮類化合物，可舉例如2-異丙基噻吨 酮、4-異丙基嗟吨酮、2, 4-二乙基嗟吨嗣、2, 4-二氯嗔吨 酮、1-氯_4-丙氧基售吨嗣等。 至於前述的蒽類化合物，可舉例如9, 10-二甲氧基蒽、 2-乙基-9, 10-二甲氧基蒽、9, 10-二乙氧基蒽、2-乙基 37 320856 200937122 -9，10-一乙氧基蒽等。 其他尚可舉出10-丁基_2K咬嗣、2_乙基慧、聯苯 酿(benzUe)、9, 1()-菲酿、茨醒、苯基乙盤酸甲醋、二茂 鈦（titanocene)化合物等例。 同時，在光增感劑（F)方面’可使用曰本特表2002-544205號公報§己載之具有可引發鍵移動的基之化合物。 至於前述可引發鏈移動的棊之化合物，可舉例如下述 式（5)至（10)的化合物。 '

38 320856 200937122 • 前述可引發鍵移動的基之化合物，也可作為前述共聚 . 物的組成成分而含在之感光性樹脂組成物中。 同時，以相對於含矽之丙烯酸系樹脂（A)友矽氧烷化合 物（B)的合計量之質量分率計，光增感劑（F)的含量較佳為 V 〇. 〇1至50質量％ ’更較佳為〇. 1至40質量％。 同時，也可在感光物質(C)中組合使用光聚合起始助劑 (G)，也可組合使用複數種的光聚合起始助劑。 至於光聚合起始助劑（G)，可舉例如胺化合物、羧酸化 φ 合物、多官能硫醇化合物、式（VII)表示的化合物等。 至於胺化合物，可舉例如三乙醇胺、甲基二乙醇胺、 三異丙醇胺等脂肪族胺化合物；4-二甲基胺基苯甲酸甲 酯、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊 酯、4-二甲基胺基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2一二甲基胺 基乙酯、N，N-二甲基對甲苯胺、4, 4’ —雙（二甲基胺基$二 苯甲酮（通稱：米赫勒酮，Michler，sket〇ne)、4,4，一 雙（二乙基胺基）二苯甲酮類之芳香族胺化合物。 J·於竣酸化絲’可舉例如*硫絲酸、？基苯硫基 醋酸、乙基苯硫基酷酸、甲基乙基苯硫基醋酸、二甲基苯 硫基醋酸、甲氧基苯硫基醋酸、二甲氧基苯硫基醋酸、氯 苯硫基醋酸、二鮮硫基_、卜苯基甘賴、苯氧基醋 酸、萘硫基醋酸、N—萘基甘胺酸、萘氧基醋酸等芳香族雜 醋酸類。 至於多官能硫醇化合物，可舉例如己二硫醇、癸二硫 醇、U-二甲基硫醇苯、丁二醇雙硫丙酸醋、丁二醇雙硫 320856 39 200937122 [式（VII)中，環 芳香族環。 乙醇酸酯、乙二醇雙硫乙醇酸醋、三羥甲基丙烷三硫乙。 酸醋、丁二醇雙硫丙酸醋、三㈣基丙烧三硫丙峻竭、醇 羥曱基丙烷二硫乙醇酸酯、季戊四醇肆硫丙酸酯、季 醇肆疏乙雜s旨、三羥基乙基三硫丙_、季細 = 硫醇丁酸酯）、1，4-雙（3_硫醇丁氧基）丁烷。

(VII) X表示可以鹵素原子取代的碳數6 至12之 表示氧原子或硫原子。 >表示碳數1至6的脂肪族烴基 —I…久紙1王D的脂肪族煙基。 R11表示可以㈣原子取代的碳數！至12之脂肪族 以鹵素原子取代的芳基。] 基急 至於㈣原子，可舉例如氟原子、氣原子、溴原子、 至於碳數6幻2之芳香族環，可舉例如苯環H 至於可以*素原子取代的碳數6至12之芳' 舉例如苯環、甲基笨環、-甲其 、袤’ 衣、丁基苯環、戊基苯環、己基苯環、環己基.* 環、二氣苯環.、溴苯環、 衮、氣 展、絲基苯環、轉、氣蔡環1㈣等。氣本基 至於碳數1至6的脂肪族 正丙基、異丙基、正丁美、， T舉例如曱基、乙』 其哲基卜甲基—正丙基、2-甲其不 基、第三丁基、正戊基、i、甲 土 2甲基-正 基-正丁基、2-甲基-正丁j 320856 40 200937122 % 3_甲基-正丁基、1，1-二曱基_正丙基、1，2_二曱基-正丙 - 基、2, 2-二甲基-正丙基、正己基、環己基等。 至於可以鹵素原子取代的碳數1至12之脂肪族烴基， 可舉例如甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、1-曱基- 正丙基、2-曱基-正丙基、第三丁基、正戊基、1-曱基-正 , 丁基、2-甲基-正丁基、3-曱基-正丁基、1，1-二曱基-正丙 基、1，2_二甲基-正丙基、2，2-二曱基_正丙基、正己基、· 環己基、1_氯-正丁基、2-氣正丁基、3-氯-正丁基等。. ❹ 至於可以鹵素原子取代的芳基，可舉例如苯基、氯苯 基、二氯苯基、溴苯基、二演苯基、氯溴苯基、聯苯基、 氯聯苯基、二氯聯苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘 基、二氯茶基、>臭蔡基、二漠寮基等。 至於式（W)表示的化合物，可舉例如 2-苯甲醯基亞甲基-3-曱基-萘并[2, Ι-d]噻唑啉、 2-苯甲醯基亞甲基-3-甲基-萘并[1，2-d]噻唑啉、 2-苯甲醯基亞甲基-3-甲基-萘并[2,3-d]噻唑啉、

Q 2-(2-萘甲醯基亞甲基）-3-甲基苯并噻唑啉、 2-U-萘甲醯基亞曱基）-3-曱基苯并噻唑啉、 2-(2-萘甲醯基亞曱基）-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、 2-(卜萘曱醯基亞曱基）-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、 2-(2-萘甲醯基亞甲基）-3-甲基-5-氟苯并噻唑啉、 2-(1-萘甲醯基亞甲基）-3-甲基-5-氟苯并噻唑啉、 2-(2-萘甲醯基亞曱基）-3-曱基-5-氯苯并噻唑啉、 2-(1-萘甲醯基亞曱基）-3-曱基-5-氯苯并噻唑啉、 41 320856 200937122 2-(2-萘甲醯基亞曱基)-3_甲基一5_溴笨并噻唑啉、 2-α-萘甲醯基亞曱基）-3-甲基漠笨并噻唑啉、 2-（4-聯笨曱醯基亞甲基）_3—甲基苯并噻唑啉、 2-(4-聯苯甲醯基亞甲基）_3_甲基+笨基笨并射琳、 2-(2-萘甲醯基亞f基）_3_ψ基_萘并[2, η]嗟唾琳、 2-(1-萘甲醯基亞甲基）- 3-甲基—萘并u，2_d]嗟唾琳、 2-(4-聯苯甲醯基亞甲基)—3_甲基销2,卜幻噻唑啉、 2-(4-聯苯帽基亞甲基）m萘和， ❹ 2_(對—氟笨曱醯基亞甲基）{曱基-萘并议H]麵ζ 2-(對-氣笨曱醯基亞曱基）-3_甲基—萘并[nd]嗟唾琳 2-苯甲酿基亞曱基_3_f基_萘并[2,卜仆惡唾琳、 2-苯甲醯基亞甲基_3_甲基_萘并n，2_d]触琳、 2-苯甲醯基亞甲基_3_甲基_萘并[2,3_d]射琳、 2-(2-萘曱醯基亞甲基)-3_甲基笨并噁唑啉、 2一（卜萘甲醯基亞曱基）-3一甲基苯并噁唑啉、 ❹ 蔡甲醯基亞甲基）+甲基+苯基苯并料琳、 ^蔡甲醯基亞甲基）|甲基i苯基苯并噪唾琳、 —-萘甲酿基亞甲基）|甲基+氟苯并切琳、 亞甲基)_3—甲基~5~氟苯并州、 ^醯基亞甲基）-3ϋ氣苯并十坐琳、 ;=甲酿基亞甲基甲基'5'氯苯并蝴、 甲基 苯并°_、 聯本甲酿基亞甲基甲基苯并喔唾琳、 ,320856 42 200937122 ,2-(4-聯苯甲酿基亞甲基）_3_甲基+苯基〜苯并❼坐琳、 2-(2_萘甲酿基亞甲基〜甲基—萘并、 2-(2-萘甲酿基亞甲基）_3 Q」〜嗤琳 土 不并[l，2~d]噁唑啉、 -L - ΐΐ 2 (酿基亞甲基）_3-甲基·萘并⑴晴惡唾琳、 • 2—(對一氟笨甲醯基亞〒基）-3-〒基-萃并 等。 Ο 其中並以式（Μ)表示的2_(2_萘甲酿基亞甲基 曱基并甲嗔唾琳、式（Vff_2)表示的2_苯甲釀基亞甲基一& 甲基-萘并[1，2-d]嗟唾琳及式（w_3)表示的2_(4_聯笨， 醯基亞甲基)-3-甲基-萘甲[u—d]嗟唾琳為佳。

^ 〇 :C=CH - CH,

[Ό (VU-2) 較理想的光聚合起始助劑（G)，是胺化合物、多官能硫 醇、式（VH-2)表示的化合物。 以相對於含矽之丙烯酸系樹脂（A)及矽氧烷化合物（B) 43 320856 200937122

I 合計量之質量分率計，絲合料 。·㈣…。質量％，更較佳為。.心質J較佳為 :光聚合起始助劑⑹之量為前述範圍時，將使所得的 感光性樹脂組成物之感度變高，可使使用前述感光性樹脂 組成物形成的圖案基板之生產性有提高之傾向而佳。

本發明的感光性樹脂組成物可含有熱硬化促進劑 (D)。前述熱硬化促進劑（D)並無特別的限制，只要是在埶 存在下可加速烧氧基石夕院的脫水縮合反應者即可。其中‘，' 並以含有機欽之化合物、有機錯化合物為佳。 至於含有有機鈦之化合物，可舉例如四_異-丙氧基鈦 (TPT;曰本曹達（股）製）、四-正一丁氧基鈦（TBT;日本曹達 (知）製）、肆（2-乙基己基氧基）鈦（τοτ ;日本曹達（股）製）、 鈦-異丙氧基辛二醇酯（T0G;日本曹達（股）製）、二_異—丙 氧基•雙（乙醯基丙酿1酸酯）鈦（T—5〇 ;曰本曹達（股）製）、 丙院一氧鈦雙（乙基乙醯乙酸ϊ旨）（T-60;曰本曹達（股） ❹ 製）、三-正-丁氧基鈦單硬脂酸酯（TBSTA ;曰本曹達（股） 製）、鈦硬脂酸酯（S-151 ;日本曹達（股）製）、二_異_丙氧 基鈦二異硬脂酸S旨（S-152;曰本曹達（股）製）、（2_正丁氧 基幾基苯甲醯基氧基）三丁氧基鈇（S-181;曰本曹達（股） 製）等。 同時，也可使用D-20(信越化學工業（股）製）、D_25(信 越化學工業（股）製）、D-30(信越化學工業（股）製）、B_〗（曰 本曹達（股）製）、B-2(曰本曹達（股）製）、B-3(曰本曹達（股） 製）、B-4(日本曹達（股）製）、B-5(日本曹達（股）製）、b-6(曰 44 320856 200937122 • 本曹達（股）製）、B-7(日本曹達（股）製）、B-8(日本曹達（股) • 製）、B-9(曰本曹達（股）製）、B-10(曰本曹達（股）製）等市 售品。 至於有機锆化合物，可舉例如四-1-丁氧基錯含有物 • (TBZR ;曰本曹達（股）製）、四丁氧基锆（IV)與乙酿基丙明 的反應生成物之含有物（ZR-181 ;日本曹達（股）製彡、$了 氧基锆與乙醯基丙酮的反應生成物之含有物（ZM;日_# 達（股）製）等。 、 ❹ 同時，也可使用ZR-151C日本曹達（股）製）等市售品。 雖然本發明的感光性樹脂組成物可為無溶劑， 含有溶劑（E)。溶劑（E)可以是感光性樹脂組成物領域中戶斤 使用的各種有機溶劑。至於其具體例，可舉例如乙二醇單 曱基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇單丙基醚及乙二醇單丁 基醚的乙二醇單烷基醚類； 如同二乙二醇二曱基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙 ^ 基甲基醚、二乙二醇二丙基醚及二乙二醇二丁基_的二乙 二醇二烷基醚類； 如同甲基赛珞蘇醋酸酯、乙基赛珞蘇醋酸酯、乙二醇單丁 醚醋酸酯及乙二醇單乙醚醋酸酯的乙二醇烷基醚醋峻醋 類； 如同丙二醇單甲基醚醋酸酯、丙二醇單乙基醚醋酸竭、$ * ψ 二醇單丙基醚醋酸酯、甲氧基丁基醋酸酯及曱氧基戊基萨 酸酉旨的烧二醇燒基醚醋酸g旨類 如同丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、 45 32〇856 200937122 丙二醇單丁基醚的丙二醇單烷基醚類； 如同丙二醇二曱基醚、丙二醇二乙基醚、丙二醇乙基曱基 醚、丙二醇二丙基醚、丙二醇丙基甲基醚及丙二醇乙基丙 基的丙二醇二烷基醚類； 如同丙二醇曱基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇 丙基醚丙酸酯及丙二醇丁基醚丙酸酯的丙二醇烷基醚丙酸 酯類； 如同甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙氧基丁醇及丁氧基丁醇 的丁二醇單烷基醚類； 如同醋酸甲氧基丁酯、醋酸乙氧基丁酯、醋酸丙氧基丁酯 及醋酸丁氧基丁酯的丁二醇單烷基醚醋酸酯類； 如同丙酸甲氧基丁酯、丙酸乙氧基丁酯、丙酸丙氧基丁酯 及丙酸丁氧基丁酯的丁二醇單烷基醚丙酸酯類； 如同二丙二醇二甲基醚、二丙二醇二乙基醚及二丙二醇曱 基乙基醚的二丙二醇二烷基醚類； 如同苯、甲苯、二甲苯及三曱基苯的芳香族烴類； 如同甲基乙基酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基異丁基酮及環 己酮的酮類； 如同乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環己醇、乙二醇及甘油的 醇類； 醋酸曱酯、醋酸乙酯、醋酸丙酯、醋酸丁酯、2-羥基丙酸 乙酯、2-羥基-2-曱基丙酸曱酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、 羥基醋酸曱酯、羥基醋酸乙酯、羥基醋酸丁酯、乳酸甲酯、 乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羥基丙酸甲酯、3-羥 46 320856 200937122 - 基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基 - -3-甲基酞酸甲酯、曱氧基醋酸曱酯、甲氧基醋酸乙酯、甲 氧基醋酸丙酯、甲氧基醋酸丁酯、乙氧基醋酸甲酯、乙氧 基醋酸乙酯、乙氧基醋酸丙酯、乙氧基醋酸丁酯、丙氧基 - 醋酸甲酯、丙氧基醋酸乙酯、丙氧基醋酸丙酯、丙氧基醋 • 酸丁酯、丁氧基醋酸甲酯、丁氧基醋酸乙酯、丁氧基醋酸 丙酯、丁氧基醋酸丁酯、2-甲氧基丙酸曱酯、2-甲氧基丙 酸乙酯、2-曱氧基丙酸丙酯、2-曱氧基丙酸丁酯、2-乙氧 ❹ 基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、 2- 丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-曱氧基丙酸甲 酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-曱氧基丙 酸丁酯、3-乙氧基丙酸曱酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧 基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸曱酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、 3- 丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙 ❹ 酯及3-丁氧基丙酸丁酯等酯類； 如同四氫咬喃及0比喃的環狀醚類； 如同7 - 丁内醋的環狀酯類等。 就塗布性、乾燥性而言，上述溶劑之中，是以前述溶 劑中沸點為100至200°C的有機溶劑為佳，較佳的是烷二 醇烷基醚醋酸酯類、酮類、丁二醇烷基醚醋酸酯類、丁二 醇單烷基醚類、如同3-乙氧基丙酸乙酯及3-甲氧基丙酸曱 酯的酯類，更較佳的是丙二醇單曱基醚醋酸酯、丙二醇單 47 320856 200937122 乙氧基丁醇、 二種以上後使 乙基謎醋酸酯、環己酮、醋酸甲氧基丁酯、 3-乙氧基丙酸乙酯及3_甲氧基丙酸曱酯。 此等溶劑（E)，可各別單獨使用，或現合 用0 以相對於感光性樹脂組成物的質量分率，

感光性樹脂組成物中之溶劑（E)的含量，較佳為，本發明的 量％，更較佳為70至85質量％。當溶劑（E)=〇至9〇質 的範圍時，預料可以旋轉塗布機、細縫及^量為前述 縫塗布機（也可稱為·塗布機、簾幕式 *布機、細 布等塗布裝置塗布時㈣布性良料佳。 嘴墨塗 而併 紫 在本發明的感光性樹脂組成物中，也可配人 用填充劑、其他的高分子化合物、整平劑、抗^ 外線吸收劑、凝聚劑、鏈移動劑等添加劑。 ， 聚乙二醇單烧基鱗、聚氟丙稀酸燒 等熱可塑性樹脂等 至於填充劑，可舉例如玻璃、氧化矽、氧化鋁等。 至於其他的高分子化合物，可使用如環氧_、順丁 埽-醯亞胺樹脂等硬化性樹脂，或聚乙烯醇、聚丙稀酸、

酉旨、聚酯、聚胺甲酸酯 至於整平劑，可使料㈣界面活性劑，例如錢類、 氟類、賴、陽離子類、陰離子類、非離子類、兩性 面活性料，可各別㈣制额合二種以上後使用。至 ，前述的界面活_，可_如輯伸乙基絲嗎 氧伸乙基烧基苯細類、聚乙二醇二_、山梨糖醇 肪酸賴、脂肪酸改質聚_、三級胺改f聚胺甲酸 320856 48 200937122 • 聚伸乙基亞胺類等，此外尚有商品名為κρ(信越化學工業 ' (股）製）、P0LYFL0W(共榮化學（股）製）、eft〇P(音譯） (TOCHEM Products公司製）、MEGAFACE(大日本油墨化學工 業（股）製）、Fluorad(住友 3M(股）製）、AsahiGuard、 —Surflon(以上為旭硝子（股）製）、SOLSPERSE(Zeneca(股） 製）、EFKA(EFKA Chemicals 公司製）、PB82U味之素（股） 製）等。” 至於抗氧化劑，可舉例如2-第三丁基-6-(3-第三丁基 ❶ _2_經基〜5-曱基苯甲基）-4_曱基苯基丙烯酸酯、 羥基―3’5〜二-第三-戊基苯基）乙基]-4, 6-二-第三-戊基苯 基丙烯酸酯、6_[3-(3-第三丁基-4-羥基-5-甲基笨基）丙氧 基]―2, 4, 8, ίο-四―第三—丁基二苯并[d，f ][〗，3, 2]二氧雜 雜庚環、3, 9-雙[2-{3-(3-第三丁基-4-羧基-5-甲基苯基) 丙醯基氧基丨-1，1-二甲基乙基]-2, 4, 8, 10-四氧雜螺[5, 5] 十一燒、2,2，-亞曱基雙（6_第三丁基-3-曱基酚）、4,4，-❹亞丁基雙（6~第三丁基_3_甲基酚）、4,4，-硫基雙（2-第三 丁基甲基酚）、2,2，-硫基雙（6-第三丁基-4-甲基酚）、 ’ ）丨1·基_丙酸二月桂基醋、3,3 -硫基二丙酸二肉豆 蓋基醋、3,3’ -硫基二丙酸二硬脂基酯、季戊四醇肆（3-月桂基硫基丙酸酯）、1，3,5-三（3,5-二-第三丁基-4-羥基 苯甲基^1，3, 5-三嗪-2, 4, 6(1H，3H，5H)-三酮、 3’3’，3”，5,5’，5” -六-第三丁基-a，a”，a” -(亞甲基 _2, 4, 三基）三-對-甲酚、季戊四醇肆[3-(3, 5-二-第三丁 土 4輕'基本基）丙酸醋]、2, 6-二-第三丁基_4~甲基紛等。 49 320856 200937122 至於紫外線吸收劑，可舉例如2_(3_第三丁基_2_羥基 · -5-曱基苯基）-5-氯笨并三唑、烷氧基二苯曱酮等。 ， 至於凝聚劑，可舉例如聚丙烯酸鈉等。 至於鏈移動劑，可舉例如十二基硫醇、2, 4-二苯基-4-甲基-1-戊稀等。 ： · 例如下述’可將感光性樹脂組成物塗布在基材上，進 -行光硬化及顯像後，即可彤成圖案。首先，是將此組成物 塗布在基板（通常為玻璃）上或由已預先形成感光性樹脂組 成物之固形份所成的層上後，將所塗布之感光性樹脂組成 ❹ 物層預烤後’去除溶劑等揮發性成分可得平滑的塗膜。此 時塗膜的厚度大約為1至透過可形成目的圖案用的 遮罩，在由此而得的塗膜照射紫外線。此時，較佳使平行 光線均勻的照射在整個曝光部份，且較佳使用遮罩校準器 或步進器等裝置，以配合遮罩與基板的正確位置而進行。 並且在此之後’使硬化後的塗膜與鹼性水溶液接觸以溶解 非曝光部份，再藉由顯像’即可得目的圖案的形狀。顯像 方法可使用盛液法、浸塗法、喷塗法等任何一種方法。並 0 且顯像時也可使基板以任意角度傾斜。 至於塗布方法，可應用旋轉塗布法、流延塗布法、滾 塗法、細縫及旋轉塗布法’或細縫塗布方法等。塗布後， 將其加熱乾燥（預焙）或減壓乾燥後加熱，可使溶劑等揮發 性成分揮發而形成感光性樹月曰組成物層。此時加熱的溫 度’通常是70至200°C ’較佳為80至130°C。可使該感光 性樹脂組成物層幾乎不含揮發性成分。同時，前述感光性 320856 50 200937122 ‘樹脂組成物層的厚度大約為15至8難。 曝光後為促進曝光部份的硬化， 該加熱條件雖然可㈣紐樹脂組成進仃加熱處理, 劑種類等而異，作ϋΛ 调配魬成、禾t x。 仁通⑦為3°至_，較佳為5〇至二 .可使用於圖案曝光後的顯像時之顯像液 驗性化合物與界面活性_水溶液。 通常是含有 ❹ 驗性化合物為無機及有機之驗性化合物的任— 瑞^於無機驗性化合物，可糊如氫氧彳⑽、者均 :酸風二納、磷酸二氫納，酸氫二録、碟酸二氧:卸、 氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、：錢、磷 奴酸氫鉀、硼醆鈉、硼酸鉀、氨等。 碳酸氣鈉、 ::: 物可舉例如四甲基氫氧化錢、2 暴一甲基虱軋化銨、單甲基胺、二 2〜 ❹ 基胺、二乙基胺、三乙基胺、翠異二胺基 土胺、乙醇胺等。此#無機及有 〜異 單獨使用或組合-種以σ 可各別 合物之_顯像液中的蜂性务 質量%佳為°·。1至10侧’更較佳為。肩二 :驗性顯像液中的界面活性劑，為非離子系 ’务離子界㈣㈣或陽離子界面活㈣之任、—者^性 ι 系界面活性劑，可舉例如聚氧伸乙基燒:。 聚氧伸乙美rif基Γ聚氧伸乙基烧基芳基峻、其他的 基何生物、氧伸乙基/氧料基嵌段共聚物、山 320856 51 200937122 梨糖醇酐脂肪酸醋、聚氧伸乙基山梨糖醇酐脂肪酸酯、聚 、 氧伸乙基山梨糖醇脂肪酸醋、甘油脂肪酸醋、聚氧伸乙基 脂肪酸酯、聚氧伸乙基烷基胺等。 至於陰離子系界面活性劑，可舉例如同月桂醇硫酸酯 鈉或油醇硫酸酯鈉的高級醇硫酸酯鹽類、如同月桂基硫酸 鈉或月桂基硫酸銨的烷基硫酸鹽類、如同十二基苯磺酸鈉 .或十二基蔡續酸納的院基芳基續酸鹽類等。 至於陽離子系界面活性劑，可舉例如同硬脂基胺鹽酸 鹽或月桂基二甲基氯化錢的胺鹽或四級錄鹽等。.❹ 此等界面活性劑可各別單獨使用，或組合二種以上後 使用。 驗性顯像液中的界面活性劑之濃度較佳為〇 〇1至1〇 質量％之範圍，更較佳為以0.05至8質量％，再較佳為 0.1至δ質量％。 顯像後進行水洗’並且也可配合需求而施行l〇Q至 °(：之10至60分鐘的後焙。 使用本發明的感光性樹脂組成物，經過以上的各步驟 〇 後，即可在基板上或玻璃濾光器基板上形成圖案。此圖案 有用於作為於液晶及有機EL顯示裝置所使用的先感間隙 材（photospacer)。同時，對乾燥塗膜的圖案曝光之際，只 要使用形成孔洞用光罩，即可形成孔洞而可使用作為層間 絶緣膜。並且’對乾燥塗膜的曝光之際，可不使用光罩而 全面曝光及加熱硬化，或僅加熱硬化即可形成透明膜，此 透明膜可使用作為保護層（overcoat)，同時，也可使用於 52 320856 200937122 ' 觸控面板。 ， 本發明的感光性樹脂組成物，可提供耐熱光穿透率優 異的硬化樹脂。同時，在使用本發明的感光性樹脂組成物 時，可容易形成目的形狀的硬化樹脂圖案，可使用於光感 間隙材、絶緣膜、液晶配向控制用突起、保護層、配合著 - 色圖案的膜厚之塗布層、光導波路材料及光開關材料等， 使用於顯示裝置的膜的形成。 依照本發明，即可形成耐熱光穿透率優異的圖案。 〇 實施例 ’ 以下將依照實施例更加詳細說明本發明。實施例中， 表示含量或是使用量的％及份，無特別規定時為質量基準。 合成例1 以0.02L/分鐘使氮氣流入備有迴流冷凝器、滴液漏 斗及攪拌器的1L燒瓶内，形成氮氣周圍環境後，加入3〇〇 份的丙二醇單甲基醚醋酸酯，一邊攪拌一邊加熱至9〇。〔。 ❾接著，使30份甲基丙烯酸及135份3_曱基丙烯醯氧基丙 ，三（三曱氧基）石夕烧[式（卜3)]、18〇份2_(曱基丙烯醯基 氧基）乙基乙醯醋酸酯[式（v — 丨）；！溶解於16〇份丙二醇單 甲基鍵醋酸i旨中調製成溶液’利用滴液漏斗將該溶液滴入 於9(TC保溫的燒瓶内。另一方面，將15份聚合起始劑 2’2 -偶氮雙（2, 4-二甲基戊腈）溶解於18〇份丙二醇單 基醚醋酸酯的溶液，利用別的滴液漏斗，以4小時滴入燒 瓶内。在滴畢聚合起始劑的溶液之後，將其在9『c保持4 小時，之後就這樣使其冷卻至室溫後，可得固形份犯.〇%、 320856 53 200937122 酸價65mg-KOH/g(換算成固形份）的共聚物（樹脂Aa)之溶 液。所得樹脂Aa的重量平均分子量Mw為9. 9x103。

HgC^O CHaD C 一c—ο— CH3 H3C—S—*CH3 Η 〇 ^ C—C~C—Si—〇—Si—CHa η2 η2 I I ο ch3 H3C—Si-r〇H3 CH3 (1-3)

合成例2 以0.02L/分鐘使氮氣流入備有迴流冷凝器、滴液漏 斗及攪拌器的1L燒瓶内，形成氮氣周圍環境後，加入200 份3-曱氧基-1-丁醇及1〇5份醋酸3-甲氧基丁酯，一邊攪 拌一邊加熱至70X：。接著，使60份甲基丙烯酸及240份 丙烯酸3, 4-環氡基三環[5.2. 1.02.6]癸酯（式（Π-1)表示的 化合物及式（Π-l)表示的化合物以50 : 50莫耳比混合）溶 解於140份醋酸3-甲氧基丁酯中調製成溶液，利用滴液漏 斗將該溶液滴入於7〇°C保溫的燒瓶内。另一方面，將30 份聚合起始劑2, 2，-偶氮雙（2, 4-二曱基戊腈）溶解於225 份3-甲氧基醋酸丁酯的溶液’利用別的滴液漏斗，以4小 時滴入燒瓶内。在滴畢聚合起始劑的溶液之後，將其在70 C保持4小時，之後就這樣使其冷卻至室溫後，可得固形 份32. 6%、酸價ii〇mg-K〇H/g(換算成固形份）的共聚物 (樹脂Ab)之溶液。所得樹脂Ab的重量平均分子量Mw為1.3 54 320856 200937122 、 xlO4。 ^aC^CH-C-

合成例3 除了將3-甲基丙烯醯氧基丙基三（三甲氧基）矽烷[式 ' (1_3)]、2〜（甲基丙烯醯基氧基）乙基乙醯醋酸酯[式（Vjy 分別變更為180份、140份之外，其餘與實施例同樣的步 驟後’可得樹脂Ac。所得樹脂Ac的重量平均分子量為 ❹ 1. 1x10、 合成例4 除了將3-甲基丙烯醯氧基丙基三（三甲氧基）矽境[式 (1-3)]、2〜（甲基丙烯醯基氧基）乙基乙醢醋酸酯[式（ν^, 分別變更為220份、100份之外，其餘與實施例同樣的步 驟後’可得樹脂Ad。所得樹脂Ad的重量平均分子iMw為 1.1x10、 * ❹ 合成例5 以〇. 02L/分鐘使氮氣流入備有迴流冷凝器、滴液漏 斗及攪拌器的1L燒瓶内，形成氮氣周圍環境後，加入2()() 份丙二醇單甲基醚醋酸酯，一邊攪拌一邊加熱至9〇°c。接 著，使38份甲基丙烯酸、150份3-甲基丙烯醯氧基内義= (二甲氧基）梦烧[式（I - 3)]及210份2-(甲基丙稀職義氣 基）乙基乙醯醋酸酯[式（V-1)]溶解於155份丙二醇單甲 基醚醋酸酯中調製成溶液，利用滴液漏斗將該溶液滴 90 C保溫的燒瓶内。另一方面，將17份聚合起始劑2 9，； 55 * 32〇856 200937122 偶氮雙（2, 4-二甲基戊腈）溶解於180份丙二醇甲基醚醋酸 , 酯的溶液，利用別的滴液漏斗’以4小時滴入燒瓶内。在 、 滴畢聚合起始劑的溶液之後，將其在9 0 C保持4小時，之 後就這樣使其冷卻至室溫後’可得固形份40. 0%、酸價 61mg-KOH/g(換算成固形份）的共聚物（樹脂Ae)之溶液。 — 所得樹脂Ae的重量平均分子量Mw為l._4xl04。 合成例6 以0· 02L/分鐘使氣氣流入備有迴流冷凝器、滴液漏 斗及攪拌器的1L燒瓶内，形成氮氣周圍環境後，加入2〇〇 ❹ 份丙二醇單甲基醚醋酸酯，一邊攪拌一邊加熱至9〇ΐ。接 著’使43份曱基丙烯酸、170份3-曱基丙烯醯氧基丙基三 (三曱氧基）矽烷[式（1-3)]及240份2-(甲基丙埽醯基氧基 乙基乙醯醋酸酯[式溶解於15〇份丙二醇單甲基 趟醋酸醋中調製成溶液’利用滴液漏斗將該溶液滴入於9〇 °c保溫的燒瓶内。另一方面，將17份聚合起始劑2,2，— 偶氮雙（2, 4-二甲基戊腈）溶解於18〇份丙二醇單甲喊醋酸 醋的溶液，利用別的滴液漏斗14小時滴人燒瓶内。\ 〇 滴畢聚合起始劑的溶液之後，將其在9代保持4小時，之 後就這樣使其冷卻至室溫後’可得固形份46.〇%、酸價 6〇mgWg(換算成固形份）的共聚物（樹脂Af)之溶液。 所得樹脂Af的重量平均分子量Mw為丨.5χΐ〇4 ^ 前述的黏合劑聚合的重量平於八 )分子量（Mw)及數平均分 子量的測定，是利用GPC法以下的條件進行。 裝置：K2479((股）島津製作所製） 320856 56 200937122

、 分離柱：SHIMADZU Shim-pack GPC-80M " 溶劑：THF(四氫呋喃） 流速·· 1. OmL/min 檢測器：RI 實施例1 - 將143份含有合成例1所得的樹脂Aa之樹脂溶液（a) (換算成固形份為50份）、20份KR-213(信越化學工業（股） 製）（B)、30份KC-89SC信越化學工業（股）製）（B)、5份4_ ❹ 甲基本基[4-(1-甲基乙基）本基]礙鑌肆（五氟苯基）侧酸鹽 (PI-2074 ; Rhodia 公司製）（C)、1. 5 份 2, 4-二乙基噻吨酮 (F)、4份D-20(信越化學工業（股）製）（d)與13〇份丙二醇 單甲基醚醋酸酯混合後’可得感光性樹脂組成物丨後，以 下述方法進行其評估。結果如表6中所示。 <形成圖案> 將2吋方形的玻璃基板（Eagle2000 ; Corning公司製） Q 以中性清潔劑、水及酒精依序清洗後，使其乾燥。應用旋 轉塗布法將感光性樹脂組成物1塗布在此玻璃基板上後， 在潔淨烤箱(clean oven)中以100°c將其預烤3分鐘。冷 卻後’於大氣中利用曝光機（TME-150RSK ; T0PC0N(股）製） 以100mJ/cm2的曝光量進行光照射。 並且’在光罩方面，是利用可使下一個圖案在同一平 面上形成的光罩。同時，在光照射時，是使已塗布感光性 樹脂組成物的基板與石英玻璃製的光罩之間的間隔設定成 大約 10 0 // m。 320856 57 200937122 •使一邊為具有7am的LINE(長方形）形之透光部份（圖 案），該LINE(長方形）形的間隔為m。 •使一邊為具有30/zm的LINE(長方形）形之透光部份（圖 案）’該LINE(長方形）形的間隔為3〇//m。 光照射後，於25°C將含有感光性樹脂組成物的膜，含 浸在含有非離子系界活性劑〇. 12%與氫氧化钟〇· 〇4%的 水系顯像液中80秒後’經水洗後於烤箱中以22〇。(：後烤30 分鐘。泠卻後，利用膜厚測定裝置（I)EKTAK3 ;日本真空技 術（股製））測定所得膜之膜厚，為3. 〈溶解性〉 獲得實施例1中的感光性樹脂組成物之後，以目視觀 察其溶液。感光性樹脂組成物1為透明且均勻的溶液。以 下’是透明且均勻時為〇，溶液為不均勻或白濁時為X。 <塗膜狀態> 除了不進行光照射之外，應用與上述同樣的方法在透 明玻璃基板（# 1737 ; Corning公司製）上形成硬化樹脂膜 後，以目視觀察其塗膜狀態。感光性樹脂組成物1為透明 且均勻的塗膜。以下，塗膜是透明時為〇，溶呈白濁時為x。 <線寬、切面形狀> 利用掃描型電子顯微鏡（S-4000 ;(股）日立製作所 製>，觀察並測定線寬、形狀（截面）。 測定可對應於光罩上的7y m及30 // m的各別圖案的圖 案之線寬’在7//m部份為8.0 #m，而在30//m部分為30.3 //m。截面形狀在相對於基板的圖案之角度為不到90度， 58 320856 200937122 ' 是順錐體。並且，判斷其相對於基板圖案角度為9〇以上時 ， 為逆錐體。當為順錐體時，在液晶顯示裝置的形成時，因 不易引起ΙΤ0配線之斷線而佳。為順錐體時以〇表示。 〈耐熱光穿透率〉 在光照射時，除了不使用光罩之外，進行同樣的操作 - 後製作成塗膜。將製作成的塗膜以表中的條件玫置於潔诤 烤箱中，測定其加熱前後的光穿透率^利用顯微分光測定 儀（OSP-SP200 ; OLYMPUS公司製）測定波長400nm中的光穿 ❹ 透率（％)。 依照式（1)求得其耐熱光穿透率’並將此作為耐熱性的 指標。所得的值在240°C時為100%，在26(TC時為97%， 在280°C時為95%，在300°C時為96%。 耐熱光穿透率（％)= ................................... xinnm [加熱前的光穿透率（％)] ^ ; 前述的耐熱光穿透率為90%以上而佳。 實施例2 ◎ 將143份含有合成例1所得的樹脂Aa之樹脂溶液（a) (換算成固形份為50份）、50份KR-213(信越化學工業（股） 製）(B)、10份2, 2’ 4-三（2-氯苯基）-5-(3, 4-二甲氧基苯 基）-4,5-二苯基-1,1’ -聯咪唑（CHEMCURE TCDM; CHEMBRIDGE INTERNATIONAL C0RP.製）（C)、4 份 D-20(信越 化學工業（股）製）（D)與228份丙二醇單甲基醚醋酸酯混合 後，可得感光性樹脂組成物1後，應用以下的方法進行其 評估。結果如表7中所示。 59 320856 200937122 〈形成圖案〉 除了在光罩方面，是利用可使下一個圖案在同一平面 上形成的光罩之外，其餘與實施例1同樣的操作而形成圖 案。 •使一邊為具有10//m的LINE(長方形）形之透光部份（圖 案’該LINE(長方形）形的間隔為10/ί/πι。 •使一邊為具有.15/zm的LINE(長方形）形之透光部份（圖 案），該LINE(長方形）形的間隔為15 // m。 <溶解性> 進行與實施例1同樣的評估。 〈塗膜狀態〉 進行與實施例1同樣的評估。 <線寬、截面形狀> 進行與實施例1同樣的評估。 <耐熱光透過率> 進行與實施例1同樣的評估。 60 320856 200937122 、 [表 1] 實施例2 實施例3 比較例2 感光性樹脂組成物 1 2 3 含發之丙烯酸系樹脂 樹脂Aa(僅固形份） ~~~~~ 50 50 一 樹脂Ab(僅固形份） — — 50 矽氧烷化合物(B) KR-213 50 50 一. 光鹼產生劑(C) 2,2’4-三(2-氣苯基)-5-(3,4’-二 甲氧基笨基)-4,5-二苯基-U’ _聯 咪唑 10 — — 式（IV)表不的化合物 — 一 5 光聚合起始劑 2, 2-雙(2-氣苯基)—4,4 ，5, 5’ 一四 苯基-1,2’ -聯咪唑(B-CIM;保土谷 化學(股)扪 一 一 4 熱硬化促進劑(D) 有機鈦化合物(D-20 ;信越化學工業 (股)製） 、 4 4 — 光增感劑(F) 2, 4-二乙基噻吨酮(KAYACURE DETX-s;日本化藥(股)製） — — 0.5 光聚合起始助劑(G) 季戊四醇肆硫丙酸酯 — _ 3 多官能丙稀酸系單體 二季戊四醇六丙稀酸醋 — - 50 溶劑(E) 丙二醇單甲基醚醋酸酯 228 228 — 丙酸3-乙氧基乙酯 — 88 3-甲氧基丁醇 ~ _ 65 醋酸3-甲氧基丁酯 — — 65 實施例3 ❾ 如同可形成表1中所示的組成，將式（IV)表示的光鹼 產生劑（1，2-辛二酮）、1-[4-(苯基硫基）苯基;μ、2-(0-苯 曱醯基將）（IRGACURE ΟΧΕ-01 ;日本汽巴（股）製）混合後， 在〈形成圖案〉中，除了是以500mJ/cm2的曝光量（365nm 基準）予以光照射之外’進行與感光性樹脂組成物1同樣的 操作，可得感光性樹脂組成物2，再進行與實施例2同樣 的評估。結果如表7中所示。 320856 61 200937122

比較例1 將153份含有合成例2所得的樹脂Ab之樹脂溶液（a) (換算成固形份為50份）、50份二季戊四醇六丙烯酸醋 (KAYARADDPHA;日本化藥（股）製）、4份2,2，-聯咪唑 (B-CIM ;保谷土化學（股）製）、〇 5份2,4_二乙基噻吨酮 (DETX)、3份季戊四醇肆硫基丙酸酯（pEMp;堺化學工業（股、 製）、88份丙酸3-乙氧基乙酯（1))、5份3_曱氧基丁醇（D)、 65份醋酸3-甲氧基丁醋⑼混合後，可得感光性樹脂植成 物2。進行與實施例！同樣的評估。結果如表6中所示。 比較例2 如同可形成表1中所示的組成，盥 έ i同樣的操作後，可得感光性樹曰組成物 !同樣的評估。結果如表7中^^物3 ’進行與實施例 實施例4至30 以下述的組成混合後，可得感光性 與實施例1同樣的評估。蛀婁1 * 曰、且成物。進行 、、、。果如表8至1〇中所示。 320856 62 200937122 [表2] 實施例 1 4 5 6 7 8 9 10 11 12 含矽之丙烯酸系樹脂 (Α) Aa 50 50 50 — — 50 50 50 — _ Ac 50 Ad 50 Ae 50 — Af 50 矽氧烷化合物（Β) KR-213 20 50 _ 一 _ 20 20 20 20 20 KC-89S 30 — 50 — — 21 18 15 30 30 KR-510 一 —— — 50 50 9 12 15 — — 光聚合起始劑（C) PI-2074 5 5 5 5 5 5 5 5 5 5 熱硬化促進劑（D) D-20 4 4 4 4 4 4 4 4 4 4 光增感劑（F) ※ 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 溶劑（Ε) ※ 130 228 228 228 228 228 228 228 228 228 ❹ ※樹脂只是固形份之量。 .光增感劑邙）：2,4-二乙基噻吨酮（〇丫人〇11^0£丁叉-3;曰 本化藥（股）製） ※溶劑（Ε):丙二醇單甲基醚醋酸酯 63 320856 200937122 [表3] 實施例 13 14 15 16 17 含石夕之丙烯酸系樹脂(A)※ Aa 80 60 50 40 50 矽氧烷化合物（B) KR-213 20 40 50 60 50 光聚合起始劑（C) PI-2074 5 5 5 5 — SP-172 — — _ "—— 5 熱硬化促進劑（D) D-20 一 — — — 4 光增感劑（F) 1.5 1.5 1. 5 1.5 — 溶劑（E) ※ 228 228 228 228 228 ※樹脂只是固形份之量。 ※光聚合起始劑（C) : SP-172 :三芳基硫鑌六氟銻酸鹽 ※光增感劑（F):2,4-二乙基噻吨酮（KAYACUREDETX-s;曰 本化藥（股）製） ※溶劑（E):丙二醇單曱基醚醋酸酯 [表4] 實施例 18 至 30 含石夕之丙稀酸系樹脂(A)※ Aa 80 矽氧烷化合物（B) KR-213 20 光聚合起始劑（C) 表5參照 5 熱硬化促進劑（D) D-20 一 光增感劑（F) 2，4-二乙基噻吨酮（KAYACURE DEH-s ;日本化藥（股）製） 1.5 溶劑（E) 丙二醇單甲基醚醋酸酯 228 64 320856 200937122 [表5] * 光聚合起始劑（C) 實施例18 D-20 ;信越化學工業（股）製 實施例19 D-25 ;信越化學工業（股）製 實施例20 Τ0Τ ;日本曹達（股）製 實施例21 B-1 ;曰本曹達（股）製 實施例22 B-2 ;日本曹達（股）製 實施例23 B-4 ;日本曹達（股）製 實施例24 B-7 ;曰本曹達（股）製 實施例25 B-10 ;日本曹達（股）製 實施例26 D-30 ;信越化學工業（股）製 實施例27 ZR-151 ;曰本曹達（股）製 實施例28 ZR-181 ;曰本曹達（股）製 實施例29 TBZR ;曰本曹達（股）製 實施例30 ZAA ;曰本曹達（股）製 65 320856 200937122 [表6] 項目 ----- 備註 實施例1 比較例1 溶解性 目視狀態 〇 〇 塗膜狀態 _____ 目視狀態 〇 〇 截面形狀 〇 〇. 圖案 像度（LINE 7仁m部分） 8.0 —~ . 解像度(LINE 30；am部分） 30.3 45.2 ._ 240〇C 2H(%) 100 82 对熱光穿透率 _ 260〇C 2H(%) 99 47 _____ 280〇C 2H(%) 96 3 300°C 2H(%) 99 0 —:未能形成圖案。 [表7] 項目 實施例2 實施例3 比較例2 1 ———. 感光性組成物 1 2 3 溶解性 目視狀態 〇 〇 〇 塗膜狀態一 目視狀態 〇 〇 〇 截面形狀 〇 〇 〇 圖案 解像度(LINE 10//m部分） .丨 〇 〇 X 解像度(LINE 15 μ m部分） 〇 〇 〇 耐熱光穿透率 ----1 240〇C 2H(%) 100 100 83 250〇C 2H(%) 100 100 69 66 320856 200937122 、 [表 8] 項目 實施例 4 5 6 7 8 9 10 11 12 溶解性 目視狀態 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 塗膜狀態 目視狀態 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 圖案 截面形狀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 解像度(LINE 10/zm部分） 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 耐熱光穿 透率 240〇C 2H(%) 100.1 99.4 98.9 260〇C 2H(%) 97.7 97.0 98.8 98.7 280〇C 2H(%) 96.3 97.3 97.1 93.6 96.9 97.3 97.7 97.2 97.4 30(TC 2H(%) 97.0 95.4 92.6 [表9] 項目 實施例 13 14 15 16 17 溶解性 目視狀態 〇 〇 〇 〇 〇 塗膜狀態 目視狀態 〇 〇 〇 〇 〇 圖案 截面形狀 〇 〇 〇 〇 〇 解像度(LINE 10/zm部分） 〇 〇 〇 〇 〇 耐熱光穿 透率 240〇C 2H(%) 100 100 100 100 260〇C 2H(°/〇) 100 99 98 99 27(TC 2H ⑻ 102 98 96 97 101 Ο 67 320856 200937122 [表 10] 項目 實施例 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 溶解性 目視狀態 0 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 塗膜 狀態 目視狀態 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 圖案 斷面形狀 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 Ο 解像度(LINE lO^m部分） 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 〇 耐熱光 穿透率 2.80〇C 2H(%) 96.0 84.3 87.4 84.6 86.6 85.6 83.9 84.5 95.7 98.0 98.8 95.1 95.4 表6至表10中所示實施例的結果可知，由本發明的感 光性樹脂組成物形成的塗膜，其耐熱光穿透率優異。而比 較例中，則耐熱光穿透率非常不良。 [在產業上應用的可能性] 應用本發的感光性樹脂組成物，即可形成耐熱光穿透 率優異的圖案。 【圖式簡單說明】 無 【主要元件符號說明】 無 68 320856

Claims (1)

1. 200937122 % 七、申請專利範圍： w 1 · 種感光性樹脂組成物，含有含梦之丙稀酸系樹脂 (A)、矽氧烷化合物（B)(但（A)除外）及感光物質（C)。 2.如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中，該 ' 含矽之丙烯酸系樹脂（A)是含有至少由具矽原子的非加 水分解性聚合性不飽和化合物（A1)與不飽和羧酸及/ 或不飽和羧酸酐（A2)聚合所形成的共聚物之含矽之丙 稀酸系樹脂。 ❹ 3.如申請專利範圍第2項之感光性樹脂組成物，其中，該 具矽原子的非加水分解性聚合性不飽和化合物（A1)為 式（I)表示的化合物， R5

   [式（I )中，R1表示氫原子或甲基， R2 表示-0-(CH2)w---C( = 0)-0-(CH2)r~或-(CH2)»-，含在 R2中的碳原子也可以雜原子取代4表示〇至8的整數， R3至R5分別獨立的表示碳數1至12的脂肪族烴 基、碳數6至12的芳基或碳數7至12的芳烷基，含在 該脂肪族烴基、芳基及芳烷基中的氫原子，也可以鹵素 69 320856 200937122 原子取代， # y表示1至5的整數，X及z分別獨立的表示〇至 5的整數]。 4. 如申請專利範圍第2或3項之感光性樹脂組成物其 中，該含矽之丙烯酸系樹脂（A)為又含有由可與（A1)及 · (A2)共聚合的單體（A3)(但是（A1)&W2)除外）'聚合所 形成的共聚物之含矽之丙烯酸系樹脂。 5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之感光性樹脂組成 物，其中，該矽氧烷化合物（B)(但是（A)除外）為含有來 〇 自式（Π)表示的單體之結構單位的化合物， R8nSi(0R9)4-„ (π) [式（Π )中’R8及R9分別獨立的表示碳數i至12的脂肪 族烴基、碳數6至12的芳基或碳數7至12的芳烷基， 該脂肪族烴基、芳基及芳燒基中的氫原子也可以重氫原 子、氟原子、氣原子、氰基、羥基、碳數丨至4的烷氧 基、胺基、硫醇基、亞胺基、環氧基或（曱基）丙烯醯基 取代；η表示0至3的整數；當n為2以下的整數時，〇 R9可分別為同一種類或不同種類的基；當11為2以上的 整數時，R8可分別為同一種類或不同種類的基]。 6. 如申請專利範圍第丨至5項中任一項之感光性樹脂組成 物’其係含有熱硬化促進劑（D)。 7·如申請專利範圍第丨至6項中任一項之感光性樹脂組成 物’其係含有溶劑（E)。 8.如申請專利範圍第1至7項中任一項之滅光性樹脂組成 70 320856 200937122 • 物，其係含有光增感劑（F)。 * 9. 一種圖案，係使用申請專利範圍第1至8項中任一項之 感光性樹脂組成物形成者。 10.—種顯示元件，其係含有申請專利範圍第9項的圖案。 ❹ ❹ 71 320856 200937122 ·， 四、指定代表圖：本案無圖式 (一) 本案指定代表圖為：第（）圖。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 五、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：

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