KR101032433B1 - Thin film type Solar Cell and Method for manufacturing the same - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 86
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims abstract description 51
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910020203 CeO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 150000004760 silicates Chemical class 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
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- H—ELECTRICITY
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- H01L31/0236—Special surface textures
- H01L31/02366—Special surface textures of the substrate or of a layer on the substrate, e.g. textured ITO/glass substrate or superstrate, textured polymer layer on glass substrate
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Computer Hardware Design (AREA)
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Abstract
본 발명은 기판; 상기 기판 상에 형성되며, 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막; 상기 광산란막 상에 형성되며, 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층; 상기 전면전극층 상에 형성된 반도체층; 및 상기 반도체층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어지고, 상기 요철구조는 상기 반도체층과 접하는 상기 전면전극층의 일면에 형성되고 상기 광산란막과 접하는 상기 전면전극층의 타면에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지, 및 그 제조방법에 관한 것으로서,
본 발명에 따르면, 기판과 전면전극층 사이에 광산란막을 형성함으로써 태양광을 다양하게 굴절시킬 수 있어 반도체층으로 입사되는 태양광의 경로를 길게할 수 있고, 또한, 전면전극층 증착과정에서 광산란막이 배리어(barrier)로 작용하여 기판 내에 함유된 불순물이 전면전극층으로 이동하는 것이 차단되어 태양전지의 효율이 증진되는 효과가 있다. The present invention is a substrate; A light scattering film formed on the substrate and including a bead and a binder to fix the bead; A front electrode layer formed on the light scattering film, the surface of which has a concave-convex structure; A semiconductor layer formed on the front electrode layer; And a back electrode layer formed on the semiconductor layer, wherein the uneven structure is formed on one surface of the front electrode layer in contact with the semiconductor layer and is not formed on the other surface of the front electrode layer in contact with the light scattering film. As a thin film solar cell, and a manufacturing method thereof,
According to the present invention, by forming a light scattering film between the substrate and the front electrode layer can be variously refracted sunlight can lengthen the path of sunlight incident to the semiconductor layer, and also, the light scattering film barrier (barrier) during the front electrode layer deposition process It acts as) to block the movement of impurities contained in the substrate to the front electrode layer has the effect of improving the efficiency of the solar cell.
Description
본 발명은 태양전지(Solar Cell)에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 박막형 태양전지에 관한 것이다. The present invention relates to a solar cell, and more particularly to a thin film solar cell.
태양전지는 반도체의 성질을 이용하여 빛 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 장치이다. Solar cells are devices that convert light energy into electrical energy using the properties of semiconductors.
태양전지의 구조 및 원리에 대해서 간단히 설명하면, 태양전지는 P(positive)형 반도체와 N(negative)형 반도체를 접합시킨 PN접합 구조를 하고 있으며, 이러한 구조의 태양전지에 태양광이 입사되면, 입사된 태양광이 가지고 있는 에너지에 의해 상기 반도체 내에서 정공(hole)과 전자(electron)가 발생하고, 이때, PN접합에서 발생한 전기장에 의해서 상기 정공(+)는 P형 반도체쪽으로 이동하고 상기 전자(-)는 N형 반도체쪽으로 이동하게 되어 전위가 발생하게 됨으로써 전력을 생산할 수 있게 되는 원리이다. The structure and principle of the solar cell will be briefly described. The solar cell has a PN junction structure in which a P (positive) type semiconductor and a N (negative) type semiconductor are bonded to each other. Holes and electrons are generated in the semiconductor by the energy of the incident solar light. At this time, the holes (+) are moved toward the P-type semiconductor by the electric field generated in the PN junction. Negative (-) is the principle that the electric potential is generated by moving toward the N-type semiconductor to generate power.
이와 같은 태양전지는 기판형 태양전지와 박막형 태양전지로 구분할 수 있다. Such a solar cell can be classified into a substrate type solar cell and a thin film solar cell.
기판형 태양전지는 실리콘과 같은 반도체물질 자체를 기판으로 이용하여 태양전지를 제조한 것이고, 박막형 태양전지는 유리 등과 같은 기판 상에 박막의 형태로 반도체를 형성하여 태양전지를 제조한 것이다. The substrate type solar cell is a solar cell manufactured by using a semiconductor material such as silicon as a substrate, and the thin film type solar cell is a solar cell manufactured by forming a semiconductor in the form of a thin film on a substrate such as glass.
기판형 태양전지는 박막형 태양전지에 비하여 효율이 다소 우수하기는 하지만, 공정상 두께를 최소화하는데 한계가 있고 고가의 반도체 기판을 이용하기 때문에 제조비용이 상승되는 단점이 있다. Substrate-type solar cells, although somewhat superior in efficiency compared to thin-film solar cells, there is a limitation in minimizing the thickness in the process and there is a disadvantage that the manufacturing cost is increased because of the use of expensive semiconductor substrates.
박막형 태양전지는 기판형 태양전지에 비하여 효율이 다소 떨어지기는 하지만, 얇은 두께로 제조가 가능하고 저가의 재료를 이용할 수 있어 제조비용이 감소되는 장점이 있어 대량생산에 적합하다. Although thin-film solar cells are somewhat less efficient than substrate-type solar cells, they can be manufactured in a thin thickness and inexpensive materials can be used to reduce manufacturing costs, making them suitable for mass production.
이하 도면을 참조로 종래의 박막형 태양전지에 대해서 설명하기로 한다. Hereinafter, a thin film solar cell according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 종래의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지의 개략적인 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view of a thin film solar cell according to a conventional embodiment.
도 1에서 알 수 있듯이, 종래의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지는 기판(10) 상에 전면전극층(30)이 형성되고, 상기 전면전극층(30) 상에 반도체층(40)이 형성되고, 상기 반도체층(40) 상에 투명도전층(50)이 형성되고, 상기 투명도전층(50) 상에 후면전극층(60)이 형성되어 이루어진다. As can be seen in FIG. 1, in the thin film solar cell according to the related art, the
그러나, 이와 같은 종래의 박막형 태양전지는 다음과 같은 문제점이 있다. However, such a conventional thin film solar cell has the following problems.
첫째, 태양전지의 효율향상을 위해서는 태양광이 상기 반도체층(40)을 경유하는 경로를 길게하여 상기 반도체층(40) 내에서 정공(hole)과 전자(electron)의 발생율을 증가시킬 필요가 있다. 그러나, 종래의 박막형 태양전지는 상기 반도체층(40) 내의 태양광의 경로를 길게 형성할 수 없어 원하는 만큼의 전지효율을 얻지 못하는 문제점이 있다. First, in order to improve the efficiency of the solar cell, it is necessary to increase the generation rate of holes and electrons in the
둘째, 일반적으로 상기 기판(10)은 유리를 이용하게 되는데, 유리 내에는 알칼리이온들이 함유되어 있고, 이와 같은 알칼리이온들이 고온의 증착공정을 진행하는 과정에서 상기 전면전극층(30)으로 이동하여 불순물로 작용함으로써 태양전지의 효율이 저하되는 문제점이 있다. Second, in general, the
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로서, 본 발명은 반도체층 내에서 태양광의 경로를 길게 함으로써 태양전지의 효율을 상승시킬 수 있는 박막형 태양전지 및 그 제조방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다. The present invention has been devised to solve the conventional problems as described above, the present invention is to provide a thin-film solar cell and a method of manufacturing the same that can increase the efficiency of the solar cell by increasing the path of sunlight in the semiconductor layer. The purpose.
본 발명은 기판 내에 함유된 알칼리이온들이 전면전극층으로 이동하는 것을 방지함으로써 태양전지의 효율을 상승시킬 수 있는 박막형 태양전지 및 그 제조방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다. Another object of the present invention is to provide a thin film solar cell and a method of manufacturing the same, which can increase the efficiency of a solar cell by preventing the alkali ions contained in the substrate from moving to the front electrode layer.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 기판; 상기 기판 상에 형성되며, 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막; 상기 광산란막 상에 형성되며, 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층; 상기 전면전극층 상에 형성된 반도체층; 및 상기 반도체층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어지고, 상기 요철구조는 상기 반도체층과 접하는 상기 전면전극층의 일면에 형성되고 상기 광산란막과 접하는 상기 전면전극층의 타면에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지를 제공한다. The present invention, in order to achieve the above object; A light scattering film formed on the substrate and including a bead and a binder to fix the bead; A front electrode layer formed on the light scattering film, the surface of which has a concave-convex structure; A semiconductor layer formed on the front electrode layer; And a back electrode layer formed on the semiconductor layer, wherein the uneven structure is formed on one surface of the front electrode layer in contact with the semiconductor layer and is not formed on the other surface of the front electrode layer in contact with the light scattering film. Provides a thin film solar cell.
본 발명은 또한, 기판; 상기 기판 상에 형성되며, 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막; 상기 광산란막 상에 형성되며, 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층; 상기 전면전극층 상에 형성된 제1 반도체층; 상기 제1 반도체층 상에 형성된 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 형성된 제2 반도체층; 및 상기 제2 반도체층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어진 박막형 태양전지를 제공한다. The invention also provides a substrate; A light scattering film formed on the substrate and including a bead and a binder to fix the bead; A front electrode layer formed on the light scattering film, the surface of which has a concave-convex structure; A first semiconductor layer formed on the front electrode layer; A buffer layer formed on the first semiconductor layer; A second semiconductor layer formed on the buffer layer; And a back electrode layer formed on the second semiconductor layer.
본 발명은 또한, 기판; 상기 기판 상에 형성되며, 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막; 상기 광산란막 상에 형성되며, 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층; 상기 전면전극층 상에 형성된 반도체층; 및 상기 반도체층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어지고, 상기 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있고, 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있는 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 굴절율이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지를 제공한다.The invention also provides a substrate; A light scattering film formed on the substrate and including a bead and a binder to fix the bead; A front electrode layer formed on the light scattering film, the surface of which has a concave-convex structure; A semiconductor layer formed on the front electrode layer; And a back electrode layer formed on the semiconductor layer, wherein the beads contact the substrate and the front electrode layer, and the beads contacting the substrate and the front electrode layer have different refractive indices from the substrate and the front electrode layer. It provides a thin film solar cell.
본 발명은 또한, 기판 상에 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막을 형성하는 공정; 상기 광산란막 상에 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층을 형성하는 공정; 상기 전면전극층 상에 반도체층을 형성하는 공정; 및 상기 반도체층 상에 후면전극층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지고, 상기 요철구조는 상기 반도체층과 접하는 상기 전면전극층의 일면에 형성되고 상기 광산란막과 접하는 상기 전면전극층의 타면에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법을 제공한다. The present invention also provides a process for forming a light scattering film comprising a bead and a binder for fixing the bead on a substrate; Forming a front electrode layer having a concave-convex structure on a surface of the light scattering film; Forming a semiconductor layer on the front electrode layer; And forming a back electrode layer on the semiconductor layer, wherein the uneven structure is formed on one surface of the front electrode layer in contact with the semiconductor layer and is not formed on the other surface of the front electrode layer in contact with the light scattering film. Provided is a method of manufacturing a thin film solar cell.
본 발명은 또한, 기판 상에 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막을 형성하는 공정; 상기 광산란막 상에 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층을 형성하는 공정; 상기 전면전극층 상에 제1 반도체층을 형성하는 공정; 상기 제1 반도체층 상에 버퍼층을 형성하는 공정; 상기 버퍼층 상에 제2 반도체층을 형성하는 공정; 및 상기 제2 반도체층 상에 후면전극층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진 박막형 태양전지의 제조방법을 제공한다. The present invention also provides a process for forming a light scattering film comprising a bead and a binder for fixing the bead on a substrate; Forming a front electrode layer having a concave-convex structure on a surface of the light scattering film; Forming a first semiconductor layer on the front electrode layer; Forming a buffer layer on the first semiconductor layer; Forming a second semiconductor layer on the buffer layer; And it provides a method for manufacturing a thin film solar cell comprising the step of forming a back electrode layer on the second semiconductor layer.
본 발명은 또한, 기판 상에 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막을 형성하는 공정; 상기 광산란막 상에 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층을 형성하는 공정; 상기 전면전극층 상에 반도체층을 형성하는 공정; 및 상기 반도체층 상에 후면전극층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지고, 상기 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있고, 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있는 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 굴절율이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a process for forming a light scattering film comprising a bead and a binder for fixing the bead on a substrate; Forming a front electrode layer having a concave-convex structure on a surface of the light scattering film; Forming a semiconductor layer on the front electrode layer; And forming a back electrode layer on the semiconductor layer, wherein the beads contact the substrate and the front electrode layer, and the beads contacting the substrate and the front electrode layer have different refractive indices from the substrate and the front electrode layer. It provides a method for manufacturing a thin film solar cell, characterized in that.
상기와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다. According to the present invention as described above has the following effects.
본 발명은 기판과 전면전극층 사이에 광산란막을 형성함으로써 태양광을 다양하게 굴절시킬 수 있어 반도체층 내에서 태양광의 경로를 길게할 수 있다. 따라서, 태양전지의 효율이 증진되는 효과가 있다. According to the present invention, by forming a light scattering film between the substrate and the front electrode layer, the sunlight can be variously refracted to lengthen the path of sunlight in the semiconductor layer. Therefore, the efficiency of the solar cell is improved.
또한, 상기 광산란막을 구성하는 비드 및 바인더의 구성물질 및 패턴을 적절히 변경함으로써 태양광의 굴절패턴을 용이하게 조절할 수 있어 태양전지의 효율증진을 위한 최적화가 가능하다. In addition, by appropriately changing the material and pattern of the beads and the binder constituting the light scattering film can be easily adjusted the refractive pattern of the solar light it is possible to optimize the efficiency of the solar cell.
또한, 본 발명은 상기 광산란막이 상기 기판과 상기 전면전극층 사이에 형성되기 때문에, 상기 전면전극층 증착과정에서 상기 광산란막이 배리어(barrier)로 작용하여 상기 기판 내에 함유된 불순물이 상기 전면전극층으로 이동하는 것이 차단되어, 태양전지의 효율저하가 방지되는 효과가 있다. In addition, in the present invention, since the light scattering film is formed between the substrate and the front electrode layer, the light scattering film acts as a barrier in the process of depositing the front electrode layer so that impurities contained in the substrate move to the front electrode layer. It is blocked, there is an effect that the degradation of the efficiency of the solar cell is prevented.
도 1은 종래의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지의 개략적인 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지의 개략적인 단면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 비드의 단면도이다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지의 제조공정을 도시한 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view of a thin film solar cell according to a conventional embodiment.
2 is a schematic cross-sectional view of a thin film solar cell according to an embodiment of the present invention.
3A-3C are cross-sectional views of beads according to various embodiments of the present invention.
4A to 4E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a thin film solar cell according to an embodiment of the present invention.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
<박막형 태양전지><Thin Film Solar Cell>
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지의 개략적인 단면도이다. 2 is a schematic cross-sectional view of a thin film solar cell according to an embodiment of the present invention.
도 2에서 알 수 있듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지는 기판(100), 광산란막(200), 전면전극층(300), 반도체층(400), 투명도전층(500), 및 후면전극층(600)을 포함하여 이루어진다. As can be seen in Figure 2, the thin-film solar cell according to an embodiment of the present invention, the
상기 기판(100)은 주로 유리를 이용하지만 투명한 플라스틱을 이용할 수도 있다. The
상기 광산란막(200)은 상기 기판(100) 상에 형성되며, 비드(bead)(220) 및 바인더(binder)(240)를 포함하여 이루어진다. 이와 같은 광산란막(200)은 상기 기판(100)을 통과하는 태양광을 다양한 각도로 산란시킴과 더불어 상기 기판(100) 내에 함유된 불순물이 상기 전면전극층(300)으로 이동하는 것을 방지하는 역할을 한다. The
우선, 상기 광산란막(200)이 상기 기판(100)을 통과하는 태양광을 다양한 각도로 산란시키는 것에 대해 설명하면 다음과 같다. First, the
상기 광산란막(200)은 비드(220) 및 바인더(240)를 포함하여 이루어지는데, 주로 상기 바인더(240)가 상기 기판(100) 및 상기 전면전극층(300)과 접촉하게 된다. 이 경우, 상기 바인더(240)를 구성하는 물질로서 상기 기판(100) 및 상기 전면전극층(300)을 구성하는 물질과 굴절율이 상이한 물질을 이용하게 되면, 상기 기판(100)을 투과한 태양광이 상기 바인더(240)를 통과하면서 굴절하게 되고 또한 상기 바인더(240)를 투과한 태양광이 상기 전면전극층(300)을 통과하면서 다시 굴절하게 되므로, 결국, 상기 기판(100)으로 입사한 태양광이 다양한 각도로 굴절되면서 상기 반도체층(400)으로 입사하게 되어 반도체층(400) 내에서 태양광의 경로가 길게된다. The
경우에 따라서는 상기 비드(220)가 상기 기판(100) 및 상기 전면전극층(300)과 접촉하게 될 수도 있을 것인데, 이 경우에는, 상기 비드(220)를 구성하는 물질로서 상기 기판(100) 및 상기 전면전극층(300)을 구성하는 물질과 굴절율이 상이한 물질을 이용하게 되면, 전술한 바와 동일한 매커니즘으로 상기 기판(100)으로 입사한 태양광이 다양한 각도로 굴절되면서 상기 반도체층(400)으로 입사하게 되어 반도체층(400) 내에서 태양광의 경로가 길게된다. In some cases, the
일반적으로 기판(100)을 구성하는 유리의 굴절율은 약 1.52 정도이고, 상기 전면전극층(300)의 굴절율은 약 1.9 ~2.0 정도이므로, 이와 같은 기판(100) 및 전면전극층(300)의 굴절율 범위를 고려하여 상기 비드(220) 또는 바인더(240)의 구성물질을 선택하면 될 것이다. 상기 비드(220)의 예로는 SiO2, TiO2, CeO2 등을 들수 있고, 상기 바인더(240)의 예로는 실리케이트 등을 들 수 있지만, 반드시 그에 한정되는 것은 아니다. In general, since the refractive index of the glass constituting the
또한, 상기 광산란막(200)을 구성하는 비드(220) 및 바인더(240)를 서로 굴절율이 상이한 재료를 이용할 경우, 상기 광산란막(200) 내에서도 태양광을 다양하게 굴절시킬 수 있게 된다. 즉, 상기 비드(220)를 상기 바인더(240)와 굴절율이 상이한 재료를 이용하게 되면, 상기 비드(220)를 투과한 태양광이 상기 바인더(240)를 통과하면서 굴절하게 되고, 또한 상기 바인더(240)를 투과한 태양광이 상기 비드(220)를 통과하면서 굴절하게 되므로 태양광을 다양하게 굴절시킬 수 있다. In addition, when the
또한, 상기 비드(220)를 동일한 물질로 형성하는 대신에 굴절율이 서로 상이한 복수개의 비드들을 조합하여 사용할 경우 태양광이 서로 상이한 비드(220)들을 거치면서 다양한 각도로 굴절하게 되는 효과를 얻을 수 있다. In addition, instead of forming the
또한, 상기 비드(220)를 코어(core)부 및 스킨(skim)부로 구성함으로써, 태양광이 하나의 비드(220)를 통과하면서도 다양한 각도로 굴절하게 할 수도 있다. 즉, 도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 비드(220)의 단면을 보여주는 도면으로서, 도 3a에서 알 수 있듯이, 상기 비드(220)는 코어부(222) 및 상기 코어부(222)를 둘러싸고 있는 스킨부(224)로 구성되며, 상기 코어부(222)의 물질을 상기 스킨부(224)의 물질과 굴절율이 상이한 물질을 이용함으로써, 태양광이 상기 스킨부(224)를 투과한 후 상기 코어부(222)를 통과할 때 굴절하고 또한 상기 코어부(222)를 투과한 후 상기 스킨부(224)를 통과할 때 다시 굴절하게 할 수 있다. 또한, 도 3b에서 알 수 있듯이, 코어부(222)가 공기로 이루어지도록 하여 스킨부(224)만으로 구성된 중공상태의 비드(220)를 이용하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 경우에 따라서는 도 3c에서 알 수 있듯이, 상기 코어부(222)를 서로 굴절율이 상이한 복수 개의 물질층(222a, 222b)으로 구성할 수도 있고, 상기 스킨부(224)를 서로 굴절율이 상이한 복수 개의 물질층(224a, 224b)으로 구성할 수도 있을 것이다. 또한, 상기 비드(220)의 단면을 원형, 타원형 등 다양한 형태로 변경함으로써 태양광의 굴절각을 다양하게 변경할 수도 있다. In addition, the
또한, 상기 광산란막(200)을 도 2의 확대도에서 알 수 있듯이, 그 표면이 요철구조가 되도록 형성함으로써 태양광의 굴절각을 다양하게 변경할 수도 있다. In addition, as shown in the enlarged view of FIG. 2, the
다음, 상기 광산란막(200)이 상기 기판(100) 내에 함유된 불순물이 상기 전면전극층(300)으로 이동하는 것을 방지하는 것에 대해서 설명하면, 상기 광산란막(200)이 상기 기판(100)과 상기 전면전극층(300) 사이에 형성되기 때문에, 상기 전면전극층(300) 증착과정에서 상기 광산란막(200), 특히 상기 광산란막(200)을 구성하는 바인더(240)가 배리어(barrier)로 작용하여 상기 기판(100) 내에 함유된 불순물이 상기 전면전극층(300)으로 이동하는 것을 차단하게 된다. Next, when the
상기 전면전극층(300)는 상기 광산란막(200) 위에 형성되며, 태양광이 입사되는 면에 형성되므로 ZnO, ZnO:B, ZnO:Al, SnO2, SnO2:F 또는 ITO(Indium Tin Oxide) 등과 같은 투명한 도전물질을 이용하여 형성할 수 있다. The
상기 전면전극층(300)의 표면은 요철구조로 형성되며, 이와 같은 요철구조로 인해서 입사되는 태양광을 다양하게 산란시켜 상기 반도체층(400)에서 태양광의 흡수율을 증진시키게 된다. The surface of the
한편, 상기 전면전극층(300) 표면의 요철구조가 너무 크게 형성되게 되면, 상기 전면전극층(300) 상부에 형성되는 반도체층(400) 및 투명도전층(500)에 결함이 생길 수 있어 오히려 태양전지의 효율이 떨어질 수 있다. 본 발명의 경우는 상기 광산란막(200)에 의해서 태양광의 산란효과를 충분히 얻을 수 있기 때문에 상기 전면전극층(300) 표면의 요철구조를 무리하게 크게 형성할 필요가 없으며, 따라서 상기 전면전극층(300) 표면의 요철구조는 상기 반도체층(400) 및 투명도전층(500)에 결함이 생기지 않을 정도로 작게 조절하는 것이 바람직하다. Meanwhile, when the uneven structure of the
상기 반도체층(400)은 상기 전면전극층(300) 위에 형성되며, 상기 전면전극층(300)의 표면이 요철구조로 형성됨에 따라 상기 반도체층(400)의 표면도 요철구조로 형성된다. The
상기 반도체층(400)은 P(positive)형 반도체층, I(intrinsic)형 반도체층, 및 N(negative)형 반도체층이 순서대로 적층된 PIN구조로 형성된다. 이와 같이 상기 반도체층(400)이 PIN구조로 형성되면, I형 반도체층이 P형 반도체층과 N형 반도체층에 의해 공핍(depletion)이 되어 내부에 전기장이 발생하게 되고, 태양광에 의해 생성되는 정공 및 전자가 상기 전기장에 의해 드리프트(drift)되어, 결국 정공은 P형 반도체층을 통해 전면전극층(300)으로 수집되고 전자는 N형 반도체층을 통해 후면전극층(600)으로 수집된다. 한편, 상기 반도체층(400)이 PIN구조로 형성될 경우에는 상기 전면전극(300) 상부에 P형 반도체층을 형성하고 이어서 I형 반도체층 및 N형 반도체층을 형성하는 것이 바람직한데, 그 이유는 일반적으로 정공의 드리프트 이동도(drift mobility)가 전자의 드리프트 이동도에 의해 낮기 때문에 입사광에 의한 수집효율을 극대화하기 위해서 P형 반도체층을 수광면에 가깝게 형성하기 위함이다. The
상기 투명도전층(500)은 상기 반도체층(400) 위에 형성되며, ZnO, ZnO:B, ZnO:Al, SnO2, SnO2:F 또는 ITO(Indium Tin Oxide) 등과 같은 투명한 도전물질로 이루어질 수 있다. 상기 투명도전층(500)의 표면도 요철구조로 형성되며, 상기 투명도전층(500)은 생략이 가능하다. The transparent
상기 후면전극층(600)은 상기 투명도전층(500) 위에 형성되며, Ag, Al, Ag+Mo, Ag+Ni, Ag+Cu 과 같은 금속으로 이루어질 수 있다. The
<박막형 태양전지의 제조방법><Method of manufacturing thin film solar cell>
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지의 제조공정을 도시한 단면도이다. 4A to 4E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a thin film solar cell according to an embodiment of the present invention.
우선, 도 4a에서 알 수 있듯이, 기판(100) 상에 비드(220) 및 상기 비드(220)를 고정하는 바인더(240)를 포함하여 이루어진 광산란막(200)을 형성한다. First, as shown in FIG. 4A, a
상기 광산란막(200)은 상기 비드(220)를 상기 바인더(240)에 균일하게 분포시켜 페이스트를 준비한 후 이와 같은 페이스트를 이용하여 프린팅(Printing) 방법으로 형성할 수도 있고, 졸-겔(Sol-Gel) 방법, 딥 코팅(Dip Coating) 방법, 또는 스핀 코팅(Spin Coating) 방법을 이용하여 형성할 수도 있다. 상기 광산란막(200)을 형성함에 있어서, 상기와 같은 방법으로 막을 형성한 후, 적외선 소성공정 또는 저온/고온 소성공정을 추가로 수행함으로써 상기 기판(100)과 상기 광산란막(200) 사이의 결합력을 증진시키는 것이 바람직하다. The
상기 광산란막(200)은 확대도에서 알 수 있듯이 그 표면을 요철구조로 형성할 수 있으며, 이 경우에는 상기 프린팅(Printing) 방법, 졸-겔(Sol-Gel) 방법, 딥 코팅(Dip Coating) 방법, 또는 스핀 코팅(Spin Coating) 방법을 수행한 후 물리적 접촉을 통해 막 표면을 요철구조로 형성할 수 있다. The
상기 광산란막(200)을 구성하는 상기 비드(220) 및 바인더(240)의 구성은 전술한 바와 동일하므로 구체적인 설명은 생략하기로 한다. Since the
다음, 도 4b에서 알 수 있듯이, 상기 광산란막(200) 상에 전면전극층(300)을 형성한다. Next, as can be seen in Figure 4b, the
상기 전면전극층(300)은 ZnO, ZnO:B, ZnO:Al, SnO2, SnO2:F 또는 ITO(Indium Tin Oxide) 등과 같은 투명한 도전물질을 이용하여 적층하며, 그 표면은 요철구조로 형성한다. The
이와 같이 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층(300)을 형성하는 방법으로는, MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)공정과 같은 증착공정시 증착조건을 적절히 조절함으로써 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층을 직접 형성하는 방법, 또는 스퍼터링(Sputtering)공정과 같은 증착공정을 통해 균일한 표면의 전면전극층을 형성한 후 식각공정을 통해 그 표면을 요철구조로 형성하는 방법이 있다. 상기 식각공정으로는 포토리소그라피법(photolithography)을 이용한 식각공정, 화학용액을 이용한 이방성 식각공정(anisotropic etching), 또는 기계적 스크라이빙(mechanical scribing)을 이용한 식각공정 등을 이용할 수 있다. As such a method of forming the
전술한 바와 같이, 전면전극(300) 표면의 요철구조는 이후 공정에서 형성할 반도체층 및 투명도전층에 결함이 생기지 않을 정도로 작게 조절하는 것이 바람직하다. As described above, the uneven structure of the surface of the
다음, 도 4c에서 알 수 있듯이, 상기 전면전극층(300) 상에 반도체층(400)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 4C, the
상기 반도체층(400)은 실리콘계의 비정질 반도체물질을 플라즈마 CVD법 등을 이용하여 P형 반도체층, I형 반도체층, 및 N형 반도체층을 순서대로 적층한 PIN구조로 형성할 수 있다. The
다음, 도 4d에서 알 수 있듯이, 상기 반도체층(400) 상에 투명도전층(500)을 형성한다. Next, as can be seen in Figure 4d, to form a transparent
상기 투명도전층(500)은 ZnO, ZnO:B, ZnO:Al, SnO2, SnO2:F 또는 ITO(Indium Tin Oxide) 등과 같은 투명한 도전물질을 스퍼터링(Sputtering)법 또는 MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)법 등을 이용하여 적층하여 형성할 수 있다. 상기 투명도전층(500) 형성공정은 생략이 가능하다. The transparent
다음, 도 4e에서 알 수 있듯이, 상기 투명도전층(500) 상에 후면전극층(600)을 형성한다. Next, as can be seen in Figure 4e, to form a
상기 후면전극층(600)은 Ag, Al, Ag+Mo, Ag+Ni, Ag+Cu 과 같은 금속을 스퍼터링(Sputtering)법 또는 인쇄법 등을 이용하여 적층하여 형성할 수 있다.
The
이상은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막형 태양전지 및 그 제조방법에 대해서 설명하였는데, 본 발명이 전술한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 특히, 전술한 실시예는 소위 싱글(single)구조의 박막형 태양전지에 관한 것으로서, 본 발명은 대면기판 적용시 복수개의 단위셀로 분리하고 복수개의 단위셀을 직렬로 연결한 구조에도 적용가능하고, 버퍼층을 사이에 두고 반도체층을 이층으로 구성한 소위 탠던(tandem)구조에도 적용가능하다.The foregoing has described the thin film solar cell and its manufacturing method according to an embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to the above-described embodiment. In particular, the above-described embodiment relates to a so-called single structure thin film solar cell, and the present invention is applicable to a structure in which a plurality of unit cells are separated and a plurality of unit cells are connected in series when the facing substrate is applied. It is also applicable to a so-called tandem structure in which a semiconductor layer is composed of two layers with a buffer layer interposed therebetween.
100: 기판 200: 광산란막
220: 비드 240: 바인더
222: 코어부 224: 스킨부
300: 전면전극층 400: 반도체층
500: 투명도전층 600: 후면전극층100: substrate 200: light scattering film
220: Bead 240: Binder
222: core portion 224: skin portion
300: front electrode layer 400: semiconductor layer
500: transparent conductive layer 600: rear electrode layer
Claims (18)
상기 기판 상에 형성되며, 비드 및 상기 비드를 고정하는 바인더를 포함하여 이루어진 광산란막;
상기 광산란막 상에 형성되며, 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층;
상기 전면전극층 상에 형성된 반도체층; 및
상기 반도체층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어지고,
상기 요철구조는 상기 반도체층과 접하는 상기 전면전극층의 일면에 형성되고 상기 광산란막과 접하는 상기 전면전극층의 타면에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지. Board;
A light scattering film formed on the substrate and including a bead and a binder to fix the bead;
A front electrode layer formed on the light scattering film, the surface of which has a concave-convex structure;
A semiconductor layer formed on the front electrode layer; And
It comprises a back electrode layer formed on the semiconductor layer,
The uneven structure is formed on one surface of the front electrode layer in contact with the semiconductor layer and the thin film type solar cell, characterized in that not formed on the other surface of the front electrode layer in contact with the light scattering film.
상기 비드는 코어부 및 상기 코어부를 둘러싸고 있는 스킨부로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지. The method of claim 1,
The bead is a thin film solar cell, characterized in that consisting of a core portion and a skin portion surrounding the core portion.
상기 바인더는 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있고, 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있는 바인더는 상기 기판 및 전면전극층과 굴절율이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지.The method of claim 1,
The binder is in contact with the substrate and the front electrode layer, the binder in contact with the substrate and the front electrode layer is a thin film type solar cell, characterized in that the refractive index is different from the substrate and the front electrode layer.
상기 후면전극층 아래에 투명도전층이 추가로 형성된 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지. The method of claim 1,
Thin film solar cell, characterized in that the transparent conductive layer is further formed under the back electrode layer.
상기 반도체층은 버퍼층을 사이에 두고 구성된 제1 반도체층 및 제2 반도체층을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지. The method of claim 1,
The semiconductor layer is a thin film solar cell comprising a first semiconductor layer and a second semiconductor layer configured with a buffer layer interposed therebetween.
상기 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있고, 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있는 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 굴절율이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지.The method of claim 1,
The bead is in contact with the substrate and the front electrode layer, the bead in contact with the substrate and the front electrode layer is a thin film type solar cell, characterized in that the refractive index is different from the substrate and the front electrode layer.
상기 광산란막 상에 그 표면이 요철구조로 형성된 전면전극층을 형성하는 공정;
상기 전면전극층 상에 반도체층을 형성하는 공정; 및
상기 반도체층 상에 후면전극층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어지고,
상기 요철구조는 상기 반도체층과 접하는 상기 전면전극층의 일면에 형성되고 상기 광산란막과 접하는 상기 전면전극층의 타면에는 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법. Forming a light scattering film comprising a bead on the substrate and a binder to fix the bead;
Forming a front electrode layer having a concave-convex structure on a surface of the light scattering film;
Forming a semiconductor layer on the front electrode layer; And
Forming a back electrode layer on the semiconductor layer;
And the concave-convex structure is formed on one surface of the front electrode layer in contact with the semiconductor layer and is not formed on the other surface of the front electrode layer in contact with the light scattering film.
상기 비드는 코어부 및 상기 코어부를 둘러싸고 있는 스킨부로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법. The method of claim 10,
The bead is made of a thin film solar cell, characterized in that consisting of a core portion and a skin portion surrounding the core portion.
상기 바인더는 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있고, 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있는 바인더는 상기 기판 및 전면전극층과 굴절율이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법.The method of claim 10,
And the binder is in contact with the substrate and the front electrode layer, and the binder is in contact with the substrate and the front electrode layer and the refractive index is different from that of the substrate and the front electrode layer.
상기 후면전극층 형성 공정 이전에 투명도전층 형성공정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법. The method of claim 10,
The method of manufacturing a thin film solar cell further comprising a transparent conductive layer forming process before the back electrode layer forming process.
상기 반도체층은 버퍼층을 사이에 두고 구성된 제1 반도체층 및 제2 반도체층을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법. The method of claim 10,
The semiconductor layer is a method of manufacturing a thin-film solar cell, characterized in that it comprises a first semiconductor layer and a second semiconductor layer configured with a buffer layer interposed therebetween.
상기 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있고, 상기 기판 및 전면전극층과 접하고 있는 비드는 상기 기판 및 전면전극층과 굴절율이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지의 제조방법.The method of claim 10,
The bead is in contact with the substrate and the front electrode layer, the bead in contact with the substrate and the front electrode layer is a method of manufacturing a thin film solar cell, characterized in that the refractive index is different from the substrate and the front electrode layer.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150303 Year of fee payment: 5 |
|
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|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |