JP3156250B2 - コンタクトプローブ - Google Patents
コンタクトプローブInfo
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 10,10-dioxo-2-[4-(N-phenylanilino)phenyl]thioxanthen-9-one Chemical compound O=C1c2ccccc2S(=O)(=O)c2ccc(cc12)-c1ccc(cc1)N(c1ccccc1)c1ccccc1 FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電気回路基板（以下回路基板）等の電気特
性を測定するときに使用するコンタクトプローブに関す
る。
性を測定するときに使用するコンタクトプローブに関す
る。
従来回路基板等の電気特性を測定するときに使用する
コンタクトプローブは、第３図に示すように機械的接触
端子部15がコイルバネ14により押されて12の方向に移動
する構造のものか、第４図の様に機械的接触端子部16が
それ自体のたわみによるバネで12の方向に移動する構造
のものであった。
コンタクトプローブは、第３図に示すように機械的接触
端子部15がコイルバネ14により押されて12の方向に移動
する構造のものか、第４図の様に機械的接触端子部16が
それ自体のたわみによるバネで12の方向に移動する構造
のものであった。
しかし従来のコンタクトプローブは、プローブ先端の
接触点が第３・４図における12方向すなわち回路基板面
に対して法線方向に移動する使用方が一般的であるが、
回路基板法線方向にたいして直角な回路基板面平行方向
13に移動する使用法には不向きであり、そのような場合
は回路基板上に傷を付けるという課題があった。そこで
本発明は、面平行方向にプローブを移動させて回路基板
等の電気特性を測定する場合に回路基板に損傷を与えな
いようなプローブを提供することを目的とする。
接触点が第３・４図における12方向すなわち回路基板面
に対して法線方向に移動する使用方が一般的であるが、
回路基板法線方向にたいして直角な回路基板面平行方向
13に移動する使用法には不向きであり、そのような場合
は回路基板上に傷を付けるという課題があった。そこで
本発明は、面平行方向にプローブを移動させて回路基板
等の電気特性を測定する場合に回路基板に損傷を与えな
いようなプローブを提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明の電気特性測定装置
は、回路基板の電気特性を測定する電気特性測定装置に
おいて、前記回路基板上の電極パターンに接触させるた
めのローラーと、前記ローラーを支持するアームと、前
記アームを回動可能に支持するプローブ固定軸と、前記
アームに加圧力を有して接触するとともに加圧軸方向に
移動可能な端子部を有するコンタクトプローブとからな
り、前記アームが回動するに伴って、前記端子部が、前
記加圧軸方向に移動することを特徴とする。
は、回路基板の電気特性を測定する電気特性測定装置に
おいて、前記回路基板上の電極パターンに接触させるた
めのローラーと、前記ローラーを支持するアームと、前
記アームを回動可能に支持するプローブ固定軸と、前記
アームに加圧力を有して接触するとともに加圧軸方向に
移動可能な端子部を有するコンタクトプローブとからな
り、前記アームが回動するに伴って、前記端子部が、前
記加圧軸方向に移動することを特徴とする。
以下に本発明の実施例を図面に基付いて説明する。回
路基板11上の電極パターン10に対してローラー１が接触
し、従来技術第３図に示すバネプローブ７によりベアリ
ング６に支持されたアーム４を介して電気的導通に必要
な加圧をし、かつプローブ７を介して電気信号を授受す
る。接触端子であるローラー１はベアリング２で支持さ
れ、ローラー１との電気信号を確実に授受する為にロー
ラー１の先端をテーパーにとがらせ板バネ３と接触させ
る。なおこのバネ３の加圧力はローラー１とベアリング
２とのスラストがたを除去することも目的としている。
ローラー１はハウジング９の両側に１個づつ２個配し同
一水準の検出をすることによる検出信頼性向上、あるい
は一つのハウジングで２ヵ所の検出をする等の使い分け
を可能とするために、左右のプローブ同志の信号の干渉
を避ける目的で、ベアリング６を支持する軸５を電気的
絶縁体としている。ローラーの接触信頼性を向上するた
めに、ローラー１の電極パターン10と接触する先端アー
ル部分は鏡面仕上げが必要である。
路基板11上の電極パターン10に対してローラー１が接触
し、従来技術第３図に示すバネプローブ７によりベアリ
ング６に支持されたアーム４を介して電気的導通に必要
な加圧をし、かつプローブ７を介して電気信号を授受す
る。接触端子であるローラー１はベアリング２で支持さ
れ、ローラー１との電気信号を確実に授受する為にロー
ラー１の先端をテーパーにとがらせ板バネ３と接触させ
る。なおこのバネ３の加圧力はローラー１とベアリング
２とのスラストがたを除去することも目的としている。
ローラー１はハウジング９の両側に１個づつ２個配し同
一水準の検出をすることによる検出信頼性向上、あるい
は一つのハウジングで２ヵ所の検出をする等の使い分け
を可能とするために、左右のプローブ同志の信号の干渉
を避ける目的で、ベアリング６を支持する軸５を電気的
絶縁体としている。ローラーの接触信頼性を向上するた
めに、ローラー１の電極パターン10と接触する先端アー
ル部分は鏡面仕上げが必要である。
また、ベアリング２との勘合や加工プロセス上で打痕
等欠陥の発生を抑えるため、メッキ等の防錆処理が不要
な超硬あるいはステンレスのプレハードン材等を用いる
事は有効である。
等欠陥の発生を抑えるため、メッキ等の防錆処理が不要
な超硬あるいはステンレスのプレハードン材等を用いる
事は有効である。
以上述べたような発明によれば、ローラーが回路基板
上の電極パターンを乗り越える際、アームの回動を介し
て端子部は加圧軸方向に移動するので、端子部にかかる
回路基板と平行な力は減少する。この力が減少すること
により端子部のこじれがなくなるので、回路基板に損傷
を与えることはなくなるという効果を奏することが出来
る。
上の電極パターンを乗り越える際、アームの回動を介し
て端子部は加圧軸方向に移動するので、端子部にかかる
回路基板と平行な力は減少する。この力が減少すること
により端子部のこじれがなくなるので、回路基板に損傷
を与えることはなくなるという効果を奏することが出来
る。
第１図……本発明ローラープローブの平面断面図。 第２図……本発明ローラープローブの正面図。 第３図……従来のコイルバネ使用コンタクトプローブ断
面図。 第４図……従来のピンたわみ方式コンタクトプローブ断
面図。 １……ローラ ２……ベアリング ３……板バネ ４……アーム ５……軸 ６……ベアリング ７……コイルバネ式コンタクトプローブ ８……プローブ固定軸 ９……プローブハウジング 10……電極パターン 11……回路基板 12……回路基板法線方向 13……回路基板面平行方向 14……バネ 15……プローブ 16……プローブ
面図。 第４図……従来のピンたわみ方式コンタクトプローブ断
面図。 １……ローラ ２……ベアリング ３……板バネ ４……アーム ５……軸 ６……ベアリング ７……コイルバネ式コンタクトプローブ ８……プローブ固定軸 ９……プローブハウジング 10……電極パターン 11……回路基板 12……回路基板法線方向 13……回路基板面平行方向 14……バネ 15……プローブ 16……プローブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 1/067 G01R 31/28
Claims (2)
- 【請求項１】回路基板の電気特性を測定する電気特性測
定装置において、 前記回路基板上の電極パターンに接触させるためのロー
ラーと、 前記ローラーを支持するアームと、 前記アームを回動可能に支持するプローブ固定軸と、 前記アームに加圧力を有して接触するとともに加圧軸方
向に移動可能な端子部を有するコンタクトプローブとか
らなり、 前記アームが回動するに伴って、前記端子部が、前記加
圧軸方向に移動することを特徴とする電気特性測定装
置。 - 【請求項２】請求項１に記載の電気特性測定装置を用い
て測定基板の電気特性を測定することを特徴とする電気
特性測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22484590A JP3156250B2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | コンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22484590A JP3156250B2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | コンタクトプローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04105069A JPH04105069A (ja) | 1992-04-07 |
| JP3156250B2 true JP3156250B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=16820072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22484590A Expired - Fee Related JP3156250B2 (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | コンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3156250B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100368075B1 (ko) * | 2000-02-07 | 2003-01-15 | 마이크로 인스펙션 주식회사 | 로울링 와이어 프로브를 이용한 스캔방식의 검사장치 및방법 |
| US7443179B2 (en) * | 2006-11-30 | 2008-10-28 | Electro Scientific Industries, Inc. | Zero motion contact actuation |
-
1990
- 1990-08-27 JP JP22484590A patent/JP3156250B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04105069A (ja) | 1992-04-07 |
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