KR20060061445A

KR20060061445A - Thermocouple for semiconductor apparatus

Info

Publication number: KR20060061445A
Application number: KR1020040100187A
Authority: KR
Inventors: 선계혁
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-12-02
Filing date: 2004-12-02
Publication date: 2006-06-08

Abstract

반도체 설비에 장착되는 써모 커플은 단자함, 상기 단자함 내의 단자들과 연결되고 상기 단자함의 일측면에 부착되는 온도 감지 부재 및 상기 단자함의 일측면에서 부착되고, 상기 온도 감지 부재의 일부분을 둘러싸며, 온도 감지를 위한 영역에 상기 온도 감지 부재가 위치하도록 장착 위치를 고정시키기 위한 지지 부재를 구비한다. 상기 써모 커플은 장착 위치가 고정되어 있어 예방 정비 시에 해체하지 않아도 되며 더욱 정확한 온도 측정이 가능하다. The thermocouple mounted in the semiconductor device is attached to a terminal box, a temperature sensing member connected to the terminals in the terminal box and attached to one side of the terminal box, and attached to one side of the terminal box, surrounding a portion of the temperature sensing member, And a support member for fixing the mounting position such that the temperature sensing member is located in the area for sensing. The thermocouple has a fixed mounting position, which does not need to be dismantled during preventive maintenance and allows more accurate temperature measurements.

Description

Thermocouple for Semiconductor Apparatus

도 1은 본 발명의 써모 커플이 장착된 퍼니스형의 반도체 설비를 도시한 개략적인 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing a furnace-type semiconductor device equipped with a thermocouple of the present invention.

도 2는 도 1의 A 부분을 확대 도시한 단면도이다. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of portion A of FIG. 1.

도 3은 도 2에 도시된 스파이크 써모 커플의 분리 사시도이다. 3 is an exploded perspective view of the spike thermocouple shown in FIG. 2.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 이너 튜브 102 : 아우트 튜브 100: inner tube 102: outer tube

110 : 보트 112 : 히터 블록110: boat 112: heater block

114 : 결합 부재 202 : 단자함 114: coupling member 202: terminal box

204 : 온도 감지 부재 206 : 지지 부재 204: temperature sensing member 206: support member

본 발명은 반도체 설비 내의 온도를 측정하기 위한 써모 커플(Thermocouple)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 퍼니스형의 반도체 설비에 장착되는 써모 커플에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to thermocouples for measuring temperature in semiconductor equipment, and more particularly to thermocouples mounted in furnace type semiconductor equipment.

최근, 반도체 장치의 제조 기술은 소비자의 다양한 욕구를 충족시키기 위해 집적도, 신뢰도, 응답속도 등을 향상시키는 방향으로 발전하고 있다. 일반적으로, 반도체 장치는 실리콘 기판 상에 증착 공정, 확산 공정, 사진 및 식각 공정 등을 수행하여 전기적 특성을 갖는 패턴으로 형성함으로서 제조된다. Recently, the manufacturing technology of semiconductor devices has been developed to improve the degree of integration, reliability, response speed, etc. in order to meet various needs of consumers. In general, a semiconductor device is manufactured by forming a pattern having electrical characteristics by performing a deposition process, a diffusion process, a photo and an etching process on a silicon substrate.

상기 반도체 장치의 제조 과정에서, 저압 화학 기상 증착 공정 및 확산 공정은 통상적으로 종형의 퍼니스 내에서 이루어진다. 구체적으로, 상기 퍼니스 형의 반도체 제조 설비는 히터 블록이 구비되고 상기 히터 블록 내부에 석영으로 이루어지는 아우트 튜브 및 이너 튜브로 구성된다. 또한, 상기 이너 튜브 내에는 웨이퍼들을 탑재하기 위한 보트가 구비되며, 상기 보트에 탑재된 다수매의 웨이퍼는 한꺼번에 공정 공간에 투입되어 증착 또는 확산 공정이 수행된다. In the manufacturing process of the semiconductor device, the low pressure chemical vapor deposition process and the diffusion process are usually performed in a longitudinal furnace. Specifically, the furnace-type semiconductor manufacturing equipment is provided with a heater block and composed of an outer tube and an inner tube made of quartz inside the heater block. In addition, a boat for mounting wafers is provided in the inner tube, and a plurality of wafers mounted on the boat are introduced into a process space at one time to perform a deposition or diffusion process.

상기 퍼니스형 설비를 사용하여 공정을 수행하는 경우, 상기 설비 내의 온도에 따라 공정 변화가 매우 크다. 때문에, 상기 설비에서 공정이 수행되는 전 영역즉, 각 튜브 내부의 온도가 거의 동일하게 되도록 조절하는 것이 매우 중요하다. When the process is carried out using the furnace type equipment, the process change is very large according to the temperature in the equipment. For this reason, it is very important to control the temperature in the entire area in which the process is performed in the facility, i.

상기 설비 내부에서 안정적으로 온도를 제어하기 위하여, 상기 설비 내부의 온도를 정확하게 측정하기 위한 써모 커플들이 각 영역별로 다수개가 구비되고, 상기 써모 커플에 의해 측정된 온도를 설정된 온도로 콘트롤하기 위한 온도 콘트롤러들도 구비된다. 그러나, 상기 써모 커플들이 각 설정된 영역에 정확히 배치되지 못하는 경우에는 설비 내부의 온도를 정확하게 측정할 수 없는 문제가 있다. In order to stably control the temperature inside the facility, a plurality of thermo couples are provided for each region for accurately measuring the temperature inside the facility, and a temperature controller for controlling the temperature measured by the thermo couple to a set temperature. Are also provided. However, when the thermo couples are not accurately disposed in each set area, there is a problem in that the temperature inside the facility cannot be measured accurately.

한편, 상기 설비들은 안정적인 동작을 위하여 주기적으로 예방 정비(Preventive Maintenance, P.M)를 하여야 한다. 상기 예방 정비 시에는 그동안 사 용하였던 튜브들을 새로운 튜브 또는 세정이 완료된 튜브로 교체한 후, 상기 튜브가 교체된 상태에서 설비를 시험적으로 구동한다. 그런데, 상기 튜브를 교체하기 위하여 아우트 튜브를 로딩 및 언로딩할 시에 스파이크 써모 커플이 파손되거나 얼라인이 틀어지는 경우가 발생하게 된다. 때문에, 상기 예방 정비를 수행할 시에 상기 아우트 튜브로부터 상기 스파이크 써모 커플을 해체하고 있다. On the other hand, the facilities should be periodically preventive maintenance (P.M) for stable operation. During the preventive maintenance, the tubes used in the past are replaced with new tubes or tubes which have been cleaned, and the equipment is experimentally operated with the tubes replaced. However, when loading and unloading an outer tube in order to replace the tube, a spike thermo couple may be broken or misaligned. Therefore, the spike thermocouple is dismantled from the outer tube when the preventive maintenance is performed.

그런데, 상기 스파이크 써모 커플을 해체한 후 다시 장착하는 경우, 각 영역별로 온도 보정값이 달라진다. 때문에, 상기 큐브 내의 온도를 정확하게 제어하기 위해 또 다른 써모 커플을 이용한 온도 보상 작업인 프로파일(Profile)을 다시 진행하여야 한다. 그러나, 상기 스파이크 써모 커플의 재장착 및 프로파일 작업에 의해 장비의 예방 정비 시간이 길어지게 되고, 이로 인해 장비의 운용율이 감소되는 등의 문제가 있다. However, when the spike thermo couple is disassembled and remounted, the temperature correction value is different for each region. Therefore, in order to accurately control the temperature in the cube, it is necessary to proceed again with Profile, which is a temperature compensation operation using another thermo couple. However, there is a problem that the preventive maintenance time of the equipment is lengthened by the re-installation and profiling of the spike thermo couple, thereby reducing the operation rate of the equipment.

따라서, 본 발명의 목적은 반도체 설비의 예방 정비에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있고 반도체 설비에서 설정된 위치에 정확히 장착될 수 있는 써모 커플을 제공하는데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a thermo couple that can reduce the time required for the preventive maintenance of semiconductor equipment and can be accurately mounted at a predetermined position in the semiconductor equipment.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 단자함, 상기 단자함 내의 단자들과 연결되고 상기 단자함의 일측면에 부착되는 온도 감지 부재 및 상기 단자함의 일측면에서 부착되고, 상기 온도 감지 부재의 일부분을 둘러싸며, 온도 감지를 위한 영역에 상기 온도 감지 부재가 위치하도록 장착 위치를 고정시키기 위한 지지 부재를 구비하는 써모 커플을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention, a terminal box, a temperature sensing member connected to the terminals in the terminal box and attached to one side of the terminal box and attached to one side of the terminal box, surround a portion of the temperature sensing member The present invention provides a thermo couple having a support member for fixing a mounting position such that the temperature sensing member is positioned in an area for temperature sensing.

상기 지지 부재는 상기 써모 커플의 장착면의 외측에 구비되는 결합 부재의 단부와 면접촉된다. The support member is in surface contact with an end portion of the coupling member provided outside the mounting surface of the thermo couple.

상기 온도 감지 부재는 열전대 소선을 내부에 포함하는 제1 보호관 및 상기 제1 보호관을 감싸는 제2 보호관을 포함한다. The temperature sensing member includes a first protective tube including a thermocouple element therein and a second protective tube surrounding the first protective tube.

상기 제2 보호관은 상기 써모 커플의 장착면의 외측에 구비되는 결합 부재의 나사에 의해 상기 결합 부재에 고정된다. The second protective tube is fixed to the coupling member by a screw of the coupling member provided outside the mounting surface of the thermo couple.

여기서, 상기 써모 커플은 퍼니스형의 반도체 설비에 장착되는 스파이크 써모 커플(Spike Thermocouple)을 포함한다. 상기 스파이크 써모 커플의 경우, 상기 퍼니스형의 반도체 설비의 히터 블록의 외벽에 장착되는 것이 적합하다. 상기 스파이크 써모 커플은 상기 히터 블록의 상하를 따라서 다수개가 구비될 수 있다. Here, the thermo couple includes a spike thermocouple mounted in a furnace type semiconductor facility. In the case of the said spike thermocouple, it is suitable to be attached to the outer wall of the heater block of the said furnace type semiconductor installation. The spike thermo couple may be provided in plurality along the top and bottom of the heater block.

상기한 구성을 갖는 써모 커플은 지지 부재에 의해 장착 위치에 정확하게 고정되면서 장착된다. 때문에, 상기 써모 커플이 장착되어 있는 반도체 설비의 예방 정비를 수행하더라도 상기 써모 커플의 위치가 틀어지지 않게 된다. 또한, 상기 써모 커플이 고정적으로 장착되어 있기 때문에, 예방 정비를 수행할 때 상기 써모 커플이 파손되는 것을 최소화할 수 있다. The thermo couple having the above-described configuration is mounted while being accurately fixed to the mounting position by the support member. Therefore, even if the preventive maintenance of the semiconductor equipment in which the thermo couple is mounted is performed, the position of the thermo couple is not misaligned. In addition, since the thermo couple is fixedly mounted, it is possible to minimize the damage of the thermo couple when performing preventive maintenance.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 써모 커플이 장착된 퍼니스형의 반도체 설비를 도시한 개략적인 단면도이다. 퍼니스형의 반도체 설비는 증착 설비, 확산 설비를 포함한다. 1 is a schematic cross-sectional view showing a furnace-type semiconductor equipment equipped with a thermo couple according to an embodiment of the present invention. The furnace type semiconductor equipment includes a deposition equipment and a diffusion equipment.

도 1을 참조하면, 퍼니스형의 반도체 설비에는 석영으로 이루어지는 이너 튜브(100)가 구비된다. 상기 이너 튜브(100)는 상부와 하부가 각각 개방된 형태의 원통형이다. Referring to FIG. 1, an furnace tube 100 made of quartz is provided in a furnace type semiconductor facility. The inner tube 100 is a cylindrical shape of the top and bottom open respectively.

상기 이너 튜브(100)와 이격되면서 상기 이너 튜브의 외측을 감싸는 아우트 튜브(102)가 구비된다. 상기 아우트 튜브(102)는 내부 및 외부 공기의 유입을 차단할 수 있도록 밀폐된 형태로 이루어져 있다. An outer tube 102 surrounding the outer side of the inner tube while being spaced apart from the inner tube 100 is provided. The outer tube 102 is sealed to block the inflow of internal and external air.

상기 이너 튜브(100) 및 아우트 튜브(102)로 구성되는 공정 챔버에는 가스 제공부(104) 및 진공 제공부(106)가 연결된다. 또한, 상기 이너 튜브(100) 및 아우트 튜브(102)의 하부에는 상기 이너 튜브(100)와 아우트 튜브(102)를 지지하는 매니폴드(108)가 구비된다. The gas providing unit 104 and the vacuum providing unit 106 are connected to the process chamber including the inner tube 100 and the outer tube 102. In addition, a lower portion of the inner tube 100 and the outer tube 102 is provided with a manifold 108 for supporting the inner tube 100 and the outer tube 102.

상기 진공 제공부(106)는 매니폴드(108)와 연결된 진공 라인과, 메인 밸브 및 진공 펌프 등을 포함한다. 메인 밸브는 공정 챔버 내부의 압력을 조절하고, 세정시에는 폐쇄되어 세정에 의한 불순물이 진공 펌프로 유입되지 않도록 한다. 한편, 진공 라인에는 세정에 의한 불순물을 배출하기 위한 배출구가 구비되어 있다. 상기 배출구(260)는 공정 수행 도중에는 폐쇄되고, 세정 도중에는 개방된다.The vacuum providing unit 106 includes a vacuum line connected to the manifold 108, a main valve, a vacuum pump, and the like. The main valve regulates the pressure inside the process chamber and closes during cleaning to prevent impurities from cleaning from entering the vacuum pump. On the other hand, the vacuum line is provided with a discharge port for discharging impurities by washing. The outlet 260 is closed during the process and is opened during the cleaning.

상기 이너 튜브(100) 내에는 웨이퍼(W)들이 적재되고 로딩 및 언로딩되는 보트가 구비된다. 상기 보트(110)는 매니폴드(108)를 관통하여 상하로 이동된다. 도시되지는 않았으나, 보트(110)의 하부에는 엘리베이터가 구비되어 상하로 이동함으로서 반도체 기판(W)을 로딩 또는 언로딩한다. The inner tube 100 is provided with a boat on which wafers W are loaded, loaded and unloaded. The boat 110 moves up and down through the manifold 108. Although not shown, an elevator is provided below the boat 110 to move up and down to load or unload the semiconductor substrate W.

상기 아우트 튜브(102)와 이격되면서 상기 아우트 튜브(102)를 감싸는 형태의 히터 블록(112)이 구비된다. 상기 히터 블록(112)은 상기 아우트 튜브(102) 및 이너 튜브(100) 내부의 온도를 증착 온도가 되도록 가열한다. 상기 히터 블록(112)에는 전기적인 가열 제어를 하기 위하여, 가열 제어장치가 접속되어 있다. 상기 아우트 튜브(102)와 상기 히터 블록(112) 간에는 일정한 간격을 유지하여야 한다. The heater block 112 is provided to surround the outer tube 102 while being spaced apart from the outer tube 102. The heater block 112 heats the temperature inside the outer tube 102 and the inner tube 100 to be a deposition temperature. A heating control device is connected to the heater block 112 for electrical heating control. A constant distance must be maintained between the outer tube 102 and the heater block 112.

도 2를 참조하면, 상기 히터 블록(112)에는 스파이크 써모 커플의 일부분이 삽입되기 위한 삽입홀(112a)이 구비되어 있다. Referring to FIG. 2, the heater block 112 is provided with an insertion hole 112a for inserting a portion of the spike thermocouple.

상기 삽입홀(112a) 부위의 히터 블록(112) 외벽에는 스파이크 써모 커플을 장착시키기 위한 결합 부재(114)가 부착되어 있다. 상기 결합 부재(114)는 내부에 홀을 갖는 링 형상의 몸체(114a)와 상기 몸체(114a)의 외벽으로부터 상기 몸체(114a) 내부로 삽입되는 고정 나사(114b)를 포함한다. 상기 몸체(114a)의 상부면 또는 하부면이 상기 히터 블록(112)의 외벽에 부착됨으로서, 상기 결합 부재(114)가 상기 히터 블록(112)의 외벽에 고정된다. 이하에서는, 상기 몸체에서 상기 히터 블록(112)에 고정되는 면을 상부면으로 정의한다. A coupling member 114 for attaching the spike thermocouple is attached to the outer wall of the heater block 112 at the insertion hole 112a. The coupling member 114 includes a ring-shaped body 114a having a hole therein and a fixing screw 114b inserted into the body 114a from an outer wall of the body 114a. The upper or lower surface of the body 114a is attached to the outer wall of the heater block 112, whereby the coupling member 114 is fixed to the outer wall of the heater block 112. Hereinafter, a surface fixed to the heater block 112 in the body is defined as an upper surface.

상기 히터 블록(112)의 외벽에는 스파이크 써모 커플(200)이 장착된다. 구체적으로, 상기 스파이크 써모 커플(200)은 상기 결합 부재(114)와 결합됨으로서 상기 히터 블록(112)의 외벽에 고정된다. 상기 스파이크 써모 커플(200)은 상기 히터 블록(112) 주변의 온도를 측정함으로서 공정이 정상적인 온도 조건에서 수행되는지를 확인하기 위하여 구비된다. 상기 스파이크 써모 커플(200)은 튜브의 각 영역별 로 공정 온도를 확인하기 위해 상기 히터 블록(112)에 일정 높이의 간격을 두고 다수개가 장착된다. 이하에서, 상기 스파이크 써모 커플(200)에 대해 더욱 상세하게 설명한다. Spike thermocouple 200 is mounted on an outer wall of the heater block 112. Specifically, the spike thermo couple 200 is fixed to the outer wall of the heater block 112 by being coupled to the coupling member 114. The spike thermo couple 200 is provided to determine whether the process is performed under normal temperature conditions by measuring the temperature around the heater block 112. The spike thermo couple 200 is mounted in plurality at intervals of a predetermined height in the heater block 112 to check the process temperature for each region of the tube. Hereinafter, the spike thermo couple 200 will be described in more detail.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 스파이크 써모 커플(200)은 단자함(202), 상기 단자함(202) 내의 단자들과 연결되고 상기 단자함(202)의 일측면에 구비되는 온도 감지 부재(204)가 구비된다. 또한, 상기 단자함(202)의 일측면에 부착되고, 상기 온도 감지 부재(204)의 일부분을 둘러싸며, 온도 감지 영역에 상기 온도 감지 부재(204)가 정확하게 위치하도록 상기 온도 감지 부재(204)의 장착 위치를 고정시키기 위한 지지 부재(206)를 구비한다. 상기 지지 부재(206)는 상기 단자함(202) 외부면과 일체로 형성될 수도 있다. 2 and 3, the spike thermo couple 200 is connected to a terminal box 202, terminals in the terminal box 202, and a temperature sensing member 204 provided on one side of the terminal box 202. Is provided. In addition, the temperature sensing member 204 is attached to one side of the terminal box 202 and surrounds a portion of the temperature sensing member 204 so that the temperature sensing member 204 is accurately positioned in a temperature sensing region. And a supporting member 206 for fixing the mounting position. The support member 206 may be integrally formed with an outer surface of the terminal box 202.

상기 온도 감지 부재(204)는 열전대 소선(204a)을 내부에 포함하는 제1 보호관(204b) 및 상기 제1 보호관(204b)의 일부를 감싸고 상기 제1 보호관(204b)을 보호하는 제2 보호관(204c)으로 구성된다. 상기 제2 보호관은 상기 단자함의 일측면에 부착되어 있다. The temperature sensing member 204 surrounds a first protective tube 204b including a thermocouple element 204a and a portion of the first protective tube 204b and protects the first protective tube 204b ( 204c). The second protective tube is attached to one side of the terminal box.

상기 열전대 소선(204a)은 종류가 다른 금속선 두개의 양끝 단을 접속하여 만든 것으로 이 양 끝단 접점에 온도차가 발생할 때 이 폐회로에 열기전력이 발생하여 회로에 전류가 흐른다. 상기 열기전력의 크기와 극성은 양단의 온도와 두개의 금속선의 조합에 의해 결정되며 금속선의 굵기 또는 길이에 영향을 받지 않는다. 따라서 특정 열전대의 온도에 따른 열기전력을 미리 읽을 수 있으므로 온도 측정이 가능하다.The thermocouple element wire 204a is formed by connecting two ends of two different types of metal wires, and when a temperature difference occurs between the contact points of both ends, a thermoelectric power is generated in the closed circuit, and a current flows in the circuit. The magnitude and polarity of the thermoelectric power is determined by the temperature at both ends and the combination of the two metal wires and is not affected by the thickness or length of the metal wire. Therefore, the thermoelectric power according to the temperature of a specific thermocouple can be read in advance so that the temperature can be measured.

제1 보호관(204b)은 히터 블록(112)의 온도에 견디는 내온성 및 시간에 대한 빠른 감지력 등의 특성을 지녀야 한다. 따라서 제1 보호관(204b)은 세라믹 재질로 형성되는 것이 바람직하다. The first protective tube 204b should have characteristics such as temperature resistance to withstand the temperature of the heater block 112 and rapid detection of time. Therefore, the first protective tube 204b is preferably formed of a ceramic material.

제2 보호관(204c)은 스테인리스 스틸 재질로 형성된다. 스파이크 써모 커플(240)이 상기 히터 블록에 장착될 시에 상기 제2 보호관(243) 부위가 상기 결합 부재에 구비되는 고정 나사(237)에 의해 고정된다. 따라서 스테인리스 스틸 재질의 제2 보호관(243)은 고정 나사(237)에 의한 손상이 방지된다. The second protective tube 204c is made of stainless steel. When the spike thermo couple 240 is mounted to the heater block, the second protective tube 243 portion is fixed by the fixing screw 237 provided on the coupling member. Therefore, the second protective tube 243 made of stainless steel is prevented from being damaged by the fixing screw 237.

상기 지지 부재(206)는 장착 대상면(즉, 히터 블록)의 외측에 구비되는 결합 부재(114)의 일 단부와 면접촉되어야 한다. 그러므로, 상기 지지 부재(206)에서 상기 결합 부재(114)와 접촉되는 일 면은 상기 결합 부재(114)의 몸체 일단부와 정확하게 얼라인될 수 있도록 상기 결합 부재(114)의 일 단부와 동일한 형태를 갖는 것이 바람직하다. 즉, 상기 지지 부재(206)와 상기 결합 부재(114)가 서로 면 접촉되었을 때 상기 결합 부재(114)의 홀 부위가 상기 지지 부재(206)에 의해 가려지지 않아야 한다. The support member 206 should be in surface contact with one end of the coupling member 114 provided outside the mounting target surface (that is, the heater block). Therefore, one surface of the support member 206 contacting the coupling member 114 has the same shape as one end of the coupling member 114 to be accurately aligned with one end of the body of the coupling member 114. It is preferable to have. That is, when the support member 206 and the coupling member 114 are in surface contact with each other, the hole portion of the coupling member 114 should not be covered by the support member 206.

또한, 상기 지지 부재(206)는 상기 제1 보호관(204b)이 상기 아우트 튜브(102)와 접촉되지 않으면서 상기 히터 블록(112)에 써모 커플이 장착될 수 있도록 몸체(114a)의 길이를 조절하여야 한다. 즉, 상기 지지 부재(206)의 몸체 길이는 온도 센서의 길이, 히터 블록의 두께, 삽입 부재의 길이 및 히터 블록과 아우트 튜브 사이의 이격 거리에 따라 달라진다. In addition, the support member 206 adjusts the length of the body 114a so that the thermocouple can be mounted to the heater block 112 without the first protective tube 204b being in contact with the outer tube 102. shall. That is, the body length of the support member 206 depends on the length of the temperature sensor, the thickness of the heater block, the length of the insertion member and the separation distance between the heater block and the outer tube.

또한, 상기 지지 부재(206)는 절연성이 강한 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the support member 206 is preferably made of a strong insulating material.

이하에서는, 상기 구성을 갖는 스파이크 써모 커플이 상기 히터 블록에 장착되는 과정에 대해 설명한다. Hereinafter, a process of attaching the spike thermo couple having the above configuration to the heater block will be described.

상기 제1 보호관(204b)을 상기 히터 블록(112)에 부착되어 있는 결합 부재(114)의 홀 및 상기 히터 블록(112)의 삽입홀(112a)에 삽입한다. 상기 제1 보호관(204b)을 삽입하면, 상기 제2 보호관(204c) 역시 상기 결합 부재(114)의 홀 내부로 삽입된다. The first protective tube 204b is inserted into the hole of the coupling member 114 attached to the heater block 112 and the insertion hole 112a of the heater block 112. When the first protective tube 204b is inserted, the second protective tube 204c is also inserted into the hole of the coupling member 114.

이 때, 상기 지지 부재(206)의 일 단면이 상기 결합 부재(114)의 하부면과 접촉될 때까지 상기 제1 보호관(204b)을 삽입한다. 이 경우, 상기 제1 보호관(204b)의 일 단부는 상기 아우트 튜브(02)와 설정된 간격만큼 정확하게 이격되면서 위치하게 된다. At this time, the first protective tube 204b is inserted until one end surface of the support member 206 is in contact with the lower surface of the coupling member 114. In this case, one end of the first protective tube 204b is positioned to be precisely spaced apart from the outer tube 02 by a predetermined interval.

그리고, 상기 결합 부재(114)의 외부에서 내부로 관통하는 고정 나사(114b)를 조임으로서, 상기 제2 보호관(204c)의 외벽이 상기 고정 나사(114b)에 의해 고정된다. 이로 인해, 상기 써모 커플은 상기 히터 블록(112)의 외벽에 고정되는 것이다. The outer wall of the second protective tube 204c is fixed by the fixing screw 114b by tightening the fixing screw 114b penetrating from the outside of the coupling member 114 to the inside. For this reason, the thermo couple is fixed to the outer wall of the heater block 112.

상기 설명한 바와 같이 써모 커플을 히터 블록에 장착하는 경우에는, 상기 지지 부재에 의해 상기 온도 감지 부재의 장착 위치가 항상 고정된다. 즉, 상기 지지 부재에 의해, 상기 써모 커플의 제1 보호관이 히터 블록 내부에 더 깊이 삽입되거나 덜 삽입되는 등의 문제가 거의 발생되지 않게된다. When the thermo couple is mounted on the heater block as described above, the mounting position of the temperature sensing member is always fixed by the support member. That is, the support member hardly causes a problem such that the first protective tube of the thermo couple is inserted deeper or less in the heater block.

또한, 상기 써모 커플을 장착한 이 후 상기 써모 커플의 위치 이동이 거의 없기 때문에, 상기 히터 블록의 정확한 영역에서 온도 측정이 가능하다. 이로 인해, 상기 반도체 설비에서 공정을 수행할 시에 공정 온도를 정확하게 유지시킬 수 있다. In addition, since there is little position shift of the thermo couple since the thermo couple is mounted, temperature measurement can be performed in an accurate region of the heater block. Thus, the process temperature can be maintained accurately when the process is performed in the semiconductor facility.

또한, 상기 반도체 설비의 예방 정비 시에 상기 아우트 튜브를 언로딩 및 로딩할 경우에도 상기 써모 커플의 위치 이동이 없어서, 상기 써모 커플이 파손되거나 얼라인이 틀어지지 않게된다. 따라서, 상기 예방 정비 시에 상기 아우트 튜브를 언로딩하기 이 전에 상기 써모 커플을 해체하지 않아도 된다. In addition, even when unloading and loading the outer tube during the preventive maintenance of the semiconductor equipment, there is no positional movement of the thermo couple, so that the thermo couple is not damaged or misaligned. Thus, it is not necessary to dismantle the thermo couple prior to unloading the outer tube during the preventive maintenance.

더구나, 상기 써모 커플이 설정된 위치에 고정되어 있고 상기 예방 정비 시에도 해체하고 재 장착하는 작업이 전혀 수행되지 않기 때문에, 초기의 온도 프로파일 값을 계속적으로 참고값(Reference Value)으로 사용할 수 있다. 이로 인해, 상기 예방 정비를 수행한 이 후에도 별도로 온도를 보정하기 위한 프로파일 작업을 수행하지 않아도 된다. 때문에, 예방 정비 작업이 간소화된다. In addition, since the thermocouple is fixed at the set position and no disassembly and remounting is performed even during the preventive maintenance, the initial temperature profile value can be continuously used as a reference value. For this reason, even after performing the said preventive maintenance, it is not necessary to perform the profile work for correcting temperature separately. Therefore, the preventive maintenance work is simplified.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 써모 커플이 원하는 영역에 고정되면서 장착된다. 때문에, 원하는 영역에서 온도 측정이 가능하고, 이로 인해 공정 진행 시에 온도가 각 영역에서 균일하게 유지되지 않음으로서 발생되는 공정 불량을 최소화할 수 있다. 또한, 상기 써모 커플이 고정적으로 장착되어 있어, 상기 써모 커플을 해체하지 않고도 반도체 설비의 예방 정비를 수행할 수 있다. 더구나, 상기 써모 커플을 해체하지 않음에 따라 프로파일 작업을 생략할 수 있다. 이로 인해, 반도체 설비의 운용율을 증가시킬 수 있으며 궁극적으로는 반도체 장치의 생산 원가를 감소시킬 수 있다. As described above, according to the present invention, the thermo couple is mounted while being fixed in a desired area. Therefore, it is possible to measure the temperature in the desired region, thereby minimizing the process defects generated by not maintaining the temperature uniformly in each region during the process. In addition, since the thermo couple is fixedly mounted, it is possible to perform preventive maintenance of a semiconductor device without disassembling the thermo couple. Moreover, the profile work can be omitted since the thermo couple is not dismantled. This can increase the operation rate of the semiconductor equipment and ultimately reduce the production cost of the semiconductor device.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. As described above, although described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. And can be changed.

Claims

Terminal box;

A temperature sensing member connected to the terminals in the terminal box and attached to one side of the terminal box; And

And a support member attached to one side of the terminal box and surrounding a portion of the temperature sensing member and fixing a mounting position to position the temperature sensing member in an area for temperature sensing.

The thermocouple according to claim 1, wherein the support member is in surface contact with an end portion of a coupling member provided on an outer side of a mounting surface of the thermocouple.

The method of claim 1, wherein the temperature sensing member,

A first protective tube including a thermocouple element therein;

And a second protective tube surrounding a portion of the first protective tube.

The thermocouple according to claim 3, wherein the second protective tube is fixed to the coupling member by a screw of the coupling member provided outside the mounting surface of the thermocouple.