JP4049129B2 - 圧力センサ装置 - Google Patents
圧力センサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4049129B2 JP4049129B2 JP2004196896A JP2004196896A JP4049129B2 JP 4049129 B2 JP4049129 B2 JP 4049129B2 JP 2004196896 A JP2004196896 A JP 2004196896A JP 2004196896 A JP2004196896 A JP 2004196896A JP 4049129 B2 JP4049129 B2 JP 4049129B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- case
- pressure
- sensing unit
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサ装置300の概略断面構成を示す図である。
図2は、本発明の第2実施形態に係る圧力センサ装置310の概略断面構成を示す図である。本実施形態は、上記実施形態と比べてシール部400を変形したところが相違するものである。この相違点を中心に述べる。
図3は、本発明の第3実施形態に係る圧力センサ装置320の概略断面構成を示す図である。なお、図3では、圧力センサ100はセンシング部20近傍部を示し、その周囲部は省略してある。
図4は、本発明の第4実施形態に係る圧力センサ装置330の概略断面構成を示す図である。なお、図4では、圧力センサ100はセンシング部20近傍部を示し、その周囲部は省略してある。
なお、被検出体200が分割した部分の嵌め合わせにて形成されている場合、被検出体200に圧力センサ100のケースを兼ねさせてもよい。この場合、センシング部20が被検出体200の内部に設けられて被検出体200と一体化しているものにできる。
15…圧力センサのケースの突起部、20…センシング部、
100…圧力センサ、200…被検出体、210…被検出体のケース、
211…被検出体の突起部、212…被検出体の溝部、
220…被検出体の開口部、400…シール部。
Claims (2)
- ケース(10)および前記ケース(10)に設けられた圧力検出用のセンシング部(20)を備える圧力センサ(100)を、圧力媒体が封入された被検出体(200)に取り付けて、前記圧力媒体の圧力を前記センシング部(20)に受圧させることにより圧力の検出を行うようにした圧力センサ装置において、
前記被検出体(200)には開口部(220)が設けられており、
前記センシング部(20)と前記開口部(220)とが対向するように、前記圧力センサ(100)の前記ケース(10)と前記被検出体(200)とが対向して配置されており、
前記センシング部(20)および前記開口部(220)を取り囲むように、前記圧力センサ(100)の前記ケース(10)と前記被検出体(200)との間をシールして接着するシール部(400)が形成されており、
前記圧力センサ(100)の前記ケース(10)の表面には、溝部(13)が設けられ、
前記被検出体(200)の表面には、前記溝部(13)に嵌合可能な突起部(211)が設けられており、
前記溝部(13)と前記突起部(211)とが嵌合することにより前記シール部(400)が構成されていることを特徴とする圧力センサ装置。 - ケース(10)および前記ケース(10)に設けられた圧力検出用のセンシング部(20)を備える圧力センサ(100)を、圧力媒体が封入された被検出体(200)に取り付けて、前記圧力媒体の圧力を前記センシング部(20)に受圧させることにより圧力の検出を行うようにした圧力センサ装置において、
前記被検出体(200)には開口部(220)が設けられており、
前記センシング部(20)と前記開口部(220)とが対向するように、前記圧力センサ(100)の前記ケース(10)と前記被検出体(200)とが対向して配置されており、
前記センシング部(20)および前記開口部(220)を取り囲むように、前記圧力センサ(100)の前記ケース(10)と前記被検出体(200)との間をシールして接着するシール部(400)が形成されており、
前記被検出体(200)の表面には、溝部(212)が設けられ、
前記圧力センサ(100)の前記ケース(10)の表面には、前記溝部(212)に嵌合可能な突起部(15)が設けられており、
前記溝部(212)と前記突起部(15)とが嵌合することにより前記シール部(400)が構成されていることを特徴とする圧力センサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004196896A JP4049129B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 圧力センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004196896A JP4049129B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 圧力センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006017621A JP2006017621A (ja) | 2006-01-19 |
JP4049129B2 true JP4049129B2 (ja) | 2008-02-20 |
Family
ID=35792047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004196896A Expired - Fee Related JP4049129B2 (ja) | 2004-07-02 | 2004-07-02 | 圧力センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4049129B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014068739A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Senko Medical Instr Mfg Co Ltd | 圧力センサ付きコネクタ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5844322A (ja) * | 1981-09-10 | 1983-03-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力検知装置 |
JPS60123646U (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-20 | 株式会社山武 | 圧力・差圧発信器 |
JPH0542333Y2 (ja) * | 1987-03-17 | 1993-10-26 | ||
JPH0835896A (ja) * | 1991-07-16 | 1996-02-06 | Terumo Corp | 圧力変換器 |
JP4380028B2 (ja) * | 1999-11-02 | 2009-12-09 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
-
2004
- 2004-07-02 JP JP2004196896A patent/JP4049129B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014068739A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Senko Medical Instr Mfg Co Ltd | 圧力センサ付きコネクタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006017621A (ja) | 2006-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4249193B2 (ja) | 半導体圧力センサ装置 | |
EP1980830B1 (en) | Pressure sensor device including temperature sensor contained in common housing | |
US7216546B2 (en) | Pressure sensor having integrated temperature sensor | |
JP4550364B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
US20030115967A1 (en) | Pressure sensor module | |
CN1323289C (zh) | 容纳在壳体中的压力传感器 | |
JPH07209115A (ja) | 半導体圧力検出器及びその製造方法 | |
JP5050392B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP4049129B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP2008267953A (ja) | 圧力センサおよび圧力センサの取付構造 | |
JP2006194683A (ja) | 温度センサ一体型圧力センサ装置 | |
JP4830669B2 (ja) | センサ装置およびその製造方法 | |
JP4717088B2 (ja) | 半導体圧力センサ装置の製造方法 | |
JP2007024771A (ja) | 圧力センサ | |
JP3835317B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2006194682A (ja) | 温度センサ一体型圧力センサ装置 | |
JP3722037B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP4930254B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4442399B2 (ja) | 圧力センサおよびその組み付け構造 | |
JP2006208087A (ja) | 圧力センサ | |
JP4983329B2 (ja) | センサ装置 | |
JPH10170379A (ja) | 圧力センサ | |
JP3617441B2 (ja) | センサ装置 | |
JP2006208088A (ja) | 圧力センサおよびその製造方法 | |
JP2000249614A (ja) | 半導体圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070723 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4049129 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101207 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111207 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121207 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131207 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |