JP6932019B2 - Light emitting device - Google Patents
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Description
本発明は、発光装置に関し、特に、半導体発光素子を備える発光装置に関する。 The present invention relates to a light emitting device, and more particularly to a light emitting device including a semiconductor light emitting device.
近年、青色光を出力する発光ダイオードやレーザダイオード等の半導体発光素子が実用化されている。更には、波長の短い深紫外線を出力する発光素子の開発が進められている。深紫外線は高い殺菌能力を有することから、深紫外線の出力が可能な半導体発光素子は、医療や食品加工の現場における水銀フリーの殺菌用光源として注目されている。 In recent years, semiconductor light emitting devices such as light emitting diodes and laser diodes that output blue light have been put into practical use. Furthermore, development of a light emitting device that outputs deep ultraviolet rays having a short wavelength is underway. Since deep ultraviolet rays have high sterilizing ability, semiconductor light emitting devices capable of outputting deep ultraviolet rays are attracting attention as mercury-free sterilizing light sources in medical and food processing sites.
また、殺菌用を初めとする様々な光源での利用を考慮すれば、半導体発光素子自体の発光強度を高めることが重要であるが、一方で、半導体発光素子単体の性能ではなく発光装置全体としての性能の向上に着目した開発も進められている。 In addition, considering the use in various light sources such as for sterilization, it is important to increase the light emission intensity of the semiconductor light emitting device itself, but on the other hand, it is not the performance of the semiconductor light emitting device alone but the light emitting device as a whole. Development is also underway with a focus on improving the performance of the.
例えば、特許文献1には、発光ダイオード素子が発する光を反射する反射板を設けた発光ダイオードパッケージが開示されている。この構成によれば、発光ダイオード素子から正面側に出射した光のうち、そのままでは利用されない光を正面側に反射して利用できるため、パッケージ全体としての発光効率の向上が期待される。 For example, Patent Document 1 discloses a light emitting diode package provided with a reflector that reflects light emitted by a light emitting diode element. According to this configuration, among the light emitted from the light emitting diode element to the front side, the light that is not used as it is can be reflected to the front side and used, so that the luminous efficiency of the entire package is expected to be improved.
しかしながら、上述の発光ダイオードパッケージが備える反射板は、発光ダイオード素子から側方へ向かう光を反射するためのものであり、発光ダイオード素子から該素子が搭載される配線基板用基材へ向かう光を反射することはできない。 However, the reflector included in the above-mentioned light emitting diode package is for reflecting light laterally from the light emitting diode element, and the light directed from the light emitting diode element to the base material for the wiring substrate on which the element is mounted is transmitted. It cannot be reflected.
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その例示的な目的のひとつは、発光装置の発光効率を高める新たな技術を提供することにある。 The present invention has been made in view of these problems, and one of its exemplary purposes is to provide a new technique for increasing the luminous efficiency of a light emitting device.
上記課題を解決するために、本発明のある態様の発光装置は、半導体発光素子と、半導体発光素子を搭載する搭載用基板と、半導体発光素子から搭載用基板に向かう光を反射する反射部材と、を備える。 In order to solve the above problems, the light emitting device according to an embodiment of the present invention includes a semiconductor light emitting element, a mounting substrate on which the semiconductor light emitting element is mounted, and a reflecting member that reflects light from the semiconductor light emitting element toward the mounting substrate. , Equipped with.
この態様によると、半導体発光素子から搭載用基板に向かう光を利用することが可能となり、発光装置の発光効率を高めることができる。 According to this aspect, the light directed from the semiconductor light emitting element to the mounting substrate can be used, and the light emitting efficiency of the light emitting device can be improved.
反射部材は、半導体発光素子の光出射面を遮蔽しないように該半導体発光素子を取り囲むように配置されていてもよい。これにより、光出射面から正面に向かって出射する光を有効に利用できる。 The reflecting member may be arranged so as to surround the semiconductor light emitting element so as not to shield the light emitting surface of the semiconductor light emitting element. As a result, the light emitted from the light emitting surface toward the front can be effectively used.
反射部材は、半導体発光素子が配置される開口部が形成されていてもよい。これにより、半導体発光素子を搭載用基板に搭載してから反射部材を取り付けることができる。 The reflective member may be formed with an opening in which a semiconductor light emitting element is arranged. This makes it possible to mount the semiconductor light emitting element on the mounting substrate and then mount the reflective member.
半導体発光素子は、深紫外線を発するように構成されており、反射部材は、シリコン基材と、シリコン基材の一方の面に形成されたアルミニウムの反射層と、を有し、該反射層がシリコン基材を挟んで搭載用基板とは反対側に配置されていてもよい。これにより、深紫外線の反射率が高いアルミニウムの反射層によって、半導体発光素子から搭載用基板に向かう深紫外線を効率よく反射できる。 The semiconductor light emitting device is configured to emit deep ultraviolet rays, and the reflective member has a silicon base material and an aluminum reflective layer formed on one surface of the silicon base material, and the reflective layer has a silicon base material. It may be arranged on the side opposite to the mounting substrate with the silicon base material interposed therebetween. As a result, the aluminum reflective layer having a high reflectance of deep ultraviolet rays can efficiently reflect the deep ultraviolet rays from the semiconductor light emitting element toward the mounting substrate.
反射層は、半導体発光素子の光出射面よりも低い位置にある。これにより、例えば、半導体発光素子の側面から搭載用基板に向かう光を反射できる。 The reflective layer is located below the light emitting surface of the semiconductor light emitting device. Thereby, for example, the light directed from the side surface of the semiconductor light emitting device toward the mounting substrate can be reflected.
光出射面は、サファイア基板で構成されていてもよい。これにより、半導体発光素子を成長する際に利用する成長基板をそのまま光出射面として利用できる。 The light emitting surface may be made of a sapphire substrate. As a result, the growth substrate used for growing the semiconductor light emitting device can be used as it is as the light emitting surface.
搭載用基板は、セラミックからなるパッケージ基板であり、パッケージ基板は、半導体発光素子が載置される凹部を有してもよい。半導体発光素子は、凹部の底面に表面実装されていてもよい。これにより、半導体発光素子をワイヤボンディングによって搭載用基板に実装する場合と比較して、半導体発光素子の出射光や反射層による反射光がワイヤによって妨げられることがない。また、反射部材を取り付ける際にワイヤと干渉するといったことがなく、半導体発光素子を実装してから反射部材を取り付けることができる。 The mounting substrate is a package substrate made of ceramic, and the package substrate may have a recess on which a semiconductor light emitting element is placed. The semiconductor light emitting device may be surface-mounted on the bottom surface of the recess. As a result, the emitted light of the semiconductor light emitting element and the reflected light of the reflecting layer are not obstructed by the wire as compared with the case where the semiconductor light emitting element is mounted on the mounting substrate by wire bonding. Further, the reflective member can be attached after mounting the semiconductor light emitting element without interfering with the wire when attaching the reflective member.
反射部材を搭載用基板に固定する絶縁部を更に備えてもよい。これにより、反射部材と搭載用基板の導電部(例えば配線)との導通を防止できる。 An insulating portion for fixing the reflective member to the mounting substrate may be further provided. This makes it possible to prevent conduction between the reflective member and the conductive portion (for example, wiring) of the mounting substrate.
本発明の別の態様は、発光装置の製造方法である。この方法は、搭載用基板を準備する工程と、搭載用基板に半導体発光素子を搭載する工程と、半導体発光素子から搭載用基板に向かう光を反射するように反射部材を配置する工程と、を含む。 Another aspect of the present invention is a method of manufacturing a light emitting device. This method includes a step of preparing a mounting substrate, a step of mounting a semiconductor light emitting element on the mounting substrate, and a step of arranging a reflecting member so as to reflect light from the semiconductor light emitting element toward the mounting substrate. include.
この態様によると、発光効率の高い発光装置を製造できる。 According to this aspect, a light emitting device having high luminous efficiency can be manufactured.
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現をその他の方法、その他の装置、システムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。 It should be noted that any combination of the above components, the conversion of the expression of the present invention between other methods, other devices, systems and the like are also effective as aspects of the present invention.
本発明によれば、発光装置の発光効率を高めることができる。 According to the present invention, the luminous efficiency of the light emitting device can be increased.
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を適宜省略する。また、以下に述べる構成は例示であり、本発明の範囲を何ら限定するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same elements are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted as appropriate. Moreover, the configuration described below is an example, and does not limit the scope of the present invention at all.
(第1の実施の形態)
[発光装置]
図1は、第1の実施の形態に係る発光装置の概略構成を示す上面図である。図2は、図1に示す発光装置のA−A断面図である。なお、図1では、パッケージ基板の開口部を封止する窓部材の図示を省略している。
(First Embodiment)
[Light emitting device]
FIG. 1 is a top view showing a schematic configuration of a light emitting device according to the first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of the light emitting device shown in FIG. In FIG. 1, the window member that seals the opening of the package substrate is not shown.
発光装置10は、半導体発光素子12と、半導体発光素子12を搭載する搭載用基板としてのパッケージ基板14と、半導体発光素子12からパッケージ基板14の搭載面に向かう光を反射する反射部材16と、半導体発光素子12を駆動する際に電気的サージから半導体発光素子12を保護するためのツェナーダイオード18と、半導体発光素子12が収容されている空間を封止するための透光性の窓部材20と、を備える。
The
半導体発光素子12は、発光スペクトルのピーク波長λが約360nm以下となる「深紫外線」を発するように構成されるLED(Light Emitting Diode)チップである。このような波長の深紫外線を出力するため、半導体発光素子12は、バンドギャップが約3.4eV以上となる窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)系半導体材料で構成される。本実施の形態に係る半導体発光素子12は、特に、ピーク波長λが約240nm〜350nmの深紫外線を発するLEDチップである。
The semiconductor
半導体発光素子12は、透光性の成長基板であるサファイア基板22と、サファイア基板22上に成長した半導体積層構造24と、第1の素子電極26と、第2の素子電極28と、を有する。サファイア基板22の上面は光出射面22aとして機能する。これにより、半導体発光素子12を成長する際に利用する成長基板としてのサファイア基板22をそのまま光出射面として利用できる。
The semiconductor
半導体積層構造24は、サファイア基板22上に形成される複数の層からなる。各層は、例えば、サファイア基板22との格子不整合を緩和する窒化アルミニウム(AlN)からなるバッファ層(テンプレート層)、n型クラッド層、活性層、p型クラッド層、n型コンタクト電極層、p型コンタクト電極層、等を含む。
The semiconductor laminated
第1の素子電極26および第2の素子電極28は、半導体積層構造24の活性層にキャリアを供給するための電極であり、それぞれがアノード電極またはカソード電極である。第1の素子電極26および第2の素子電極28は、光出射面22aと反対側に設けられている。第1の素子電極26は、パッケージ基板14の第1の配線電極30に取り付けられ、第2の素子電極28は、パッケージ基板14の第2の配線電極32に取り付けられる。
The
パッケージ基板14は、3.5mm四方の矩形の上面14aおよび下面14bを有する直方体形状の部材である。パッケージ基板14は、アルミナ(Al2O3)や窒化アルミニウム(AlN)などを含むセラミック基板であり、いわゆる高温焼成セラミック多層基板(HTCC、High Temperature Co-fired Ceramic)である。
The
パッケージ基板14には、半導体発光素子12を収容するための凹部34が設けられており、上面14aには、開口部36が形成されている。凹部34の底面34aには、半導体発光素子12を取り付けるための第1の配線電極30および第2の配線電極32が設けられている。パッケージ基板14の下面14bには、発光装置10を外部基板などに実装するための第1の外側電極38および第2の外側電極40が設けられている。
The
ツェナーダイオード18は、駆動回路の一部に用いられる受動素子の一例であり、半導体発光素子12と同様にパッケージ基板14の底面34aに実装される。
The
窓部材20は、凹部34の開口部36を封止するように設けられる板状の保護部材である。窓部材20は、半導体発光素子12が発する紫外線を透過する材料で構成され、例えば、ガラス、石英、水晶、サファイアなどを用いることができる。窓部材20は、特に深紫外線の透過率が高く、耐熱性および気密性の高い材料で構成されることが好ましく、パッケージ基板14に比べて熱膨張係数の小さい材料で構成されることが好ましい。このような特性を備える材料として、石英ガラスを窓部材20に用いることが望ましい。半導体発光素子12が発する紫外線は、窓部材20を介して窓部材20の外面20aから発光装置10の外部へと出射する。
The
パッケージ基板14の上面14aと窓部材20との間を封止する封止構造42は、第1の金属層44と、第2の金属層46と、金属接合部48とを有する。
The sealing
第1の金属層44は、パッケージ基板14の上面14aに枠状に設けられている。第1の金属層44は、例えばセラミック基板へのメタライズ処理により形成される。第1の金属層44は、タングステン(W)やモリブデン(Mo)等を含む基材にニッケル(Ni)や金(Au)等がメッキされて形成され、例えば、W/Ni/Auの積層構造を有する。第1の金属層44は、金属接合部48と接合される。
The
第2の金属層46は、窓部材20の内面20bに枠状に設けられている。第2の金属層46は、真空蒸着やスパッタリングなどの方法により形成される。第2の金属層46は、窓部材20の内面20b上にチタン(Ti)、白金(Pt)、金(Au)が順に積層される多層膜である。なお、チタンの代わりにクロム(Cr)を用いてもよいし、白金(Pt)の代わりに銅(Cu)およびニッケル(Ni)を用いてもよい。第2の金属層46は、金属接合部48と接合される。
The
金属接合部48は、第1の金属層44と第2の金属層46の間に設けられ、パッケージの外周部においてパッケージ基板14と窓部材20の間を接合して封止する。金属接合部48は、低融点の金属材料で構成され、例えば金錫(AuSn)や銀錫(AgSn)の合金を含む。金属接合部48は、溶融状態において第1の金属層44と第2の金属層46との間に広がって共晶接合を形成する。
The metal
[反射部材]
次に、本実施の形態に係る反射部材について詳述する。図3は、半導体積層構造24からサファイア基板22に入射した光(紫外線)の光路の一例を示した図である。図3に示すように、本実施の形態に係る半導体発光素子12は、光出射面22a側にサファイア基板22が配置されている。そのため、半導体積層構造24で発生した光は、サファイア基板22に入射した後、一部が光出射面22aで内面反射され、側面22cから下方のパッケージ基板14に向けて出射される場合がある。特に、サファイア基板22の厚みが大きいと、光路長が長くなり、下方に向かう光(光束)が多くなる。このような光は、パッケージ基板14に到達した時点で吸収されるため、発光装置10における発光効率を低下させる一因となる。
[Reflective member]
Next, the reflective member according to the present embodiment will be described in detail. FIG. 3 is a diagram showing an example of an optical path of light (ultraviolet rays) incident on the
そこで、本発明者は、半導体発光素子12から下方(パッケージ基板14側)に向かう光を発光装置10の正面方向に反射することで、発光装置10の発光効率を向上できる点に想到した。
Therefore, the present inventor has come up with the idea that the luminous efficiency of the
図4(a)は、本実施の形態に係る反射部材16の上面図、図4(b)は、図4(a)に示す反射部材16のB−B断面図である。
FIG. 4A is a top view of the
反射部材16は、板状のシリコン基材50と、シリコン基材50の一方の面50aに蒸着等の手段で形成されたアルミニウムの反射層52と、を有する。アルミニウムは、深紫外線の反射率が高いため、反射層52として好適である。一方、アルミニウムの反射層をパッケージ基板14の凹部34の底面34aに直接設けることは、発光装置10の製造上あるいはパッケージ基板14の製造上難しい。
The
そこで、本実施の形態に係る反射部材16は、ある程度形状を保持できる剛性を持ったシリコン基材50を用い、その表面に反射層52を設けることで、別部材としている。したがって、シリコン基材50の厚みは10μm〜400μmが好ましい。シリコン基材50の厚みが小さ過ぎると形状を保持できない。一方、シリコン基材50の厚みが大き過ぎると、反射層52がサファイア基板22の光出射面22aよりも上方になり、サファイア基板22から出射した光(紫外線)を反射層52で反射できなくなる。また、無駄に材料費が増大する。なお、反射層52の厚みは10nm〜10μmである。
Therefore, the
反射部材16は、半導体発光素子12が配置される開口部16aと、ツェナーダイオード18が配置される開口部16bと、が形成されている。これにより、半導体発光素子12やツェナーダイオード18をパッケージ基板14に搭載した後でも、反射部材16を取り付けることができる。
The
また、反射部材16は、図2に示すように、半導体発光素子12の光出射面22aを遮蔽しないように半導体発光素子12を取り囲むように配置されている。これにより、光出射面22aから正面に向かって出射する光を有効に利用できる。
Further, as shown in FIG. 2, the reflecting
また、反射部材16は、反射層52がシリコン基材50を挟んでパッケージ基板14とは反対側に配置されており、半導体発光素子12からパッケージ基板14に向かう光を反射する。これにより、深紫外線の反射率が高いアルミニウムの反射層52によって、半導体発光素子12からパッケージ基板14に向かう深紫外線を効率よく反射でき、発光装置10の照射光として利用することが可能となる。その結果、発光装置10の発光効率が高まる。
Further, in the
また、反射層52は、図2に示すように、半導体発光素子12の光出射面22aよりも低い位置にある。これにより、半導体発光素子12の側面22cからパッケージ基板14に向かう光を反射できる。なお、本実施の形態に係る半導体発光素子12の高さ(光出射面22aの位置)は、底面34aから300μm〜700μm程度の範囲である。また、光出射面22aを構成するサファイア基板22の厚みは、300μm〜500μm程度の範囲である。そして、反射部材16は、光出射面22aより低い位置になるように厚みが決定されている。より好ましくは、反射部材16は、半導体積層構造24の上面よりも低い位置になるように厚みが決定されている。
Further, as shown in FIG. 2, the
また、本実施の形態に係る半導体発光素子12は、フリップチップ型のLEDチップであり、凹部34の底面34aに表面実装されている。これにより、半導体発光素子12をワイヤボンディングによってパッケージ基板14に実装する場合と比較して、半導体発光素子12の出射光や反射層52による反射光がワイヤによって妨げられることがない。また、反射部材16を凹部34に取り付ける際にワイヤと干渉するといったことがなく、半導体発光素子12を実装してから反射部材16を取り付けることができる。
Further, the semiconductor
また、反射部材16は、図4(b)に示すように、シリコン基材50の他方の面50bに、反射部材をパッケージ基板14に固定する絶縁部54を更に備えてもよい。絶縁部54は、例えば、樹脂等の接着剤である。これにより、反射部材16とパッケージ基板14の導電部(例えば第1の配線電極30や第2の配線電極32)との導通を防止できる。
Further, as shown in FIG. 4B, the
図5は、本実施の形態に係る発光装置の製造方法のフローチャートを示す図である。図5に示すように、本実施の形態に係る発光装置の製造方法は、パッケージ基板14を準備する工程(S10)と、搭載用基板に半導体発光素子を搭載する工程(S12)と、半導体発光素子から搭載用基板に向かう光を反射するように反射部材を配置する工程(S14)と、を含む。これにより、発光効率の高い発光装置を簡易な工程で製造できる。 FIG. 5 is a diagram showing a flowchart of a method of manufacturing a light emitting device according to the present embodiment. As shown in FIG. 5, the method of manufacturing the light emitting device according to the present embodiment includes a step of preparing the package substrate 14 (S10), a step of mounting the semiconductor light emitting element on the mounting substrate (S12), and semiconductor light emission. The step (S14) of arranging the reflecting member so as to reflect the light from the element toward the mounting substrate is included. As a result, a light emitting device having high luminous efficiency can be manufactured by a simple process.
(第2の実施の形態)
図6は、第2の実施の形態に係る発光装置の概略構成を示す上面図である。なお、図6では、パッケージ基板の開口部を封止する窓部材の図示を省略している。図6に示す発光装置60は、反射部材62の形状が第1の実施の形態に係る反射部材16と異なる以外は、発光装置10とほぼ同様の構成である。
(Second Embodiment)
FIG. 6 is a top view showing a schematic configuration of the light emitting device according to the second embodiment. In FIG. 6, the window member that seals the opening of the package substrate is not shown. The
図2に示すように、凹部34の全体に渡って反射部材16を設けた場合、半導体発光素子12の側面から出射した光のうち反射層52の外周領域に向かう光(点線の矢印)を反射することはできる。しかしながら、反射層52の外周領域で反射された光は、パッケージ基板14の内壁に向かい吸収されてしまうため、窓部材20から出射しない。
As shown in FIG. 2, when the reflecting
一方、本実施の形態に係る反射部材62は、半導体発光素子12が配置される開口部62aが形成されているが、半導体発光素子12の側面の近傍にしか存在しない。これにより、反射部材62が小型化され、材料費も低減される。
On the other hand, the
以上、本発明を上述の各実施の形態を参照して説明したが、本発明は上述の実施の各形態に限定されるものではなく、各実施の形態の構成を適宜組み合わせたものや置換したものについても本発明に含まれるものである。また、当業者の知識に基づいて各実施の形態における組合せや処理の順番を適宜組み替えることや各種の設計変更等の変形を実施の形態に対して加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施の形態も本発明の範囲に含まれうる。 Although the present invention has been described above with reference to the above-described embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the configurations of the embodiments are appropriately combined or substituted. Those are also included in the present invention. Further, it is also possible to appropriately rearrange the combinations and the order of processing in each embodiment based on the knowledge of those skilled in the art, and to add modifications such as various design changes to the embodiments. Additional embodiments may also be included within the scope of the invention.
10 発光装置、 12 半導体発光素子、 14 パッケージ基板、 16 反射部材、 16a,16b 開口部、 22 サファイア基板、 22a 光出射面、 22c 側面、 24 半導体積層構造、 34 凹部、 34a 底面、 36 開口部、 50 シリコン基材、 52 反射層、 54 絶縁部。 10 light emitting device, 12 semiconductor light emitting element, 14 package substrate, 16 reflective member, 16a, 16b opening, 22 sapphire substrate, 22a light emitting surface, 22c side surface, 24 semiconductor laminated structure, 34 recess, 34a bottom surface, 36 opening, 50 Silicon substrate, 52 Reflective layer, 54 Insulation part.
Claims (5)
前記半導体発光素子を搭載する搭載用基板と、
前記半導体発光素子から前記搭載用基板に向かう光を反射する反射部材と、を備え、
前記搭載用基板は、セラミックからなるパッケージ基板であり、
前記パッケージ基板は、前記半導体発光素子が載置される凹部を有し、前記凹部の底面上に第1の配線電極および第2の配線電極が設けられており、
前記半導体発光素子は、前記凹部の底面にフリップチップ実装されており、前記第1の配線電極に取り付けられるアノード電極と、前記第2の配線電極に取り付けられるカソード電極と、前記アノード電極および前記カソード電極上に設けられる半導体積層構造と、前記半導体積層構造上に設けられる300μm〜500μmの厚みを有するサファイア基板と、を備え、
前記反射部材は、
前記凹部に設けられており、
10μm〜400μmの厚みを有するシリコン基材と、前記シリコン基材の一方の面に形成された10nm〜10μmの厚みを有するアルミニウムの反射層と、を有し、前記反射層が前記シリコン基材を挟んで前記搭載用基板とは反対側に配置され、前記反射層が前記半導体積層構造の上面よりも下側に位置するように配置されており、
前記反射部材の外周と前記凹部の内壁との間に隙間が形成されていることを特徴とする発光装置。 A semiconductor light emitting device that is configured to emit deep ultraviolet rays,
A mounting substrate on which the semiconductor light emitting element is mounted and
A reflecting member that reflects light from the semiconductor light emitting element toward the mounting substrate is provided.
The mounting substrate is a package substrate made of ceramic.
The package substrate has a recess on which the semiconductor light emitting element is placed, and a first wiring electrode and a second wiring electrode are provided on the bottom surface of the recess.
The semiconductor light emitting element is flip-chip mounted on the bottom surface of the recess, and has an anode electrode attached to the first wiring electrode, a cathode electrode attached to the second wiring electrode, the anode electrode, and the cathode. A semiconductor laminated structure provided on the electrodes and a sapphire substrate having a thickness of 300 μm to 500 μm provided on the semiconductor laminated structure are provided.
The reflective member is
It is provided in the recess and
A silicon substrate having a thickness of 10Myuemu~400myuemu, having a reflective layer of aluminum having a thickness of 10nm~10μm formed on one surface of the silicon substrate, the reflective layer is the silicon substrate It is arranged so as to be sandwiched and arranged on the side opposite to the mounting substrate, and the reflective layer is arranged so as to be located below the upper surface of the semiconductor laminated structure .
The light emitting device characterized in that a gap is formed between the outer and the inner wall of the recess of the reflecting member.
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