JP5972061B2 - 偏光軸方向測定装置および偏光軸方向測定方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施の形態に係る偏光軸方向測定装置1の概略構成図である。図1に示すように、偏光軸方向測定装置1は、光源10および偏光子11で構成された光源ユニット12と、検光子13と、受光器14と、を含んで構成される。光源ユニット12と検光子13との間には、測定サンプルを保持するサンプルホルダー15を設置することができる。光源ユニット12は、所定の直線偏光を出光する。光源ユニット12から出光した光は、サンプルホルダー15に保持された測定サンプルへと照射される。
偏光軸方向測定装置1が備える偏光子11および検光子13をクロスニコルとした後、基準サンプルの基準辺と回転ステージ151の基準線153a〜153lのいずれかが一致するように、基準サンプルをサンプルホルダー15に置く。基準サンプルとしては、偏光子あるいは複屈折性の位相差板を利用できるが、基準辺に対する偏光軸方向ないし光軸方向が既知のものでなければならない。基準辺に対する偏光軸ないし光軸の許容差(公差)は小さいことが、測定精度の観点から好ましく、誘電体積層型の偏光ビームスプリッターや無機系の位相差板等を用いることが好ましい。
次に、測定サンプルの測定と偏光軸角度の算出を行う。まず、サンプルホルダー15における回転テーブル151上に測定サンプルを置く。測定サンプルは、偏光分離体2つを重畳したものでも、偏光分離体単体でも構わないが、以下においては、偏光分離体2つを重畳したものを測定サンプルとして偏光軸方向を測定する場合を示す。
式(1)
(偏光軸角度D)=|回転角度B−回転角度A|
式(2)
(偏光軸角度E)=||回転角度C−回転角度A|−90度|
式(3)
(偏光軸方向差)=|偏光軸角度D−偏光軸角度E|
10 光源
11 偏光子
12 光源ユニット
13 検光子
14 受光器
15 サンプルホルダー
151 回転テーブル
152 測定光通過窓
153 基準線
154 インジケータ
Claims (5)
- 偏光子を含み、所定の直線偏光を出光する光源ユニットと、前記光源ユニットとクロスニコルに配置される検光子と、受光器と、偏光分離体の重畳体である板状の測定サンプルを保持し、前記測定サンプルに垂直な軸を回転軸とする回転により前記測定サンプルの回転角度を変更する、前記光源ユニットと前記検光子との間に設置されるサンプルホルダーと、を備え、
前記サンプルホルダーにより前記測定サンプルを回転させたときの複数の回転角度における受光量から、最低受光量となる第1の回転角度を算出する偏光軸方向演算手段を有し、
前記偏光軸方向演算手段は、前記光源ユニットおよび前記検光子の偏光軸と、前記サンプルホルダーの角度との関係を示す基準回転角度と、前記第1の回転角度と、前記第1の回転角度から前記測定サンプルを回転角度が+または−となる方向に回転させたときの複数の回転角度における受光量から算出される最低受光量となる第2の回転角度と、に基づいて前記測定サンプルを構成する各偏光分離体間の偏光軸方向を算出することを特徴とする偏光軸方向測定装置。 - 前記光源ユニットは、所定の波長の光を出光する機構を有することを特徴とする請求項1に記載の偏光軸方向測定装置。
- 前記光源ユニットは、直線偏光を出光するレーザーを光源とすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の偏光軸方向測定装置。
- 前記偏光軸方向演算手段は、複数の回転角度で受光量を測定し、前記回転角度と前記受光量から近似される2次関数を算出することにより、最低受光量となる前記第1の回転角度または前記第2の回転角度を算出することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の偏光軸方向測定装置。
- 偏光子を含み、所定の直線偏光を出光する光源ユニットと、前記光源ユニットとクロスニコルに配置される検光子との間に設置されたサンプルホルダーに、偏光分離体の重畳体である板状の測定サンプルを設置して、
偏光軸方向演算手段によって、前記サンプルホルダーにより前記測定サンプルを回転させたときの複数の回転角度における受光量から、最低受光量となる第1の回転角度を算出する工程と、
前記偏光軸方向演算手段によって、前記光源ユニットおよび前記検光子の偏光軸と、前記サンプルホルダーの角度との関係を示す基準回転角度と、前記第1の回転角度と、前記第1の回転角度から前記測定サンプルを回転角度が+または−となる方向に回転させたときの複数の回転角度における受光量から算出される最低受光量となる第2の回転角度と、に基づいて前記測定サンプルを構成する各偏光分離体間の偏光軸方向を算出する工程と、を含むことを特徴とする偏光軸方向測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012137062A JP5972061B2 (ja) | 2012-06-18 | 2012-06-18 | 偏光軸方向測定装置および偏光軸方向測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014002019A JP2014002019A (ja) | 2014-01-09 |
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Family
ID=50035329
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012137062A Active JP5972061B2 (ja) | 2012-06-18 | 2012-06-18 | 偏光軸方向測定装置および偏光軸方向測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5972061B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108181095A (zh) | 2017-12-29 | 2018-06-19 | 惠州市华星光电技术有限公司 | 偏光片光学参数的测量方法及测量装置 |
CN111258047A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-06-09 | 重庆奥特光学仪器有限责任公司 | 一种偏光显微镜偏振方向校准工具及校准方法 |
TWI731658B (zh) * | 2020-04-23 | 2021-06-21 | 友達光電股份有限公司 | 金屬線柵偏光片之影像式判定裝置 |
CN114371151B (zh) * | 2020-10-15 | 2024-04-19 | 深圳莱宝高科技股份有限公司 | 一种透过率测试方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6081337A (en) * | 1998-05-05 | 2000-06-27 | The Hong Kong University Of Science & Technology | Method and apparatus for measuring liquid crystal cell properties |
JP3734398B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2006-01-11 | 株式会社リガク | 水晶板の方向選別方法 |
JP2005227019A (ja) * | 2004-02-10 | 2005-08-25 | Yamatake Corp | 偏光軸の測定方法および測定装置 |
JP4538344B2 (ja) * | 2005-03-01 | 2010-09-08 | 日本分光株式会社 | 軸方位測定装置および方法 |
JP5458466B2 (ja) * | 2007-01-10 | 2014-04-02 | ソニー株式会社 | 液晶表示装置および投射型液晶表示装置 |
JP2008216325A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Nitto Denko Corp | 補償層光学特性評価方法および補償層光学特性評価システム |
JP2011117792A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-16 | Oji Keisoku Kiki Kk | 楕円偏光板の貼合角測定装置 |
CN102906561B (zh) * | 2010-05-25 | 2015-10-07 | 东丽株式会社 | 膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜 |
WO2012090769A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | シャープ株式会社 | 光学素子、及び、液晶表示装置 |
-
2012
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014002019A (ja) | 2014-01-09 |
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A621 | Written request for application examination |
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