KR102647571B1 - 테라헤르츠파 발생장치 및 테라헤르츠파 정렬방법 - Google Patents
테라헤르츠파 발생장치 및 테라헤르츠파 정렬방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102647571B1 KR102647571B1 KR1020200092576A KR20200092576A KR102647571B1 KR 102647571 B1 KR102647571 B1 KR 102647571B1 KR 1020200092576 A KR1020200092576 A KR 1020200092576A KR 20200092576 A KR20200092576 A KR 20200092576A KR 102647571 B1 KR102647571 B1 KR 102647571B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- mirror
- light source
- aperture
- terahertz wave
- terahertz
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 41
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 229920006113 non-polar polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08004—Construction or shape of optical resonators or components thereof incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Abstract
Description
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 상부덮개가 씌워진 테라헤르츠파 발생장치의 외형을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광원모듈과 지지부의 결합구조를 설명하기 위한 부분사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 베이스와 위치조절로브의 결합구조를 설명하기 위한 부분사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 미러, 미러하우징과 틸팅장치(330)의 결합구조를 설명하기 위한 부분사시도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 조리개의 구조 및 조리개 내부에 포함되는 크리스탈의 형상을 설명하기 위한 정면도 및 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 미러가 테라헤르츠파를 광 정렬하는 구조를 설명하기 위한 부분사시도이다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 테라헤르츠파의 정렬방법을 설명하기 위한 순서도이다.
100: 지지부
110: 제1 마운트
120: 제2 마운트
130: 프레임
200: 광원모듈
210: 미러
220: 미러 하우징
230: 조리개
231: 크리스탈
300: 광정렬부
310: 베이스
320: 위치조절로브
330: 틸팅장치
400: 케이스
410: 상부덮개
420: 바닥판
S100: 크리스탈 각도 조절단계
S110: 조리개 조립단계
S120: 조리개 배치단계
S130: 테라헤르츠파 발생단계
S140: 광 정렬 단계
S141: 광원모듈 위치 설정단계
S142: 미러 틸팅단계
S150: 장치 고정단계
Claims (17)
- 케이스;
광원에서 조사된 레이저를 통해 테라헤르츠파를 발생시키는 광원모듈;
상기 광원모듈을 지지하는 지지부; 및
상기 광원모듈과 연결되어 테라헤르츠파의 광정렬을 위해 위치를 조절하는 광정렬부;
를 포함하고,
상기 광원모듈은,
레이저를 조사받아 테라헤르츠파를 발생시키는 크리스탈을 포함하는 조리개; 및
상기 크리스탈에서 발생된 테라헤르츠파의 방향을 유도하는 미러;
를 포함하며,
상기 미러는,
상기 광원 및 상기 조리개의 크리스탈과 동일한 축 상에 배치되는 테라헤르츠파 발생장치.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,
상기 광원모듈은,
상기 미러가 일측에 연결되어 지지하는 미러 하우징;
을 더 포함하며,
상기 광정렬부는,
상기 미러 하우징의 타측에 결합되는 틸팅장치;
를 더 포함하며
상기 틸팅장치는,
테라헤르츠파를 목적 방향으로 유도할 수 있도록, 상기 미러의 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제3항에 있어서,
상기 지지부는,
상기 광원모듈을 지지하도록 적어도 2 이상 배치되는 마운트; 및
복수개의 상기 마운트의 사이를 연결하는 복수개의 프레임;
을 포함하고,
상기 미러 하우징은,
상기 프레임에 끼워져 결합되는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제1항에 있어서,
상기 케이스는,
상기 지지부가 배치되는 바닥판; 및
상기 바닥판에 연결되고, 상기 광원모듈과 상기 지지부를 덮는 상부덮개;
를 포함하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제5항에 있어서,
상기 상부덮개는,
레이저가 상기 광원에서 내부로 입사될 수 있는 입사홀;
을 포함하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제6항에 있어서,
상기 상부덮개는,
상기 미러에서 반사된 테라헤르츠바가 외부로 출력될 수 있는 출력홀;
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제5항에 있어서,
상기 상부덮개는,
상기 바닥판과 결합하여 내부공간을 외부 간섭으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제1항에 있어서,
상기 조리개는,
내부에 배치되는 크리스탈의 각도를 조절할 수 있도록, 분리될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제1항에 있어서,
상기 조리개는,
내부에 배치되는 크리스탈의 각도를 조절할 수 있도록, 회전 가능하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제9항에 있어서,
상기 광정렬부는,
복수개의 단으로 형성되어 사용자에 의해 높이가 조절되는 베이스;
를 더 포함하고,
상기 베이스는,
사용자가 상기 미러의 높이를 조절할 수 있도록, 상부에 상기 미러 및 상기 지지부가 배치되는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파 발생장치
- 제11항에 있어서,
상기 광정렬부는,
사용자가 조작하여 상기 베이스의 높이를 조절할 수 있도록, 상기 베이스에 연결되는 위치조절로브;
를 더 포함하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 제11항에 있어서,
상기 광정렬부는,
사용자가 조작하여 상기 미러와 상기 조리개 사이의 간격을 조절할 수 있도록, 상기 베이스의 위치를 변경할 수 있는 위치조절로브;
를 더 포함하는 테라헤르츠파 발생장치.
- 펨토초 레이저를 조사받아 테라헤르츠파를 발생시킬 수 있도록 크리스탈의 각도를 조절하는 크리스탈 각도 조절단계;
각도가 조절된 상기 크리스탈을 조리개 내부에 배치시킨 후 상기 조리개를 조립하는 조리개 조립단계;
조립된 상기 조리개를 지지부에 배치시키는 조리개 배치단계;
광원을 상기 조리개에 조사시켜 테라헤르츠파를 발생시키는 테라헤르츠파 발생단계; 및
발생된 테라헤르츠파를 미러를 통해 광 정렬시키는 광 정렬 단계;
를 포함하는 테라헤르츠파 정렬방법.
- 제14항에 있어서,
상기 광 정렬 단계는,
상기 조리개를 통해 발생한 테라헤르츠파가 미러를 통해 반사될 수 있도록, 상기 미러를 포함하는 광원모듈의 위치를 조절하는 광원모듈 위치 설정단계; 및
반사된 상기 테라헤르츠파를 원하는 곳으로 유도하기 위해, 상기 미러를 틸팅시키는 미러 틸팅단계;
를 포함하는 테라헤르츠파 정렬방법.
- 제15항에 있어서,
상기 광원모듈 위치 설정단계는,
상기 조리개를 통해 발생한 테라헤르츠파가 상기 미러에 조사될 수 있도록, 베이스의 높이를 조절하는 베이스 높이 조절단계; 및
산란된 상기 테라헤르츠파가 상기 미러의 장반경 내에 조사될 수 있도록, 상기 조리개와 상기 미러의 간격을 조절하는 미러 간격 조절단계;
를 포함하는 테라헤르츠파 정렬방법.
- 제14항에 있어서,
상기 광 정렬 단계의 종료 후, 광정렬된 광원모듈의 유동을 방지하는 케이스를 씌워 고정시키는 장치 고정단계;
를 포함하는 테라헤르츠파 정렬방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200092576A KR102647571B1 (ko) | 2020-07-24 | 2020-07-24 | 테라헤르츠파 발생장치 및 테라헤르츠파 정렬방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200092576A KR102647571B1 (ko) | 2020-07-24 | 2020-07-24 | 테라헤르츠파 발생장치 및 테라헤르츠파 정렬방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20220013243A KR20220013243A (ko) | 2022-02-04 |
KR102647571B1 true KR102647571B1 (ko) | 2024-03-14 |
Family
ID=80267894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200092576A Active KR102647571B1 (ko) | 2020-07-24 | 2020-07-24 | 테라헤르츠파 발생장치 및 테라헤르츠파 정렬방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102647571B1 (ko) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003028173A1 (fr) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Nikon Corporation | Appareil d'eclairage terahertz |
WO2009001796A1 (ja) * | 2007-06-25 | 2008-12-31 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | テラヘルツ帯デバイス用素子及びテラヘルツ帯デバイス用素子の製造方法 |
KR101892857B1 (ko) * | 2017-06-12 | 2018-08-28 | 삼성전기주식회사 | 손떨림 보정 반사모듈 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
-
2020
- 2020-07-24 KR KR1020200092576A patent/KR102647571B1/ko active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003028173A1 (fr) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Nikon Corporation | Appareil d'eclairage terahertz |
WO2009001796A1 (ja) * | 2007-06-25 | 2008-12-31 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | テラヘルツ帯デバイス用素子及びテラヘルツ帯デバイス用素子の製造方法 |
KR101892857B1 (ko) * | 2017-06-12 | 2018-08-28 | 삼성전기주식회사 | 손떨림 보정 반사모듈 및 이를 포함하는 카메라 모듈 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220013243A (ko) | 2022-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Präkelt et al. | Compact, robust, and flexible setup for femtosecond pulse shaping | |
US7382861B2 (en) | High efficiency monochromatic X-ray source using an optical undulator | |
CN101733545B (zh) | 缺陷修复装置 | |
KR20000016498A (ko) | 생산환경을 위한 홀로그래픽 패터닝방법 및 공구 | |
JPH11317535A (ja) | 大面積パルス形ソーラシミュレータ | |
FR2565868A1 (fr) | Appareil d'usinage au laser muni d'un systeme d'alignement de faisceau | |
KR102647571B1 (ko) | 테라헤르츠파 발생장치 및 테라헤르츠파 정렬방법 | |
FR2532214A1 (fr) | Support rigide pour un appareil d'usinage a laser | |
RU2008130038A (ru) | Многолучевой цифровой проекционный видеомотор, имеющий статическую или динамическую коррекцию с отклоняющим перископом или без него | |
US6324203B1 (en) | Laser light source, illuminating optical device, and exposure device | |
Hermann et al. | Inverse-designed narrowband THz radiator for ultrarelativistic electrons | |
JP2009103535A (ja) | ソーラシミュレータ | |
US20150340833A1 (en) | Enhancement resonator including non-spherical mirrors | |
CN209902468U (zh) | 激光加工装置及激光机构 | |
KR102670477B1 (ko) | 테라헤르츠파 반사광학계 모듈 | |
Vyhlídka et al. | Temporal diagnostics for kJ class laser using object-image-grating self-tiling compressor | |
CN217034496U (zh) | 一种反射式投影成像装置 | |
KR20180064730A (ko) | 연속 발진 레이저 기반의 모듈화된 홀로그램 기록장치 | |
RU2002116304A (ru) | Способ лазерной проекции изображений и лазерный проектор | |
US10250007B2 (en) | Laser apparatus and method for adding chamber to laser apparatus | |
JP5141648B2 (ja) | プロキシミティ露光装置及びこのプロキシミティ露光装置を用いた露光方法 | |
JPH04133017A (ja) | 疑似太陽光照射装置 | |
US20020050067A1 (en) | Gimbaled lens mount and alignment assembly for a sensitive optical alignment | |
CN214641004U (zh) | 一种激光光路的调节装置及激光加工设备 | |
WO2013070428A1 (en) | Solar simulator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20200724 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20220831 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20200724 Comment text: Patent Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20231116 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20240223 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20240311 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20240311 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration |