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JP7223171B2 - 金属箔の溶接方法 - Google Patents

金属箔の溶接方法 Download PDF

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JP7223171B2 JP2021567739A JP2021567739A JP7223171B2 JP 7223171 B2 JP7223171 B2 JP 7223171B2 JP 2021567739 A JP2021567739 A JP 2021567739A JP 2021567739 A JP2021567739 A JP 2021567739A JP 7223171 B2 JP7223171 B2 JP 7223171B2
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Description

本発明は、金属箔の溶接方法に関する。
従来、金属箔の溶接方法として、特別な治具を用いることによりスパッタやブローホールの抑制を図る技術や(例えば、特許文献1)、複数のビームを組み合わせることによりブローホールを抑制する技術(例えば、特許文献2)などが、知られている。
特開2016-30280号公報 特開2015-217422号公報
しかしながら、特許文献1,2のような金属箔の溶接方法にあっては、溶接の手間やコストが増大する虞があった。
そこで、本発明の課題の一つは、例えば、手間やコストを抑制することが可能な金属箔の溶接方法を得ること、である。
本発明の金属箔の溶接方法は、例えば、複数の金属箔を重ね合わせる第一工程と、400nm以上でありかつ500nm以下である波長のレーザ光を照射することにより重ね合わせられた前記複数の金属箔を溶接する第二工程と、を備える。
前記金属箔の溶接方法では、前記金属箔は、銅箔であってもよい。
前記金属箔の溶接方法において、前記第二工程では、重ね合わせられた前記複数の金属箔と、前記レーザ光を出射するレーザ装置の出射部とを、相対的に動かすことにより、線状の溶接部位を形成してもよい。
前記金属箔の溶接方法では、溶接条件指標Eを、次の式(1)E=(P-P)/v・d ・・・(1)(ここに、Pは、前記レーザ装置によるレーザ光のパワー、Pは、重ね合わせられた前記複数の金属箔と前記出射部とが相対的に静止した状態で重ね合わせられた前記複数の金属箔を前記レーザ光が貫通する当該レーザ光のパワーの最小値、vは、重ね合わせられた前記複数の金属箔と前記出射部との相対的な移動速度、dは、レーザ光のスポット径)としたとき、前記第二工程において、当該溶接条件指標Eが、重ね合わせられた前記複数の金属箔の前記出射部とは反対側の面に溶接痕が出現する状態となる下限値以上であり、かつ重ね合わせられた前記複数の金属箔を前記レーザ光が通り抜け穴があく状態となる上限値よりも小さくなる溶接条件で、溶接を実行してもよい。
前記金属箔の溶接方法では、レーザ光Lのパワーを加工対象の表面におけるレーザ光のスポット面積で除算したパワー密度の、重ね合わせられた前記複数の金属箔と前記出射部との相対的な移動速度による微分値としての傾き指標が、3×10-3以上かつ16×10-3未満であってもよい。
前記金属箔の溶接方法では、前記傾き指標が、6×10-3以上10×10-3未満であってもよい。
本発明によれば、例えば、手間やコストを抑制することが可能な金属箔の溶接方法を得ることができる。
図1は、実施形態の金属箔の溶接方法を示すフローチャートである。 図2は、実施形態の金属箔の溶接システムの例示的な模式図である。 図3は、照射するレーザ光の波長に対する各金属材料の光の吸収率を示すグラフである。 図4は、実施形態の金属箔の溶接方法におけるレーザ光の状態とそれに対応する加工対象の溶融状態の断面とを示す例示的な模式図である。 図5は、比較例の金属箔の溶接方法におけるレーザ光の状態とそれに対応する加工対象の溶融状態の断面とを示す例示的な模式図である。 図6は、実施形態の金属箔の溶接方法における光学ヘッドと重ね合わせられた複数の金属箔との相対速度と、レーザ光のパワー密度と、溶接状態との関係を示す例示的なグラフである。 図7は、実施形態の金属箔の溶接方法における溶接条件指標と、溶接状態との関係を示す例示的な図である。 図8は、実施形態の金属箔の溶接方法によって重ね合わせられた状態で溶接された複数の金属箔の表面を示す写真である。 図9は、実施形態の金属箔の溶接方法によって重ね合わせられた状態で溶接された複数の金属箔の裏面を示す写真である。 図10は、実施形態の金属箔の溶接方法によって重ね合わせられた状態で溶接された複数の金属箔の溶接部位の断面を示す写真である。
以下、本発明の例示的な実施形態および変形例が開示される。以下に示される実施形態および変形例の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果(効果)は、一例である。本発明は、以下の実施形態および変形例に開示される構成以外によっても実現可能である。また、本発明によれば、構成によって得られる種々の効果(派生的な効果も含む)のうち少なくとも一つを得ることが可能である。
以下に示される実施形態および変形例は、同様の構成を備えている。よって、各実施形態および変形例の構成によれば、当該同様の構成に基づく同様の作用および効果が得られる。また、以下では、それら同様の構成には同様の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される場合がある。
本明細書において、序数は、部品や、部位、工程等を区別するために便宜上付与されており、優先順位や順番を示すものではない。
また、各図において、X方向を矢印Xで表し、Y方向を矢印Yで表し、Z方向を矢印Zで表す。X方向、Y方向、およびZ方向は、互いに交差するとともに互いに直交している。なお、X方向は、長手方向、相対移動方向、あるいは掃引方向とも称され、Y方向は、短手方向あるいは幅方向とも称され、Z方向は、厚さ方向あるいは表面(被照射面)に対する垂直方向とも称されうる。
[第1実施形態]
[溶接方法および溶接システム]
図1は、実施形態の金属箔の溶接方法を示すフローチャートである。また、図2は、金属箔の溶接システム100の模式図である。
図1に示されるように、本実施形態では、まず、複数の金属箔を重ね合わせて仮留めし(S1、第一工程)、その後、重ね合わせられた状態で仮留めされた複数の金属箔にレーザ光Lを照射することにより当該複数の金属箔を溶接する(S2、第二工程)。なお、以下では、重ね合わせられた複数の金属箔を、単に加工対象Wと称する。
図2に示されるように、加工対象Wにおいて、各金属箔は、Z方向に薄く、X方向およびY方向に延びた状態で、Z方向に重ね合わせられている。本実施形態では、二つの保持部材140が、Z方向の両側から挟んだ状態で、加工対象Wを保持している。保持部材140は、固定治具や、固定装置とも称されうる。
金属箔は、一例として、積層型リチウムイオン電池のような二次電池の電極板であり、溶接された加工対象Wは、当該電池の正極または負極の集電箔となる。この場合、金属箔の厚さは、2~20[μm]程度であり、加工対象Wの厚さは、例えば、0.2[mm]程度である。
保持部材140には、開口140aが設けられている。開口140aからは、加工対象Wの表面Waが露出している。開口140aは、X方向に延びたスリット状、言い換えると細長い長方形状、あるいは帯状の形状を有している。ここで、加工対象Wの表面Waは、開口140aを介して、光学ヘッド120と面している。また、裏面Wbは、表面Waに対して、光学ヘッド120とは反対側の面である。
図2に示されるように、溶接システム100は、レーザ装置110と、光学ヘッド120と、レーザ装置110と光学ヘッド120とを接続する光ファイバ130と、保持部材140とを備えている。加工対象Wは、金属箔を複数枚重ね合わせて構成されている。個々の金属箔の厚さは例えば2~20[μm]であるが特に限定はされない。また、金属箔の枚数は例えば10~100であるが特に限定はされない。金属箔は銅やアルミニウムを含むが、金属箔の材料は特に限定はされない。
レーザ装置110は、例えば数kWのパワーのレーザ光を出力できるように構成されている。例えば、レーザ装置110は、内部に複数の半導体レーザ素子を備え、当該複数の半導体レーザ素子の合計の出力として数kWのパワーのマルチモードのレーザ光を出力できるように構成することとしてもよい。また、レーザ装置110は、ファイバレーザ、YAGレーザ、ディスクレーザ等様々なレーザ光源を備えていてもよい。
光ファイバ130は、レーザ装置110から出力されたレーザ光を導波し、光学ヘッド120に入力させる。
保持部材140は、互いに隣接する二つの金属箔の間にできるだけ隙間が無いように加工対象Wを固定できることが好ましい。
光学ヘッド120は、レーザ装置110から光ファイバ130を経由して入力されたレーザ光Lを、加工対象Wに向けて出射する光学装置である。光学ヘッド120は、出射部の一例である。
光学ヘッド120は、コリメートレンズ121と集光レンズ122とを備えている。コリメートレンズ121は、入力されたレーザ光を平行光にするための光学系である。集光レンズ122は、平行光化されたレーザ光を集光し、レーザ光Lとして加工対象Wに照射するための光学系である。光学ヘッド120は、レーザ光LをZ方向の反対方向に出射する。レーザ光Lは、保持部材140の開口140aを通り、加工対象Wの表面Waに照射される。表面Waは、被照射面とも称されうる。
溶接システム100は、光学ヘッド120と加工対象Wすなわち加工対象Wを保持する保持部材140との相対位置を変更可能に構成されている。これにより、加工対象Wの表面Wa上で、レーザ光Lの照射位置が移動する。これにより、レーザ光Lは、表面Wa上を掃引される。
光学ヘッド120と加工対象Wとの相対移動は、光学ヘッド120の単独、加工対象W(保持部材140)の単独、あるいは光学ヘッド120および加工対象Wの双方を移動する移動機構(不図示)により、実現されうる。なお、本実施形態では、光学ヘッド120および加工対象Wは、スリット状の開口140aが延びる方向、すなわちX方向に、相対移動する。
[波長と光の吸収率、溶融状態]
ここで、金属材料の光の吸収率について説明する。図3は、照射するレーザ光Lの波長に対する各金属材料の光の吸収率を示すグラフである。図3のグラフの横軸は波長であり、縦軸は吸収率である。図3には、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、銀(Ag)、タンタル(Ta)、およびチタン(Ti)について、波長と吸収率との関係が示されている。
材料によって特性が異なるものの、図3に示されている各金属に関しては、一般的な赤外線(IR)のレーザ光Lを用いるよりも、青や緑のレーザ光Lを用いた方が、エネルギの吸収率がより高いことが理解できよう。この特徴は、銅(Cu)や、金(Au)等においては顕著となる。
図4は、本実施形態において、レーザ光LAの波長で吸収率が比較的高い加工対象Wにレーザ光LAが照射された場合の当該レーザ光LAの状態(パワー分布)と、それに対応する加工対象Wの溶融状態を示す断面と、を示す。他方、図5は、比較例において、レーザ光LBの波長で吸収率が低い加工対象Wにレーザ光LBが照射された場合の当該レーザ光LBの状態(パワー分布)と、それに対応する加工対象Wの溶融状態を示す断面と、を示す。
図5に示されるように、使用波長に対して吸収率が比較的低い加工対象Wにレーザ光LBが照射された場合、大部分の光エネルギは反射され、加工対象に熱としての影響を及ぼさない。そのため、十分な深さの溶融領域を得るには比較的高いパワーを与える必要がある。その場合、ビーム中心部は急激にエネルギが投入されることで、昇華が生じ、キーホールKHが形成される。符号Paは溶融領域を示している。このようなキーホールKHおよび溶融領域Paが形成される溶融状態では、加工対象Wが重ね合わせられた複数の金属箔である場合には、加工対象Wの溶断に繋がる虞がある。
これに対し、図4に示されるように、使用波長に対して吸収率が比較的高い加工対象Wにレーザ光LAが照射された場合、投入されるエネルギの多くが加工対象に吸収され、熱エネルギへと変換される。すなわち、過度なパワーを与える必要はないため、キーホールの形成を伴わず、熱伝導型の溶融となる。図4に示される場合では、溶融領域Paが比較的広くなり、熱伝導型の溶融状態が得られている。
そこで、本実施形態では、溶接部位が図4に示されるような吸収率が比較的高い状態となるよう、加工対象Wに対して、好適な波長のレーザ光LA(L)が選択される。なお、工程S2における溶融領域Paは、冷却固化された後においては、加工対象Wの表面Wa、裏面Wb、および断面において、溶接痕として視認することができる。溶融領域Paは、溶接金属や、溶接部位とも称されうる。
図3から、加工対象Wの材質が、銅(Cu)や、金(Au)等である場合、言い換えると、金属箔が、銅箔や金箔である場合、第二工程において、具体的には、300[nm]から600[nm]までの間の波長のレーザ光Lを用いることが好適であり、400[nm]から500[nm]までの間の波長のレーザ光Lを用いるのがより好適であることが理解できよう。
[溶接条件]
図6,7は、種々の条件で実験を行った結果を示している。図6は、光学ヘッド120と加工対象Wとの相対速度と、照射したレーザ光Lのパワー密度と、加工対象Wにおける溶接状態と、の関係を示すグラフである。図6におけるパワー密度の単位は[MW/cm]であり、相対速度の単位は[mm/s]である。図7は、溶接条件指標E(後述)と、加工対象Wにおける溶接状態と、の関係を示す図である。ここで、パワー密度は、レーザ光Lのパワーを加工対象Wの表面Waにおけるレーザ光Lのスポット面積で除算した値である。なお、以下では、光学ヘッド120と加工対象Wとの相対速度は、単に相対速度と称され、照射したレーザ光Lのパワー密度は、単にパワー密度と称される。
図6および図7の実験では、レーザ光Lとして、波長450[nm]の青色レーザ光を用いた。出力するパワーの範囲は、100~500[W]で変化させ、相対速度の範囲は、1~80[mm/s]で変化させた。また、加工対象Wは、銅板であり、銅板の厚さは、0.2[mm]である。なお、図6,7の実験は、銅板について行われたが、いくつかの条件において、厚さが同じである場合、密着状態で重ね合わせられた複数の銅箔と銅板とが略同じ結果となることが、確認されている。
図6,7において、「溶断」とは、照射されたレーザ光Lが加工対象Wを通り抜け当該レーザ光Lによって穴があき加工対象Wが破断してしまった場合を示す。「貫通溶接」とは、レーザ光Lによる溶融領域Paが加工対象Wの表面Waと裏面Wbとの間を貫通した状態となりかつ穴はあいていない場合を示す。「部分貫通」とは、レーザ光Lによる溶融領域Paが加工対象Wの表面Waと裏面Wbとの間を掃引区間において部分的に貫通している状態であり、複数の金属箔の溶接状態としては不完全である状態を示す。また、「非貫通」とは、レーザ光Lによる溶融領域Paが加工対象Wの表面Waから裏面Wbに到達しなかった状態を示す。加工対象Wは、重ね合わせられた複数の金属箔であるから、「貫通溶接」が所望の状態であり、「部分貫通」および「非貫通」は、溶接が不完全な状態であり、「溶断」は、溶接不良の状態である。
発明者らは、実験結果に基づく鋭意研究により、図6のグラフにおいて、
(1)非貫通および部分貫通の領域An1(第一不可領域)と、貫通溶接の領域Ao(良好領域)とが、1次関数の境界線B2によって区分できること、
(2)溶断の領域An2(第二不可領域)と、貫通溶接の領域Ao(良好領域)とが、1次関数の境界線B1によって区分できること、および
(3)境界線B1と境界線B2とが、図6の縦軸における共通の切片Iを通ること、
を見出した。なお、切片Iの値はたとえば約0.32[MW/cm]である。
そこで、図6の境界線B1,B2の傾き、すなわち、相対速度の増分に対するパワー密度の増分の比、言い換えるとパワー密度の相対速度による微分値を、「傾き指標(S)」と称し、傾き指標Sの大きさ(Smin<S<Smax)によって領域Aoの範囲を設定できることが明らかとなった。図6において境界線B2はSminに対応し、Sminは約2×10-3[(MW/cm)/(mm/s)]である。境界線B1はSmaxに対応し、Smaxは約16×10-3[(MW/cm)/(mm/s)]である。図6において、領域Ao内に黒丸で示す、実験を行った条件を示すデータ点Tの座標は、(40,0.5)である。
図7では、傾き指標Sが0以上2×10-3未満は非貫通であり、記号「×」で表している。傾き指標Sが2×10-3以上3×10-3未満は部分貫通であり、記号「△」で表している。傾き指標Sが3×10-3以上6×10-3未満は貫通溶接であり、記号「〇」で表している。傾き指標Sが6×10-3以上10×10-3未満は貫通溶接において特に良好な溶接状態であり、記号「◎」で表している。傾き指標Sが10×10-3以上16×10-3未満は貫通溶接であり、記号「〇」で表している。傾き指標Sが16×10-3以上は溶断であり、記号「×」で表している。
上述した図6および図7に基づく傾き指標Sの範囲の設定は、以下の式(1)の溶接条件指標Eの範囲の設定と等価である。すなわち、発明者らは、
E=(P-P)/v・d ・・・(1)
(ここに、Pは、レーザ装置110によるレーザ光のパワー、Pは、重ね合わせられた複数の金属箔(加工対象W)と光学ヘッド120(出射部)とが相対的に静止した状態で重ね合わせられた複数の金属箔をレーザ光Lが貫通する当該レーザ光のパワーの最小値、vは、重ね合わせられた複数の金属箔と光学ヘッド120との相対的な移動速度(相対速度)、dは、レーザ光Lの表面Waにおけるスポット径(直径))としたとき、工程S2における溶接が、溶接条件指標Eが下限値Emin以上でありかつ上限値Emax未満となる溶接条件で実行された場合に、全て貫通溶接、すなわち領域Aoとなることが確認された。ここで、下限値Eminは、重ね合わせられた複数の金属箔(加工対象W)の裏面Wbに溶接痕が微小サイズで出現する状態となる定数(一定値)である。また、上限値Emaxは、重ね合わせられた複数の金属箔(加工対象W)をレーザ光Lが通り抜け穴があく状態となる定数(一定値)である。なお、レーザ光のパワーPは、パワー密度に当該スポットの面積を乗算した値である。よって、溶接条件指標Eは、傾き指標S、すなわち図6のグラフの傾きに対応している。言い換えると、溶接条件指標Eは、傾き指標Sの関数である。また、最小値Pは、切片Iに対応している。最小値P(切片I)は、環境条件や、加工対象Wの物性に応じて異なる値となる。
図8は、実施形態の金属箔の溶接方法によって重ね合わせられた状態で溶接された複数の金属箔(加工対象W)の表面Waを示す写真であり、図9は、図8と同じ複数の金属箔の裏面Wbを示す写真であり、図10は、同じ複数の金属箔の溶接部位(溶融領域Pa)の断面を示す写真である。図8~10に示されるように、本実施形態によれば、表面Waおよび裏面Wbにおいて孔や破れの無い、良好な重ね合わせ溶接が実現できた。
以上、説明したように、本実施形態では、金属箔の溶接方法は、複数の金属箔を重ね合わせる第一工程(S1)と、400[nm]以上でありかつ500[nm]以下である波長のレーザ光Lを照射することにより重ね合わせられた複数の金属箔(加工対象W)を溶接する第二工程(S2)と、を備える。
このような方法によれば、例えば、照射するレーザ光Lの波長の適宜な設定により熱伝導型の溶接を実行することができるので、孔や破れの無い、良好な溶接状態が得られる。また、これにより、従来方法に比べて、複数の金属箔の溶接に要する手間やコストを抑制することができる。
また、本実施形態では、金属箔は、銅箔である。
波長が400[nm]以上でありかつ500[nm]以下であるレーザ光Lを照射して溶接することにより良好な溶接状態が得られるという効果は、加工対象Wが銅である場合、すなわち、金属箔が銅箔である場合に、より顕著である。
また、本実施形態では、工程S2(第二工程)では、重ね合わせられた複数の金属箔(加工対象W)と、レーザ光Lを出射する光学ヘッド120(出射部)とを、相対的に動かすことにより、線状の溶接部位(溶融領域Pa)を形成する。
波長が400[nm]以上でありかつ500[nm]以下であるレーザ光Lを照射して溶接することにより良好な溶接状態が得られるという効果は、重ね合わせられた複数の金属箔(加工対象W)と、レーザ光Lを出射する光学ヘッド120(出射部)とを、相対的に動かすことにより、線状の溶融領域Paを形成する場合において、得ることができる。
また、本実施形態では、溶接条件指標Eを、次の式(1)
E=(P-P)/v・d ・・・(1)
としたとき、工程S2において、当該溶接条件指標Eが、加工対象Wの光学ヘッド120とは反対側の裏面Wbに溶接痕が出現する状態となる下限値Emin以上であり、かつ加工対象Wをレーザ光Lが通り抜け穴があく状態となる上限値Emaxよりも小さくなる溶接条件で、溶接を実行する。
このような方法によれば、例えば、式(1)を満たすように各条件を設定することにより、良好な溶接状態を得ることができる。すなわち、例えば、工程S2において良好な溶接状態が得られるような、各条件の設定や変更を、より迅速にあるいはより容易に実行することができる。
以上、本発明の実施形態が例示されたが、上記実施形態は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、各構成や、形状、等のスペック(構造や、種類、方向、型式、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等)は、適宜に変更して実施することができる。
例えば、複数の金属箔は、銅箔には限定されない。また、重ね合わせられた状態で溶接された複数の金属箔は、電池の電極以外に適用することも可能である。
また、加工対象に対してレーザ光を掃引する際に、公知のウォブリングやウィービングや出力変調等により掃引を行い、溶融池の表面積を調節するようにしてもよい。
また、加工対象は、めっき付き金属板のように、金属の表面に薄い他の金属の層が存在するものでもよい。
本発明は、金属箔の溶接に利用することができる。
100…溶接システム
110…レーザ装置
120…光学ヘッド(出射部)
121…コリメートレンズ
122…集光レンズ
130…光ファイバ
140…保持部材
140a…開口
An1…領域(第一不可領域)
An2…領域(第二不可領域)
Ao…領域(良好領域)
B1…境界線
B2…境界線
d…スポット径
Emin…下限値
Emax…上限値
E…溶接条件指標
…切片
KH…キーホール
L,LA,LB…レーザ光
P…(レーザ光の)パワー
…(加工対象を貫通するレーザ光のパワーの)最小値
Pa…溶融領域(溶接部位、溶接痕)
S…傾き指標
Smin…(傾き指標の)下限値
Smax…(傾き指標の)上限値
S1…工程(第一工程)
S2…工程(第二工程)
v…移動速度(相対移動速度)
W…加工対象
Wa…表面
Wb…裏面
X…方向(長手方向、相対移動方向、掃引方向)
Y…方向(短手方向、幅方向)
Z…方向(厚さ方向あるいは照射面に対する垂直方向)

Claims (4)

  1. 複数の金属箔を重ね合わせる第一工程と、
    400nm以上でありかつ500nm以下である波長のレーザ光を照射することにより重ね合わせられた前記複数の金属箔を溶接する第二工程と、
    を備え
    前記第二工程では、重ね合わせられた前記複数の金属箔と、前記レーザ光を出射するレーザ装置の出射部とを、相対的に動かすことにより、線状の溶接部位を形成し、
    溶接条件指標Eを、次の式(1)
    E=(P-P )/v・d ・・・(1)
    (ここに、Pは、前記レーザ装置によるレーザ光のパワー、P は、重ね合わせられた前記複数の金属箔と前記出射部とが相対的に静止した状態で重ね合わせられた前記複数の金属箔を前記レーザ光が貫通する当該レーザ光のパワーの最小値、vは、重ね合わせられた前記複数の金属箔と前記出射部との相対的な移動速度、dは、レーザ光のスポット径)
    としたとき、
    前記第二工程において、当該溶接条件指標Eが、重ね合わせられた前記複数の金属箔の前記出射部とは反対側の面に溶接痕が出現する状態となる下限値以上であり、かつ重ね合わせられた前記複数の金属箔を前記レーザ光が通り抜け穴があく状態となる上限値よりも小さくなる溶接条件で、溶接を実行する、金属箔の溶接方法。
  2. 複数の金属箔を重ね合わせる第一工程と、
    400nm以上でありかつ500nm以下である波長のレーザ光を照射することにより重ね合わせられた前記複数の金属箔を溶接する第二工程と、
    を備え、
    前記第二工程では、重ね合わせられた前記複数の金属箔と、前記レーザ光を出射するレーザ装置の出射部とを、相対的に動かすことにより、線状の溶接部位を形成し
    レーザ光Lのパワーを加工対象の表面におけるレーザ光のスポット面積で除算したパワー密度の、重ね合わせられた前記複数の金属箔と前記出射部との相対的な移動速度による微分値としての傾き指標が、3×10-3以上かつ16×10-3未満である、金属箔の溶接方法。
  3. 前記傾き指標が、6×10-3以上10×10-3未満である、請求項に記載の金属箔の溶接方法。
  4. 前記金属箔は、銅箔である、請求項1~3のうちいずれか一つに記載の金属箔の溶接方法。
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