JPH11138471A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH11138471A JPH11138471A JP31600397A JP31600397A JPH11138471A JP H11138471 A JPH11138471 A JP H11138471A JP 31600397 A JP31600397 A JP 31600397A JP 31600397 A JP31600397 A JP 31600397A JP H11138471 A JPH11138471 A JP H11138471A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- permanent magnet
- armature winding
- longitudinal direction
- output shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 32
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトなウエハ搬送装置を提供する。
【解決手段】 中空状の胴体部１の中に収納した駆動モ
ータ２と、駆動モータ２によって駆動される出力軸２２
と、一方端を出力軸２２に固定した水平方向に伸びる第
１のアーム３と、第１のアーム３に沿って直線移動し、
先端部に把持装置６を設けた第２のアーム５とを備え、
第１のアーム３と第２のアーム５の間に第１のアーム３
の長手方向に沿って伸びる中間アーム４を設け、第１の
アーム３に設けた第１の永久磁石３１と中間アーム４に
設けたシート状の電機子巻線４１とにより中間アーム４
を駆動する第１のリニアモータ７Ａを形成し、電機子巻
線４１と第２のアーム５に設けた第２の永久磁石５１に
より第２のアーム５を駆動する第２のリニアモータ７Ｂ
を形成したものである。したがって、第１および第２ア
ームの長手方向の長さを従来構成のほぼ２／３に短くす
ることができる。
ータ２と、駆動モータ２によって駆動される出力軸２２
と、一方端を出力軸２２に固定した水平方向に伸びる第
１のアーム３と、第１のアーム３に沿って直線移動し、
先端部に把持装置６を設けた第２のアーム５とを備え、
第１のアーム３と第２のアーム５の間に第１のアーム３
の長手方向に沿って伸びる中間アーム４を設け、第１の
アーム３に設けた第１の永久磁石３１と中間アーム４に
設けたシート状の電機子巻線４１とにより中間アーム４
を駆動する第１のリニアモータ７Ａを形成し、電機子巻
線４１と第２のアーム５に設けた第２の永久磁石５１に
より第２のアーム５を駆動する第２のリニアモータ７Ｂ
を形成したものである。したがって、第１および第２ア
ームの長手方向の長さを従来構成のほぼ２／３に短くす
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造プロセ
スなどで使用されるウエハ搬送装置に関する。
スなどで使用されるウエハ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ウエハ搬送装置は、例えば図７
（ａ）平面図、（ｂ）側断面図に示すように構成されて
いるものが開示されている（例えば、特開平８−３３５
６２０号公報）。図において、１０は中空状の胴体部
で、上面に貫通穴１１０を設けてある。２０は胴体部１
０の中に収納した駆動モータ、２１０は駆動モータ２０
のモータ軸に連結された減速機、２２０は減速機の出力
軸で、貫通穴１１０から上方に突出してある。３０は水
平方向に伸びる第１のアームで、一方端を出力軸２２０
に固定してある。４０は第１のアーム３０の上面に設け
たリニアモータ、４１０は固定子で、長手方向に長いコ
ア４２０に配列した複数個のスロット４３０と、スロッ
ト４３０の中に装着した複数の電機子巻線４４０から構
成されている。４５０は固定子４１０に空隙を介して対
向する永久磁石からなる可動子である。５０は第１のア
ーム３０の長手方向に沿って伸びる第２のアームで、一
方端付近に可動子４５０を取り付けてある。６０は半導
体ウエハなどのワークＷを把持する把持装置である。こ
のような構成で、駆動モータ２０により第１のアーム３
０を旋回し、かつリニアモータ４０により第２のアーム
５０を直線移動することにより、ワークＷを第２のアー
ム５０の動作範囲内の任意の位置に搬送することができ
る。
（ａ）平面図、（ｂ）側断面図に示すように構成されて
いるものが開示されている（例えば、特開平８−３３５
６２０号公報）。図において、１０は中空状の胴体部
で、上面に貫通穴１１０を設けてある。２０は胴体部１
０の中に収納した駆動モータ、２１０は駆動モータ２０
のモータ軸に連結された減速機、２２０は減速機の出力
軸で、貫通穴１１０から上方に突出してある。３０は水
平方向に伸びる第１のアームで、一方端を出力軸２２０
に固定してある。４０は第１のアーム３０の上面に設け
たリニアモータ、４１０は固定子で、長手方向に長いコ
ア４２０に配列した複数個のスロット４３０と、スロッ
ト４３０の中に装着した複数の電機子巻線４４０から構
成されている。４５０は固定子４１０に空隙を介して対
向する永久磁石からなる可動子である。５０は第１のア
ーム３０の長手方向に沿って伸びる第２のアームで、一
方端付近に可動子４５０を取り付けてある。６０は半導
体ウエハなどのワークＷを把持する把持装置である。こ
のような構成で、駆動モータ２０により第１のアーム３
０を旋回し、かつリニアモータ４０により第２のアーム
５０を直線移動することにより、ワークＷを第２のアー
ム５０の動作範囲内の任意の位置に搬送することができ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、ワークＷの搬送ストロークを長くしたい場合、
リニアモータ４０のコア４２０および電機子巻線４４０
をストローク方向に長くする必要があり、第２アーム５
０を胴体部１０に最も近寄せたときに、ウエハ搬送装置
全体の長さが大きくなるという問題があった。本発明
は、リニアモータを２段に形成し、安価でコンパクトな
ウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
術では、ワークＷの搬送ストロークを長くしたい場合、
リニアモータ４０のコア４２０および電機子巻線４４０
をストローク方向に長くする必要があり、第２アーム５
０を胴体部１０に最も近寄せたときに、ウエハ搬送装置
全体の長さが大きくなるという問題があった。本発明
は、リニアモータを２段に形成し、安価でコンパクトな
ウエハ搬送装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、中空状の胴体部の中に収納した駆動モー
タと、前記駆動モータによって駆動される出力軸と、一
方端を前記出力軸に固定した水平方向に伸びる第１のア
ームと、前記第１のアームに沿って直線移動し、先端部
に把持装置を設けた第２のアームとを備えたウエハ搬送
装置において、前記第１のアームと前記第２のアームの
間に前記第１のアームの長手方向に沿って伸びる中間ア
ームを設け、前記第１のアームに設けた第１の永久磁石
と前記中間アームに設けたシート状の電機子巻線とによ
り前記中間アームを駆動する第１のリニアモータを形成
し、前記電機子巻線と前記第２のアームに設けた第２の
永久磁石により前記第２のアームを駆動する第２のリニ
アモータを形成したものである。また、前記第１の永久
磁石は、前記第１の永久磁石は、前記第１のアームの他
方端の上面に前記第１のアームの幅方向の片側に寄せて
長手方向に所定のピッチで異極を形成し、前記第２の永
久磁石は、前記第２のアームの下面に前記第１の永久磁
石と幅方向に所定の間隔をあけて反対側の片側に寄せて
長手方向に前記第１の永久磁石と同じピッチで異極を形
成し、前記電機子巻線は、前記第１のアームの幅とほぼ
同じ幅で巻回し、前記第１の永久磁石と同じピッチで長
手方向に配列して前記第１の永久磁石と空隙を介して対
向するようにシート状に形成し、前記電機子巻線の一方
の面に前記第１の永久磁石を空隙を介して対向させ、他
方の面に前記第２の永久磁石を空隙を介して対向させた
ものである。前記中間アームは、複数の前記電機子巻線
を一体に固着した絶縁樹脂部と、前記絶縁樹脂部の両側
を補強し、前記第１のアームに沿って摺動し得る非磁性
材料からなる両縁部とを設けたものである。したがっ
て、第１および第２アームの長手方向の長さを従来構成
のほぼ２／３に短くすることができる。
め、本発明は、中空状の胴体部の中に収納した駆動モー
タと、前記駆動モータによって駆動される出力軸と、一
方端を前記出力軸に固定した水平方向に伸びる第１のア
ームと、前記第１のアームに沿って直線移動し、先端部
に把持装置を設けた第２のアームとを備えたウエハ搬送
装置において、前記第１のアームと前記第２のアームの
間に前記第１のアームの長手方向に沿って伸びる中間ア
ームを設け、前記第１のアームに設けた第１の永久磁石
と前記中間アームに設けたシート状の電機子巻線とによ
り前記中間アームを駆動する第１のリニアモータを形成
し、前記電機子巻線と前記第２のアームに設けた第２の
永久磁石により前記第２のアームを駆動する第２のリニ
アモータを形成したものである。また、前記第１の永久
磁石は、前記第１の永久磁石は、前記第１のアームの他
方端の上面に前記第１のアームの幅方向の片側に寄せて
長手方向に所定のピッチで異極を形成し、前記第２の永
久磁石は、前記第２のアームの下面に前記第１の永久磁
石と幅方向に所定の間隔をあけて反対側の片側に寄せて
長手方向に前記第１の永久磁石と同じピッチで異極を形
成し、前記電機子巻線は、前記第１のアームの幅とほぼ
同じ幅で巻回し、前記第１の永久磁石と同じピッチで長
手方向に配列して前記第１の永久磁石と空隙を介して対
向するようにシート状に形成し、前記電機子巻線の一方
の面に前記第１の永久磁石を空隙を介して対向させ、他
方の面に前記第２の永久磁石を空隙を介して対向させた
ものである。前記中間アームは、複数の前記電機子巻線
を一体に固着した絶縁樹脂部と、前記絶縁樹脂部の両側
を補強し、前記第１のアームに沿って摺動し得る非磁性
材料からなる両縁部とを設けたものである。したがっ
て、第１および第２アームの長手方向の長さを従来構成
のほぼ２／３に短くすることができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例を示す平面図、図
２はその側断面図、図３は正面図である。図において、
１は中空状の胴体部で、上面に貫通穴１１を設けてあ
る。２は胴体部１の中に収納した駆動モータ、２１は駆
動モータ２のモータ軸に連結された減速機、２２は減速
機の出力軸で、貫通穴１１から上方に突出してある。３
は水平方向に伸びる第１のアームで、一方端を出力軸２
２に固定してある。３１は第１のアーム３の他方端の上
面に異極（Ｎ極、Ｓ極）が長手方向に所定のピッチで形
成された第１の永久磁石で、第１のアーム３の幅方向の
一方の片側に寄せて固定している。４は第１のアーム３
の上方に第１のアーム３の長手方向に沿って伸びる中間
アーム、４１は第１のアーム３の幅とほぼ同じ幅で巻回
した３相の電機子巻線で、第１の永久磁石３１のピッチ
と同じピッチで長手方向に配列し、電機子巻線４１の下
面は第１の永久磁石３１と空隙を介して対向している。
４２は複数の電機子巻線４１を一体に固着した絶縁樹脂
部、４３は絶縁樹脂部４２を補強する非磁性材料からな
る両縁部で、第１のアーム３に沿って摺動し得るように
してある。５は中間アーム４の上方に中間アーム４の長
手方向に沿って伸びる第２のアーム、５１は第２のアー
ム５の一方端の下面に第１の永久磁石３１と間隔Ｌをあ
けて反対側の片側に寄せて形成した第２の永久磁石で、
第２のアーム５の電機子巻線４１の上面に空隙を介して
対向している。すなわち、第１の永久磁石３１と電機子
巻線４１とで中間アーム４を直線移動させる第１のリニ
アモータ７Ａを構成し、第２の永久磁石５１と電機子巻
線４１とで第２のアームを直線移動させる第２のリニア
モータ７Ｂを構成している。６は半導体ウエハなどのワ
ークＷを把持する把持装置である。
いて説明する。図１は本発明の実施例を示す平面図、図
２はその側断面図、図３は正面図である。図において、
１は中空状の胴体部で、上面に貫通穴１１を設けてあ
る。２は胴体部１の中に収納した駆動モータ、２１は駆
動モータ２のモータ軸に連結された減速機、２２は減速
機の出力軸で、貫通穴１１から上方に突出してある。３
は水平方向に伸びる第１のアームで、一方端を出力軸２
２に固定してある。３１は第１のアーム３の他方端の上
面に異極（Ｎ極、Ｓ極）が長手方向に所定のピッチで形
成された第１の永久磁石で、第１のアーム３の幅方向の
一方の片側に寄せて固定している。４は第１のアーム３
の上方に第１のアーム３の長手方向に沿って伸びる中間
アーム、４１は第１のアーム３の幅とほぼ同じ幅で巻回
した３相の電機子巻線で、第１の永久磁石３１のピッチ
と同じピッチで長手方向に配列し、電機子巻線４１の下
面は第１の永久磁石３１と空隙を介して対向している。
４２は複数の電機子巻線４１を一体に固着した絶縁樹脂
部、４３は絶縁樹脂部４２を補強する非磁性材料からな
る両縁部で、第１のアーム３に沿って摺動し得るように
してある。５は中間アーム４の上方に中間アーム４の長
手方向に沿って伸びる第２のアーム、５１は第２のアー
ム５の一方端の下面に第１の永久磁石３１と間隔Ｌをあ
けて反対側の片側に寄せて形成した第２の永久磁石で、
第２のアーム５の電機子巻線４１の上面に空隙を介して
対向している。すなわち、第１の永久磁石３１と電機子
巻線４１とで中間アーム４を直線移動させる第１のリニ
アモータ７Ａを構成し、第２の永久磁石５１と電機子巻
線４１とで第２のアームを直線移動させる第２のリニア
モータ７Ｂを構成している。６は半導体ウエハなどのワ
ークＷを把持する把持装置である。
【０００６】ここで、本実施例の動作を説明する。図４
に示すように、電機子巻線４１を励磁すると、第１の永
久磁石３１と第２の永久磁石５１が電機子巻線４１の互
いに反対側に対向しているため、電機子巻線４１の電流
の方向に対して、それぞれ第１の永久磁石３１と第２の
永久磁石５１が受ける推力は逆方向になり、第１の永久
磁石は３１は図の右方向に移動し、第２の永久磁石５１
は左方向に移動する。その結果、第１の永久磁石３１を
固定した第１のアーム３は出力軸２２に固定してあるの
で移動せず、相対的に電機子巻線４１を設けた中間アー
ム４が左方向に移動し、更に第２のアームも左方向に移
動し、図６に示すように、第１のアーム３と第２のアー
ム５が重なった状態ではアームの長さ方向の大きさが小
さくなる。
に示すように、電機子巻線４１を励磁すると、第１の永
久磁石３１と第２の永久磁石５１が電機子巻線４１の互
いに反対側に対向しているため、電機子巻線４１の電流
の方向に対して、それぞれ第１の永久磁石３１と第２の
永久磁石５１が受ける推力は逆方向になり、第１の永久
磁石は３１は図の右方向に移動し、第２の永久磁石５１
は左方向に移動する。その結果、第１の永久磁石３１を
固定した第１のアーム３は出力軸２２に固定してあるの
で移動せず、相対的に電機子巻線４１を設けた中間アー
ム４が左方向に移動し、更に第２のアームも左方向に移
動し、図６に示すように、第１のアーム３と第２のアー
ム５が重なった状態ではアームの長さ方向の大きさが小
さくなる。
【０００７】また、第１の永久磁石３１と第２の永久磁
石５１は、電機子巻線４１の上と下にそれぞれ別れて配
置され、かつ、互いに幅方向の反対側に間隔Ｌを開けて
形成されているため、図５に示すように、第１の永久磁
石３１と第２の永久磁石５１が幅方向に並んだ位置に来
ても、第１の永久磁石３１と第２の永久磁石５１の漏洩
磁束の干渉が相互に生じることなく、中間アーム４、第
２のアーム５は円滑に移動することができる。さらに、
電機子巻線４１はシート状に形成され、第１のリニアモ
ータ７Ａと第２のリニアモータ７Ｂの両方の電機子巻線
の役割を果たしているので、アームの駆動機構が簡単と
なり、コストを低減できる。このような構成により、駆
動モータ２により第１のアーム３を旋回し、かつ第１の
リニアモータ７Ａにより中間アーム４を直線移動し、更
に第２のリニアモータ７Ｂにより第２のアームを直線移
動することにより、ワークＷを第２のアームの動作範囲
内の任意の位置に搬送することができる。
石５１は、電機子巻線４１の上と下にそれぞれ別れて配
置され、かつ、互いに幅方向の反対側に間隔Ｌを開けて
形成されているため、図５に示すように、第１の永久磁
石３１と第２の永久磁石５１が幅方向に並んだ位置に来
ても、第１の永久磁石３１と第２の永久磁石５１の漏洩
磁束の干渉が相互に生じることなく、中間アーム４、第
２のアーム５は円滑に移動することができる。さらに、
電機子巻線４１はシート状に形成され、第１のリニアモ
ータ７Ａと第２のリニアモータ７Ｂの両方の電機子巻線
の役割を果たしているので、アームの駆動機構が簡単と
なり、コストを低減できる。このような構成により、駆
動モータ２により第１のアーム３を旋回し、かつ第１の
リニアモータ７Ａにより中間アーム４を直線移動し、更
に第２のリニアモータ７Ｂにより第２のアームを直線移
動することにより、ワークＷを第２のアームの動作範囲
内の任意の位置に搬送することができる。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、固
定した第１のアームと把持装置を設けた第２のアームの
間に、２段のリニアモータの電機子巻線を設けた中間ア
ームを設け、電機子巻線を二つのリニアモータに共通に
使用し、それぞれのリニアモータの永久磁石の漏洩磁束
の干渉をなくした構成により、アームの長手方向の長さ
を従来構成のほぼ２／３にすることができ、かつコスト
を低減できるので、動作が安定した極めてコンパクトな
ウエハ搬送装置を提供できる効果がある。
定した第１のアームと把持装置を設けた第２のアームの
間に、２段のリニアモータの電機子巻線を設けた中間ア
ームを設け、電機子巻線を二つのリニアモータに共通に
使用し、それぞれのリニアモータの永久磁石の漏洩磁束
の干渉をなくした構成により、アームの長手方向の長さ
を従来構成のほぼ２／３にすることができ、かつコスト
を低減できるので、動作が安定した極めてコンパクトな
ウエハ搬送装置を提供できる効果がある。
【図１】 本発明の実施例を示す平面図である。
【図２】 本発明の実施例を示す側断面図である。
【図３】 本発明の実施例を示す正面図である。
【図４】 本発明の実施例の電機子巻線と永久磁石との
関係を示す（ａ）平面図および（ｂ）側面図である。
関係を示す（ａ）平面図および（ｂ）側面図である。
【図５】 本発明の実施例の動作後の電機子巻線と永久
磁石との関係を示す（ａ）平面図および（ｂ）側面図で
ある。
磁石との関係を示す（ａ）平面図および（ｂ）側面図で
ある。
【図６】 本発明の実施例の動作後の状態を示す側断面
図である。
図である。
【図７】 従来例を示す（ａ）平面図および（ｂ）側断
面図である。
面図である。
１：胴体部、１１：貫通穴、２：駆動モータ、２１：減
速機、２２：出力軸、３：第１のアーム、３１：第１の
永久磁石、４：中間軸、４１：電機子巻線、４２：絶縁
樹脂部、４３：両縁部、５：第２のアーム、５１：第２
の永久磁石、６：把持装置、７Ａ：第１のリニアモー
タ、７Ｂ：第２のリニアモータ
速機、２２：出力軸、３：第１のアーム、３１：第１の
永久磁石、４：中間軸、４１：電機子巻線、４２：絶縁
樹脂部、４３：両縁部、５：第２のアーム、５１：第２
の永久磁石、６：把持装置、７Ａ：第１のリニアモー
タ、７Ｂ：第２のリニアモータ
Claims (3)
- 【請求項１】 中空状の胴体部の中に収納した駆動モー
タと、前記駆動モータによって駆動される出力軸と、一
方端を前記出力軸に固定した水平方向に伸びる第１のア
ームと、前記第１のアームに沿って直線移動し、先端部
に把持装置を設けた第２のアームとを備えたウエハ搬送
装置において、 前記第１のアームと前記第２のアームの間に前記第１の
アームの長手方向に沿って伸びる中間アームを設け、前
記第１のアームに設けた第１の永久磁石と前記中間アー
ムに設けたシート状の電機子巻線とにより前記中間アー
ムを駆動する第１のリニアモータを形成し、前記電機子
巻線と前記第２のアームに設けた第２の永久磁石により
前記第２のアームを駆動する第２のリニアモータを形成
したことを特徴とするウエハ搬送装置。 - 【請求項２】 前記第１の永久磁石は、前記第１のアー
ムの他方端の上面に前記第１のアームの幅方向の片側に
寄せて長手方向に所定のピッチで異極を形成し、前記第
２の永久磁石は、前記第２のアームの下面に前記第１の
永久磁石と幅方向に所定の間隔をあけて反対側の片側に
寄せて長手方向に前記第１の永久磁石と同じピッチで異
極を形成し、前記電機子巻線は、前記第１のアームの幅
とほぼ同じ幅で巻回し、前記第１の永久磁石と同じピッ
チで長手方向に配列して前記第１の永久磁石と空隙を介
して対向するようにシート状に形成し、前記電機子巻線
の一方の面に前記第１の永久磁石を空隙を介して対向さ
せ、他方の面に前記第２の永久磁石を空隙を介して対向
させたことを特徴とする請求項１記載のウエハ搬送装
置。 - 【請求項３】 前記中間アームは、複数の前記電機子巻
線を一体に固着した絶縁樹脂部と、前記絶縁樹脂部の両
側を補強し、前記第１のアームに沿って摺動し得る非磁
性材料からなる両縁部とを設けたことを特徴とする請求
項１または２記載のウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31600397A JP3931321B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31600397A JP3931321B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11138471A true JPH11138471A (ja) | 1999-05-25 |
| JP3931321B2 JP3931321B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
ID=18072167
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31600397A Expired - Fee Related JP3931321B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3931321B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007034561A1 (ja) * | 2005-09-26 | 2007-03-29 | Toshiaki Shimada | 産業用ロボット |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105922244B (zh) * | 2016-06-04 | 2018-05-01 | 上海大学 | 一种线驱动的曲率连续变化机器人 |
-
1997
- 1997-10-31 JP JP31600397A patent/JP3931321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007034561A1 (ja) * | 2005-09-26 | 2007-03-29 | Toshiaki Shimada | 産業用ロボット |
| JPWO2007034561A1 (ja) * | 2005-09-26 | 2009-03-19 | 利晃 島田 | 産業用ロボット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3931321B2 (ja) | 2007-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0734646B2 (ja) | リニアモータ | |
| EP1198055B1 (en) | Linear motor, driving and control system thereof and manufacturing method thereof | |
| JP2003209963A (ja) | リニアモータ | |
| JP2002238241A (ja) | リニアモータ | |
| JP2002165434A (ja) | コアレスリニアモータ | |
| JP2001211630A (ja) | リニアスライダ | |
| JPH11313475A (ja) | リニアモータ | |
| JP3931321B2 (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JP3175554B2 (ja) | 直流リニアモータ | |
| JP3215335B2 (ja) | リニア電磁型マイクロアクチュエータ | |
| JP2003134791A (ja) | 永久磁石形同期リニアモータ | |
| JP2789543B2 (ja) | Ｘｙテーブル | |
| JP3357541B2 (ja) | 可動磁石型リニアモータ | |
| JP4513116B2 (ja) | リニアモータ | |
| JPH06165470A (ja) | リニアモータ | |
| JP2004289895A (ja) | リニアモータ | |
| JP2822644B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP7691811B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP3830479B2 (ja) | リニアステッピングモータ | |
| JP2528915B2 (ja) | 直流リニアモ―タ | |
| JPH08140330A (ja) | 可動磁石形リニアモータ | |
| JPS5980150A (ja) | リニアパルスモ−タ | |
| JP2005057822A (ja) | リニアモータ | |
| JPS5843428Y2 (ja) | 直線運動電動機 | |
| JP2004260945A (ja) | リニアモータおよびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040910 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20061006 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20061016 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20061129 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20070219 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070304 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110323 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120323 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |