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JP5955124B2 - Wiring board - Google Patents

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JP5955124B2 JP2012140367A JP2012140367A JP5955124B2 JP 5955124 B2 JP5955124 B2 JP 5955124B2 JP 2012140367 A JP2012140367 A JP 2012140367A JP 2012140367 A JP2012140367 A JP 2012140367A JP 5955124 B2 JP5955124 B2 JP 5955124B2
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    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
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    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Description

本発明は、半導体素子を搭載するための配線基板に関するものである。   The present invention relates to a wiring board for mounting a semiconductor element.

従来、半導体素子を搭載するための配線基板としてビルドアップ法により形成された多層構造を有する配線基板が用いられている。このような配線基板の従来例を図4、図5に示す。図4に示すように、従来の配線基板200は、コア基板31の上下面にビルドアップ部32が積層されて成る。配線基板200は、一辺の長さが数十mm程度で、厚みが250〜1500μm程度の方形の平板状である。   Conventionally, a wiring board having a multilayer structure formed by a build-up method is used as a wiring board for mounting a semiconductor element. Conventional examples of such wiring boards are shown in FIGS. As shown in FIG. 4, the conventional wiring substrate 200 is formed by laminating buildup portions 32 on the upper and lower surfaces of the core substrate 31. The wiring board 200 is a rectangular flat plate having a length of about several tens of mm on one side and a thickness of about 250 to 1500 μm.

コア基板31は、複数のスルーホール33を有するコア絶縁板34と、スルーホール33内およびコア絶縁板34の上下面に被着されたコア配線導体35とを具備している。コア絶縁板34は、例えばガラスクロスにエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた繊維強化樹脂板により形成されている。コア絶縁板34の厚みは、200〜800μm程度である。スルーホール33の直径は、100〜200μm程度である。コア配線導体35は、銅箔や銅めっきから成る。コア配線導体35の厚みは10〜30μm程度である。   The core substrate 31 includes a core insulating plate 34 having a plurality of through holes 33, and core wiring conductors 35 deposited in the through holes 33 and on the upper and lower surfaces of the core insulating plate 34. The core insulating plate 34 is formed of a fiber reinforced resin plate in which a glass cloth is impregnated with a thermosetting resin such as an epoxy resin. The thickness of the core insulating plate 34 is about 200 to 800 μm. The diameter of the through hole 33 is about 100 to 200 μm. The core wiring conductor 35 is made of copper foil or copper plating. The thickness of the core wiring conductor 35 is about 10 to 30 μm.

ビルドアップ部32は、複数のビアホール36を有するビルドアップ絶縁層37と、ビアホール36内およびビルドアップ絶縁層37の表面に被着されたビルドアップ配線導体38とをコア基板31の上下面に交互に複数層積層することにより形成されている。ビルドアップ絶縁層37は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂中に酸化ケイ素等の無機絶縁フィラーを分散させたフィラー含有樹脂層により形成されている。ビルドアップ絶縁層37の厚みは、25〜50μm程度である。ビアホール36の直径は50〜100μm程度である。ビルドアップ配線導体38は、銅めっきから成る。ビルドアップ配線導体38の厚みは、10〜30μm程度である。   The build-up unit 32 alternately includes build-up insulating layers 37 having a plurality of via holes 36 and build-up wiring conductors 38 deposited in the via holes 36 and on the surface of the build-up insulating layer 37 on the upper and lower surfaces of the core substrate 31. It is formed by laminating a plurality of layers. The buildup insulating layer 37 is formed of a filler-containing resin layer in which an inorganic insulating filler such as silicon oxide is dispersed in a thermosetting resin such as an epoxy resin. The thickness of the buildup insulating layer 37 is about 25 to 50 μm. The diameter of the via hole 36 is about 50 to 100 μm. The build-up wiring conductor 38 is made of copper plating. The build-up wiring conductor 38 has a thickness of about 10 to 30 μm.

上下面のビルドアップ部32の表面には、最表層のビルドアップ配線導体38を保護するためのソルダーレジスト層39が被着されている。ソルダーレジスト層39は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。ソルダーレジスト層39の厚みは、20〜50μm程度である。   A solder resist layer 39 for protecting the outermost buildup wiring conductor 38 is deposited on the surface of the upper and lower buildup portions 32. The solder resist layer 39 is made of a thermosetting resin such as an acrylic-modified epoxy resin. The thickness of the solder resist layer 39 is about 20 to 50 μm.

上面側のビルドアップ部32の上面中央部には半導体素子Sが搭載される搭載部32Aが形成されている。搭載部32Aは、半導体素子Sに対応する大きさの方形の領域である。一般的には、搭載部32Aの各辺は、配線基板200の外周辺と平行になっている。搭載部32Aには、上面側の最表層のビルドアップ配線導体38から成る複数の半導体素子接続パッド40が形成されている。半導体素子接続パッド40の直径は、50〜150μm程度である。半導体素子接続パッド40は、数百〜数千個が格子状に配列されている。半導体素子接続パッド40の配列は、搭載部32Aを形成する方形の各辺に平行な格子点を100〜300μm程度のピッチP1で有している。   A mounting portion 32A on which the semiconductor element S is mounted is formed at the center of the upper surface of the buildup portion 32 on the upper surface side. The mounting portion 32A is a rectangular region having a size corresponding to the semiconductor element S. In general, each side of the mounting portion 32 </ b> A is parallel to the outer periphery of the wiring board 200. On the mounting portion 32A, a plurality of semiconductor element connection pads 40 made up of the uppermost layer buildup wiring conductor 38 on the upper surface side are formed. The diameter of the semiconductor element connection pad 40 is about 50 to 150 μm. Several hundred to several thousand semiconductor element connection pads 40 are arranged in a lattice pattern. The arrangement of the semiconductor element connection pads 40 has lattice points parallel to each side of the square forming the mounting portion 32A at a pitch P1 of about 100 to 300 μm.

下面側のビルドアップ部32の下面には、下層側の最表層のビルドアップ配線導体38から成る複数の外部接続パッド41が形成されている。外部接続パッド41の直径は、250〜1000μm程度である。外部接続パッド41は、数百〜数千個が格子状に配列されている。外部接続パッド41の配列は、配線基板200の外周辺に平行な格子点を500から2000μm程度のピッチP2で有している。なお、各半導体素子接続パッド40と外部接続パッド41とは、それぞれ対応するもの同士がビルドアップ配線導体38およびコア配線導体35を介して電気的に接続されている。   A plurality of external connection pads 41 composed of a buildup wiring conductor 38 on the outermost layer on the lower layer side are formed on the lower surface of the buildup portion 32 on the lower surface side. The diameter of the external connection pad 41 is about 250 to 1000 μm. Several hundred to several thousand external connection pads 41 are arranged in a lattice pattern. The arrangement of the external connection pads 41 has lattice points parallel to the outer periphery of the wiring board 200 at a pitch P2 of about 500 to 2000 μm. Each semiconductor element connection pad 40 and the external connection pad 41 are electrically connected to each other via the build-up wiring conductor 38 and the core wiring conductor 35.

ところで、一般に現在の半導体素子は、高速化、大容量伝送化が顕著になってきている。それに伴い、半導体素子が搭載される配線基板には高周波伝送における電気的ロスの少ない形態が要求されている。そのため、特に高周波信号を伝送する伝送路を有する配線基板においては、高周波信号用の伝送路として差動線路を用いたものが増えている。差動線路は、2本の伝送線路を互いに所定間隔をあけて隣接して並設するとともに、それらの伝送線路に逆位相の信号を伝送させることにより高周波伝送における伝送ロスを低減させるものである。   By the way, in general, the current semiconductor elements have been noticeably increased in speed and capacity. Accordingly, a wiring board on which a semiconductor element is mounted is required to have a form with less electrical loss in high frequency transmission. For this reason, in particular, in a wiring board having a transmission path for transmitting a high-frequency signal, an increase in the number of transmission lines using a differential line as a transmission path for the high-frequency signal. In the differential line, two transmission lines are arranged adjacent to each other with a predetermined interval therebetween, and a transmission loss in high-frequency transmission is reduced by transmitting signals having opposite phases to the transmission lines. .

このような差動線路について、図5および図6を基に説明する。図5は、図4に示した配線基板200における上面図であり、主として2組の差動線路を示している。図5においては、配線基板200の外形および半導体素子接続パッド40を実線で示しており、配線基板200の内部および下面において差動線路を構成する配線導体38およびコア配線導体35を破線により示している。また、半導体素子搭載部32Aを二点鎖線で示している。図6は、図5に示す差動線路のみを抜き出して示した斜視図である。   Such a differential line will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a top view of the wiring board 200 shown in FIG. 4 and mainly shows two sets of differential lines. In FIG. 5, the outer shape of the wiring board 200 and the semiconductor element connection pads 40 are indicated by solid lines, and the wiring conductor 38 and the core wiring conductor 35 constituting the differential line are indicated by broken lines inside and under the wiring board 200. Yes. Further, the semiconductor element mounting portion 32A is indicated by a two-dot chain line. FIG. 6 is a perspective view showing only the differential line shown in FIG.

図5および図6に示すように、半導体素子接続パッド40は、差動線路用のペア40Aと40Bとを有している。半導体素子接続パッドのペア40Aおよび40Bは、それぞれ搭載部32Aの一辺に平行な方向に互いに隣接して並んでいる。また、外部接続パッド41は、半導体素子接続パッドのペア40A,40Bに対応するペア41Aと41Bとを有している。これらのペア41Aおよび41Bは、それぞれ互いに隣接して並んでいる。そして、これらの半導体素子接続パッドのペア40A,40Bと外部接続パッドのペア41A,41Bとは、それぞれ対応するもの同士が、上面側のビルドアップ配線導体38に設けた帯状配線導体のペア42A,42Bを介して互いに電気的に接続されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the semiconductor element connection pad 40 has a pair 40A and 40B for differential lines. The semiconductor element connection pad pairs 40A and 40B are arranged adjacent to each other in a direction parallel to one side of the mounting portion 32A. The external connection pad 41 has pairs 41A and 41B corresponding to the semiconductor element connection pad pairs 40A and 40B. These pairs 41A and 41B are arranged adjacent to each other. The pair of semiconductor element connection pads 40A and 40B and the pair of external connection pads 41A and 41B correspond to the pair of strip-like wiring conductors 42A and 42A provided on the buildup wiring conductor 38 on the upper surface side. They are electrically connected to each other via 42B.

帯状配線導体のペア42A,42Bは、それぞれ対応する半導体素子接続パッドのペア40A、40Bの下方から外部接続パッドのペア41A,41Bの上方まで延在している。そして、半導体素子接続パッドのペア40A,40Bと帯状配線導体のペア42A,42Bとは、半導体素子接続パッドのペア40A,40Bの下方において上面側のビルドアップ配線導体38を介して接続されている。また、外部接続パッドのペア41A,41Bと帯状配線導体のペア42A,42Bとは、外部接続パッドのペア41A,41Bの上方において上面側のビルドアップ配線導体38およびコア配線導体35および下面側のビルドアップ配線導体38を介して電気的に接続されている。この場合、外部接続パッドのペア41A,41Bと帯状配線導体42A,42Bとを接続するためのスルーホールのペア33A,33Bを外部接続パッドのペア41A,41Bの上方に配置する。スルーホールのペア33A,33BのピッチP3は、半導体素子接続パッド40のピッチP1よりも大きなものとしている。これにより、スルーホールのペア33A,33Bにおける容量成分を小さくし、スルーホールのペア33A,33Bにおける特性インピーダンスの低下を緩和している。   The strip-like wiring conductor pairs 42A and 42B extend from below the corresponding semiconductor element connection pad pair 40A and 40B to above the external connection pad pair 41A and 41B, respectively. The pair of semiconductor element connection pads 40A and 40B and the pair of strip-shaped wiring conductors 42A and 42B are connected to each other via the buildup wiring conductor 38 on the upper surface side below the pair of semiconductor element connection pads 40A and 40B. . Also, the external connection pad pair 41A, 41B and the strip-like wiring conductor pair 42A, 42B are the upper-side build-up wiring conductor 38, the core wiring conductor 35, and the lower-surface side above the external connection pad pair 41A, 41B. They are electrically connected via a build-up wiring conductor 38. In this case, the through-hole pairs 33A and 33B for connecting the external connection pad pairs 41A and 41B and the strip-like wiring conductors 42A and 42B are disposed above the external connection pad pairs 41A and 41B. The pitch P3 of the through-hole pairs 33A and 33B is larger than the pitch P1 of the semiconductor element connection pads 40. As a result, the capacitance component in the through-hole pair 33A, 33B is reduced, and the reduction in characteristic impedance in the through-hole pair 33A, 33B is mitigated.

ところで、上述した配線基板200においては、上面側のビルドアップ部32のみに帯状配線導体のペア42A,42Bを設けているが、上面側のビルドアップ部32のみでは必要な数の帯状配線導体のペアを配設できない場合等、下面側のビルドアップ部32にも帯状配線導体のペアを配設する必要が生じる場合がある。このような場合、図7および図8に示すように、下面側のビルドアップ部32において半導体素子接続パッドのペア40C,40Dの下方近傍から外部接続パッド41C,41Dのペアの上方まで延在する帯状配線導体のペア42C,42Dを配設するとともに、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dと帯状配線導体のペア42C,42Dとを半導体素子接続パッド40C,40Dの下方近傍において上面側のビルドアップ配線導体38およびコア配線導体35および下面側のビルドアップ配線導体38を介して接続し、外部接続パッドのペア41C,41Dと帯状配線導体のペア42C,42Dとを外部接続パッドのペア41C,41Dの上方において下面側のビルドアップ配線導体38を介して接続する必要がある。このとき、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dと帯状配線導体のペア42C,42Dとを接続するためのスルーホールのペア33C,33Dは、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dの下方近傍に配置される。   By the way, in the wiring board 200 described above, the strip-shaped wiring conductor pairs 42A and 42B are provided only in the upper-side build-up portion 32. However, only the necessary number of strip-shaped wiring conductors are formed in the upper-side build-up portion 32. In some cases, such as when a pair cannot be provided, it may be necessary to provide a pair of strip-shaped wiring conductors also on the build-up portion 32 on the lower surface side. In such a case, as shown in FIGS. 7 and 8, in the buildup portion 32 on the lower surface side, the semiconductor element connection pad pair 40C and 40D extends from near the lower part to the upper part of the external connection pad 41C and 41D pair. The band-shaped wiring conductor pairs 42C and 42D are arranged, and the semiconductor element connection pad pair 40C and 40D and the band-shaped wiring conductor pair 42C and 42D are built up on the upper surface side in the vicinity below the semiconductor element connection pads 40C and 40D. The wiring conductor 38, the core wiring conductor 35, and the lower-side build-up wiring conductor 38 are connected, and the external connection pad pair 41C, 41D and the strip-shaped wiring conductor pair 42C, 42D are connected to the external connection pad pair 41C, 41D. It is necessary to connect via a build-up wiring conductor 38 on the lower surface side above. At this time, the through-hole pairs 33C and 33D for connecting the semiconductor element connection pad pairs 40C and 40D and the strip-like wiring conductor pairs 42C and 42D are disposed near the lower side of the semiconductor element connection pad pairs 40C and 40D. Is done.

しかしながら、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dとこれに対応するスルーホールのペア33C,33Dとを、帯状配線導体のペア42C,42Dが横切る搭載部32Aの一辺と平行な方向に並べた場合、帯状配線導体のペア42C,42Dの搭載部32A側の端部の間隔を帯状配線導体のペア42C,42Dが横切る搭載部32Aの一辺と平行な方向に拡げる必要がでてくる。そのため、帯状配線導体のペア42Cと42Dとの間に他の配線導体を通す余地が小さくなる。また、スルーホールのペア33C,33Dのそれぞれにおける隣接ピッチP3を第1の方向に十分に大きく確保することができずに、スルーホールのペア33C,33Dにおける特性インピーダンスの低下を十分に抑制することができないという問題が発生する。   However, when the semiconductor element connection pad pair 40C and 40D and the corresponding through-hole pair 33C and 33D are arranged in a direction parallel to one side of the mounting portion 32A traversed by the strip-like wiring conductor pair 42C and 42D, It is necessary to widen the distance between the end portions on the mounting portion 32A side of the pair of strip-shaped wiring conductors 42C and 42D in a direction parallel to one side of the mounting portion 32A crossed by the pair of strip-shaped wiring conductors 42C and 42D. Therefore, there is less room for another wiring conductor to pass between the pair of strip-shaped wiring conductors 42C and 42D. Further, the adjacent pitch P3 in each of the through-hole pairs 33C and 33D cannot be secured sufficiently large in the first direction, and the deterioration of the characteristic impedance in the through-hole pair 33C and 33D is sufficiently suppressed. The problem of not being able to occur.

特開2010−258390号公報JP 2010-258390 A

本発明の目的は、半導体素子接続パッドのペアにスルーホールのペアを介して接続される帯状配線導体のペア同士の間に他の配線導体を通す余地が大きいとともに、半導体素子接続パッドのペアに接続されたスルーホールのペアにおける隣接ピッチを十分に確保してスルーホールのペアにおける特性インピーダンスの低下を抑制することができ、それにより高周波信号を低損失で伝送することが可能な高密度配線の配線基板を提供することにある。   An object of the present invention is that there is a large room for passing other wiring conductors between a pair of strip-shaped wiring conductors connected to a pair of semiconductor element connection pads via a pair of through holes, and to a pair of semiconductor element connection pads. It is possible to secure a sufficient adjacent pitch in the connected through-hole pair to suppress a decrease in characteristic impedance in the through-hole pair, thereby enabling high-density wiring capable of transmitting a high-frequency signal with low loss. It is to provide a wiring board.

本発明の配線基板は、複数のスルーホールを有するコア絶縁板の前記スルーホール内におよび上下面にコア配線導体が被着されて成るコア基板と、該コア基板の上下面に、複数のビアホールを有するビルドアップ絶縁層と前記ビアホール内を含む前記ビルドアップ絶縁層の表面に被着されたビルドアップ配線導体とが交互に複数積層されて成るビルドアップ部とを備え、上面側の前記ビルドアップ部の上面中央部に半導体素子が搭載される方形の搭載部を有するとともに該搭載部に前記ビルドアップ配線導体から成る複数の半導体素子接続パッドが前記方形の各辺に平行な格子点を第1のピッチで有する配列で形成されており、下面側の前記ビルドアップ部の下面における外周部を含む領域に前記ビルドアップ配線導体から成る複数の外部接続パッドが前記第1のピッチよりも大きな第2のピッチの格子点を有する配列で形成されており、前記半導体素子接続パッドのうち、前記方形の一辺に平行な第1の方向に互いに隣接して並んだ半導体素子接続パッドのペアと前記搭載部の下方に配置された互いに隣接して並んだスルーホールのペア内のコア配線導体とを上面側の前記ビルドアップ配線導体を介して接続するとともに該スルーホールのペア内のコア配線導体と前記外周部に互いに隣接して並んだ外部接続パッドのペアとを下面側の前記ビルドアップ部において前記一辺を横切って前記搭載部の下方から前記外部接続パッドのペアの上方まで延在する前記ビルドアップ配線導体から成る帯状配線導体のペアを介して接続した差動線路を有する配線基板であって、前記スルーホールのペアは、前記第1の方向と直交する第2の方向に前記第1のピッチより大きい第3のピッチで並んでいることを特徴とするものである。
The wiring board according to the present invention includes a core substrate in which a core wiring conductor is deposited in the through hole of the core insulating plate having a plurality of through holes and upper and lower surfaces, and a plurality of via holes on the upper and lower surfaces of the core substrate. And a build-up portion formed by alternately laminating a plurality of build-up wiring conductors deposited on the surface of the build-up insulation layer including the inside of the via hole, and the build-up portion on the upper surface side. And a plurality of semiconductor element connection pads made of the build-up wiring conductor have first lattice points parallel to each side of the square. A plurality of external connections made of the build-up wiring conductor in a region including the outer peripheral portion of the lower surface of the build-up portion on the lower surface side. The pads are formed in an array having lattice points having a second pitch larger than the first pitch, and the semiconductor element connection pads are adjacent to each other in a first direction parallel to one side of the square. A pair of semiconductor element connection pads arranged side by side and a core wiring conductor in a pair of through-holes arranged adjacent to each other below the mounting portion are connected via the build-up wiring conductor on the upper surface side. A core wiring conductor in a pair of through holes and a pair of external connection pads arranged adjacent to each other on the outer peripheral portion are crossed over the one side in the build-up portion on the lower surface side, and the external connection is made from below the mounting portion. A wiring board having a differential line connected through a pair of strip-like wiring conductors that are formed of the build-up wiring conductors extending above a pair of pads, The pair is characterized in that arranged at the second said in the direction of the first pitch is greater than the third pitch that is perpendicular to the first direction.

本発明の配線基板によれば、搭載部の一辺に平行な第1の方向に第1のピッチで互いに
隣接して並んだ半導体素子接続パッドのペアに搭載部の下方で接続されたスルーホールの
ペアは、第1の方向と直交する第2の方向に並んでいることから、半導体素子接続パッド
のペアを第1の方向に複数並べて配置したとしても、スルーホールのペアに接続された帯
状配線導体のペアを搭載部の下方において第1の方向に拡げる必要はなく、その結果、帯
状配線導体のペア同士の間に他の配線導体を通す余地を大きくとることができる。また、
スルーホールのペアにおける隣接間隔を第2の方向に拡げることにより十分な隣接間隔を
確保してスルーホールのペアにおける特性インピーダンスの低下を抑制することができる
。その結果、高周波信号を低損失で伝送することが可能な高密度配線の配線基板を提供す
ることができる。
According to the wiring board of the present invention, through-holes connected to the pair of semiconductor element connection pads arranged adjacent to each other at a first pitch in a first direction parallel to one side of the mounting portion are connected below the mounting portion. Since the pairs are arranged in a second direction orthogonal to the first direction, even if a plurality of pairs of semiconductor element connection pads are arranged in the first direction, the strip-like wiring connected to the pair of through holes There is no need to expand the pair of conductors in the first direction below the mounting portion. As a result, it is possible to leave a large room for passing other wiring conductors between the pair of strip-shaped wiring conductors. Also,
By expanding the adjacent interval in the pair of through holes in the second direction, it is possible to secure a sufficient adjacent interval and suppress a decrease in characteristic impedance in the pair of through holes. As a result, it is possible to provide a high-density wiring board capable of transmitting a high-frequency signal with low loss.

図1は,本発明の配線基板における実施形態の一例を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of an embodiment of a wiring board according to the present invention. 図2は、本発明の配線基板における実施形態の一例を示す要部透視上面図である。FIG. 2 is a perspective top view of an essential part showing an example of an embodiment of the wiring board of the present invention. 図3は、本発明の配線基板における実施形態の一例を示す要部斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a main part showing an example of an embodiment of the wiring board of the present invention. 図4は,従来の配線基板を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a conventional wiring board. 図5は、従来の配線基板を示す要部透視上面図である。FIG. 5 is a perspective top view of a main part showing a conventional wiring board. 図6は、従来の配線基板を示す要部斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a main part of a conventional wiring board. 図7は、従来の配線基板を示す要部透視上面図である。FIG. 7 is a perspective top view of a main part showing a conventional wiring board. 図8は、従来の配線基板を示す要部斜視図である。FIG. 8 is a main part perspective view showing a conventional wiring board.

次に、本発明の配線基板における実施形態の一例を説明する。図1は、本発明の配線基板100を示す概略断面図である。図1に示すように、本発明の配線基板100は、コア基板1の上下面にビルドアップ部2が積層されて成る。配線基板100は、一辺の長さが数十mm程度で、厚みが250〜1500μm程度の方形の平板状である。   Next, an example of an embodiment of the wiring board of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a wiring board 100 of the present invention. As shown in FIG. 1, a wiring board 100 of the present invention is formed by laminating buildup portions 2 on the upper and lower surfaces of a core substrate 1. The wiring board 100 is a rectangular flat plate having a length of about several tens of mm on one side and a thickness of about 250 to 1500 μm.

コア基板1は、複数のスルーホール3を有するコア絶縁板4と、スルーホール3内およびコア絶縁板4の上下面に被着されたコア配線導体5とを具備している。コア絶縁板4は、例えばガラスクロスにエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた繊維強化樹脂板により形成されている。コア絶縁板4の厚みは、200〜800μm程度である。スルーホール3の直径は、100〜200μm程度である。コア配線導体5は、銅箔や銅めっきから成る。コア配線導体5の厚みは10〜30μm程度である。なお、以後の説明においては、スルーホール3は、その内部に被着されたコア配線導体5を含んだものを意味するものとする。   The core substrate 1 includes a core insulating plate 4 having a plurality of through holes 3, and core wiring conductors 5 attached to the through holes 3 and the upper and lower surfaces of the core insulating plate 4. The core insulating plate 4 is formed of a fiber reinforced resin plate in which a glass cloth is impregnated with a thermosetting resin such as an epoxy resin. The thickness of the core insulating plate 4 is about 200 to 800 μm. The diameter of the through hole 3 is about 100 to 200 μm. The core wiring conductor 5 is made of copper foil or copper plating. The thickness of the core wiring conductor 5 is about 10 to 30 μm. In the following description, the through-hole 3 means one including the core wiring conductor 5 deposited inside.

ビルドアップ部2は、複数のビアホール6を有するビルドアップ絶縁層7と、ビアホール6内およびビルドアップ絶縁層7の表面に被着されたビルドアップ配線導体8とをコア基板1の上下面に交互に複数層積層することにより形成されている。ビルドアップ絶縁層7は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂中に酸化ケイ素等の無機絶縁フィラーを分散させたフィラー含有樹脂層により形成されている。ビルドアップ絶縁層7の厚みは、25〜50μm程度である。ビアホール6の直径は50〜100μm程度である。ビルドアップ配線導体8は、銅めっきから成る。ビルドアップ配線導体8の厚みは、10〜30μm程度である。   The build-up unit 2 has a build-up insulating layer 7 having a plurality of via holes 6 and build-up wiring conductors 8 deposited in the via holes 6 and on the surface of the build-up insulating layer 7 alternately on the upper and lower surfaces of the core substrate 1. It is formed by laminating a plurality of layers. The build-up insulating layer 7 is formed of a filler-containing resin layer in which an inorganic insulating filler such as silicon oxide is dispersed in a thermosetting resin such as an epoxy resin. The build-up insulating layer 7 has a thickness of about 25 to 50 μm. The diameter of the via hole 6 is about 50 to 100 μm. The build-up wiring conductor 8 is made of copper plating. The thickness of the buildup wiring conductor 8 is about 10 to 30 μm.

上下面のビルドアップ部2の表面には、最表層のビルドアップ配線導体8を保護するためのソルダーレジスト層9が被着されている。ソルダーレジスト層9は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。ソルダーレジスト層9の厚みは、20〜50μm程度である。   A solder resist layer 9 for protecting the outermost buildup wiring conductor 8 is deposited on the surface of the upper and lower buildup portions 2. The solder resist layer 9 is made of a thermosetting resin such as an acrylic-modified epoxy resin. The thickness of the solder resist layer 9 is about 20 to 50 μm.

上面側のビルドアップ部2の上面中央部には半導体素子Sが搭載される搭載部2Aが形成されている。搭載部2Aは、半導体素子Sに対応する大きさの方形の領域である。一般的には、搭載部2Aの各辺は、配線基板100の外周辺と平行になっている。搭載部2Aには、上面側の最表層のビルドアップ配線導体8から成る複数の半導体素子接続パッド10が形成されている。半導体素子接続パッド10の直径は、50〜150μm程度である。半導体素子接続パッド10は、図面作成の都合で少ない数しか示されていないが、実際には数百〜数千個が格子状に配列されている。半導体素子接続パッド10の配列は、搭載部2Aを形成する方形の各辺に平行な格子点を100〜300μm程度のピッチP1で有している。   A mounting portion 2A on which the semiconductor element S is mounted is formed at the center of the upper surface of the buildup portion 2 on the upper surface side. The mounting portion 2A is a square region having a size corresponding to the semiconductor element S. In general, each side of the mounting portion 2 </ b> A is parallel to the outer periphery of the wiring board 100. In the mounting portion 2A, a plurality of semiconductor element connection pads 10 composed of the uppermost layer buildup wiring conductor 8 on the upper surface side are formed. The diameter of the semiconductor element connection pad 10 is about 50 to 150 μm. Only a small number of semiconductor element connection pads 10 are shown for the convenience of drawing, but actually hundreds to thousands are arranged in a lattice pattern. The array of the semiconductor element connection pads 10 has lattice points parallel to each side of the square forming the mounting portion 2A at a pitch P1 of about 100 to 300 μm.

下面側のビルドアップ部2の下面には、下層側の最表層のビルドアップ配線導体8から成る複数の外部接続パッド11が形成されている。外部接続パッド11の直径は、250〜1000μm程度である。外部接続パッド11は、図面作成の都合で少ない数しか示されていないが、実際には数百〜数千個が格子状に配列されている。外部接続パッド11の配列は、配線基板100の外周辺に平行な格子点を500から2000μm程度のピッチP2で有している。なお、各半導体素子接続パッド10と外部接続パッド11とは、それぞれ対応するもの同士がビルドアップ配線導体8およびコア配線導体5を介して電気的に接続されている。   A plurality of external connection pads 11 made of the outermost layer buildup wiring conductor 8 on the lower layer side are formed on the lower surface of the buildup portion 2 on the lower surface side. The diameter of the external connection pad 11 is about 250 to 1000 μm. Only a small number of external connection pads 11 are shown for the convenience of drawing, but actually hundreds to thousands are arranged in a grid. The arrangement of the external connection pads 11 has lattice points parallel to the outer periphery of the wiring board 100 at a pitch P2 of about 500 to 2000 μm. Each semiconductor element connection pad 10 and the external connection pad 11 are electrically connected to each other via the build-up wiring conductor 8 and the core wiring conductor 5.

そして、半導体素子Sの電極Tを半導体素子接続パッド10に半田バンプを介して接続するとともに外部接続パッド11を外部電気回路基板の配線導体に半田ボールを介して接続することにより、搭載部2Aに搭載する半導体素子Sと外部電気回路基板との間が電気的に接続されることとなる。   Then, the electrode T of the semiconductor element S is connected to the semiconductor element connection pad 10 via a solder bump, and the external connection pad 11 is connected to a wiring conductor of the external electric circuit board via a solder ball, whereby the mounting portion 2A is connected. The semiconductor element S to be mounted and the external electric circuit board are electrically connected.

ところで、この配線基板100は、高周波信号用の伝送路として差動線路を備えている。差動線路は、2本の伝送線路を互いに所定間隔をあけて隣接して並設するとともに、それらの伝送線路に逆位相の信号を伝送させることにより高周波伝送における伝送ロスを低減させるものである。   By the way, the wiring board 100 includes a differential line as a transmission path for high-frequency signals. In the differential line, two transmission lines are arranged adjacent to each other with a predetermined interval therebetween, and a transmission loss in high-frequency transmission is reduced by transmitting signals having opposite phases to the transmission lines. .

ここで、本発明の配線基板100における差動線路の例を図2および図3を基に説明する。図2は、図1に示した配線基板100における上面図であり、主として2組の差動線路を示している。図2においては、配線基板100の外形および半導体素子接続パッド10を実線で示しており、配線基板100の内部および下面において差動線路を構成するビルドアップ配線導体8およびスルーホール3を破線により示している。また、半導体素子搭載部2Aを二点鎖線で示している。図3は、図2に示す差動線路のみを抜き出して示した斜視図である。なお、図2および図3では、2組の差動線路を代表して示しているが、実際にはさらに多数組の差動線路が配置されている。   Here, the example of the differential line in the wiring board 100 of this invention is demonstrated based on FIG. 2 and FIG. FIG. 2 is a top view of the wiring board 100 shown in FIG. 1, and mainly shows two sets of differential lines. In FIG. 2, the outline of the wiring board 100 and the semiconductor element connection pads 10 are indicated by solid lines, and the build-up wiring conductor 8 and the through hole 3 constituting the differential line are indicated by broken lines inside and under the wiring board 100. ing. The semiconductor element mounting portion 2A is indicated by a two-dot chain line. FIG. 3 is a perspective view showing only the differential line shown in FIG. In FIGS. 2 and 3, two sets of differential lines are shown as representatives, but a larger number of sets of differential lines are actually arranged.

図2および図3に示すように、半導体素子接続パッド10は、差動線路用のペア10Aと10Bとを有している。半導体素子接続パッドのペア10Aおよび10Bは、それぞれ搭載部2Aの一辺に平行な第1の方向に互いに隣接して並んでいる。また、外部接続パッド11は、半導体素子接続パッドのペア10A,10Bに対応する外部接続パッドのペア11Aと11Bとを有している。これらの外部接続パッドのペア11Aおよび11Bは、配線基板100の下面外周部にそれぞれ互いに隣接して並んでいる。そして、これらの半導体素子接続パッドのペア10A,10Bと外部接続パッドのペア11A,11Bとは、それぞれ対応するもの同士が、下面側のビルドアップ配線導体8に設けた帯状配線導体のペア12A,12Bを介して互いに電気的に接続されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the semiconductor element connection pad 10 has a pair 10A and 10B for differential lines. The semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B are arranged adjacent to each other in a first direction parallel to one side of the mounting portion 2A. The external connection pads 11 have external connection pad pairs 11A and 11B corresponding to the semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B. These external connection pad pairs 11 </ b> A and 11 </ b> B are arranged adjacent to each other on the outer periphery of the lower surface of the wiring board 100. The semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B and the external connection pad pairs 11A and 11B correspond to the strip-like wiring conductor pairs 12A and 12A provided on the buildup wiring conductor 8 on the lower surface side, respectively. They are electrically connected to each other via 12B.

半導体素子接続パッドのペア10A,10Bに近接する位置における搭載部2Aの下方には、スルーホールのペア3A,3Bが配置されている。これらのスルーホールのペア3A,3Bは、それぞれが半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びの方向と直交する方向にピッチP3で並んでいる。そして、半導体素子接続パッドのペア10A,10Bは、それぞれ対応するスルーホールのペア3A,3Bに上面側のビルドアップ配線導体8を介して電気的に接続されている。この場合、半導体素子接続パッドのペア10Aと10Bとが互いに近接して配置されていたとしても、スルーホールのペア3A,3Bは、半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びの方向と直交する方向に並んでいることから、スルーホールのペア3A,3BにおけるピッチP3を半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びの方向と直交する方向に拡げることができる。それにより、スルーホールのペア3A,3Bのそれぞれにおいてスルーホール3同士の間に十分な隣接間隔を確保してスルーホールのペア3A,3Bにおける特性インピーダンスの低下を抑制することができる。したがって、本発明の配線基板100によれば、高周波信号を低損失で伝送することが可能となる。   Through-hole pairs 3A and 3B are arranged below the mounting portion 2A at positions close to the semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B. These through-hole pairs 3A and 3B are arranged at a pitch P3 in a direction orthogonal to the direction in which the semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B are arranged. The semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B are electrically connected to the corresponding through-hole pairs 3A and 3B via the build-up wiring conductor 8 on the upper surface side. In this case, even if the semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B are arranged close to each other, the through-hole pairs 3A and 3B are orthogonal to the direction in which the semiconductor element connection pad pairs 10A and 10B are arranged. Since they are arranged in the direction, the pitch P3 in the through-hole pairs 3A, 3B can be expanded in a direction orthogonal to the direction in which the semiconductor element connection pad pairs 10A, 10B are arranged. Thereby, in each of the through-hole pairs 3A and 3B, a sufficient adjacent interval can be ensured between the through-holes 3 to suppress a decrease in characteristic impedance in the through-hole pair 3A and 3B. Therefore, according to the wiring board 100 of the present invention, a high frequency signal can be transmitted with low loss.

さらに、帯状配線導体のペア12A,12Bは、搭載部2Aにおける半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びと平行な一辺を横切るようにして、スルーホールのペア3A,3Bの下方から外部接続パッドのペア11A,11Bの上方まで延在している。帯状配線導体のペア12A,12Bは搭載部2A側の端部がスルーホールのペア3A,3Bに対応するようにペア内における互いの隣接間隔が拡がっており、その拡がった端部とスルーホールのペア3A,3Bとが下面側のビルドアップ配線導体8を介して電気的に接続されている。この場合、帯状配線導体のペア12A,12Bにおける搭載部2A側の端部を、帯状配線導体のペア12A,12Bが横切る搭載部2Aの一辺と平行な方向に拡げる必要がなく、そのため、帯状配線導体のペア12Aと12Bとの間に他の配線導体を通す余地を大きくとることができる。したがって、本発明の配線基板100によれば、高密度配線とすることが可能となる。   Further, the strip-like wiring conductor pair 12A, 12B crosses one side parallel to the arrangement of the semiconductor element connection pad pair 10A, 10B in the mounting portion 2A so as to cross the external connection pad from below the through-hole pair 3A, 3B. It extends to above the pair 11A, 11B. The pair of strip-shaped wiring conductors 12A and 12B has an adjacent interval in the pair expanded so that the end on the mounting portion 2A side corresponds to the pair 3A and 3B of the through hole, and the expanded end and the through hole The pair 3A, 3B is electrically connected via the buildup wiring conductor 8 on the lower surface side. In this case, it is not necessary to extend the end portion on the mounting portion 2A side of the pair of strip-shaped wiring conductors 12A and 12B in a direction parallel to one side of the mounting portion 2A that the pair of strip-shaped wiring conductors 12A and 12B crosses. A large room for passing other wiring conductors between the conductor pairs 12A and 12B can be secured. Therefore, according to the wiring board 100 of the present invention, high-density wiring can be achieved.

1・・・・・コア基板
2・・・・・ビルドアップ部
2A・・・・・・搭載部
3・・・・・スルーホール
3A,3B・・・スルーホールのペア
4・・・・・コア絶縁板
5・・・・・コア配線導体
6・・・・・ビアホール
7・・・・・ビルドアップ絶縁層
8・・・・・ビルドアップ配線導体
10・・・・・半導体素子接続パッド
10A,10B・・半導体素子接続パッドのペア
11・・・・・外部接続パッド
11A,11B・・外部接続パッドのペア
12A,12B・・帯状配線導体のペア
P1・・・・・第1のピッチ
P2・・・・・第2のピッチ
P3・・・・・第3のピッチ
S・・・・・半導体素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Core substrate 2 ... Build-up part 2A ... Installation part 3 ... Through-hole 3A, 3B ... Through-hole pair 4 ... Core insulating plate 5 ... Core wiring conductor 6 ... Via hole 7 ... Build-up insulating layer 8 ... Build-up wiring conductor 10 ... Semiconductor element connection pad 10A , 10B... Semiconductor element connection pad pair 11... External connection pads 11A, 11B... External connection pad pair 12A, 12B... 2nd pitch P3 3rd pitch S Semiconductor element

Claims (1)

複数のスルーホールを有するコア絶縁板の前記スルーホール内におよび上下面にコア配線導体が被着されて成るコア基板と、該コア基板の上下面に、複数のビアホールを有するビルドアップ絶縁層と前記ビアホール内を含む前記ビルドアップ絶縁層の表面に被着されたビルドアップ配線導体とが交互に複数積層されて成るビルドアップ部とを備え、上面側の前記ビルドアップ部の上面中央部に半導体素子が搭載される方形の搭載部を有するとともに該搭載部に前記ビルドアップ配線導体から成る複数の半導体素子接続パッドが前記方形の各辺に平行な格子点を第1のピッチで有する配列で形成されており、下面側の前記ビルドアップ部の下面における外周部を含む領域に前記ビルドアップ配線導体から成る複数の外部接続パッドが前記第1のピッチよりも大きな第2のピッチの格子点を有する配列で形成されており、前記半導体素子接続パッドのうち、前記方形の一辺に平行な第1の方向に互いに隣接して並んだ半導体素子接続パッドのペアと前記搭載部の下方に配置された互いに隣接して並んだスルーホールのペア内のコア配線導体とを上面側の前記ビルドアップ配線導体を介して接続するとともに該スルーホールのペア内のコア配線導体と前記外周部に互いに隣接して並んだ外部接続パッドのペアとを下面側の前記ビルドアップ部において前記一辺を横切って前記搭載部の下方から前記外部接続パッドのペアの上方まで延在する前記ビルドアップ配線導体から成る帯状配線導体のペアを介して接続した差動線路を有する配線基板であって、前記スルーホールのペアは、前記第1の方向と直交する第2の方向に前記第1のピッチより大きい第3のピッチで並んでいることを特徴とする配線基板。
A core substrate in which a core wiring conductor is deposited on the upper and lower surfaces of the core insulating plate having a plurality of through holes, and a build-up insulating layer having a plurality of via holes on the upper and lower surfaces of the core substrate; A build-up portion formed by alternately laminating a plurality of build-up wiring conductors deposited on the surface of the build-up insulating layer including the inside of the via hole, and a semiconductor at the center of the upper surface of the build-up portion on the upper surface side A rectangular mounting portion on which elements are mounted and a plurality of semiconductor element connection pads made of the build-up wiring conductors are formed on the mounting portion in an array having grid points parallel to each side of the square at a first pitch. A plurality of external connection pads made of the build-up wiring conductor in the region including the outer peripheral portion on the lower surface of the build-up portion on the lower surface side. A semiconductor element connection formed in an array having lattice points with a second pitch larger than the pitch and adjacent to each other in a first direction parallel to one side of the square among the semiconductor element connection pads. A pair of pads and a core wiring conductor in a pair of adjacent through-holes arranged below the mounting portion are connected via the build-up wiring conductor on the upper surface side, and the inside of the pair of through-holes A core wiring conductor and a pair of external connection pads arranged adjacent to each other on the outer peripheral portion across the one side in the build-up portion on the lower surface side from above the mounting portion and above the pair of external connection pads A wiring board having a differential line connected through a pair of strip-like wiring conductors composed of the build-up wiring conductors extending to Wiring board, characterized in that arranged at the first pitch is greater than the third pitch in a second direction perpendicular to the direction.
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