JP5955124B2 - Wiring board - Google Patents
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Description
本発明は、半導体素子を搭載するための配線基板に関するものである。 The present invention relates to a wiring board for mounting a semiconductor element.
従来、半導体素子を搭載するための配線基板としてビルドアップ法により形成された多層構造を有する配線基板が用いられている。このような配線基板の従来例を図4、図5に示す。図4に示すように、従来の配線基板200は、コア基板31の上下面にビルドアップ部32が積層されて成る。配線基板200は、一辺の長さが数十mm程度で、厚みが250〜1500μm程度の方形の平板状である。
Conventionally, a wiring board having a multilayer structure formed by a build-up method is used as a wiring board for mounting a semiconductor element. Conventional examples of such wiring boards are shown in FIGS. As shown in FIG. 4, the
コア基板31は、複数のスルーホール33を有するコア絶縁板34と、スルーホール33内およびコア絶縁板34の上下面に被着されたコア配線導体35とを具備している。コア絶縁板34は、例えばガラスクロスにエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた繊維強化樹脂板により形成されている。コア絶縁板34の厚みは、200〜800μm程度である。スルーホール33の直径は、100〜200μm程度である。コア配線導体35は、銅箔や銅めっきから成る。コア配線導体35の厚みは10〜30μm程度である。
The
ビルドアップ部32は、複数のビアホール36を有するビルドアップ絶縁層37と、ビアホール36内およびビルドアップ絶縁層37の表面に被着されたビルドアップ配線導体38とをコア基板31の上下面に交互に複数層積層することにより形成されている。ビルドアップ絶縁層37は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂中に酸化ケイ素等の無機絶縁フィラーを分散させたフィラー含有樹脂層により形成されている。ビルドアップ絶縁層37の厚みは、25〜50μm程度である。ビアホール36の直径は50〜100μm程度である。ビルドアップ配線導体38は、銅めっきから成る。ビルドアップ配線導体38の厚みは、10〜30μm程度である。
The build-
上下面のビルドアップ部32の表面には、最表層のビルドアップ配線導体38を保護するためのソルダーレジスト層39が被着されている。ソルダーレジスト層39は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。ソルダーレジスト層39の厚みは、20〜50μm程度である。
A
上面側のビルドアップ部32の上面中央部には半導体素子Sが搭載される搭載部32Aが形成されている。搭載部32Aは、半導体素子Sに対応する大きさの方形の領域である。一般的には、搭載部32Aの各辺は、配線基板200の外周辺と平行になっている。搭載部32Aには、上面側の最表層のビルドアップ配線導体38から成る複数の半導体素子接続パッド40が形成されている。半導体素子接続パッド40の直径は、50〜150μm程度である。半導体素子接続パッド40は、数百〜数千個が格子状に配列されている。半導体素子接続パッド40の配列は、搭載部32Aを形成する方形の各辺に平行な格子点を100〜300μm程度のピッチP1で有している。
A
下面側のビルドアップ部32の下面には、下層側の最表層のビルドアップ配線導体38から成る複数の外部接続パッド41が形成されている。外部接続パッド41の直径は、250〜1000μm程度である。外部接続パッド41は、数百〜数千個が格子状に配列されている。外部接続パッド41の配列は、配線基板200の外周辺に平行な格子点を500から2000μm程度のピッチP2で有している。なお、各半導体素子接続パッド40と外部接続パッド41とは、それぞれ対応するもの同士がビルドアップ配線導体38およびコア配線導体35を介して電気的に接続されている。
A plurality of
ところで、一般に現在の半導体素子は、高速化、大容量伝送化が顕著になってきている。それに伴い、半導体素子が搭載される配線基板には高周波伝送における電気的ロスの少ない形態が要求されている。そのため、特に高周波信号を伝送する伝送路を有する配線基板においては、高周波信号用の伝送路として差動線路を用いたものが増えている。差動線路は、2本の伝送線路を互いに所定間隔をあけて隣接して並設するとともに、それらの伝送線路に逆位相の信号を伝送させることにより高周波伝送における伝送ロスを低減させるものである。 By the way, in general, the current semiconductor elements have been noticeably increased in speed and capacity. Accordingly, a wiring board on which a semiconductor element is mounted is required to have a form with less electrical loss in high frequency transmission. For this reason, in particular, in a wiring board having a transmission path for transmitting a high-frequency signal, an increase in the number of transmission lines using a differential line as a transmission path for the high-frequency signal. In the differential line, two transmission lines are arranged adjacent to each other with a predetermined interval therebetween, and a transmission loss in high-frequency transmission is reduced by transmitting signals having opposite phases to the transmission lines. .
このような差動線路について、図5および図6を基に説明する。図5は、図4に示した配線基板200における上面図であり、主として2組の差動線路を示している。図5においては、配線基板200の外形および半導体素子接続パッド40を実線で示しており、配線基板200の内部および下面において差動線路を構成する配線導体38およびコア配線導体35を破線により示している。また、半導体素子搭載部32Aを二点鎖線で示している。図6は、図5に示す差動線路のみを抜き出して示した斜視図である。
Such a differential line will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a top view of the
図5および図6に示すように、半導体素子接続パッド40は、差動線路用のペア40Aと40Bとを有している。半導体素子接続パッドのペア40Aおよび40Bは、それぞれ搭載部32Aの一辺に平行な方向に互いに隣接して並んでいる。また、外部接続パッド41は、半導体素子接続パッドのペア40A,40Bに対応するペア41Aと41Bとを有している。これらのペア41Aおよび41Bは、それぞれ互いに隣接して並んでいる。そして、これらの半導体素子接続パッドのペア40A,40Bと外部接続パッドのペア41A,41Bとは、それぞれ対応するもの同士が、上面側のビルドアップ配線導体38に設けた帯状配線導体のペア42A,42Bを介して互いに電気的に接続されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, the semiconductor element connection pad 40 has a
帯状配線導体のペア42A,42Bは、それぞれ対応する半導体素子接続パッドのペア40A、40Bの下方から外部接続パッドのペア41A,41Bの上方まで延在している。そして、半導体素子接続パッドのペア40A,40Bと帯状配線導体のペア42A,42Bとは、半導体素子接続パッドのペア40A,40Bの下方において上面側のビルドアップ配線導体38を介して接続されている。また、外部接続パッドのペア41A,41Bと帯状配線導体のペア42A,42Bとは、外部接続パッドのペア41A,41Bの上方において上面側のビルドアップ配線導体38およびコア配線導体35および下面側のビルドアップ配線導体38を介して電気的に接続されている。この場合、外部接続パッドのペア41A,41Bと帯状配線導体42A,42Bとを接続するためのスルーホールのペア33A,33Bを外部接続パッドのペア41A,41Bの上方に配置する。スルーホールのペア33A,33BのピッチP3は、半導体素子接続パッド40のピッチP1よりも大きなものとしている。これにより、スルーホールのペア33A,33Bにおける容量成分を小さくし、スルーホールのペア33A,33Bにおける特性インピーダンスの低下を緩和している。
The strip-like
ところで、上述した配線基板200においては、上面側のビルドアップ部32のみに帯状配線導体のペア42A,42Bを設けているが、上面側のビルドアップ部32のみでは必要な数の帯状配線導体のペアを配設できない場合等、下面側のビルドアップ部32にも帯状配線導体のペアを配設する必要が生じる場合がある。このような場合、図7および図8に示すように、下面側のビルドアップ部32において半導体素子接続パッドのペア40C,40Dの下方近傍から外部接続パッド41C,41Dのペアの上方まで延在する帯状配線導体のペア42C,42Dを配設するとともに、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dと帯状配線導体のペア42C,42Dとを半導体素子接続パッド40C,40Dの下方近傍において上面側のビルドアップ配線導体38およびコア配線導体35および下面側のビルドアップ配線導体38を介して接続し、外部接続パッドのペア41C,41Dと帯状配線導体のペア42C,42Dとを外部接続パッドのペア41C,41Dの上方において下面側のビルドアップ配線導体38を介して接続する必要がある。このとき、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dと帯状配線導体のペア42C,42Dとを接続するためのスルーホールのペア33C,33Dは、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dの下方近傍に配置される。
By the way, in the
しかしながら、半導体素子接続パッドのペア40C,40Dとこれに対応するスルーホールのペア33C,33Dとを、帯状配線導体のペア42C,42Dが横切る搭載部32Aの一辺と平行な方向に並べた場合、帯状配線導体のペア42C,42Dの搭載部32A側の端部の間隔を帯状配線導体のペア42C,42Dが横切る搭載部32Aの一辺と平行な方向に拡げる必要がでてくる。そのため、帯状配線導体のペア42Cと42Dとの間に他の配線導体を通す余地が小さくなる。また、スルーホールのペア33C,33Dのそれぞれにおける隣接ピッチP3を第1の方向に十分に大きく確保することができずに、スルーホールのペア33C,33Dにおける特性インピーダンスの低下を十分に抑制することができないという問題が発生する。
However, when the semiconductor element
本発明の目的は、半導体素子接続パッドのペアにスルーホールのペアを介して接続される帯状配線導体のペア同士の間に他の配線導体を通す余地が大きいとともに、半導体素子接続パッドのペアに接続されたスルーホールのペアにおける隣接ピッチを十分に確保してスルーホールのペアにおける特性インピーダンスの低下を抑制することができ、それにより高周波信号を低損失で伝送することが可能な高密度配線の配線基板を提供することにある。 An object of the present invention is that there is a large room for passing other wiring conductors between a pair of strip-shaped wiring conductors connected to a pair of semiconductor element connection pads via a pair of through holes, and to a pair of semiconductor element connection pads. It is possible to secure a sufficient adjacent pitch in the connected through-hole pair to suppress a decrease in characteristic impedance in the through-hole pair, thereby enabling high-density wiring capable of transmitting a high-frequency signal with low loss. It is to provide a wiring board.
本発明の配線基板は、複数のスルーホールを有するコア絶縁板の前記スルーホール内におよび上下面にコア配線導体が被着されて成るコア基板と、該コア基板の上下面に、複数のビアホールを有するビルドアップ絶縁層と前記ビアホール内を含む前記ビルドアップ絶縁層の表面に被着されたビルドアップ配線導体とが交互に複数積層されて成るビルドアップ部とを備え、上面側の前記ビルドアップ部の上面中央部に半導体素子が搭載される方形の搭載部を有するとともに該搭載部に前記ビルドアップ配線導体から成る複数の半導体素子接続パッドが前記方形の各辺に平行な格子点を第1のピッチで有する配列で形成されており、下面側の前記ビルドアップ部の下面における外周部を含む領域に前記ビルドアップ配線導体から成る複数の外部接続パッドが前記第1のピッチよりも大きな第2のピッチの格子点を有する配列で形成されており、前記半導体素子接続パッドのうち、前記方形の一辺に平行な第1の方向に互いに隣接して並んだ半導体素子接続パッドのペアと前記搭載部の下方に配置された互いに隣接して並んだスルーホールのペア内のコア配線導体とを上面側の前記ビルドアップ配線導体を介して接続するとともに該スルーホールのペア内のコア配線導体と前記外周部に互いに隣接して並んだ外部接続パッドのペアとを下面側の前記ビルドアップ部において前記一辺を横切って前記搭載部の下方から前記外部接続パッドのペアの上方まで延在する前記ビルドアップ配線導体から成る帯状配線導体のペアを介して接続した差動線路を有する配線基板であって、前記スルーホールのペアは、前記第1の方向と直交する第2の方向に前記第1のピッチより大きい第3のピッチで並んでいることを特徴とするものである。
The wiring board according to the present invention includes a core substrate in which a core wiring conductor is deposited in the through hole of the core insulating plate having a plurality of through holes and upper and lower surfaces, and a plurality of via holes on the upper and lower surfaces of the core substrate. And a build-up portion formed by alternately laminating a plurality of build-up wiring conductors deposited on the surface of the build-up insulation layer including the inside of the via hole, and the build-up portion on the upper surface side. And a plurality of semiconductor element connection pads made of the build-up wiring conductor have first lattice points parallel to each side of the square. A plurality of external connections made of the build-up wiring conductor in a region including the outer peripheral portion of the lower surface of the build-up portion on the lower surface side. The pads are formed in an array having lattice points having a second pitch larger than the first pitch, and the semiconductor element connection pads are adjacent to each other in a first direction parallel to one side of the square. A pair of semiconductor element connection pads arranged side by side and a core wiring conductor in a pair of through-holes arranged adjacent to each other below the mounting portion are connected via the build-up wiring conductor on the upper surface side. A core wiring conductor in a pair of through holes and a pair of external connection pads arranged adjacent to each other on the outer peripheral portion are crossed over the one side in the build-up portion on the lower surface side, and the external connection is made from below the mounting portion. A wiring board having a differential line connected through a pair of strip-like wiring conductors that are formed of the build-up wiring conductors extending above a pair of pads, The pair is characterized in that arranged at the second said in the direction of the first pitch is greater than the third pitch that is perpendicular to the first direction.
本発明の配線基板によれば、搭載部の一辺に平行な第1の方向に第1のピッチで互いに
隣接して並んだ半導体素子接続パッドのペアに搭載部の下方で接続されたスルーホールの
ペアは、第1の方向と直交する第2の方向に並んでいることから、半導体素子接続パッド
のペアを第1の方向に複数並べて配置したとしても、スルーホールのペアに接続された帯
状配線導体のペアを搭載部の下方において第1の方向に拡げる必要はなく、その結果、帯
状配線導体のペア同士の間に他の配線導体を通す余地を大きくとることができる。また、
スルーホールのペアにおける隣接間隔を第2の方向に拡げることにより十分な隣接間隔を
確保してスルーホールのペアにおける特性インピーダンスの低下を抑制することができる
。その結果、高周波信号を低損失で伝送することが可能な高密度配線の配線基板を提供す
ることができる。
According to the wiring board of the present invention, through-holes connected to the pair of semiconductor element connection pads arranged adjacent to each other at a first pitch in a first direction parallel to one side of the mounting portion are connected below the mounting portion. Since the pairs are arranged in a second direction orthogonal to the first direction, even if a plurality of pairs of semiconductor element connection pads are arranged in the first direction, the strip-like wiring connected to the pair of through holes There is no need to expand the pair of conductors in the first direction below the mounting portion. As a result, it is possible to leave a large room for passing other wiring conductors between the pair of strip-shaped wiring conductors. Also,
By expanding the adjacent interval in the pair of through holes in the second direction, it is possible to secure a sufficient adjacent interval and suppress a decrease in characteristic impedance in the pair of through holes. As a result, it is possible to provide a high-density wiring board capable of transmitting a high-frequency signal with low loss.
次に、本発明の配線基板における実施形態の一例を説明する。図1は、本発明の配線基板100を示す概略断面図である。図1に示すように、本発明の配線基板100は、コア基板1の上下面にビルドアップ部2が積層されて成る。配線基板100は、一辺の長さが数十mm程度で、厚みが250〜1500μm程度の方形の平板状である。
Next, an example of an embodiment of the wiring board of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a
コア基板1は、複数のスルーホール3を有するコア絶縁板4と、スルーホール3内およびコア絶縁板4の上下面に被着されたコア配線導体5とを具備している。コア絶縁板4は、例えばガラスクロスにエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた繊維強化樹脂板により形成されている。コア絶縁板4の厚みは、200〜800μm程度である。スルーホール3の直径は、100〜200μm程度である。コア配線導体5は、銅箔や銅めっきから成る。コア配線導体5の厚みは10〜30μm程度である。なお、以後の説明においては、スルーホール3は、その内部に被着されたコア配線導体5を含んだものを意味するものとする。
The
ビルドアップ部2は、複数のビアホール6を有するビルドアップ絶縁層7と、ビアホール6内およびビルドアップ絶縁層7の表面に被着されたビルドアップ配線導体8とをコア基板1の上下面に交互に複数層積層することにより形成されている。ビルドアップ絶縁層7は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂中に酸化ケイ素等の無機絶縁フィラーを分散させたフィラー含有樹脂層により形成されている。ビルドアップ絶縁層7の厚みは、25〜50μm程度である。ビアホール6の直径は50〜100μm程度である。ビルドアップ配線導体8は、銅めっきから成る。ビルドアップ配線導体8の厚みは、10〜30μm程度である。
The build-up unit 2 has a build-up insulating
上下面のビルドアップ部2の表面には、最表層のビルドアップ配線導体8を保護するためのソルダーレジスト層9が被着されている。ソルダーレジスト層9は、例えばアクリル変性エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成る。ソルダーレジスト層9の厚みは、20〜50μm程度である。
A solder resist layer 9 for protecting the outermost
上面側のビルドアップ部2の上面中央部には半導体素子Sが搭載される搭載部2Aが形成されている。搭載部2Aは、半導体素子Sに対応する大きさの方形の領域である。一般的には、搭載部2Aの各辺は、配線基板100の外周辺と平行になっている。搭載部2Aには、上面側の最表層のビルドアップ配線導体8から成る複数の半導体素子接続パッド10が形成されている。半導体素子接続パッド10の直径は、50〜150μm程度である。半導体素子接続パッド10は、図面作成の都合で少ない数しか示されていないが、実際には数百〜数千個が格子状に配列されている。半導体素子接続パッド10の配列は、搭載部2Aを形成する方形の各辺に平行な格子点を100〜300μm程度のピッチP1で有している。
A mounting
下面側のビルドアップ部2の下面には、下層側の最表層のビルドアップ配線導体8から成る複数の外部接続パッド11が形成されている。外部接続パッド11の直径は、250〜1000μm程度である。外部接続パッド11は、図面作成の都合で少ない数しか示されていないが、実際には数百〜数千個が格子状に配列されている。外部接続パッド11の配列は、配線基板100の外周辺に平行な格子点を500から2000μm程度のピッチP2で有している。なお、各半導体素子接続パッド10と外部接続パッド11とは、それぞれ対応するもの同士がビルドアップ配線導体8およびコア配線導体5を介して電気的に接続されている。
A plurality of
そして、半導体素子Sの電極Tを半導体素子接続パッド10に半田バンプを介して接続するとともに外部接続パッド11を外部電気回路基板の配線導体に半田ボールを介して接続することにより、搭載部2Aに搭載する半導体素子Sと外部電気回路基板との間が電気的に接続されることとなる。
Then, the electrode T of the semiconductor element S is connected to the semiconductor
ところで、この配線基板100は、高周波信号用の伝送路として差動線路を備えている。差動線路は、2本の伝送線路を互いに所定間隔をあけて隣接して並設するとともに、それらの伝送線路に逆位相の信号を伝送させることにより高周波伝送における伝送ロスを低減させるものである。
By the way, the
ここで、本発明の配線基板100における差動線路の例を図2および図3を基に説明する。図2は、図1に示した配線基板100における上面図であり、主として2組の差動線路を示している。図2においては、配線基板100の外形および半導体素子接続パッド10を実線で示しており、配線基板100の内部および下面において差動線路を構成するビルドアップ配線導体8およびスルーホール3を破線により示している。また、半導体素子搭載部2Aを二点鎖線で示している。図3は、図2に示す差動線路のみを抜き出して示した斜視図である。なお、図2および図3では、2組の差動線路を代表して示しているが、実際にはさらに多数組の差動線路が配置されている。
Here, the example of the differential line in the
図2および図3に示すように、半導体素子接続パッド10は、差動線路用のペア10Aと10Bとを有している。半導体素子接続パッドのペア10Aおよび10Bは、それぞれ搭載部2Aの一辺に平行な第1の方向に互いに隣接して並んでいる。また、外部接続パッド11は、半導体素子接続パッドのペア10A,10Bに対応する外部接続パッドのペア11Aと11Bとを有している。これらの外部接続パッドのペア11Aおよび11Bは、配線基板100の下面外周部にそれぞれ互いに隣接して並んでいる。そして、これらの半導体素子接続パッドのペア10A,10Bと外部接続パッドのペア11A,11Bとは、それぞれ対応するもの同士が、下面側のビルドアップ配線導体8に設けた帯状配線導体のペア12A,12Bを介して互いに電気的に接続されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the semiconductor
半導体素子接続パッドのペア10A,10Bに近接する位置における搭載部2Aの下方には、スルーホールのペア3A,3Bが配置されている。これらのスルーホールのペア3A,3Bは、それぞれが半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びの方向と直交する方向にピッチP3で並んでいる。そして、半導体素子接続パッドのペア10A,10Bは、それぞれ対応するスルーホールのペア3A,3Bに上面側のビルドアップ配線導体8を介して電気的に接続されている。この場合、半導体素子接続パッドのペア10Aと10Bとが互いに近接して配置されていたとしても、スルーホールのペア3A,3Bは、半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びの方向と直交する方向に並んでいることから、スルーホールのペア3A,3BにおけるピッチP3を半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びの方向と直交する方向に拡げることができる。それにより、スルーホールのペア3A,3Bのそれぞれにおいてスルーホール3同士の間に十分な隣接間隔を確保してスルーホールのペア3A,3Bにおける特性インピーダンスの低下を抑制することができる。したがって、本発明の配線基板100によれば、高周波信号を低損失で伝送することが可能となる。
Through-
さらに、帯状配線導体のペア12A,12Bは、搭載部2Aにおける半導体素子接続パッドのペア10A,10Bの並びと平行な一辺を横切るようにして、スルーホールのペア3A,3Bの下方から外部接続パッドのペア11A,11Bの上方まで延在している。帯状配線導体のペア12A,12Bは搭載部2A側の端部がスルーホールのペア3A,3Bに対応するようにペア内における互いの隣接間隔が拡がっており、その拡がった端部とスルーホールのペア3A,3Bとが下面側のビルドアップ配線導体8を介して電気的に接続されている。この場合、帯状配線導体のペア12A,12Bにおける搭載部2A側の端部を、帯状配線導体のペア12A,12Bが横切る搭載部2Aの一辺と平行な方向に拡げる必要がなく、そのため、帯状配線導体のペア12Aと12Bとの間に他の配線導体を通す余地を大きくとることができる。したがって、本発明の配線基板100によれば、高密度配線とすることが可能となる。
Further, the strip-like
1・・・・・コア基板
2・・・・・ビルドアップ部
2A・・・・・・搭載部
3・・・・・スルーホール
3A,3B・・・スルーホールのペア
4・・・・・コア絶縁板
5・・・・・コア配線導体
6・・・・・ビアホール
7・・・・・ビルドアップ絶縁層
8・・・・・ビルドアップ配線導体
10・・・・・半導体素子接続パッド
10A,10B・・半導体素子接続パッドのペア
11・・・・・外部接続パッド
11A,11B・・外部接続パッドのペア
12A,12B・・帯状配線導体のペア
P1・・・・・第1のピッチ
P2・・・・・第2のピッチ
P3・・・・・第3のピッチ
S・・・・・半導体素子
DESCRIPTION OF
Claims (1)
A core substrate in which a core wiring conductor is deposited on the upper and lower surfaces of the core insulating plate having a plurality of through holes, and a build-up insulating layer having a plurality of via holes on the upper and lower surfaces of the core substrate; A build-up portion formed by alternately laminating a plurality of build-up wiring conductors deposited on the surface of the build-up insulating layer including the inside of the via hole, and a semiconductor at the center of the upper surface of the build-up portion on the upper surface side A rectangular mounting portion on which elements are mounted and a plurality of semiconductor element connection pads made of the build-up wiring conductors are formed on the mounting portion in an array having grid points parallel to each side of the square at a first pitch. A plurality of external connection pads made of the build-up wiring conductor in the region including the outer peripheral portion on the lower surface of the build-up portion on the lower surface side. A semiconductor element connection formed in an array having lattice points with a second pitch larger than the pitch and adjacent to each other in a first direction parallel to one side of the square among the semiconductor element connection pads. A pair of pads and a core wiring conductor in a pair of adjacent through-holes arranged below the mounting portion are connected via the build-up wiring conductor on the upper surface side, and the inside of the pair of through-holes A core wiring conductor and a pair of external connection pads arranged adjacent to each other on the outer peripheral portion across the one side in the build-up portion on the lower surface side from above the mounting portion and above the pair of external connection pads A wiring board having a differential line connected through a pair of strip-like wiring conductors composed of the build-up wiring conductors extending to Wiring board, characterized in that arranged at the first pitch is greater than the third pitch in a second direction perpendicular to the direction.
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