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KR20220074037A - Optical Device Module and Optical Communication Network System Used the Same - Google Patents

Optical Device Module and Optical Communication Network System Used the Same Download PDF

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KR20220074037A
KR20220074037A KR1020200162082A KR20200162082A KR20220074037A KR 20220074037 A KR20220074037 A KR 20220074037A KR 1020200162082 A KR1020200162082 A KR 1020200162082A KR 20200162082 A KR20200162082 A KR 20200162082A KR 20220074037 A KR20220074037 A KR 20220074037A
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light
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박상기
김경은
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오프로세서 인코퍼레이티드
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Abstract

본 발명은 기판; 상기 기판 상의 광 도파로; 상기 광 도파로 내로 광을 제공하는 광원; 및 상기 광원 및 상기 광 도파로 사이의 프리즘을 포함한다. 상기 광원은 렌즈를 포함한다.The present invention is a substrate; an optical waveguide on the substrate; a light source providing light into the optical waveguide; and a prism between the light source and the optical waveguide. The light source includes a lens.

Description

광학 모듈 및 그를 구비한 광통신 네트워크 시스템 {Optical Device Module and Optical Communication Network System Used the Same}Optical Device Module and Optical Communication Network System Used the Same

본 발명은 렌즈를 포함하는 광학 모듈 및 그를 구비한 광통신 네트워크 시스템에 대한 것이다.The present invention relates to an optical module including a lens and an optical communication network system having the same.

전자 기기의 소형화 및 고속화 경향에 따라, 상기 전자 기기를 구성하는 구성요소들의 집적도를 높이기 위한 연구가 지속되고 있다. 전자 기기의 소형화 및 고속화를 위해서는, 상기 구성요소들의 소형화와 더불어 상기 구성요소들 사이의 빠른 신호의 전달이 요구된다.In accordance with the trend toward miniaturization and high speed of electronic devices, research to increase the degree of integration of components constituting the electronic devices continues. In order to miniaturize and speed up electronic devices, it is required to reduce the size of the components and to transmit signals quickly between the components.

구성요소들 사이의 빠른 신호 전달을 위한 일 수단으로, 전자 기기 사이의 광통신 기술의 적용이 시도되고있다. 광 통신 기술을 전자 기기 내에 적용하는 경우, 더욱 빠른 속도로 신호 전달이 수행됨은 물론, 기존 신호 전달 방식의 단점인 고저항, 고열 발생 및 기생 커패시턴스 현상 등이 완화될 수 있다.As one means for fast signal transmission between components, an optical communication technology between electronic devices is being applied. When the optical communication technology is applied to an electronic device, signal transmission is performed at a higher speed, and disadvantages of the existing signal transmission method, such as high resistance, high heat generation, and parasitic capacitance, can be alleviated.

기술적으로 성숙단계에 있는 광섬유 광통신기술을 컴퓨터에 도입하기 위한 연구가 최근에 활발히 진행되고있다. 대표적으로 실리콘 포토닉스 기술은 광신호를 전송하기 위해 실리콘 물질을 광 도파로로 사용한다. 또한, 컴퓨터의 PCB 보드 속에 광섬유를 삽입하여 기존의 광섬유 광통신기술을 직접적으로 활용하려는 연구 또한 활발히 진행되고 있다.Recently, research to introduce optical fiber optical communication technology, which is technically mature, to computers has been actively conducted. Typically, silicon photonics technology uses a silicon material as an optical waveguide to transmit an optical signal. In addition, research to directly utilize the existing optical fiber optical communication technology by inserting the optical fiber into the PCB board of the computer is being actively conducted.

본 발명은 광원에서 평행광을 방출할 수 있는 광학 모듈 및 그를 구비한 광통신 네트워크 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an optical module capable of emitting parallel light from a light source and an optical communication network system having the same.

본 발명은 기판; 상기 기판 상의 광 도파로; 상기 광 도파로 내로 광을 제공하는 광원; 및 상기 광원 및 상기 광 도파로 사이의 프리즘을 포함하고, 상기 광원은 렌즈를 포함하는 광학 모듈을 제공한다. The present invention is a substrate; an optical waveguide on the substrate; a light source providing light into the optical waveguide; and a prism between the light source and the optical waveguide, wherein the light source provides an optical module including a lens.

상기 렌즈는 평판 형태의 베이스부, 및 상기 베이스부에서 상기 프리즘을 향하여 돌출하는 반구 형태의 돌출부를 포함할 수 있다.The lens may include a flat base portion, and a hemispherical protrusion that protrudes from the base portion toward the prism.

상기 광원은 상기 렌즈를 덮는 접착층, 및 상기 접착층 상의 광 투과부를 포함할 수 있다.The light source may include an adhesive layer covering the lens, and a light transmitting part on the adhesive layer.

상기 광원은 상기 렌즈를 향하여 상기 광을 방출하는 광 생성부를 더 포함하고, 상기 렌즈는 아래의 [수학식 1]을 만족할 수 있다. The light source may further include a light generating unit emitting the light toward the lens, and the lens may satisfy [Equation 1] below.

[수학식 1][Equation 1]

F·tan-1(1/2·θ1) < RF tan -1 (1/2 θ1) < R

상기 렌즈의 반지름은 1㎛ 내지 100㎛일 수 있다.The radius of the lens may be 1㎛ to 100㎛.

상기 렌즈의 굴절률은 1.65 내지 2.5이고, 상기 접착층의 굴절률은 1.3 내지 1.55일 수 있다.The refractive index of the lens may be 1.65 to 2.5, and the refractive index of the adhesive layer may be 1.3 to 1.55.

상기 렌즈는 SiC, GaN, Si3N4, TiN, LiNbO3, TiO2, ZnSe, Polyimide 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The lens may include at least one of SiC, GaN, Si 3 N 4 , TiN, LiNbO 3 , TiO 2 , ZnSe, and Polyimide.

상기 프리즘의 하면 및 경사면을 덮는 반사 방지막을 더 포함할 수 있다.The prism may further include an anti-reflection film covering the lower surface and the inclined surface.

상기 렌즈를 통과한 상기 광은 평행광일 수 있다.The light passing through the lens may be parallel light.

본 발명은 기판; 상기 기판 상의 광 도파로; 상기 광 도파로 상의 필터; 상기 필터 상의 프리즘; 및 상기 프리즘의 경사면 상의 광원을 포함하는 광학 모듈을 제공한다. The present invention is a substrate; an optical waveguide on the substrate; a filter on the optical waveguide; a prism on the filter; and a light source on the inclined surface of the prism.

상기 필터는 파장 분할 다중화 필터일 수 있다.The filter may be a wavelength division multiplexing filter.

상기 필터는 상부거울, 하부거울 및 상기 상부거울과 하부거울 사이의 스페이서를 포함할 수 있다. The filter may include an upper mirror, a lower mirror, and a spacer between the upper mirror and the lower mirror.

상기 광원에서 방출된 광이 상기 상부거울, 상기 스페이서 및 상기 하부거울을 지나는 경로의 길이는 동일할 수 있다.A path through which the light emitted from the light source passes through the upper mirror, the spacer, and the lower mirror may have the same length.

상기 상부거울 및 상기 하부거울은 상기 스페이서를 기준으로 대칭적 구조를 가질 수 있다.The upper mirror and the lower mirror may have a symmetrical structure with respect to the spacer.

상기 필터 및 상기 광 도파로 사이의 버퍼층을 더 포함하고, 상기 상부거울은 상기 프리즘과 접하는 제1 필터막 및 상기 스페이서와 접하는 제2 필터막을 포함하고, 상기 하부거울은 상기 스페이서와 접하는 제3 필터막 및 상기 버퍼층과 접하는 제4 필터막을 포함하고, 상기 제1 필터막 및 상기 제4 필터막은 두께 및 굴절률이 동일하고, 상기 제2 필터막 및 상기 제3 필터막은 두께 및 굴절률이 동일할 수 있다. and a buffer layer between the filter and the optical waveguide, wherein the upper mirror includes a first filter film in contact with the prism and a second filter film in contact with the spacer, and the lower mirror includes a third filter film in contact with the spacer. and a fourth filter film in contact with the buffer layer, wherein the first filter film and the fourth filter film have the same thickness and refractive index, and the second filter film and the third filter film have the same thickness and refractive index.

상기 스페이서의 굴절률은 상기 제1 필터막의 굴절률과 동일할 수 있다.A refractive index of the spacer may be the same as a refractive index of the first filter layer.

본 발명은 서브 제어 영역, 연결 영역, 및 서브 단위 셀 영역을 갖는 기판; 상기 서브 제어 영역 상의 제1 광원 및 제1 검출기; 상기 서브 단위 셀 영역 상의 제2 광원 및 제2 검출기; 상기 제1 광원과 상기 제2 검출기를 연결하는 제1 광 도파로 및 상기 제2 광원과 상기 제1 검출기를 연결하는 제2 광 도파로; 및 상기 제1 광원과 상기 제1 광 도파로 사이의 제1 프리즘, 및 상기 제2 광원과 상기 제2 광 도파로 사이의 제2 프리즘을 포함하는 광통신 네트워크 시스템을 제공한다. The present invention provides a substrate comprising: a substrate having a sub control region, a connection region, and a sub unit cell region; a first light source and a first detector on the sub-control area; a second light source and a second detector on the sub-unit cell area; a first optical waveguide connecting the first light source and the second detector and a second optical waveguide connecting the second light source and the first detector; and a first prism between the first light source and the first optical waveguide, and a second prism between the second light source and the second optical waveguide.

상기 제1 프리즘 및 상기 제1 광 도파로 사이의 제1 필터, 및 상기 제2 프리즘 및 상기 제2 광 도파로 사이의 제2 필터를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a first filter between the first prism and the first optical waveguide, and a second filter between the second prism and the second optical waveguide.

상기 제1 및 제2 프리즘들 각각의 하면 및 경사면을 덮는 반사 방지막들을 더 포함할 수 있다.The first and second prisms may further include anti-reflection layers covering a lower surface and an inclined surface of each of the prisms.

상기 제1 광원 및 상기 제2 광원 각각은 렌즈를 포함할 수 있다.Each of the first light source and the second light source may include a lens.

본 발명에 따른 광학 모듈 및 그를 구비한 광통신 네트워크 시스템은, 광원이 렌즈를 포함함으로써, 광원에서 평행광이 방출될 수 있다. In the optical module and the optical communication network system having the same according to the present invention, the light source includes a lens, so that parallel light can be emitted from the light source.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광통신 네트워크 시스템을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 서브 제어 부분들과 서브 단위 셀 부분들을 더욱 상세하게 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈을 나타내는 단면도이다.
도 4는 도 3의 광원이 평행광을 방출하기 위한 조건을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈의 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈의 단면도이다.
도 6b는 도 6a의 A영역의 확대도이다.
도 7a는 거울의 반사도를 나타내는 그래프이다.
도 7b는 도 7a의 거울을 이용한 필터의 투과도를 나타내는 그래프이다.
도 8은 필터를 포함하는 광학 모듈의 기능을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈을 나타내는 단면도이다.
1 is a diagram schematically illustrating an optical communication network system according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram for describing sub-control parts and sub-unit cell parts in more detail.
3 is a cross-sectional view illustrating an optical module according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view for explaining a condition for the light source of FIG. 3 to emit parallel light.
5 is a cross-sectional view of an optical module according to an embodiment of the present invention.
6A is a cross-sectional view of an optical module according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6B is an enlarged view of area A of FIG. 6A .
7A is a graph showing reflectivity of a mirror.
7B is a graph showing the transmittance of the filter using the mirror of FIG. 7A.
8 is a view for explaining a function of an optical module including a filter.
9 is a cross-sectional view illustrating an optical module according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them, will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 장치는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 장치의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 이하 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, 'comprises' and/or 'comprising' refers to the presence of one or more other components, steps, operations and/or devices mentioned. or addition is not excluded. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광통신 네트워크 시스템을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram schematically illustrating an optical communication network system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 광통신 네트워크 시스템은 메인 제어 부분들(20), 서브 제어 부분들(30), 서브 단위 셀 부분들(40) 및 광 도파로들(50)을 포함할 수 있다. 광 도파로들(50)은 메인 제어 부분들(20), 서브 제어 부분들(30), 및 서브 단위 셀 부분들(40)을 서로 연결할 수 있다. 메인 제어 부분들(20)은 서브 제어 부분들(30) 및 서브 단위 셀 부분들(40)을 제어하는 제어 신호를 출력하고, 응답 신호를 수신할 수 있다. 서브 제어 부분들(30)은 메인 제어 부분들(20)과 통신하며, 서브 단위 셀 부분들(40)을 제어할 수 있다. 하나의 서브 제어 부분(30)과 16개의 서브 단위 셀 부분들(40)은 단위 셀 부분들(60)을 각각 구성할 수 있다. 단위 셀 부분들(60)이 16개로 구성될 때, 단위 셀 부분들(60)은 162개의 서브 단위 셀 부분들(40)을 포함할 수 있다. 또한, 하나의 메인 제어 부분들(20)과 16개의 단위 셀 부분들(60)은 상위 단위 셀들(70)을 구성할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 16개의 상위 단위 셀 부분들(70)은 163개의 서브 단위 셀 부분들(40)을 포함할 수 있다. 상위 단위 셀(70)과 초 메인 제어 부분들(미도시)은 고차원 단위 셀을 구성할 수 있다. 따라서, 본 발명의 광통신 네트워크 시스템은 단위 셀 부분들(60) 차원이 증가할수록, 16의 고차승 개수로 설계된 서브 단위 셀 부분들(40)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , an optical communication network system according to an embodiment of the present invention includes main control parts 20 , sub control parts 30 , sub unit cell parts 40 , and optical waveguides 50 . can do. The optical waveguides 50 may connect the main control parts 20 , the sub control parts 30 , and the sub unit cell parts 40 to each other. The main control parts 20 may output a control signal for controlling the sub control parts 30 and the sub unit cell parts 40 , and receive a response signal. The sub control parts 30 may communicate with the main control parts 20 and control the sub unit cell parts 40 . One sub control part 30 and 16 sub unit cell parts 40 may constitute unit cell parts 60 , respectively. When the unit cell parts 60 are composed of 16 , the unit cell parts 60 may include 16 2 sub-unit cell parts 40 . In addition, one main control part 20 and 16 unit cell parts 60 may constitute upper unit cells 70 . Although not shown, the 16 upper unit cell parts 70 may include 16 3 sub unit cell parts 40 . The upper unit cell 70 and super main control parts (not shown) may constitute a high-dimensional unit cell. Accordingly, as the dimension of the unit cell parts 60 increases, the optical communication network system of the present invention may include the sub-unit cell parts 40 designed with a higher-order number of 16 .

서브 제어 부분들(30)은 서브 단위 셀 부분들(40)의 광 신호를 동일 그룹의 단위 셀 부분(60) 내의 다른 서브 단위 셀 부분들(40), 다른 단위 셀들(60) 또는 상위 단위 셀들(70)에 출력할지를 결정할 수 있다. 메인 제어 부분들(20), 서브 제어 부분들(30), 및 서브 단위 셀 부분들(40)은 각각 광 신호와 전기 신호의 상호간 광전 변환을 수행할 수 있다.The sub control parts 30 transmit the optical signal of the sub unit cell parts 40 to other sub unit cell parts 40, other unit cells 60 or higher unit cells within the unit cell part 60 of the same group. It can be decided whether to output to (70). The main control parts 20 , the sub control parts 30 , and the sub unit cell parts 40 may perform mutual photoelectric conversion of an optical signal and an electrical signal, respectively.

도 2는 서브 제어 부분들과 서브 단위 셀 부분들을 더욱 상세하게 설명하기 위한 도면이다.2 is a diagram for describing sub-control parts and sub-unit cell parts in more detail.

도 1 및 도 2를 참조하면, 서브 제어 부분들(30)은 발광 어레이들(LD array) 및 수광 어레이들(PD array)을 포함할 수 있다. 서브 제어 부분들(30)의 발광 어레이(LD array)는 제1 광원(72)들을 포함할 수 있고, 수광 어레이(PD array)는 제1 검출기들(74)을 포함할 수 있다. 서브 단위 셀 부분들(40)은 발광 어레이(LD array)의 일 부분 및 수광 어레이(PD array)의 일 부분을 포함할 수 있다. 서브 단위 셀 부분들(40)은 제2 광원(78)을 포함할 수 있고, 제 2 검출기(76)를 포함할 수 있다. 제1 광원(72)과 제2 광원(78)은 수직 공진 표면 방출 레이저(Vertical Cavity Surface Emitting Laser, VCSEL) 또는 레이저 다이오드(Laser Diode)를 포함할 수 있다. 제1 검출기(74) 및 제2 검출기(76)는 포토 다이오드를 포함할 수 있다. 제1 광원(72)과 제2 검출기(76)는 제1 광 도파로(52)에 의해 연결될 수 있다. 제1 광원(72), 제1 광 도파로(52), 및 제2 검출기(76)는 제1 통신 라인이 될 수 있다. 또한, 제2 광 도파로(54)는 제1 검출기(74)와 제2 광원(78)을 연결할 수 있다. 마찬가지로, 제1 검출기(74), 제2 광 도파로(54), 제2 광원(78)은 제2 통신 라인이 될 수 있다. 제1 광 도파로(52) 및 제2 광 도파로(54)는 서로 교차되지 않고, 서브 제어 부분들(30)과 서브 단위 셀 부분들(40)을 연결할 수 있다.1 and 2 , the sub control parts 30 may include light emitting arrays (LD array) and light receiving arrays (PD array). The light emitting array (LD array) of the sub control parts 30 may include first light sources 72 , and the light receiving array (PD array) may include first detectors 74 . The sub unit cell portions 40 may include a portion of a light emitting array (LD array) and a portion of a light receiving array (PD array). The sub unit cell portions 40 may include a second light source 78 , and may include a second detector 76 . The first light source 72 and the second light source 78 may include a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) or a laser diode. The first detector 74 and the second detector 76 may include photodiodes. The first light source 72 and the second detector 76 may be connected by a first optical waveguide 52 . The first light source 72 , the first optical waveguide 52 , and the second detector 76 may be a first communication line. In addition, the second optical waveguide 54 may connect the first detector 74 and the second light source 78 . Likewise, the first detector 74 , the second optical waveguide 54 , and the second light source 78 may be a second communication line. The first optical waveguide 52 and the second optical waveguide 54 may connect the sub control parts 30 and the sub unit cell parts 40 without intersecting each other.

제1 광원(72), 제1 검출기(74), 제2 광원(78), 및 제2 검출기(76)는 광 소자들이다. 광 소자들은 광 도파로들과 결합되어 광학 모듈을 구성할 수 있다. 광 도파로(50)는 광학 모듈들을 연결할 수 있다. 서브 단위 셀 부분들(40)은 광신호를 송신 및 수신하는 복수의 광학 모듈들을 가질 수 있다.The first light source 72 , the first detector 74 , the second light source 78 , and the second detector 76 are optical elements. The optical elements may be combined with optical waveguides to constitute an optical module. The optical waveguide 50 may connect optical modules. The sub unit cell portions 40 may have a plurality of optical modules for transmitting and receiving optical signals.

이하, 광결합 효율을 극대화할 수 있는 광학 모듈에 대해 실시 예를 들어 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an optical module capable of maximizing the optical coupling efficiency will be described.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈을 나타내는 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating an optical module according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 광학 모듈은 기판(100), 하부 클래드 층(110), 광 도파로(120), 상부 클래드 층(130), 버퍼층(140), 프리즘(150) 및 광원(200)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3 , the optical module includes a substrate 100 , a lower clad layer 110 , an optical waveguide 120 , an upper clad layer 130 , a buffer layer 140 , a prism 150 , and a light source 200 . can do.

기판(100)은 결정 실리콘을 포함할 수 있다. 결정 실리콘은 약 3.45의 굴절률을 가질 수 있다. 도시되지는 않았지만, 기판(100)은 서브 제어 영역, 연결 영역, 및 서브 단위 셀 영역을 가질 수 있다. 서브 제어 영역은 도 1 및 도 2의 서브 제어 셀 부분들(30)에 대응될 수 있다. 서브 단위 셀 영역은 도 1 및 도 2의 서브 단위 셀 부분들(40)에 대응될 수 있다. 연결 영역은 서브 제어 영역 및 서브 단위 셀 영역 사이의 영역일 수 있다.The substrate 100 may include crystalline silicon. Crystalline silicon may have a refractive index of about 3.45. Although not shown, the substrate 100 may have a sub control region, a connection region, and a sub unit cell region. The sub control region may correspond to the sub control cell portions 30 of FIGS. 1 and 2 . The sub-unit cell region may correspond to the sub-unit cell portions 40 of FIGS. 1 and 2 . The connection region may be a region between the sub control region and the sub unit cell region.

기판(100) 상에 하부 클래드 층(110)이 제공될 수 있다. 하부 클래드 층(110)은 실리콘 옥사이드를 포함할 수 있다. 실리콘 옥사이드는 약 1.45의 굴절률을 가질 수 있다.A lower clad layer 110 may be provided on the substrate 100 . The lower clad layer 110 may include silicon oxide. Silicon oxide may have a refractive index of about 1.45.

광 도파로(120)는 하부 클래드 층(110) 상에 제공될 수 있다. 하부 클래드 층(110)은 광 도파로(120)보다 낮은 굴절률을 가질 수 있다. 광 도파로(120)는 기판(100)보다 낮은 굴절률을 가질 수 있다. 광 도파로(120)는 실리콘 나이트라이드 또는 실리콘 옥시 나이트라이드를 포함할 수 있다. 실리콘 나이트라이드는 약 2.0의 굴절률을 가질 수 있다. 실리콘 옥시 나이트라이드는 약 1.7의 굴절률을 가질 수 있다. 광 도파로(120)는 도 1 및 도 2의 광 도파로(50)에 대응될 수 있다.The optical waveguide 120 may be provided on the lower clad layer 110 . The lower clad layer 110 may have a lower refractive index than the optical waveguide 120 . The optical waveguide 120 may have a lower refractive index than the substrate 100 . The optical waveguide 120 may include silicon nitride or silicon oxy nitride. Silicon nitride may have a refractive index of about 2.0. Silicon oxynitride may have an index of refraction of about 1.7. The optical waveguide 120 may correspond to the optical waveguide 50 of FIGS. 1 and 2 .

광 도파로(120)의 상면은 제1 부분 및 제2 부분으로 구분될 수 있다. 상부 클래드 층(130)은 광 도파로(120) 상면의 제1 부분을 덮을 수 있다. 상부 클래드 층(130)은 광 도파로(120)의 상면의 제2 부분을 노출시킬 수 있다. 상부 클래드 층(130)의 굴절률은 광 도파로(120)의 굴절률보다 낮을 수 있다. 상부 클래드 층(130)은 실리콘 옥사이드를 포함할 수 있다.The upper surface of the optical waveguide 120 may be divided into a first portion and a second portion. The upper clad layer 130 may cover the first portion of the upper surface of the optical waveguide 120 . The upper clad layer 130 may expose a second portion of the upper surface of the optical waveguide 120 . The refractive index of the upper clad layer 130 may be lower than that of the optical waveguide 120 . The upper clad layer 130 may include silicon oxide.

버퍼층(140)은 광 도파로(120)의 상면의 제2 부분을 덮을 수 있다. 다시 말하면, 버퍼층(140)은 상부 클래드 층(130)에 의해 노출된 광 도파로(120)의 상면을 덮을 수 있다. 버퍼층(140)은 광 도파로(120)보다 높은 굴절률을 가질 수 있다. 버퍼층(140)은 약 1.7 내지 2.1의 굴절률을 갖는 인덱스 매칭 오일 또는 접착제를 포함할 수 있다.The buffer layer 140 may cover the second portion of the upper surface of the optical waveguide 120 . In other words, the buffer layer 140 may cover the upper surface of the optical waveguide 120 exposed by the upper clad layer 130 . The buffer layer 140 may have a higher refractive index than the optical waveguide 120 . The buffer layer 140 may include an index matching oil or adhesive having a refractive index of about 1.7 to 2.1.

프리즘(150)은 버퍼층(140) 상에 배치될 수 있다. 프리즘(150)의 하면(151)이 버퍼층(140)과 접할 수 있다. 버퍼층(140)은 프리즘(150)과 광 도파로(120) 사이에 공기의 유입을 방지할 수 있다. 프리즘(150)과 광 도파로(120) 사이에 공기가 유입되는 경우, 프리즘(150)과 광 도파로(120) 사이의 광 전달 효율이 저하될 수 있다. 프리즘(150)은 버퍼층(140)보다 높은 굴절률을 가질 수 있다. 프리즘(150)은 경사면(152)을 구비한 쐐기 모양을 가질 수 있다. 프리즘(150)의 경사각이 제1 각도(θ1)로 정의될 수 있다. 프리즘(150)은 결정 실리콘 또는 갈륨 포스파이드(GaP)를 포함할 수 있다. 갈륨 포스파이드는 약 3.05의 굴절률을 가질 수 있다.The prism 150 may be disposed on the buffer layer 140 . The lower surface 151 of the prism 150 may contact the buffer layer 140 . The buffer layer 140 may prevent the inflow of air between the prism 150 and the optical waveguide 120 . When air is introduced between the prism 150 and the optical waveguide 120 , the light transmission efficiency between the prism 150 and the optical waveguide 120 may be reduced. The prism 150 may have a higher refractive index than the buffer layer 140 . The prism 150 may have a wedge shape with an inclined surface 152 . An inclination angle of the prism 150 may be defined as a first angle θ1 . The prism 150 may include crystalline silicon or gallium phosphide (GaP). Gallium phosphide may have a refractive index of about 3.05.

광원(200)은 프리즘(150)의 경사면(152)에 접할 수 있다. 본 실시예의 광원(200)은 도 1 및 도 2의 제 1 광원(72) 또는 제2 광원(78)에 대응될 수 있다. 광원(200)을 대신하여, 도 1 및 도 2의 제1 검출기(74) 또는 제2 검출기(76)에 대응되는 검출기가 제공될 수도 있다.The light source 200 may be in contact with the inclined surface 152 of the prism 150 . The light source 200 of this embodiment may correspond to the first light source 72 or the second light source 78 of FIGS. 1 and 2 . Instead of the light source 200, a detector corresponding to the first detector 74 or the second detector 76 of FIGS. 1 and 2 may be provided.

광원(200)은 레이저 광(L)을 광 도파로(120)에 제공할 수 있다. 광원(200)은 광 생성부(210), 렌즈(220), 접착층(230) 및 광 투과부(240)를 포함할 수 있다.The light source 200 may provide the laser light L to the optical waveguide 120 . The light source 200 may include a light generating unit 210 , a lens 220 , an adhesive layer 230 , and a light transmitting unit 240 .

광 생성부(210)는 레이저 광(L)을 생성하여 방출할 수 있다. 광 생성부(210)는 수직 공진 표면 방출 레이저(Vertical Cavity Surface Emitting Laser, VCSEL) 또는 레이저 다이오드(Laser Diode)일 수 있다. 광 생성부(210)에서 방출된 레이저 광(L)은 제2 각도(θ2)를 방사각으로 가질 수 있다. 일 예로, 제2 각도(θ2)는 20도 내지 40도일 수 있다. 광 생성부(210)는 개구(211)를 포함할 수 있고, 상기 개구(211)에서 레이저 광(L)이 방출될 수 있다.The light generator 210 may generate and emit laser light L. The light generator 210 may be a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) or a laser diode. The laser light L emitted from the light generator 210 may have a second angle θ2 as a radiation angle. For example, the second angle θ2 may be 20 to 40 degrees. The light generator 210 may include an opening 211 , and the laser light L may be emitted from the opening 211 .

광 생성부(210) 상에 렌즈(220)가 제공될 수 있다. 렌즈(220)는 베이스부(221) 및 돌출부(222)를 포함할 수 있다. 베이스부(221)는 평판의 형태를 가질 수 있다. 돌출부(222)는 반구의 형태를 가질 수 있다. 베이스부(221)는 광 생성부(210) 상에 제공될 수 있고, 돌출부(222)는 베이스부(221)에서 프리즘(150)을 향하여 돌출할 수 있다. 렌즈(220)는 1.65 내지 2.5의 굴절률을 가질 수 있다. 렌즈(220)는 SiC, GaN, Si3N4, TiN, LiNbO3, TiO2, ZnSe, Polyimide 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. A lens 220 may be provided on the light generator 210 . The lens 220 may include a base part 221 and a protrusion part 222 . The base part 221 may have a flat plate shape. The protrusion 222 may have a hemispherical shape. The base part 221 may be provided on the light generator 210 , and the protrusion 222 may protrude from the base part 221 toward the prism 150 . The lens 220 may have a refractive index of 1.65 to 2.5. The lens 220 may include at least one of SiC, GaN, Si 3 N 4 , TiN, LiNbO 3 , TiO 2 , ZnSe, and Polyimide.

렌즈(220) 상에 접착층(230)이 제공될 수 있다. 접착층(230)은 렌즈(220)를 덮을 수 있다. 다시 말하면, 접착층(230)은 렌즈(220)의 베이스부(221)의 상면(221a) 및 렌즈(220)의 돌출부(222)의 상면(222a)을 덮을 수 있다. 접착층(230)은 1.3 내지 1.55의 굴절률을 가질 수 있다. 접착층(230)은 광학용 접착제를 포함할 수 있다.An adhesive layer 230 may be provided on the lens 220 . The adhesive layer 230 may cover the lens 220 . In other words, the adhesive layer 230 may cover the upper surface 221a of the base portion 221 of the lens 220 and the upper surface 222a of the protrusion 222 of the lens 220 . The adhesive layer 230 may have a refractive index of 1.3 to 1.55. The adhesive layer 230 may include an optical adhesive.

접착층(230) 상에 광 투과부(240)가 제공될 수 있다. 광 투과부(240)는 유리 또는 쿼츠(quarts)를 포함할 수 있다. 광 투과부(240)는 렌즈(220)의 돌출부(222)에 접하는 것으로 도시되었지만, 이에 한정되지 않을 수 있다. 다시 말하면, 광 투과부(240)는 접착층(230)에 의해 렌즈(220)의 돌출부(222)와 서로 이격될 수 있다.The light transmitting part 240 may be provided on the adhesive layer 230 . The light transmitting part 240 may include glass or quartz. Although the light transmitting part 240 is shown to be in contact with the protrusion 222 of the lens 220, the present invention may not be limited thereto. In other words, the light transmitting portion 240 may be spaced apart from the protrusion 222 of the lens 220 by the adhesive layer 230 .

본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈의 동작을 설명하면, 광원(200)의 광 생성부(210)에서 생성된 레이저 광(L)이 렌즈(220) 및 접착층(230)을 통과할 수 있다. 렌즈(220) 및 접착층(230)을 통과하면서, 레이저 광(L)의 방사각이 감소할 수 있다. 이에 따라, 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)은 평행광일 수 있다. 다시 말하면, 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)의 방사각은 0도일 수 있다.When explaining the operation of the optical module according to the embodiment of the present invention, the laser light L generated by the light generating unit 210 of the light source 200 may pass through the lens 220 and the adhesive layer 230 . While passing through the lens 220 and the adhesive layer 230 , the radiation angle of the laser light L may decrease. Accordingly, the laser light L passing through the light transmitting part 240 may be parallel light. In other words, the radiation angle of the laser light L passing through the light transmitting part 240 may be 0 degrees.

광 투과부(240)를 통과한 레이저 광(L)은 프리즘(150)의 경사면(152)에 수직으로 입사하여 프리즘(150)을 통과할 수 있다. 프리즘(150)을 통과하는 레이저 광(L)은 프리즘(150)의 하면(151)과 제3 각도(θ3)를 이룰 수 있다. 상기 제3 각도(θ3)는 프리즘(150)의 경사각에 대응될 수 있다. 다시 말하면, 제1 각도(θ1) 및 제3 각도(θ3)의 합은 90도일 수 있다.The laser light L passing through the light transmitting part 240 may be vertically incident on the inclined surface 152 of the prism 150 and pass through the prism 150 . The laser light L passing through the prism 150 may form a third angle θ3 with the lower surface 151 of the prism 150 . The third angle θ3 may correspond to an inclination angle of the prism 150 . In other words, the sum of the first angle θ1 and the third angle θ3 may be 90 degrees.

프리즘(150)을 통과한 레이저 광(L)은 버퍼층(140)을 통과하여 광 도파로(120) 내로 입사될 수 있다. 광 도파로(120) 내에 입사된 레이저 광(L)은 하부 클래드 층(110) 및 상부 클래드 층(130)에서 반사될 수 있고, 광 도파로(120)를 따라 진행할 수 있다.The laser light L passing through the prism 150 may pass through the buffer layer 140 and be incident into the optical waveguide 120 . The laser light L incident into the optical waveguide 120 may be reflected by the lower clad layer 110 and the upper clad layer 130 , and may travel along the optical waveguide 120 .

광원(200)의 광 투과부(240)를 통과하는 광이 평행광이 아니라면, 레이저 광(L)이 프리즘(150) 및 버퍼층(140)을 통과하여 광 도파로(120)에 집속되지 못할 수 있다. 일 예로, 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)의 방사각이 2도 이상인 경우, 상기 레이저 광(L)은 광 도파로(120)에 집속되지 못할 수 있다. 본 발명은 광원(200)에서 방출된 레이저 광(L)을 평행광으로 하여, 레이저 광(L)이 광 도파로(120)에 집속될 수 있다.If the light passing through the light transmitting part 240 of the light source 200 is not parallel light, the laser light L may not be focused on the optical waveguide 120 through the prism 150 and the buffer layer 140 . For example, when the radiation angle of the laser light L passing through the light transmitting part 240 is 2 degrees or more, the laser light L may not be focused on the optical waveguide 120 . In the present invention, the laser light L emitted from the light source 200 may be a parallel light, and the laser light L may be focused on the optical waveguide 120 .

본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈의 제조방법을 설명하면, 렌즈(220) 상에 접착층(230)을 형성하고, 접착층(230)에 광 투과부(240)를 부착시킬 수 있다. 이어서, 렌즈(220)를 광 생성부(210)에 부착시켜, 광원(200)을 제조할 수 있다. 이어서, 광원(200)을 프리즘(150)에 부착시키고, 프리즘(150)을 버퍼층(140)에 부착시키면, 광학 모듈의 제조가 완료될 수 있다.When explaining the method of manufacturing the optical module according to the embodiment of the present invention, the adhesive layer 230 may be formed on the lens 220 , and the light transmitting part 240 may be attached to the adhesive layer 230 . Next, the light source 200 may be manufactured by attaching the lens 220 to the light generating unit 210 . Next, when the light source 200 is attached to the prism 150 and the prism 150 is attached to the buffer layer 140 , the optical module may be manufactured.

도 4는 도 3의 광원이 평행광을 방출하기 위한 조건을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a condition for the light source of FIG. 3 to emit parallel light.

도 4를 참조하면, 광원(200)의 광 생성부(210)에서 방출된 레이저 광(L)은 제2 각도(θ2)를 방사각으로 가질 수 있다. 상기 제2 각도(θ2)는 20도 내지 40도일 수 있다. 광원(200)의 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)은 평행광일 수 있다. 다시 말하면, 광원(200)의 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)의 방사각은 0도일 수 있다.Referring to FIG. 4 , the laser light L emitted from the light generator 210 of the light source 200 may have a second angle θ2 as a radiation angle. The second angle θ2 may be 20 degrees to 40 degrees. The laser light L passing through the light transmitting part 240 of the light source 200 may be parallel light. In other words, the radiation angle of the laser light L passing through the light transmitting part 240 of the light source 200 may be 0 degrees.

광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)이 평행광이 되려면, 아래의 [수학식 1]에 따른 조건을 만족하여야 한다.In order for the laser light L passing through the light transmitting part 240 to become a parallel light, the condition according to [Equation 1] below must be satisfied.

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 [수학식 1]에서, F는 렌즈(200)의 돌출부(222)의 초점거리이고, R은 렌즈(200)의 돌출부(222)의 반지름이고, θ2는 광 생성부(210)에서 방출된 레이저 광(L)의 방사각(제2 각도)이다. 상기 [수학식 1]에서, 초점거리(F) 및 제2 각도(θ2)에 의해 제1 거리(D1)가 정의될 수 있다.In [Equation 1], F is the focal length of the protrusion 222 of the lens 200, R is the radius of the protrusion 222 of the lens 200, and θ2 is the emitted light from the light generating unit 210. It is the radiation angle (second angle) of the laser light L. In [Equation 1], the first distance D1 may be defined by the focal length F and the second angle θ2.

렌즈(200)의 돌출부(222)의 초점거리(F)는 아래의 [수학식 2]에 따라 도출될 수 있다.The focal length F of the protrusion 222 of the lens 200 may be derived according to [Equation 2] below.

Figure pat00002
Figure pat00002

상기 [수학식 2]에서, n1은 렌즈(220)의 굴절률이고, n2는 접착층(230)의 굴절률이다.In Equation 2, n1 is the refractive index of the lens 220 , and n2 is the refractive index of the adhesive layer 230 .

상기 [수학식 1]의 조건을 만족하여, 제1 거리(D1)가 렌즈(220)의 돌출부(222)의 반지름(R)보다 작으면, 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)이 평행광이 될 수 있다. 상기 [수학식 1]의 조건을 만족하지 못하여, 제1 거리(D1)가 렌즈(220)의 돌출부(222)의 반지름(R)보다 크면, 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)이 평행광이 될 수 없다.When the condition of [Equation 1] is satisfied and the first distance D1 is smaller than the radius R of the protrusion 222 of the lens 220, the laser light L passing through the light transmitting part 240 This can be parallel light. When the condition of [Equation 1] is not satisfied and the first distance D1 is greater than the radius R of the protrusion 222 of the lens 220, the laser light L passing through the light transmitting part 240 This cannot be parallel light.

상기 [수학식 1] 및 [수학식 2]를 참조하면, 렌즈(220)의 돌출부(222)의 반지름(R), 렌즈(220)의 굴절률(n1) 및 접착층(230)의 굴절률(n2)을 적절히 설정하여, 상기 [수학식 1]에 따른 조건을 만족시킬 수 있다. 일 예로, 상기 제2 각도(θ2)가 30도이고, 접착층(230)의 굴절률(n2)이 1.46이고, 렌즈(220)의 돌출부(222)의 반지름(R)이 15㎛인 경우, 렌즈(220)의 굴절률(n1)을 1.72 이상으로 설정하면 광 투과부(240)를 통과하는 레이저 광(L)이 평행광이 될 수 있다. 렌즈(220)가 polyimide를 포함하는 경우, 굴절률(n1)이 1.72일 수 있다.Referring to [Equation 1] and [Equation 2], the radius R of the protrusion 222 of the lens 220, the refractive index n1 of the lens 220, and the refractive index n2 of the adhesive layer 230 can be appropriately set to satisfy the condition according to [Equation 1]. For example, when the second angle θ2 is 30 degrees, the refractive index n2 of the adhesive layer 230 is 1.46, and the radius R of the protrusion 222 of the lens 220 is 15 μm, the lens ( When the refractive index n1 of 220 is set to 1.72 or more, the laser light L passing through the light transmitting unit 240 may become parallel light. When the lens 220 includes polyimide, the refractive index n1 may be 1.72.

렌즈(220)의 돌출부(222)의 반지름(R)은 1㎛ 내지 100㎛일 수 있고, 렌즈(220)의 굴절률(n1)은 1.65 내지 2.5일 수 있고, 접착층(230)의 굴절률(n2)은 1.3 내지 1.55일 수 있다. The radius R of the protrusion 222 of the lens 220 may be 1 μm to 100 μm, the refractive index n1 of the lens 220 may be 1.65 to 2.5, and the refractive index n2 of the adhesive layer 230 . may be 1.3 to 1.55.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈의 단면도이다. 본 실시예에 따른 광학 모듈은 아래에서 설명하는 것을 제외하면 도 3에 따른 광학 모듈과 유사하다.5 is a cross-sectional view of an optical module according to an embodiment of the present invention. The optical module according to this embodiment is similar to the optical module according to FIG. 3 except as described below.

도 5를 참조하면, 광학 모듈은 반사 방지막(160)을 더 포함할 수 있다. 반사 방지막(160)은 제1 부분(161) 및 제2 부분(162)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5 , the optical module may further include an anti-reflection film 160 . The anti-reflection layer 160 may include a first portion 161 and a second portion 162 .

반사 방지막(160)의 제1 부분(161)은 프리즘(150)의 하면(151) 상에 제공될 수 있다. 반사 방지막(160)의 제2 부분(162)은 프리즘(150)의 경사면(152) 상에 제공될 수 있다. 상기 제1 부분(161)의 두께 및 상기 제2 부분(162)의 두께는 실질적으로 동일할 수 있다. 다시 말하면, 반사 방지막(160)은 프리즘(150)의 하면(151) 및 경사면(152)을 컨포멀(conformal)하게 덮을 수 있다.The first portion 161 of the anti-reflection layer 160 may be provided on the lower surface 151 of the prism 150 . The second portion 162 of the anti-reflection layer 160 may be provided on the inclined surface 152 of the prism 150 . A thickness of the first part 161 and a thickness of the second part 162 may be substantially the same. In other words, the anti-reflection layer 160 may conformally cover the lower surface 151 and the inclined surface 152 of the prism 150 .

반사 방지막(160)은 교대로 적층된 제1 반사막들 및 제2 반사막들을 포함할 수 있다. 제1 반사막들의 두께와 제2 반사막들의 두께는 서로 다를 수 있다. 제1 반사막들이 포함하는 물질과 제2 반사막들이 포함하는 물질은 서로 다를 수 있다. 제1 반사막들의 굴절률과 제2 반사막들의 굴절률은 서로 다를 수 있다.The anti-reflection layer 160 may include first reflective layers and second reflective layers that are alternately stacked. The thickness of the first reflective layers and the thickness of the second reflective layers may be different from each other. A material included in the first reflective layers and a material included in the second reflective layers may be different from each other. The refractive index of the first reflective layers and the refractive index of the second reflective layers may be different from each other.

반사 방지막(160)의 제1 부분(161)을 사이에 두고 프리즘(150)과 버퍼층(140)이 서로 이격될 수 있다. 반사 방지막(160)의 제2 부분(162)을 사이에 두고 프리즘(150)과 광원(200)의 광 투과부(240)가 서로 이격될 수 있다. The prism 150 and the buffer layer 140 may be spaced apart from each other with the first portion 161 of the anti-reflection layer 160 interposed therebetween. The prism 150 and the light transmitting portion 240 of the light source 200 may be spaced apart from each other with the second portion 162 of the anti-reflection film 160 interposed therebetween.

도 6a는 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈의 단면도이다. 도 6b는 도 6a의 A영역의 확대도이다. 본 실시예에 따른 광학 모듈은 아래에서 설명하는 것을 제외하면 도 3에 따른 광학 모듈과 유사하다. 6A is a cross-sectional view of an optical module according to an embodiment of the present invention. FIG. 6B is an enlarged view of area A of FIG. 6A . The optical module according to this embodiment is similar to the optical module according to FIG. 3 except as described below.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 광학 모듈은 필터(170)를 더 포함할 수 있다. 필터(170)는 파장 분할 다중화 필터(Wavelength Division Multiflexing(WDM) Filter)일 수 있다. 필터(170)는 프리즘(150)의 하면(151) 상에 제공될 수 있다. 필터(170)를 사이에 두고 프리즘(150) 및 버퍼층(140)이 서로 이격될 수 있다.6A and 6B , the optical module may further include a filter 170 . The filter 170 may be a wavelength division multiplexing (WDM) filter. The filter 170 may be provided on the lower surface 151 of the prism 150 . The prism 150 and the buffer layer 140 may be spaced apart from each other with the filter 170 interposed therebetween.

필터(170)는 상부거울(171), 스페이서(172) 및 하부거울(173)을 포함할 수 있다. 스페이서(172)는 상부거울(171) 및 하부거울(173) 사이에 배치될 수 있다. 상부거울(171)은 프리즘(150)의 하면(151)과 접할 수 있다. 하부거울(173)은 버퍼층(140)의 상면과 접할 수 있다. The filter 170 may include an upper mirror 171 , a spacer 172 , and a lower mirror 173 . The spacer 172 may be disposed between the upper mirror 171 and the lower mirror 173 . The upper mirror 171 may be in contact with the lower surface 151 of the prism 150 . The lower mirror 173 may be in contact with the upper surface of the buffer layer 140 .

상부거울(171)은 한 쌍의 제1 필터막(171a) 및 제2 필터막(171b)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 필터막들(171a, 171b)은 서로 다른 물질을 포함할 수 있다. 일 예로, 제1 필터막(171a)은 TiO2를 포함할 수 있고, 제2 필터막(171b)은 Ta2O5를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 필터막들(171a, 171b)의 굴절률은 서로 다를 수 있다. 제1 및 제2 필터막들(171a, 171b)의 두께는 서로 다를 수 있다. 제1 필터막(171a)이 프리즘(150)과 접할 수 있고, 제2 필터막(171b)이 스페이서(172)와 접할 수 있다. The upper mirror 171 may include a pair of a first filter film 171a and a second filter film 171b. The first and second filter layers 171a and 171b may include different materials. For example, the first filter layer 171a may include TiO 2 , and the second filter layer 171b may include Ta 2 O 5 . The refractive indices of the first and second filter layers 171a and 171b may be different from each other. The thicknesses of the first and second filter layers 171a and 171b may be different from each other. The first filter film 171a may contact the prism 150 , and the second filter film 171b may contact the spacer 172 .

상부거울(171)은 한 쌍의 제1 필터막(171a) 및 제2 필터막(171b)을 포함하는 것으로 도시되었지만, 이에 한정되지 않을 수 있다. 상부거울(171)은 복수개의 쌍의 제1 필터막(171a) 및 제2 필터막(171b)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 제1 필터막들(171a) 및 제2 필터막들(171b)은 교대로 제공될 수 있다.Although the upper mirror 171 is illustrated as including a pair of a first filter film 171a and a second filter film 171b, it may not be limited thereto. The upper mirror 171 may include a plurality of pairs of a first filter film 171a and a second filter film 171b. In this case, the first filter films 171a and the second filter films 171b may be alternately provided.

스페이서(172)는 제1 필터막(171a)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 도시된 것과 같이, 상부거울(171)이 한 쌍의 제1 필터막(171a) 및 제2 필터막(171b)을 포함하는 경우, 스페이서(172)의 두께는 제1 필터막(171a)의 두께의 2배일 수 있다. 도시된 것과 달리, 예를 들어, 상부거울(171)이 두 쌍의 제1 필터막(171a) 및 제2 필터막(171b)을 포함하는 경우, 스페이서(172)의 두께는 제1 필터막(171a)의 4배일 수 있다. The spacer 172 may include the same material as the first filter layer 171a. As shown, when the upper mirror 171 includes a pair of the first filter film 171a and the second filter film 171b, the thickness of the spacer 172 is the thickness of the first filter film 171a. can be twice the Unlike the illustration, for example, when the upper mirror 171 includes two pairs of the first filter film 171a and the second filter film 171b, the thickness of the spacer 172 is the first filter film ( 171a) may be four times.

하부거울(173)은 제3 필터막(173a) 및 제4 필터막(173b)을 포함할 수 있다. 제3 및 제4 필터막들(173a, 173b)은 서로 다른 물질을 포함할 수 있다. 제3 필터막(173a)은 상부거울(171)의 제2 필터막(171b)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 제4 필터막(173b)은 상부거울(171)의 제1 필터막(171a)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 제3 및 제4 필터막들(173a, 173b)의 두께는 서로 다를 수 있다. 제3 필터막(173a)의 두께는 상부거울(171)의 제2 필터막(171b)의 두께와 동일할 수 있다. 제4 필터막(173b)의 두께는 상부거울(171)의 제1 필터막(171a)의 두께와 동일할 수 있다. 제3 필터막(173a)이 스페이서(172)와 접할 수 있고, 제4 필터막(173b)이 버퍼층(140)과 접할 수 있다.The lower mirror 173 may include a third filter film 173a and a fourth filter film 173b. The third and fourth filter layers 173a and 173b may include different materials. The third filter film 173a may include the same material as the second filter film 171b of the upper mirror 171 . The fourth filter film 173b may include the same material as the first filter film 171a of the upper mirror 171 . Thicknesses of the third and fourth filter layers 173a and 173b may be different from each other. The thickness of the third filter film 173a may be the same as the thickness of the second filter film 171b of the upper mirror 171 . The thickness of the fourth filter film 173b may be the same as the thickness of the first filter film 171a of the upper mirror 171 . The third filter film 173a may contact the spacer 172 , and the fourth filter film 173b may contact the buffer layer 140 .

하부거울(173)은 한 쌍의 제3 필터막(173a) 및 제4 필터막(173b)을 포함하는 것으로 도시되었지만, 이에 한정되지 않을 수 있다. 하부거울(173)은 복수개의 쌍의 제3 필터막(173a) 및 제4 필터막(173b)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 제3 필터막들(173a) 및 제4 필터막들(173b)은 교대로 제공될 수 있다.The lower mirror 173 is illustrated as including a pair of a third filter film 173a and a fourth filter film 173b, but may not be limited thereto. The lower mirror 173 may include a plurality of pairs of a third filter film 173a and a fourth filter film 173b. In this case, the third filter films 173a and the fourth filter films 173b may be alternately provided.

상부거울(171) 및 하부거울(173)은 스페이서(172)를 기준으로 대칭적인 구조를 가질 수 있다. The upper mirror 171 and the lower mirror 173 may have a symmetrical structure with respect to the spacer 172 .

필터(170)는 특정 파장의 레이저 광을 통과시킬 수 있다. 도 6b를 참조하여 예를 들면, 필터(170)는 제1 파장(λ1)의 레이저 광을 통과시킬 수 있고, 제1 파장(λ1)과 다른 파장의 레이저 광을 반사시킬 수 있다. 제1 파장(λ1)의 레이저 광이 프리즘(150)을 투과하여 필터(170)로 입사하면, 상부거울(171), 스페이서(172) 및 하부거울(173)을 통과할 수 있다. 상부거울(171), 스페이서(172) 및 하부거울(173)을 통과하면서, 레이저 광은 굴절될 수 있다.The filter 170 may pass laser light of a specific wavelength. Referring to FIG. 6B , for example, the filter 170 may pass laser light having a first wavelength λ1 and reflect laser light having a wavelength different from that of the first wavelength λ1 . When the laser light of the first wavelength λ1 passes through the prism 150 and is incident on the filter 170 , it may pass through the upper mirror 171 , the spacer 172 , and the lower mirror 173 . While passing through the upper mirror 171 , the spacer 172 , and the lower mirror 173 , the laser light may be refracted.

상부거울(171)의 제1 필터막(171a)에서, 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)의 1/4배일 수 있다. 상부거울(171)의 제2 필터막(171b)에서, 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)의 1/4배일 수 있다. 레이저 광이 지나는 경로의 길이가 제1 파장(λ1)의 1/4배가 되도록, 제1 필터막(171a) 및 제2 필터막(171b)의 굴절률 및 두께를 설정할 수 있다. 결론적으로, 상부거울(171)에서 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)의 1/2배일 수 있다. In the first filter layer 171a of the upper mirror 171, the length of the path through which the laser light passes may be 1/4 times the first wavelength λ1. In the second filter layer 171b of the upper mirror 171, the length of the path through which the laser light passes may be 1/4 times the first wavelength λ1. The refractive index and thickness of the first filter layer 171a and the second filter layer 171b may be set so that the length of the path through which the laser light passes is 1/4 times the first wavelength λ1. Consequently, the length of the path through which the laser light passes in the upper mirror 171 may be 1/2 times of the first wavelength λ1.

도시된 것과 달리, 예를 들어, 상부거울(171)이 두 쌍의 제1 필터막(171a) 및 제2 필터막(171b)을 포함하는 경우, 레이저 광이 상부거울(171)을 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)과 동일할 수 있다.Contrary to the illustration, for example, when the upper mirror 171 includes two pairs of the first filter film 171a and the second filter film 171b, the laser light passes through the upper mirror 171 . The length may be equal to the first wavelength λ1.

스페이서(172)에서, 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)의 1/2배일 수 있다. 다시 말하면, 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 스페이서(172)와 상부거울(171)에서 동일할 수 있다. 레이저 광이 지나는 경로의 길이가 제1 파장(λ1)의 1/2배가 되도록, 스페이서(172)의 굴절률 및 두께를 설정할 수 있다. In the spacer 172 , the length of the path through which the laser light passes may be 1/2 times the first wavelength λ1 . In other words, the length of the path through which the laser light passes may be the same in the spacer 172 and the upper mirror 171 . The refractive index and thickness of the spacer 172 may be set so that the length of the path through which the laser light passes is 1/2 times the first wavelength λ1.

하부거울(173)의 제3 필터막(173a)에서, 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)의 1/4배일 수 있다. 하부거울(173)의 제4 필터막(173b)에서, 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)의 1/4배일 수 있다. 레이저 광이 지나는 경로의 길이가 제1 파장(λ1)의 1/4배가 되도록, 제3 필터막(173a) 및 제4 필터막(173b)의 굴절률 및 두께를 설정할 수 있다. 결론적으로, 하부거울(173)에서 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)의 1/2배일 수 있다.In the third filter layer 173a of the lower mirror 173 , the length of the path through which the laser light passes may be 1/4 times the first wavelength λ1 . In the fourth filter layer 173b of the lower mirror 173 , the length of the path through which the laser light passes may be 1/4 times the first wavelength λ1 . The refractive index and thickness of the third filter layer 173a and the fourth filter layer 173b may be set so that the length of the path through which the laser light passes is 1/4 times the first wavelength λ1 . As a result, the length of the path through which the laser light passes in the lower mirror 173 may be 1/2 the length of the first wavelength λ1.

도시된 것과 달리, 예를 들어, 하부거울(173)이 두 쌍의 제3 필터막(173a) 및 제4 필터막(173b)을 포함하는 경우, 레이저 광이 지나는 경로의 길이는 제1 파장(λ1)과 동일할 수 있다.Contrary to the illustration, for example, when the lower mirror 173 includes two pairs of the third filter film 173a and the fourth filter film 173b, the length of the path through which the laser light passes is equal to the first wavelength ( λ1) may be the same.

위에서 예시적으로 설명한 구조를 가지는 필터(170)는 제1 파장(λ1)의 레이저 광을 통과시킬 수 있고, 제1 파장(λ1)과 다른 파장의 레이저 광은 반사시킬 수 있다.The filter 170 having the exemplarily described structure may pass laser light having a first wavelength λ1 and reflect laser light having a wavelength different from that of the first wavelength λ1.

도 7a는 거울의 반사도를 나타내는 그래프이다. 도 7b는 도 7a의 거울을 이용한 필터의 투과도를 나타내는 그래프이다. 7A is a graph showing reflectivity of a mirror. 7B is a graph showing the transmittance of the filter using the mirror of FIG. 7A.

도 7a를 참조하면, 4 쌍의 제1 필터막 및 제2 필터막을 포함하는 거울(상부거울 또는 하부거울)에 레이저 광이 입사되는 경우의 반사도를 확인할 수 있다. 상기 거울은 레이저 광이 제1 필터막 및 제2 필터막에서 지나는 경로의 길이가 850nm의 1/4배가 되도록 제1 필터막 및 제2 필터막의 굴절률 및 두께가 설정된 것이다. 도 7a에서, 레이저 광은 850nm를 전후로 반사도가 상대적으로 높은 것을 확인할 수 있다.Referring to FIG. 7A , reflectivity when laser light is incident on a mirror (upper mirror or lower mirror) including four pairs of a first filter film and a second filter film can be confirmed. In the mirror, the refractive index and thickness of the first filter film and the second filter film are set so that the length of the path through which the laser light passes through the first filter film and the second filter film is 1/4 times of 850 nm. In FIG. 7A , it can be seen that the reflectivity of the laser light is relatively high around 850 nm.

도 7b를 참조하면, 도 7a의 거울을 상부거울 및 하부거울로 하는 필터에 레이저 광이 입사되는 경우의 투과도를 확인할 수 있다. 상기 필터는, 레이저 광이 상부거울에서 지나는 경로의 길이가 850nm의 2배이고, 스페이서에서 지나는 경로의 길이가 850nm의 2배이고, 하부거울에서 지나는 경로의 길이가 850nm의 2배가 되도록 필터가 설정된 것이다. 레이저 광은 850nm에서 투과도가 상대적으로 높은 것을 확인할 수 있다. Referring to FIG. 7B , the transmittance when the laser light is incident on a filter using the mirror of FIG. 7A as an upper mirror and a lower mirror can be confirmed. The filter is set such that the length of the path through which the laser light passes through the upper mirror is twice that of 850 nm, the length of the path through the spacer is twice that of 850 nm, and the length of the path through the lower mirror is twice that of 850 nm. It can be seen that the laser light has a relatively high transmittance at 850 nm.

도 8은 필터를 포함하는 광학 모듈의 기능을 설명하기 위한 도면이다.8 is a view for explaining a function of an optical module including a filter.

도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 광학 모듈은 광 도파로(120) 상에 제1 내지 제4 프리즘들(150a, 150b, 150c, 150d)이 제공될 수 있다. 제1 내지 제4 프리즘들(150a, 150b, 150c, 150d)은 버퍼층들(140)을 통해 광 도파로(120)와 연결될 수 있다. 제1 프리즘(150a) 아래에 제1 필터(170a)가 제공될 수 있고, 제2 프리즘(150b) 아래에 제2 필터(170b)가 제공될 수 있고, 제3 프리즘(150c) 아래에 제3 필터(170c)가 제공될 수 있고, 제4 프리즘(150d) 아래에 제4 필터(170d)가 제공될 수 있다. 제1 및 제4 필터들(170a, 170d)은 제2 파장(λ2)의 레이저 광을 통과시킬 수 있고, 제2 파장(λ2)과 다른 파장의 레이저 광은 반사시킬 수 있다. 제2 및 제3 필터들(170b, 170c)은 제3 파장(λ3)의 레이저 광을 통과시킬 수 있고, 제3 파장(λ3)과 다른 파장의 레이저 광은 반사시킬 수 있다.Referring to FIG. 8 , in the optical module according to the present embodiment, first to fourth prisms 150a , 150b , 150c , and 150d may be provided on the optical waveguide 120 . The first to fourth prisms 150a , 150b , 150c , and 150d may be connected to the optical waveguide 120 through the buffer layers 140 . A first filter 170a may be provided under the first prism 150a, a second filter 170b may be provided under the second prism 150b, and a third filter 170b may be provided under the third prism 150c. A filter 170c may be provided, and a fourth filter 170d may be provided under the fourth prism 150d. The first and fourth filters 170a and 170d may pass laser light having a second wavelength λ2 and reflect laser light having a wavelength different from that of the second wavelength λ2. The second and third filters 170b and 170c may pass laser light having a third wavelength λ3 and reflect laser light having a wavelength different from that of the third wavelength λ3.

제1 프리즘(150a) 상에 제1 광원(200a)이 제공될 수 있고, 제2 프리즘(150b) 상에 제2 광원(200b)이 제공될 수 있고, 제3 프리즘(150c) 상에 제1 검출기(300a)가 제공될 수 있고, 제4 프리즘(150d) 상에 제2 검출기(300b)가 제공될 수 있다.The first light source 200a may be provided on the first prism 150a, the second light source 200b may be provided on the second prism 150b, and the first light source 200b may be provided on the third prism 150c. A detector 300a may be provided, and a second detector 300b may be provided on the fourth prism 150d.

제1 광원(200a)에서 제2 파장(λ2)의 레이저 광이 방출될 수 있다. 제1 필터(170a)는 제2 파장(λ2)의 레이저 광을 통과시킬 수 있다. 제2 파장(λ2)의 레이저 광은 제1 필터(170a)를 통과하여 광 도파로(120)로 입사될 수 있고, 광 도파로(120) 내에서 진행할 수 있다.Laser light of the second wavelength λ2 may be emitted from the first light source 200a. The first filter 170a may pass the laser light of the second wavelength λ2. The laser light of the second wavelength λ2 may pass through the first filter 170a to be incident on the optical waveguide 120 , and may travel within the optical waveguide 120 .

광 도파로(120) 내에서 진행하면서, 제2 파장(λ2)의 레이저 광이 제2 및 제3 필터들(170b, 170c) 아래를 지날 수 있다. 제2 파장(λ2)의 레이저 광은 제2 및 제3 필터들(170b, 170c)에서 반사되므로, 제2 파장(λ2)의 레이저 광은 제2 필터(170b)를 통과하여 제2 프리즘(150b) 위로 방출되지 않을 수 있고, 제3 필터(170c)를 통과하여 제3 프리즘(150c) 위로 방출되지 않을 수 있다. 광 도파로(120)를 따라 제2 및 제3 필터들(170b, 170c) 아래를 지난 제2 파장(λ2)의 레이저 광은 제4 필터(170d)를 통과하여 제4 프리즘(150d) 위로 방출될 수 있다.While traveling in the optical waveguide 120 , the laser light of the second wavelength λ2 may pass under the second and third filters 170b and 170c. Since the laser light of the second wavelength λ2 is reflected by the second and third filters 170b and 170c, the laser light of the second wavelength λ2 passes through the second filter 170b and the second prism 150b ) may not be emitted, and may not pass through the third filter 170c and may not be emitted above the third prism 150c. The laser light of the second wavelength λ2 that has passed under the second and third filters 170b and 170c along the optical waveguide 120 passes through the fourth filter 170d to be emitted above the fourth prism 150d. can

제2 광원(200b)에서 방출된 제3 파장(λ3)의 레이저 광은 제2 필터(170b), 광 도파로(120) 및 제3 필터(170c)를 순차적으로 통과하여 제3 프리즘(150c) 위로 방출될 수 있다.The laser light of the third wavelength λ3 emitted from the second light source 200b sequentially passes through the second filter 170b, the optical waveguide 120, and the third filter 170c and is above the third prism 150c. can be emitted.

위와 같이, 제1 및 제2 광원들(200a, 200b) 및 제1 및 제2 검출기들(300a, 300b) 아래에 제1 내지 제4 필터들(170a, 170b, 170c, 170d)이 제공됨으로써, 레이저 광의 경로가 파장에 따라 달라질 수 있다.As described above, the first to fourth filters 170a, 170b, 170c, and 170d are provided under the first and second light sources 200a and 200b and the first and second detectors 300a and 300b, The path of the laser light may vary depending on the wavelength.

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 광학 모듈을 나타내는 단면도이다. 본 실시예에 따른 광학 모듈은 아래에서 설명하는 것을 제외하면 도 3에 따른 광학 모듈과 유사하다. 9 is a cross-sectional view illustrating an optical module according to an embodiment of the present invention. The optical module according to this embodiment is similar to the optical module according to FIG. 3 except as described below.

도 9를 참조하면, 광학 모듈은 연결 전극(180), 와이어(190) 및 케이스(400)를 더 포함할 수 있다. 연결 전극(180)은 상부 클래드 층(130) 상에 제공될 수 있다. 연결 전극(180)은 상부 클래드 층(130) 상에서 버퍼층(140)과 접할 수 있다. 연결 전극(180)의 상면과 버퍼층(140)의 상면은 공면을 이룰 수 있다. 도시되지는 않았지만, 연결 전극(180)은 외부 전기 회로와 전기적으로 연결될 수 있다.Referring to FIG. 9 , the optical module may further include a connection electrode 180 , a wire 190 , and a case 400 . The connection electrode 180 may be provided on the upper clad layer 130 . The connection electrode 180 may contact the buffer layer 140 on the upper clad layer 130 . The upper surface of the connection electrode 180 and the upper surface of the buffer layer 140 may form a coplanar surface. Although not shown, the connection electrode 180 may be electrically connected to an external electric circuit.

광원(200)의 광 생성부(210)는 내부 전극(212)을 더 포함할 수 있다. 상기 내부 전극(212) 과 상기 연결 전극(180)이 와이어(190)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.The light generator 210 of the light source 200 may further include an internal electrode 212 . The internal electrode 212 and the connection electrode 180 may be electrically connected by a wire 190 .

케이스(400)는 그의 내부에 빈 공간을 포함할 수 있다. 상기 빈 공간 내에 광원(200), 프리즘(150) 및 와이어(190)가 수용될 수 있다. 다시 말하면, 광원(200), 프리즘(150) 및 와이어(190)가 케이스(400)에 의해 밀봉될 수 있다. 광원(200), 프리즘(150) 및 와이어(190)는 케이스(400)에 의해 외력으로부터 보호될 수 있다. 케이스(400)의 제1 부분은 버퍼층(140)의 상면에 접할 수 있다. 케이스(400)의 제2 부분은 연결 전극(180)의 상면에 접할 수 있다. 연결 전극(180)은 케이스(400)와 상부 클래드 층(130) 사이에 제공되어 케이스(400) 내부의 빈 공간과 외부 공간을 연결할 수 있다.The case 400 may include an empty space therein. The light source 200 , the prism 150 , and the wire 190 may be accommodated in the empty space. In other words, the light source 200 , the prism 150 , and the wire 190 may be sealed by the case 400 . The light source 200 , the prism 150 , and the wire 190 may be protected from external forces by the case 400 . The first portion of the case 400 may be in contact with the upper surface of the buffer layer 140 . The second portion of the case 400 may be in contact with the upper surface of the connection electrode 180 . The connection electrode 180 may be provided between the case 400 and the upper cladding layer 130 to connect the empty space inside the case 400 and the external space.

이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. As mentioned above, although embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can practice the present invention in other specific forms without changing its technical spirit or essential features. You will understand that there is Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.

100: 기판
120: 광 도파로
140: 버퍼층
200: 광원
100: substrate
120: optical waveguide
140: buffer layer
200: light source

Claims (20)

기판;
상기 기판 상의 광 도파로;
상기 광 도파로 내로 광을 제공하는 광원; 및
상기 광원 및 상기 광 도파로 사이의 프리즘을 포함하고,
상기 광원은 렌즈를 포함하는 광학 모듈.
Board;
an optical waveguide on the substrate;
a light source providing light into the optical waveguide; and
a prism between the light source and the optical waveguide;
The light source is an optical module including a lens.
제1 항에 있어서,
상기 렌즈는 평판 형태의 베이스부, 및 상기 베이스부에서 상기 프리즘을 향하여 돌출하는 반구 형태의 돌출부를 포함하는 광학 모듈.
According to claim 1,
The lens is an optical module including a flat base portion, and a hemispherical protrusion protruding from the base portion toward the prism.
제1 항에 있어서,
상기 광원은 상기 렌즈를 덮는 접착층, 및 상기 접착층 상의 광 투과부를 포함하는 광학 모듈.
According to claim 1,
The light source is an optical module comprising an adhesive layer covering the lens, and a light transmitting portion on the adhesive layer.
제1 항에 있어서,
상기 광원은 상기 렌즈를 향하여 상기 광을 방출하는 광 생성부를 더 포함하고,
상기 렌즈는 아래의 [수학식 1]을 만족하는 광학 모듈.
[수학식 1]
F·tan-1(1/2·θ1) < R
(상기 [수학식 1]에서, F는 상기 렌즈의 초점거리이고, θ1은 상기 광 생성부에서 방출되는 상기 광의 방사각이고, R은 상기 렌즈의 반지름이다).
According to claim 1,
The light source further comprises a light generating unit for emitting the light toward the lens,
The lens is an optical module that satisfies [Equation 1] below.
[Equation 1]
F tan -1 (1/2 θ1) < R
(In Equation 1, F is the focal length of the lens, θ1 is the radiation angle of the light emitted from the light generator, and R is the radius of the lens).
제1 항에 있어서,
상기 렌즈의 반지름은 1㎛ 내지 100㎛인 광학 모듈.
According to claim 1,
The radius of the lens is 1㎛ to 100㎛ optical module.
제3 항에 있어서,
상기 렌즈의 굴절률은 1.65 내지 2.5이고,
상기 접착층의 굴절률은 1.3 내지 1.55인 광학 모듈.
4. The method of claim 3,
The refractive index of the lens is 1.65 to 2.5,
The refractive index of the adhesive layer is 1.3 to 1.55 optical module.
제1 항에 있어서,
상기 렌즈는 SiC, GaN, Si3N4, TiN, LiNbO3, TiO2, ZnSe, Polyimide 중 적어도 하나를 포함하는 광학 모듈.
According to claim 1,
The lens is an optical module comprising at least one of SiC, GaN, Si 3 N 4 , TiN, LiNbO 3 , TiO 2 , ZnSe, and Polyimide.
제1 항에 있어서,
상기 프리즘의 하면 및 경사면을 덮는 반사 방지막을 더 포함하는 광학 모듈.
According to claim 1,
The optical module further comprising an anti-reflection film covering the lower surface and the inclined surface of the prism.
제1 항에 있어서,
상기 렌즈를 통과한 상기 광은 평행광인 광학 모듈.
According to claim 1,
The light passing through the lens is a parallel light optical module.
기판;
상기 기판 상의 광 도파로;
상기 광 도파로 상의 필터;
상기 필터 상의 프리즘; 및
상기 프리즘의 경사면 상의 광원을 포함하는 광학 모듈.
Board;
an optical waveguide on the substrate;
a filter on the optical waveguide;
a prism on the filter; and
An optical module comprising a light source on the inclined surface of the prism.
제10 항에 있어서,
상기 필터는 파장 분할 다중화 필터인 광학 모듈.
11. The method of claim 10,
The filter is an optical module that is a wavelength division multiplexing filter.
제10 항에 있어서,
상기 필터는 상부거울, 하부거울 및 상기 상부거울과 하부거울 사이의 스페이서를 포함하는 광학 모듈.
11. The method of claim 10,
The filter is an optical module comprising an upper mirror, a lower mirror, and a spacer between the upper mirror and the lower mirror.
제12 항에 있어서,
상기 광원에서 방출된 광이 상기 상부거울, 상기 스페이서 및 상기 하부거울을 지나는 경로의 길이는 동일한 광학 모듈.
13. The method of claim 12,
An optical module in which the length of a path through which the light emitted from the light source passes through the upper mirror, the spacer, and the lower mirror is the same.
제12 항에 있어서,
상기 상부거울 및 상기 하부거울은 상기 스페이서를 기준으로 대칭적 구조를 가지는 광학 모듈.
13. The method of claim 12,
The upper mirror and the lower mirror have a symmetrical structure with respect to the spacer.
제12 항에 있어서,
상기 필터 및 상기 광 도파로 사이의 버퍼층을 더 포함하고,
상기 상부거울은 상기 프리즘과 접하는 제1 필터막 및 상기 스페이서와 접하는 제2 필터막을 포함하고,
상기 하부거울은 상기 스페이서와 접하는 제3 필터막 및 상기 버퍼층과 접하는 제4 필터막을 포함하고,
상기 제1 필터막 및 상기 제4 필터막은 두께 및 굴절률이 동일하고,
상기 제2 필터막 및 상기 제3 필터막은 두께 및 굴절률이 동일한 광학 모듈.
13. The method of claim 12,
Further comprising a buffer layer between the filter and the optical waveguide,
The upper mirror includes a first filter film in contact with the prism and a second filter film in contact with the spacer,
The lower mirror includes a third filter film in contact with the spacer and a fourth filter film in contact with the buffer layer,
The first filter film and the fourth filter film have the same thickness and refractive index,
The second filter film and the third filter film have the same thickness and refractive index.
제15 항에 있어서,
상기 스페이서의 굴절률은 상기 제1 필터막의 굴절률과 동일한 광학 모듈.
16. The method of claim 15,
The refractive index of the spacer is the same as the refractive index of the first filter film optical module.
서브 제어 영역, 연결 영역, 및 서브 단위 셀 영역을 갖는 기판;
상기 서브 제어 영역 상의 제1 광원 및 제1 검출기;
상기 서브 단위 셀 영역 상의 제2 광원 및 제2 검출기;
상기 제1 광원과 상기 제2 검출기를 연결하는 제1 광 도파로 및 상기 제2 광원과 상기 제1 검출기를 연결하는 제2 광 도파로; 및
상기 제1 광원과 상기 제1 광 도파로 사이의 제1 프리즘, 및 상기 제2 광원과 상기 제2 광 도파로 사이의 제2 프리즘을 포함하는 광통신 네트워크 시스템.
a substrate having a sub control region, a connection region, and a sub unit cell region;
a first light source and a first detector on the sub-control area;
a second light source and a second detector on the sub-unit cell area;
a first optical waveguide connecting the first light source and the second detector and a second optical waveguide connecting the second light source and the first detector; and
and a first prism between the first light source and the first optical waveguide, and a second prism between the second light source and the second optical waveguide.
제17 항에 있어서,
상기 제1 프리즘 및 상기 제1 광 도파로 사이의 제1 필터, 및 상기 제2 프리즘 및 상기 제2 광 도파로 사이의 제2 필터를 더 포함하는 광통신 네트워크 시스템.
18. The method of claim 17,
The optical communication network system further comprising: a first filter between the first prism and the first optical waveguide; and a second filter between the second prism and the second optical waveguide.
제17 항에 있어서,
상기 제1 및 제2 프리즘들 각각의 하면 및 경사면을 덮는 반사 방지막들을 더 포함하는 광통신 네트워크 시스템.
18. The method of claim 17,
The optical communication network system further comprising anti-reflection films covering a lower surface and an inclined surface of each of the first and second prisms.
제17 항에 있어서,
상기 제1 광원 및 상기 제2 광원 각각은 렌즈를 포함하는 광통신 네트워크 시스템.
18. The method of claim 17,
Each of the first light source and the second light source includes a lens.
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