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KR101078064B1 - A light emitting diode having uniform current density - Google Patents

A light emitting diode having uniform current density Download PDF

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KR101078064B1
KR101078064B1 KR1020110052422A KR20110052422A KR101078064B1 KR 101078064 B1 KR101078064 B1 KR 101078064B1 KR 1020110052422 A KR1020110052422 A KR 1020110052422A KR 20110052422 A KR20110052422 A KR 20110052422A KR 101078064 B1 KR101078064 B1 KR 101078064B1
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KR
South Korea
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electrode
semiconductor layer
region
light emitting
emitting diode
Prior art date
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KR1020110052422A
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예경희
서원철
문수영
Original Assignee
서울옵토디바이스주식회사
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Publication date
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Abstract

기판 상에 형성된 제 1 도전형 반도체층, 활성층 및 제 2 도전형 반도체층; 상기 제1 도전형 반도체층의 제1 영역 상에 형성된 제1 전극; 상기 제1 도전형 반도체층의 상기 제1 영역과 다른 제2 영역 상에 형성되고, 상기 제1 전극과 접속된 전극 연장부를 포함하고, 상기 제 1 도전형 반도체와 상기 제 1 전극간의 제 1 오믹 저항과 상기 제 1 도전형 반도체와 상기 전극 연장부간의 제 2 오믹 저항은 서로 상이한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드가 제공된다.A first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer formed on the substrate; A first electrode formed on the first region of the first conductivity type semiconductor layer; A first ohmic between the first conductivity type semiconductor and the first electrode, the electrode extension part being formed on a second area different from the first area of the first conductivity type semiconductor layer and connected to the first electrode; A light emitting diode is provided, wherein the resistance and the second ohmic resistance between the first conductivity type semiconductor and the electrode extension portion are different from each other.

Description

균일한 전류밀도 특성을 갖는 발광 다이오드{A light emitting diode having uniform current density}A light emitting diode having uniform current density

본 발명은 발광 다이오드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 균일한 전류 분포를 유도하여 고출력 및 고휘도를 구현할 수 있는 전극구조를 구비하는 발광 다이오드에 관한 것이다.The present invention relates to a light emitting diode, and more particularly, to a light emitting diode having an electrode structure capable of inducing a uniform current distribution to implement high power and high brightness.

질화갈륨(GaN) 계열의 발광 다이오드가 약 10년 이상 적용되고 개발되어 왔다. GaN 계열의 LED는 LED 기술을 상당히 변화시켰으며, 현재 천연색 LED 표시소자, LED 교통 신호기, 백색 LED 등 다양한 응용에 사용되고 있다. 최근, 고효율 백색 LED는 형광 램프를 대체할 것으로 기대되고 있으며, 특히 백색 LED의 효율(efficiency)은 통상의 형광램프의 효율에 유사한 수준에 도달하고 있다.Gallium nitride (GaN) series light emitting diodes have been applied and developed for about 10 years. GaN-based LEDs have changed the LED technology considerably and are currently used in a variety of applications, including color LED displays, LED traffic signals and white LEDs. Recently, high-efficiency white LEDs are expected to replace fluorescent lamps. In particular, the efficiency of white LEDs has reached a level similar to that of conventional fluorescent lamps.

질화갈륨 계열의 발광 다이오드는 일반적으로 사파이어와 같은 기판 상에 에피층들을 성장시키어 형성되며, N형 반도체층, P형 반도체층 및 이들 사이에 개재된 활성층을 포함한다. 한편, 상기 N형 반도체층 상에 N-전극이 형성되고, 상기 P형 반도체층 상에 P-전극이 형성된다. 상기 발광 다이오드는 상기 전극들을 통해 외부 전원에 전기적으로 연결되어 구동된다. 이때, 전류는 P-전극에서 상기 반도체층들을 거쳐 N-전극으로 흐른다.A gallium nitride-based light emitting diode is generally formed by growing epi layers on a substrate such as sapphire, and includes an N-type semiconductor layer, a P-type semiconductor layer, and an active layer interposed therebetween. Meanwhile, an N-electrode is formed on the N-type semiconductor layer, and a P-electrode is formed on the P-type semiconductor layer. The light emitting diode is electrically connected to and driven by an external power source through the electrodes. At this time, current flows from the P-electrode through the semiconductor layers to the N-electrode.

일반적으로 P형 반도체층은 높은 비저항을 가지므로, P형 반도체층 내에서 전류가 고르게 분산되지 못하고, 상기 P-전극이 형성된 부분에 전류가 집중되며, 모서리를 통해 전류가 집중적으로 흐르는 문제점이 발생된다. 전류집중은 발광영역의 감소로 이어지고, 결과적으로 발광효율을 저하시킨다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, P형 반도체층 상에 비저항이 낮은 투명전극층을 형성하여 전류분산을 도모하는 기술이 사용된다. P-전극으로부터 유입된 전류가 투명전극층에서 분산되어 상기 P-형 반도체층으로 유입되기 때문에 발광 다이오드의 발광영역을 넓힐 수 있다.In general, since the P-type semiconductor layer has a high specific resistance, current is not evenly distributed in the P-type semiconductor layer, current is concentrated in a portion where the P-electrode is formed, and current flows intensively through a corner. do. Current concentration leads to a reduction of the light emitting area, and consequently lowers the light emitting efficiency. In order to solve this problem, a technique of forming a transparent electrode layer having a low specific resistance on the P-type semiconductor layer to achieve current dispersion is used. Since the current flowing from the P-electrode is dispersed in the transparent electrode layer and flows into the P-type semiconductor layer, the light emitting area of the light emitting diode can be widened.

그러나, 투명전극층은 광을 흡수하기 때문에 그 두께가 제한되며, 따라서 전류분산에 한계가 있다. 특히 고출력을 위해 사용되는 약 1㎟ 이상의 대면적 발광 다이오드에서 투명전극층을 이용한 전류분산은 한계가 있다.However, since the transparent electrode layer absorbs light, its thickness is limited, and thus there is a limit in current dispersion. In particular, in the large area light emitting diode of about 1 mm 2 or more used for high power, current dispersion using the transparent electrode layer is limited.

한편, 상기 전류는 반도체층들을 통해 흘러서 N-전극으로 빠져 나간다. 이에 따라, 상기 N형 반도체층에서 N-전극이 형성된 부분에 전류가 집중되며, 이는 반도체층 내에서 흐르는 전류가 N-전극이 형성된 영역 근처에 집중되는 것을 의미한다. 따라서, N형 반도체층 내의 전류집중을 개선할 수 있는 발광 다이오드가 또한 요구된다.On the other hand, the current flows through the semiconductor layers and exits to the N-electrode. Accordingly, the current is concentrated in the portion where the N-electrode is formed in the N-type semiconductor layer, which means that the current flowing in the semiconductor layer is concentrated near the region where the N-electrode is formed. Therefore, there is also a need for a light emitting diode capable of improving current concentration in the N-type semiconductor layer.

통상적으로 발광 다이오드에 균일한 전류확산을 위하여 도 1에 도시되어 있는 대각선 전극 구조와 도 2에 도시되어 있는 대면형 구조 + 대칭 확장형 구조가 소개되어 있다.In general, a diagonal electrode structure shown in FIG. 1 and a large-area structure + a symmetric extended structure shown in FIG. 2 are introduced for uniform current spreading in a light emitting diode.

도 1은 종래의 대각선 전극 구조를 가지는 발광 다이오드를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 종래의 대면형 구조 + 대칭 확장형 전극 구조를 가지는 발광 다이오드를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 2의 절취선 A-A를 따라 취해진 단면도이고, 도 4는 도 2의 절취선 B-B를 따라 취해진 단면도이다. 도 1에서 1은 N형 전극이고, 2는 P형 전극이고, 3은 노출된 N형 반도체층이고, 4는 투명전극층이다. 도 2 및 도 3에서 111은 기판이고, 113은 N형 반도체층이고, 115는 활성층이고, 117은 P형 반도체층이고, 119은 투명 전극층이고, 122 및 123은 연장부이다.1 is a view for explaining a light emitting diode having a conventional diagonal electrode structure, FIG. 2 is a view for explaining a light emitting diode having a conventional large-area structure + symmetric extended electrode structure, Figure 3 is a cut line of FIG. 4 is a cross-sectional view taken along AA, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along cut line BB of FIG. In FIG. 1, 1 is an N-type electrode, 2 is a P-type electrode, 3 is an exposed N-type semiconductor layer, and 4 is a transparent electrode layer. 2 and 3, 111 is a substrate, 113 is an N-type semiconductor layer, 115 is an active layer, 117 is a P-type semiconductor layer, 119 is a transparent electrode layer, and 122 and 123 are extensions.

도 1을 참조하면, 대각선 전극 구조의 경우 작은 크기의 발광 다이오드에서는 큰 효과를 발휘할 수 있으나, 발광 다이오드의 면적이 커짐에 따라 중앙으로 전류 집중 현상이 강화되어 중앙을 제외하고는 발광을 하지 못하는 문제점이 발생한다. 또한 단순한 대면형 구조의 전극 패턴도 대각선 전극구조와 같은 문제점을 가지고 있다.Referring to FIG. 1, the diagonal electrode structure may exhibit a large effect in a small sized light emitting diode, but as the area of the light emitting diode increases, a current concentration phenomenon is enhanced in the center, thereby preventing light emission except the center. This happens. In addition, the electrode pattern of the simple face-to-face structure also has the same problems as the diagonal electrode structure.

한편, 도 2, 도 3 및 도 4를 참조하면, 종래의 대면형 구조 + 대칭 연장(extention)형 구조의 경우, 크기가 큰 발광 다이오드에 주로 이용하고 있으나, P 전극(131)의 연장부(132, 133)와 N 전극(121)의 연장부(122, 123)는 자체 저항때문에 전류 스프레이딩 작용이 떨어져서 N 전극(121)에 발생되는 전류 집중 현상을 효과적으로 해소하는데는 미진한 부분이 존재한다.Meanwhile, referring to FIGS. 2, 3, and 4, in the case of the conventional large-area structure plus the symmetric extension structure, the extension part of the P electrode 131 is mainly used for a large light emitting diode. The portions 132 and 133 and the extension portions 122 and 123 of the N electrode 121 have insufficient portion to effectively solve the current concentration phenomenon generated in the N electrode 121 because the current spraying action is deteriorated due to its resistance.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 동작시 흐르는 전류를 고르게 분산시킬 수 있는 전극 구조를 가지는 발광 다이오드를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a light emitting diode having an electrode structure that can evenly distribute the current flowing during operation.

본 발명의 일측면에 의하면, 기판 상에 형성된 하부 반도체층; 상기 하부 반도체층의 가장자리 영역들의 적어도 일부가 노출되도록 상기 하부 반도체층의 상부에 배치된 상부 반도체층; 상기 노출된 상기 하부 반도체층상에 형성된 하부 전극; 상기 상부 반도체층상에 형성된 상부 전극; 상기 노출된 하부 반도체층상에 상기 하부 전극으로부터 연장되어 형성된 전극 연장부를 포함하되; 상기 노출된 하부 반도체층은 상기 전극 연장부가 형성되어 있는 제1 영역과 상기 제1 영역을 제외한 영역의 적어도 일부 사이에 단차를 가지는 발광 다이오드가 제공된다.According to one aspect of the invention, the lower semiconductor layer formed on the substrate; An upper semiconductor layer disposed on the lower semiconductor layer to expose at least a portion of edge regions of the lower semiconductor layer; A lower electrode formed on the exposed lower semiconductor layer; An upper electrode formed on the upper semiconductor layer; An electrode extension extending from the lower electrode on the exposed lower semiconductor layer; The exposed lower semiconductor layer is provided with a light emitting diode having a step between at least a portion of the first region where the electrode extension is formed and the region other than the first region.

바람직하게는, 상기 노출된 하부 반도체층은 상기 제1 영역과 상기 하부 전극이 형성된 제2 영역을 포함하며, 상기 제1 영역이 상기 제2 영역에 비하여 낮은 위치에 있도록 단차를 가질 수 있다.Preferably, the exposed lower semiconductor layer includes a first region and a second region in which the lower electrode is formed, and may have a step so that the first region is at a lower position than the second region.

바람직하게는, 상기 노출된 하부 반도체층은 상기 제1 영역과 상기 하부 전극이 형성된 제2 영역을 포함하며, 상기 제1 영역이 상기 제2 영역에 비하여 불순문이 고농도로 도핑될 수 있다.Preferably, the exposed lower semiconductor layer may include a second region in which the first region and the lower electrode are formed, and the first region may be doped with higher concentrations of impurities than the second region.

바람직하게는, 상기 전극 연장부는 상기 하부 전극에 비하여 전기 전도도가 높은 재질일 수 있다.Preferably, the electrode extension may be made of a material having a higher electrical conductivity than the lower electrode.

바람직하게는, 상기 전극 연장부는 상기 하부 전극으로부터 멀어질수록 폭이 넓어지도록 형성될 수 있다Preferably, the electrode extension portion may be formed to be wider as it moves away from the lower electrode.

바람직하게는, 상기 전극 연장부는 상기 상부 반도체층과 이격된 거리는 일정할 수 있다.Preferably, the electrode extension may be a distance spaced apart from the upper semiconductor layer.

바람직하게는, 상기 전극 연장부는 상부가 하부보다 폭이 좁을 수 있다.Preferably, the upper portion of the electrode extension may be narrower than the lower portion.

바람직하게는, 상기 발광 다이오드는 상기 하부 반도체층과 상기 상부 반도체층 사이에 형성된 활성층을 더 포함하며, 상기 하부 전극 또는 상기 전극 연장부는 상기 활성층보다 낮게 위치하도록 형성될 수 있다.Preferably, the light emitting diode further includes an active layer formed between the lower semiconductor layer and the upper semiconductor layer, and the lower electrode or the electrode extension portion may be formed to be lower than the active layer.

바람직하게는, 상기 하부 반도체층은 가장자리 영역들의 적어도 일부가 노출되어 있으며, 상기 전극 연장부는 상기 가장 자리 영역들의 적어도 일부에 형성될 수 있다.Preferably, the lower semiconductor layer is exposed at least a portion of the edge region, the electrode extension may be formed in at least a portion of the edge region.

바람직하게는, 상기 하부 반도체층은 중앙 영역들의 적어도 일부가 노출되어 있으며, 상기 전극 연장부는 상기 중앙 영역들의 적어도 일부에 형성될 수 있다.Preferably, the lower semiconductor layer may expose at least a portion of the central regions, and the electrode extension may be formed in at least a portion of the central regions.

바람직하게는, 상기 하부 전극은 상기 기판의 서로 인접하는 제1 변과 제2 변 사이의 모서리에 형성될 수 있다.Preferably, the lower electrode may be formed at an edge between the first and second sides adjacent to each other of the substrate.

바람직하게는, 상기 하부 전극은 상기 제1 변의 중간에 형성되고, 상기 상부 전극은 상기 제2 변의 중간에 형성될 수 있다.Preferably, the lower electrode may be formed in the middle of the first side, and the upper electrode may be formed in the middle of the second side.

바람직하게는, 상기 하부 전극 및 상기 상부 전극은 각각 상기 제1 변 및 상기 제2 변의 중간 부분으로부터 하나는 일측으로 다른 하나는 반대측으로 편향된 위치에 형성될 수 있다.Preferably, the lower electrode and the upper electrode may be formed at positions deflected to one side and the other side from the middle portion of the first side and the second side, respectively.

바람직하게는, 상기 전극 연장부는, 상기 노출된 하부 반도체층상에 상기 하부 전극으로부터 제1 방향으로 연장되어 형성된 제1 하부 전극 연장부 및 상기 하부 전극으로부터 제2 방향으로 연장되어 형성된 제2 하부 전극 연장부를 포함할 수 있다.Preferably, the electrode extension part includes a first lower electrode extension part formed on the exposed lower semiconductor layer in a first direction extending from the lower electrode and a second lower electrode extension formed on the exposed lower semiconductor layer in a second direction. It may include wealth.

바람직하게는, 상기 하부 전극은 상기 제1 하부 전극 연장부 또는 상기 제2 하부 전극 연장부에 형성된 제3 하부 전극 연장부를 더 가질 수 있다.Preferably, the lower electrode may further have a third lower electrode extension formed on the first lower electrode extension or the second lower electrode extension.

바람직하게는 상기 발광 다이오드는 상기 상부 반도체층상에 형성된 투명전극층을 더 포함할 수 있다.Preferably, the light emitting diode may further include a transparent electrode layer formed on the upper semiconductor layer.

본 발명에 의하면, 노출된 하부 반도체층은 전극 연장부가 형성되어 있는 제1 영역과 전극 연장부가 형성되어 있지 않은 영역, 예를 들면 하부 전극이 형성되어 있는 제2 영역사이에 단차를 가지도록 함으로써, 하부 전극과 관련하여 형성되는 전류 경로가 전극 연장부와 관련하여 형성되는 전류 경로보다 상대적으로 길어지게 하여 발광 다이오드의 동작시 흐르는 전류를 고르게 분산시킬 수 있다.According to the present invention, the exposed lower semiconductor layer has a step between the first region where the electrode extension is formed and the region where the electrode extension is not formed, for example, the second region where the lower electrode is formed. The current path formed with respect to the lower electrode may be relatively longer than the current path formed with respect to the electrode extension to evenly distribute the current flowing during the operation of the light emitting diode.

도 1은 종래의 대각선 전극 구조를 가지는 발광 다이오드를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 종래의 대면형 구조 + 대칭 확장형 전극 구조를 가지는 발광 다이오드를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 2의 절취선 A-A를 따라 취해진 단면도이다.
도 4는 도 2의 절취선 B-B를 따라 취해진 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 전류 분산을 위한 전극 연장부 구조를 갖는 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 도 5의 절취선 C-C를 따라 취해진 단면도이다.
도 7은 도 5의 절취선 D-D를 따라 취해진 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전류분산을 위한 전극 연장부 구조를 가지는 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전류분산을 위한 전극 연장부 구조를 갖는 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이다.
도 10 내지 도 15는 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 도 6에 상응하는 단면도이다.
1 is a view for explaining a light emitting diode having a conventional diagonal electrode structure.
2 is a view for explaining a light emitting diode having a conventional large surface structure + symmetric extended electrode structure.
3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 2.
4 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 2.
5 is a plan view illustrating a light emitting diode having an electrode extension structure for dispersing current according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view taken along the cut line CC of FIG. 5.
FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the cut line DD of FIG. 5.
8 is a plan view illustrating a light emitting diode having an electrode extension structure for current distribution according to another embodiment of the present invention.
9 is a plan view illustrating a light emitting diode having an electrode extension structure for current distribution according to another embodiment of the present invention.
10 to 15 are cross-sectional views corresponding to FIG. 6 for describing a light emitting diode according to various embodiments of the present disclosure.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위한 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수 있는 것으로 이해될 수 있다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described embodiments of the present invention; The following embodiments are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, it is to be understood that the present invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 전류 분산을 위한 전극 구조를 갖는 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이고, 도 6은 도 5의 절취선 C-C를 따라 취해진 단면도이고, 도 7은 도 5의 절취선 D-D를 따라 취해진 단면도이다.5 is a plan view illustrating a light emitting diode having an electrode structure for current dispersion according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the cut line CC of FIG. 5, and FIG. 7 is a cut line DD of FIG. 5. A cross section taken along.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 기판(11)상에 제1 도전형 하부 반도체층(13)이 위치한다. 상기 기판(11)은 특정하게 한정되지는 않으며, 사파이어 기판일 수 있다.5 to 7, the first conductivity type lower semiconductor layer 13 is positioned on the substrate 11. The substrate 11 is not particularly limited and may be a sapphire substrate.

상기 제1 도전형 하부 반도체층(13) 상부에 제2 도전형 상부 반도체층(17)이 위치한다. 한편, 상부 반도체층(17)은 상기 하부 반도체층(13)의 가장자리 영역들의 적어도 일부가 노출되도록 하부 반도체층(13)의 가장자리들로 둘러싸인 영역 내에 위치한다. 한편, 상기 하부 반도체층(13)과 상기 상부 반도체층(17)사이에 활성층(15)이 개재된다. 활성층(15)은 상부 반도체층(17) 아래에 위치하여, 상기 하부 반도체층(13)의 가장자리 영역들의 적어도 일부는 여전히 노출된다.The second conductive upper semiconductor layer 17 is positioned on the first conductive lower semiconductor layer 13. Meanwhile, the upper semiconductor layer 17 is located in an area surrounded by the edges of the lower semiconductor layer 13 so that at least some of the edge regions of the lower semiconductor layer 13 are exposed. Meanwhile, an active layer 15 is interposed between the lower semiconductor layer 13 and the upper semiconductor layer 17. The active layer 15 is located below the upper semiconductor layer 17 so that at least some of the edge regions of the lower semiconductor layer 13 are still exposed.

한편, 하부 반도체층(13)은 일부 영역(13a)이 제1 높이로 형성되어 있으며, 다른 일부 영역(13b)은 제2 높이로 형성되어 서로 단차를 가지고 있다. 제1 높이의 일부 영역(13a)는 제2 높이의 다른 일부 영역(13b)보다 낮은 위치에 있다.Meanwhile, in the lower semiconductor layer 13, some regions 13a are formed to have a first height, and other partial regions 13b are formed to have a second height and have steps. The partial region 13a of the first height is at a lower position than the other partial region 13b of the second height.

상기 하부 반도체층(13)에서 제1 높이를 가지는 일부 영역(13a)과 제2 높이를 가지는 다른 일부 영역(13b)과의 단차는 전류 통과 경로의 길이에 영향을 주게 된다. 전류 통과 경로의 길이는 전류 스프레딩에 영향을 미치게 된다.The step difference between the partial region 13a having the first height and the other partial region 13b having the second height in the lower semiconductor layer 13 affects the length of the current passage path. The length of the current pass path will affect the current spreading.

상기 하부 반도체층(13), 활성층(15) 및 상부 반도체층(17)은 질화갈륨 계열의 화합물 반도체 물질, 즉 (B, Al, In, Ga)N으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 활성층(15)은 요구되는 파장의 광, 예컨대 자외선 또는 청색광을 방출하도록 조성 원소 및 조성비가 결정되며, 하부 반도체층(13) 및 상부 반도체층(17)은 상기 활성층(15)에 비해 밴드갭이 큰 물질로 형성된다.The lower semiconductor layer 13, the active layer 15, and the upper semiconductor layer 17 may be formed of a gallium nitride-based compound semiconductor material, that is, (B, Al, In, Ga) N, but are not limited thereto. . The active layer 15 has a composition element and composition ratio determined so as to emit light of a desired wavelength such as ultraviolet light or blue light, and the lower semiconductor layer 13 and the upper semiconductor layer 17 have a bandgap compared to the active layer 15. It is formed of large material.

상기 하부 반도체층(13) 및/또는 상부 반도체층(17)은, 도시된 바와 같이, 단일층으로 형성될 수 있으나, 다층 구조로 형성될 수도 있다. 또한, 활성층(15)은 단일 양자웰 또는 다중 양자웰 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 기판(11)과 하부 반도체층(13) 사이에 버퍼층(도시되지 않음)이 개재될 수 있다. 버퍼층은 기판(11)과 그 위에 형성될 하부 반도체층(13)간의 격자부정합을 완화사키기 위해 채택된다.The lower semiconductor layer 13 and / or the upper semiconductor layer 17 may be formed as a single layer, as shown, but may be formed in a multilayer structure. In addition, the active layer 15 may have a single quantum well or multiple quantum well structures. In addition, a buffer layer (not shown) may be interposed between the substrate 11 and the lower semiconductor layer 13. The buffer layer is employed to mitigate lattice mismatch between the substrate 11 and the underlying semiconductor layer 13 to be formed thereon.

상기 반도체층들(13, 15, 17)은 MOCVD 또는 MBE 기술을 이용하여 형성될 수 있으며, 사진 및 식각 공정을 이용하여 상기 하부 반도체층(13)의 영역들이 노출되도록 패터닝될 수 있다. 이때, 하부 반도체층(13)은 하부 전극(21)이 형성될 부분과 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성될 부분에 단차를 두어 노출되어진다.The semiconductor layers 13, 15, and 17 may be formed using MOCVD or MBE technology, and may be patterned to expose regions of the lower semiconductor layer 13 using a photolithography and etching process. In this case, the lower semiconductor layer 13 is exposed by placing a step on a portion where the lower electrode 21 is to be formed and a portion where the lower electrode extensions 22 and 23 are to be formed.

한편, 노출된 상기 하부 반도체층(13)상에서 상기 기판(11)의 제1 변에 인접하는 부분(도 5에서 아래쪽 중간)에 하부 전극(21)이 위치한다. 또한, 상부 반도체층(17) 상에 투명전극층(19)이 형성되고, 상기 제1 변에 대향하는 제2 변에 인접하는 부분(도 5에서 윗쪽 중간)의 상기 투명전극층(19) 상에 상부 전극(31)이 위치한다. 이때, 상기 하부 전극(21)은 제2 높이를 가지는 영역(13b)에 형성된다.The lower electrode 21 is positioned on the exposed lower semiconductor layer 13 at a portion adjacent to the first side of the substrate 11 (the lower middle in FIG. 5). In addition, a transparent electrode layer 19 is formed on the upper semiconductor layer 17, and an upper portion is formed on the transparent electrode layer 19 in a portion adjacent to the second side opposite to the first side (upper middle in FIG. 5). The electrode 31 is located. In this case, the lower electrode 21 is formed in the region 13b having the second height.

노출된 상기 하부 반도체층(13)의 가장자리 영역들 상에는 상기 하부 전극(21)으로부터 제1 변과, 제1 변에 우측방향으로 이웃하고 있는 제 3변에 인접하여 연장된 제1 하부 전극 연장부(22) 및 제1 변과, 제1 변의 좌측방향으로 이웃하고 있는 제4 변에 인접하여 상기 하부 전극(21)으로부터 연장된 제2 하부 전극 연장부(23)가 형성된다. 이때, 상기 하부 전극 연장부들(22, 23)은 제1 높이를 가지는 영역(13a)에 형성된다. 여기에서, 노출된 상기 하부 반도체층(13)에서 상기 하부 전극(21)이 형성된 제2 높이를 가지는 영역(13b)에 인접하는 영역(13c)은 상기 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성된 제1 높이를 가지는 영역(13a)과 동일한 높이로 노출된다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않고 다양하게 변형이 가능하다.On the exposed edge regions of the lower semiconductor layer 13, a first lower electrode extension extending from the lower electrode 21 adjacent to a first side and a third side adjacent to the first side in a right direction. A second lower electrode extension 23 extending from the lower electrode 21 is formed adjacent to the first and second sides 22 and 1 and the fourth side adjacent to the left side of the first side. In this case, the lower electrode extensions 22 and 23 are formed in the region 13a having the first height. In the exposed lower semiconductor layer 13, the region 13c adjacent to the region 13b having the second height where the lower electrode 21 is formed is formed with the lower electrode extensions 22 and 23. It is exposed at the same height as the region 13a having the first height. However, the present invention is not limited to this and various modifications are possible.

상기 하부 전극(21)과 제1 하부 전극 연장부(22) 및 제2 하부 전극 연장부(23)는 동일한 물질 및 동일한 공정을 통하여 함께 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 하부 반도체층이 N형인 경우, 상기 하부 전극 및 하부 전극 연장부들은 리프트 오프 기술을 사용하여 Ti/Al로 형성될 수 있다. 다만, 상기 하부 전극(21)와 제1 하부 전극 연장부(22) 및 제2 하부 전극 연장부(23)는 서로 단차를 가지고 노출된 하부 반도체층(13)의 두 영역들(13a, 13b)에 형성되는 것이다.The lower electrode 21, the first lower electrode extension 22, and the second lower electrode extension 23 may be formed together through the same material and the same process. For example, when the lower semiconductor layer is N-type, the lower electrode and the lower electrode extensions may be formed of Ti / Al using a lift off technique. However, the lower electrodes 21, the first lower electrode extensions 22, and the second lower electrode extensions 23 are two regions 13a and 13b of the lower semiconductor layer 13 exposed with steps. To be formed.

상기 투명전극층(19)은 상기 기판의 제2 영역 부분의 상부 반도체층(17)의 일부 영역을 노출시키는 개구부를 가질 수 있다. 이때, 상기 상부 전극(31)은 상기 개구부를 덮어 상기 상부 반도체층(17)과 접한다.The transparent electrode layer 19 may have an opening that exposes a portion of the upper semiconductor layer 17 of the second region of the substrate. In this case, the upper electrode 31 covers the opening and contacts the upper semiconductor layer 17.

일반적으로, 투명전극층(19)은 ITO 또는 Ni/Au로 형성되어 투광성을 가지며, 아울러 상부 반도체층에 오믹콘택되어 콘택저항을 낮춘다. 그러나, 상부 전극(31)은 투광성을 갖지 못하며, 또한 상부 반도체층에 오믹콘택되지 못한다. 따라서, 상부 전극(31)을 직접 상부 반도체층(17)에 접하게 함으로써, 상부 전극(31) 아래로 전류가 흐르는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라 발생된 광이 상부 전극(31)에 흡수되어 손실되는 것을 방지할 수 있다.In general, the transparent electrode layer 19 is formed of ITO or Ni / Au to transmit light, and also has ohmic contact with the upper semiconductor layer to lower the contact resistance. However, the upper electrode 31 is not light-transmitting and cannot be ohmic contacted to the upper semiconductor layer. Therefore, by bringing the upper electrode 31 directly into the upper semiconductor layer 17, it is possible to prevent the current flowing below the upper electrode 31, the light generated by this is absorbed by the upper electrode 31 is lost Can be prevented.

한편, 제1 상부 전극 연장부(32)가 제1 하부 전극 연장부(22)에 대응하여 상기 상부 전극(31)으로부터 연장되어 상기 투명전극층(19)상에 형성되고, 제2 상부 전극 연장부(33)가 상기 제2 하부 전극 연장부(23)에 대응하여 상기 상부 전극(31)으로부터 연장되어 상기 투명전극층(19)상에 형성된다. 상기 상부 전극(31), 제1 상부 전극 연장부(32) 및 제2 상부 전극 연장부(33)는 동일한 물질 및 동일한 공정에 의해 형성될 수 있다.Meanwhile, a first upper electrode extension part 32 extends from the upper electrode 31 to correspond to the first lower electrode extension part 22 and is formed on the transparent electrode layer 19, and a second upper electrode extension part is formed. Reference numeral 33 extends from the upper electrode 31 to correspond to the second lower electrode extension 23, and is formed on the transparent electrode layer 19. The upper electrode 31, the first upper electrode extension 32, and the second upper electrode extension 33 may be formed by the same material and the same process.

도 3 및 도 4와, 도 6 및 도 7을 비교하여 종래의 기술에 의한 발광 다이오드와 본 발명의 일실시예에 의한 발광 다이오드에서의 접촉 저항 및 전류 분포에 관하여 비교하도록 한다.3 and 4 and FIGS. 6 and 7 compare the contact resistance and the current distribution in the light emitting diode according to the prior art and the light emitting diode according to the embodiment of the present invention.

우선, 도 3 및 도 4에서는 하부 전극(121)과 전극 연장부들(122, 123)이 하부 반도체층(113)의 동일한 높이상에 형성되어 있다. 이러한 경우, 하부 전극(121)을 통해 하부 반도체층(113)에 유입되는 전류 경로는 전극 연장부(122, 123)를 통해 하부 반도체층(113)에 유입되는 전류 통과 경로에 있어 서로 같게 된다. 이러한 상황에서는 전극 연장부(122, 123)는 자체 저항을 가짐에 따라 전극 연장부(122, 123)에서 하부 반도체층(113)으로의 전류 스프레이딩 특성이 하부 전극(121)에서 하부 반도체층(113)으로의 전류 스프레이딩 특성에 비하여 떨어진다.First, in FIGS. 3 and 4, the lower electrode 121 and the electrode extensions 122 and 123 are formed on the same height of the lower semiconductor layer 113. In this case, the current paths flowing into the lower semiconductor layer 113 through the lower electrode 121 are the same in the current passing paths flowing into the lower semiconductor layer 113 through the electrode extensions 122 and 123. In this situation, as the electrode extensions 122 and 123 have their own resistance, the current spraying property from the electrode extensions 122 and 123 to the lower semiconductor layer 113 is lowered from the lower electrode 121 to the lower semiconductor layer ( Compared to the current spraying characteristic to 113).

그러나, 도 6 및 도 7에서는 하부 전극(21)과 전극 연장부들(22, 23)이 단차를 두고 하부 반도체층(13)에 형성되어 있다. 즉, 전극 연장부들(22, 23)은 하부 반도체층(13)의 제1 높이를 가지는 부분(13a)에 형성되고, 하부 전극(21)은 하부 반도체층(13)의 제2 높이를 가지는 부분(13b)에 형성된다. 따라서, 하부 전극(21), 하부 반도체층(13), 활성층(15), 상부 반도체층(17), 투명 전극층(19), 상부 전극(31)에 이르는 전류 통과 경로는 전극 연장부(22, 23), 하부 반도체층(13), 활성층(15), 상부 반도체층(17), 투명 전극층(19), 상부 전극(31)에 이르는 전류 통과 경로에 비하여 길어진다. 즉, 제1 높이와 제2 높이사이의 단차만큼 전류 통과 경로의 길이가 차이난다.However, in FIGS. 6 and 7, the lower electrode 21 and the electrode extensions 22 and 23 are formed in the lower semiconductor layer 13 with a step. That is, the electrode extensions 22 and 23 are formed in the portion 13a having the first height of the lower semiconductor layer 13, and the lower electrode 21 is the portion having the second height of the lower semiconductor layer 13. It is formed in 13b. Accordingly, a current passage path leading to the lower electrode 21, the lower semiconductor layer 13, the active layer 15, the upper semiconductor layer 17, the transparent electrode layer 19, and the upper electrode 31 may extend through the electrode extension part 22,. 23, the lower semiconductor layer 13, the active layer 15, the upper semiconductor layer 17, the transparent electrode layer 19, the longer than the current passing path to the upper electrode 31. In other words, the length of the current passage path differs by the step between the first height and the second height.

이러한 상황에서는 전극 연장부(22, 23)가 자체 저항을 가지더라도 전류 통과 경로의 길이 단축에 따른 보상 작용으로 인해 전극 연장부(22, 23)에서 하부 반도체층(13)으로의 전류 스프레이딩 특성이 하부 전극(21)에서 하부 반도체층(13)으로의 전류 스프레이딩 특성에 비하여 떨어지는 것을 효과적으로 보상해줄 수 있다.In this situation, even if the electrode extensions 22 and 23 have their own resistance, the current spraying characteristics from the electrode extensions 22 and 23 to the lower semiconductor layer 13 due to the compensation action of the shortening of the current passage path. As compared with the current spraying characteristic from the lower electrode 21 to the lower semiconductor layer 13, it can be effectively compensated for.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전류분산을 위한 전극 연장부 구조를 가지는 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이다. 도 8에 도시된 본 발명의 다른 실시예는 도 5 내지 도 7에서 설명된 실시예와 비교하여 상부 전극 및 하부 전극의 위치가 변형되었으며, 그에 따라 제1 하부 연장부, 제2 하부 연장부의 형태가 변형된 것을 볼 수 있다. 그 외의 기술적 사항은 동일하거나 적절하게 변형되어 적용될 수 있다. 여기에서는, 상부 전극 연장부가 별도로 형성되어 있지 않지만, 본 발명은 이에 제한되지 않으며, 도 5 내지 도 7에 도시되었던 상부 전극 연장부를 적절하게 변형하여 구비할 수 도 있다.8 is a plan view illustrating a light emitting diode having an electrode extension structure for current distribution according to another embodiment of the present invention. Another embodiment of the present invention illustrated in FIG. 8 has a modified position of the upper electrode and the lower electrode compared to the embodiment described with reference to FIGS. 5 to 7, and thus forms the first lower extension and the second lower extension. It can be seen that is modified. Other technical matters may be applied with the same or appropriate modifications. Here, although the upper electrode extension is not separately formed, the present invention is not limited thereto, and the upper electrode extension shown in FIGS. 5 to 7 may be appropriately modified.

도 8을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전류분산을 위한 전극 연장부 구조를 가지는 발광 다이오드는 노출된 하부 반도체층(13)상에서 기판의 일측 모서리에 하부 전극(21a)이 형성되어 있고, 상기 모서리를 개재하여 서로 이웃하고 있는 각 변에 인접하여 제1 하부 전극 연장부(22a) 및 제2 하부 전극 연장부(23a)가 형성되어 있다. 이때, 하부 전극 연장부(22a) 및 제2 하부 전극 연장부(23a)의 폭은 서로 동일할 수 있다. 한편, 하부 전극(21a)이 형성되어 있는 모서리의 대각선 방향에 위치하는 모서리부분에 상부 전극(31)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 8, in the light emitting diode having the electrode extension structure for current distribution according to another embodiment of the present invention, a lower electrode 21a is formed at one edge of the substrate on the exposed lower semiconductor layer 13. The first lower electrode extension part 22a and the second lower electrode extension part 23a are formed adjacent to each side adjacent to each other via the corner. In this case, the widths of the lower electrode extension part 22a and the second lower electrode extension part 23a may be the same. On the other hand, the upper electrode 31 is formed in the corner portion located in the diagonal direction of the corner where the lower electrode 21a is formed.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전류분산을 위한 전극 연장부 구조를 갖는 발광 다이오드를 설명하기 위한 평면도이다.9 is a plan view illustrating a light emitting diode having an electrode extension structure for current distribution according to another embodiment of the present invention.

도 9에 도시된 본 발명의 또 다른 실시예는 도 8에서 설명된 실시예와 비교하여 제1 하부 전극 연장부(22b), 제2 하부 전극 연장부(23b)의 폭이 변형된 것을 볼 수 있다. 그 외의 기술적 사항은 동일하거나 적절하게 변형되어 적용될 수 있다. 즉, 상기 제1 하부 전극 연장부(22b), 제2 하부 전극 연장부(23b)의 폭은 하부 전극(31b)로부터 멀어질 수록 넓어지는 구조를 가지고 있다. 하부 전극(21)으로부터 멀어질수록 하부 전극 연장부(22b, 23b)의 폭이 넓어짐에 따라 하부 전극(21b)으로부터 멀어질수록 자체 저항이 감소됨에 따라 전류 밀도가 하부 전극(21b)에 밀집되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 여기에서, 상기 하부 전극 연장부들(22b, 23b)은 하부 전극(21b)으로부터 멀어질수록 폭이 넓어지면서도 상부 반도체층과 이격된 거리는 일정하도록 형성될 수 있다.9, the widths of the first lower electrode extension 22b and the second lower electrode extension 23b are deformed compared to the embodiment described with reference to FIG. 8. have. Other technical matters may be applied with the same or appropriate modifications. That is, the widths of the first lower electrode extension part 22b and the second lower electrode extension part 23b are wider as they move away from the lower electrode 31b. As the width of the lower electrode extensions 22b and 23b increases as the distance from the lower electrode 21 increases, the current density is concentrated on the lower electrode 21b as the self-resistance decreases as the distance from the lower electrode 21b increases. Can be prevented. In addition, the lower electrode extension parts 22b and 23b may be formed to be wider as they move away from the lower electrode 21b and to be spaced apart from the upper semiconductor layer.

도 10 내지 도 15는 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 발광 다이오드를 설명하기 위한 도 6에 상응하는 단면도이다.10 to 15 are cross-sectional views corresponding to FIG. 6 for describing a light emitting diode according to various embodiments of the present disclosure.

도 10 내지 도 15를 참조하면, 도 6과 관련하여 설명되었던 하부 전극, 하부 전극 연장부들이 형성된 하부 반도체층에서 단차를 가지는 것에 대하여 다양한 변형예가 도시되어 있다. 이들 변형예들은 하부 반도체층(13)에 형성된 다양한 단차에 의해 하부 반도체층(13)의 일부 영역(13a)상에 형성된 하부 전극 연장부들(22, 23)로부터 하부 반도체층(13)을 경유하여 활성층(15)에 이르는 전류 통과 경로의 길이가 하부 반도체층(13)의 다른 일부 영역(13b)상에 형성된 하부 전극(21)으로부터 하부 반도체층(13)을 경유하여 활성층(15)에 이르는 전류 통과 경로의 길이에 비하여 단축되는 구조적 특성을 보여준다.Referring to FIGS. 10 to 15, various modifications of the lower electrode and the lower semiconductor layer in which lower electrode extensions are formed, which have been described with reference to FIG. 6, are illustrated. These modifications are provided via the lower semiconductor layer 13 from the lower electrode extensions 22 and 23 formed on the partial region 13a of the lower semiconductor layer 13 by various steps formed in the lower semiconductor layer 13. The length of the current passing path leading to the active layer 15 is the current from the lower electrode 21 formed on the other partial region 13b of the lower semiconductor layer 13 to the active layer 15 via the lower semiconductor layer 13. It shows structural characteristics that are shortened compared to the length of the passage path.

도 10은 도 6과 비교할 때 하부 전극(21)이 형성된 영역(13b)에 인접하는 영역(13c)이 상기 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성된 제1 높이를 가지는 영역(13a)에 비하여 낮게 위치하고 있으며, 그 외의 사항에 대하여는 동일하거나 유사하다.10, the region 13c adjacent to the region 13b in which the lower electrode 21 is formed is compared with the region 13a having the first height in which the lower electrode extensions 22 and 23 are formed. It is located lower and the same or similar for other things.

도 11은 도 10과 비교할 때, 하부 전극(21)이 형성된 영역(13b)가 상기 하부 전극 연장부들이 형성된 영역(13a)과 동일한 높이로 위치하고 있으며, 그외의 사항에 대하여는 동일하거나 유사하다.11, the region 13b in which the lower electrode 21 is formed is positioned at the same height as the region 13a in which the lower electrode extensions are formed. The other matters are the same or similar.

도 12는 도 6과 비교할 때 하부 전극(21)이 형성된 영역(13b)이 상기 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성된 제1 높이를 가지는 영역(13a)과 동일한 높이로 위치하고 있으며, 그 외의 사항에 대하여는 동일하거나 유사하다.12, the region 13b in which the lower electrode 21 is formed is positioned at the same height as the region 13a having the first height in which the lower electrode extensions 22 and 23 are formed. The matter is the same or similar.

도 13은 도 12와 비교할 때 하부 전극(21)이 형성된 영역(13b) 및 그 인접하는 영역(13c)이 서로 동일한 높이에 위치하며, 상기 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성된 제1 높이를 가지는 영역(13a)에 비하여 낮게 위치하고 있으며, 그 외의 사항에 대하여는 동일하거나 유사하다.FIG. 13 illustrates a region in which the region 13b in which the lower electrode 21 is formed and the adjacent region 13c are located at the same height as each other, and have a first height in which the lower electrode extensions 22 and 23 are formed. It is located lower than the region 13a having a, and the same or similar for other matters.

도 14는 하부 전극(21)이 형성된 영역(13b) 및 그 인접하는 영역(13c)이 서로 동일한 높이에 위치하며, 상기 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성된 제1 높이를 가지는 영역(13a)에 비하여 낮게 위치하고 있고, 상기 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성된 제1 높이를 가지는 영역(13a)이 도 13에 비하여 좀더 낮게 위치하고 있으며, 그 외의 사항에 대하여는 동일하거나 유사하다.In FIG. 14, the region 13b in which the lower electrode 21 and the adjacent region 13c are positioned at the same height, and the region 13a having the first height in which the lower electrode extensions 22 and 23 are formed. ) Is lower than that of FIG. 13, and the region 13a having the first height where the lower electrode extensions 22 and 23 are formed is lower than that of FIG. 13, and is otherwise the same or similar.

도 15는 도 6에 비하여 하부 전극(21)이 형성된 영역(13b)이 좀더 낮게 위치하고 있으며, 그 외의 사항에 대하여는 동일하거나 유사하다.In FIG. 15, the region 13b in which the lower electrode 21 is formed is located lower than in FIG. 6, and the other matters are the same or similar.

본 발명의 몇몇 실시예들에 대해 예시적으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 앞서 설명된 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하기 위한 것이 아니라 단지 더 잘 이해할 수 있도록 설명하기 위한 것으로 이해되어야 한다. 본 발명의 권리 범위는 이러한 실시예들에 의해 한정되지 않으며, 아래 청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While some embodiments of the present invention have been described by way of example, those skilled in the art will appreciate that various modifications and variations can be made without departing from the essential features thereof. Therefore, the embodiments described above should not be construed as limiting the technical spirit of the present invention but merely for better understanding. The scope of the present invention is not limited by these embodiments, and should be interpreted by the following claims, and the technical spirit within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

예컨대, 본 발명의 변형예로서 도 5를 참조하여 설명된 실시예와 비교하여 상부 전극 및 하부 전극의 위치를 변형시킬 수 있다. 즉, 하부 전극(21)이 도 5와 비교하여 왼쪽으로 편향하여 왼쪽 모서리쪽에 가깝게 위치시킬 수 있고, 상부 전극(31)는 도 5와 비교하여 오른쪽으로 편향하여 오른쪽 모서리에 가깝게 위치하게 할 수 있다.For example, as a modification of the present invention, the positions of the upper electrode and the lower electrode may be modified in comparison with the embodiment described with reference to FIG. 5. That is, the lower electrode 21 may be positioned closer to the left edge side by deflecting to the left side as compared to FIG. 5, and the upper electrode 31 may be positioned closer to the right edge side to the right side as compared to FIG. 5. .

또 다른 변형예로는 도 5에서 설명된 실시예와 비교하여 상부 전극 및 하부 전극에 각각 제3 하부 전극 연장부, 제3 상부 전극 연장부를 형성할 수 있다. 이때, 제3 하부 전극 연장부 및 제3 상부 전극 연장부는 서로 대응하는 위치에 형성될 수 있으며, 제3 하부 전극 연장부는 제1 하부 전극 연장부(22) 또는 제2 하부 전극 연장부(23)에 형성될 수 있으며, 제3 상부 전극 연장부는 제1 상부 전극 연장부(32) 또는 제2 상부 전극 연장부(33)에 형성될 수 있다.As another modified example, a third lower electrode extension part and a third upper electrode extension part may be formed on the upper electrode and the lower electrode, respectively, as compared with the embodiment described with reference to FIG. 5. In this case, the third lower electrode extension part and the third upper electrode extension part may be formed at positions corresponding to each other, and the third lower electrode extension part may be the first lower electrode extension part 22 or the second lower electrode extension part 23. The third upper electrode extension part may be formed in the first upper electrode extension part 32 or the second upper electrode extension part 33.

또한, 본 발명의 또 다른 변형예로서 도 5를 참조하여 설명된 실시예와 비교하여 하부 반도체층의 불순물 도핑 구조에 변형을 가할 수 있다. In addition, as another modification of the present invention, the impurity doping structure of the lower semiconductor layer may be modified as compared with the embodiment described with reference to FIG. 5.

즉, 도 5에 도시된 하부 반도체층(13)의 불순 도핑 구조에 변형을 가할 수 있다. 예컨대, 하부 전극 연장부들(22, 23)이 형성될 하부 반도체층(13)의 제1 높이를 가지는 부분(13a)의 불순물 도핑 농도를 하부 전극(21)이 형성될 하부 반도체층(13)의 제2 높이를 가지는 부분(13b)의 불순물 도핑 농도보다 더 높게 함으로써, 하부 전극 연장부들(22, 23)과 하부 반도체층(13)간의 오믹 저항 특성을 하부 전극(21)과 하부 반도체층(13)간의 오믹 저항 특성에 비하여 상대적으로 개선된 값을 가질 수 있게 하여 전류 스프레딩을 조절할 수 있다.That is, deformation may be applied to the impurity doping structure of the lower semiconductor layer 13 illustrated in FIG. 5. For example, the impurity doping concentration of the portion 13a having the first height of the lower semiconductor layer 13 on which the lower electrode extensions 22 and 23 are to be formed is determined by the lower semiconductor layer 13 of the lower electrode 21. By making the doping concentration higher than the impurity doping concentration of the portion 13b having the second height, the ohmic resistance characteristic between the lower electrode extensions 22 and 23 and the lower semiconductor layer 13 is lowered to the lower electrode 21 and the lower semiconductor layer 13. The current spreading can be adjusted by having a relatively improved value compared to the ohmic resistance characteristic between the?

또한, 상술된 본 발명의 실시예들에서는 하부 반도체층은 가장자리 영역들의 적어도 일부가 노출되어 있으며, 전극 연장부들은 상기 노출된 가장 자리 영역들의 적어도 일부에 형성되어 있는 것에 대하여 설명되었다. 그러나, 또 다른 변형예에서는 상기 하부 반도체층은 중앙 영역들의 적어도 일부가 노출되어 있으며, 상기 전극 연장부는 상기 중앙 영역들의 적어도 일부에 형성되도록 변형 적용이 가능하다.In addition, in the above-described embodiments of the present invention, it has been described that the lower semiconductor layer has at least some of the edge regions exposed, and electrode extensions are formed in at least some of the exposed edge regions. However, in another modification, the lower semiconductor layer may expose at least a portion of the central regions, and the electrode extension may be modified to be formed in at least a portion of the central regions.

또한, 상술된 본 발명의 실시예들에서는 상기 하부 전극과 상기 전극 연장부들의 재질이 동일한 경우에 대하여 설명되었으나, 또 다른 변형예에서는 상기 전극연장부들의 재질을 상기 하부 전극의 재질에 비하여 전기 전도도가 높은 재질로 구현할 수 도 있다.In addition, in the above-described embodiments of the present invention, the material of the lower electrode and the electrode extension parts has been described with the same material, but in another modification, the material of the electrode extension parts may be compared with the material of the lower electrode. It can be implemented with a high material.

또한, 또 다른 변형예에서는 상기 전극 연장부가 높이에 따라 폭이 조절되어 상부가 하부보다 폭이 좁게 할 수 있다. 예컨대, 하부 반도체층에 접하는 부분의 폭이 가장 넓고 윗쪽으로 갈수록 좁게 할 수 도 있다. 이렇게 함으로써 전극 연장부가 측면으로 경사를 가지게 하여 활성층으로부터 방출되는 광을 효과적으로 외부로 반사시킬 수 있다.In addition, in another modification, the width of the electrode extension part may be adjusted according to the height so that the upper part thereof is narrower than the lower part. For example, the width | variety of the part which contact | connects a lower semiconductor layer can also be made narrower as it goes upward. This allows the electrode extension to be inclined laterally so that the light emitted from the active layer can be effectively reflected to the outside.

또한, 다른 변형예에서는 하부 전극 또는 전극 연장부들이 활성층보다 낮게 위치하도록 형성될 수 있다.Further, in other modifications, the lower electrode or the electrode extensions may be formed to be lower than the active layer.

Claims (8)

기판 상에 형성된 제 1 도전형 반도체층, 활성층 및 제 2 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층의 제1 영역 상에 형성된 제1 전극;
상기 제1 도전형 반도체층의 상기 제1 영역과 다른 제2 영역 상에 형성되고, 상기 제1 전극과 접속된 전극 연장부를 포함하고,
상기 제 1 도전형 반도체와 상기 제 1 전극간의 제 1 오믹 저항과 상기 제 1 도전형 반도체와 상기 전극 연장부간의 제 2 오믹 저항은 서로 상이한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
A first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer formed on the substrate;
A first electrode formed on the first region of the first conductivity type semiconductor layer;
An electrode extension formed on a second region different from the first region of the first conductivity type semiconductor layer, and connected to the first electrode,
And a first ohmic resistance between the first conductive semiconductor and the first electrode and a second ohmic resistance between the first conductive semiconductor and the electrode extension portion have different sizes.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층의 상기 제1 영역과 상기 제2 영역 간에 소정의 단차가 형성된 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
The method according to claim 1,
And a predetermined step is formed between the first region and the second region of the first conductivity type semiconductor layer.
청구항 1에 있어서,
상기 제 1 오믹 저항의 크기는 상기 제 2 오믹 저항의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
The method according to claim 1,
The size of the first ohmic resistor is larger than the size of the second ohmic resistor.
청구항 1에 있어서,
상기 제 1 오믹 저항과 상기 제 2 오믹 저항의 크기는 상기 제 1 도전형 반도체층의 불순물의 농도를 달리하여 형성된 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
The method according to claim 1,
The size of the first ohmic resistor and the second ohmic resistor is formed by varying the concentration of impurities in the first conductivity type semiconductor layer.
청구항 1에 있어서,
상기 제 1 오믹 저항과 상기 제 2 오믹 저항의 크기는 상기 제 1 전극과 상기 전극 연장부의 재질을 달리하여 형성된 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
The method according to claim 1,
The size of the first ohmic resistor and the second ohmic resistor is a light emitting diode, characterized in that formed by different materials of the first electrode and the electrode extension.
청구항 1에 있어서,
상기 전극 연장부는 상기 제 1 영역으로부터 멀어질수록 폭이 넓어지도록 형성된 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
The method according to claim 1,
And the electrode extension portion is formed to be wider as it is farther from the first region.
청구항 1에 있어서,
상기 전극 연장부가 상기 제 2 도전형 반도체층과 이격된 거리는 일정한 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
The method according to claim 1,
The distance that the electrode extension is spaced apart from the second conductivity type semiconductor layer is a light emitting diode.
청구항 1에 있어서,
상기 전극 연장부는 상부가 하부보다 폭이 좁은 것을 특징으로 하는 발광 다이오드.
The method according to claim 1,
The electrode extension portion of the light emitting diode, characterized in that the upper portion is narrower than the lower.
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