JP2908145B2 - Dispensing device - Google Patents
Dispensing deviceInfo
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- compressed air
- supply unit
- air supply
- coating material
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はディスペンス装置に関
し、特に塗布ノズルに塗布材料の糸引き現象防止機能を
有するディスペンス装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dispensing apparatus, and more particularly to a dispensing apparatus having a coating nozzle having a function of preventing a threading phenomenon of a coating material.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のディスペンス装置における塗布材
料の糸引き現象を防止する機構の一つとして、図３に示
すようなものがある。この機構は、チューブ（２）１２
が接続されているアダプタ１１と、アダプタ１１を上側
に固定するシリンジ（２）１４と、シリンジ（２）１４
の吐出口に取り付けられる塗布ノズル（２）１５とを有
してなっており、シリンジ（２）１４に充填されている
塗布材料９は、アダプタ１１に接続されているチューブ
（２）１２を介して送られてくる圧縮空気により塗布ノ
ズル（２）１５の先端から吐出される。塗布材料９を所
要量吐出後、チューブ（２）１２を介して送られる負圧
空気がシリンジ（２）１４に送られ、塗布ノズル（２）
１５からの塗布材料の吐出を停止させるようになってい
る。2. Description of the Related Art As one of the mechanisms for preventing a threading phenomenon of a coating material in a conventional dispensing apparatus, there is one as shown in FIG. This mechanism includes a tube (2) 12
, A syringe (2) 14 for fixing the adapter 11 on the upper side, and a syringe (2) 14
And a coating nozzle (2) 15 attached to the discharge port of the liquid crystal display. The coating material 9 filled in the syringe (2) 14 passes through the tube (2) 12 connected to the adapter 11. The compressed air is sent from the tip of the application nozzle (2) 15. After discharging the required amount of the coating material 9, the negative pressure air sent through the tube (2) 12 is sent to the syringe (2) 14, and the coating nozzle (2)
The discharge of the coating material from the nozzle 15 is stopped.
【０００３】また、糸引き現象を防止する機構の他の例
として、図４に示すようなものがある。この機構は、チ
ューブ（２）１２が接続されているアダプタ１１と、ア
ダプタ１１を上側に固定するシリンジ（２）１４と、シ
リンジ（２）１４の吐出口に取り付けられている塗布ノ
ズル（３）１６と、塗布ノズル（３）１６の側面に固定
されてチュープ（３）１８が接続されているカットノズ
ル１７とを有してなっている。シリンジ（２）１４に充
填されている塗布材料９は、アダプタ１１に接続されて
いるチューブ（２）１２を介して送られてくる圧縮空気
により塗布ノズル（３）１６の先端から吐出される。塗
布材料９を所要量吐出後、チューブ（３）１８を介して
送られカットノズル１７の先端から吐出される圧縮空気
により、カットノズル１７との接続口より下側に残って
いる塗布ノズル（３）１６内の塗布材料９を排出するよ
うになっている。なお、カットノズル１７には逆止弁機
能はない。ここでチューブ（２）１２とチューブ（３）
１８から同時に圧縮空気を送ると泡が発生するため、同
時には送れず、チューブ（２）１２から送っている時は
チューブ（３）１８からの圧縮空気は止まっているの
で、塗布材料９がチューブ（３）１８側に入り込んでし
まう可能性がある。FIG. 4 shows another example of a mechanism for preventing the stringing phenomenon. This mechanism includes an adapter 11 to which a tube (2) 12 is connected, a syringe (2) 14 for fixing the adapter 11 on the upper side, and a coating nozzle (3) attached to a discharge port of the syringe (2) 14. 16, and a cut nozzle 17 fixed to the side surface of the application nozzle (3) 16 and connected to a tube (3) 18. The coating material 9 filled in the syringe (2) 14 is discharged from the tip of the coating nozzle (3) 16 by compressed air sent through the tube (2) 12 connected to the adapter 11. After the required amount of the coating material 9 has been discharged, compressed air sent through the tube (3) 18 and discharged from the tip of the cut nozzle 17 causes the coating nozzle (3) remaining below the connection port with the cut nozzle 17 to flow. ) 16 to discharge the coating material 9. The cut nozzle 17 has no check valve function. Here, tube (2) 12 and tube (3)
When the compressed air is sent from the tube 18 at the same time, a bubble is generated. Therefore, when the compressed air is sent from the tube (2) 12, the compressed air from the tube (3) 18 is stopped. (3) There is a possibility of getting into the 18 side.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】この従来のディスペン
ス装置における塗布材料の糸引き現象を防止する機構で
は、まず、図３に示すように負圧空気を使う方法では、
塗布材料の液だれ防止には効果があるが、糸引き防止に
はほとんど効果がない。また、図４に示すようにカット
ノズルを使う方法では、塗布材料がカットノズルに入り
こんでしまう恐れがあり、また塗布材料が高粘度の場
合、糸引き防止には全く効果がない。In the conventional dispensing apparatus, the mechanism for preventing the stringing phenomenon of the coating material is firstly realized by a method using negative pressure air as shown in FIG.
Although effective in preventing dripping of the coating material, it has little effect in preventing stringing. Further, in the method using the cut nozzle as shown in FIG. 4, there is a risk that the coating material may enter the cut nozzle, and when the coating material has a high viscosity, there is no effect in preventing stringing.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明のディスペンス装
置は、空圧を動力源とし圧縮空気の吐出圧力調整ならび
に吐出時間設定の制御機能を有する第１の圧縮空気供給
部と、前記第１の圧縮空気供給部からチューブを介して
前記圧縮空気を送られ且つ塗布材料を充填する容器と、
前記容器の吐出口に取り付けられ且つこの吐出口に連な
るごとく垂直方向に穿設されて前記塗布材料を外部に吐
出する第１の穴およびこの第１の穴と連接して斜め上方
向に分岐している第２の穴とを有する塗布ノズルと、前
記第２の穴に圧縮空気を送る第２の圧縮空気供給部と、
前記第２の穴および前記第２の圧縮空気供給部との間に
設けられ前記塗布材料が前記第２の圧縮空気供給部に進
入するのを防ぐ逆止弁を有するチェックバルブとを備え
ている。According to the present invention, there is provided a dispensing apparatus comprising: a first compressed air supply unit having a function of adjusting a discharge pressure of compressed air and setting a discharge time using pneumatic pressure as a power source; A container to which the compressed air is sent from a compressed air supply unit via a tube and filled with a coating material,
A first hole which is attached to the discharge port of the container and is vertically drilled so as to be continuous with the discharge port, and which branches off diagonally upward in connection with the first hole for discharging the coating material to the outside and the first hole; An application nozzle having a second hole, and a second compressed air supply unit for sending compressed air to the second hole;
A check valve provided between the second hole and the second compressed air supply unit and having a check valve for preventing the application material from entering the second compressed air supply unit. .
【０００６】[0006]
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のディスペンス装置の正面
から見た断面図、図２は本実施例の動作状況を（ａ），
（ｂ），（ｃ）に順次示す断面図である。Next, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a dispensing device according to an embodiment of the present invention as viewed from the front, and FIG.
It is sectional drawing shown to (b) and (c) sequentially.
【０００７】本実施例は、圧縮空気の吐出圧力調整なら
びに吐出時間設定の制御機能を有する圧縮空気供給部
（１）１０と、この圧縮空気供給部（１）１０からのチ
ューブ（２）１２が接続されているアダプタ１１と、ア
ダプタ１１を上側に固定し且つ塗布材料９を充填するシ
リンジ（１）１と、シリンジ（１）１の吐出口に取り付
けられている塗布ノズル（１）２と、チューブ（１）８
を介して圧縮空気供給部（２）１３から圧縮空気を送り
込まれ且つばね７によって押されているホルダー６に接
しＯリング５を外周に有する弁４を先端部に備えて逆止
弁機能を有するチェックバルブ３とから構成され、チェ
ックバルブ３は塗布ノズル（１）２に斜め上方向に固定
されている。塗布ノズル（１）２にはシリンジ（１）１
を取付ける垂直方向の穴と、この穴に対し斜め上方向に
明けられたチェックバルブ３用の穴とが設けられ、この
２つの穴は塗布ノズル（１）２の内部でつながってい
る。In this embodiment, a compressed air supply unit (1) 10 having a function of controlling the discharge pressure of the compressed air and a setting of the discharge time, and a tube (2) 12 from the compressed air supply unit (1) 10 are provided. A connected adapter 11, a syringe (1) 1 for fixing the adapter 11 on the upper side and filling the coating material 9, a coating nozzle (1) 2 attached to a discharge port of the syringe (1) 1, Tube (1) 8
Is provided with a valve 4 having an O-ring 5 on its outer periphery in contact with a holder 6 which is supplied with compressed air from a compressed air supply unit (2) 13 through a spring and is pressed by a spring 7, and has a check valve function. The check valve 3 is fixed to the application nozzle (1) 2 obliquely upward. A syringe (1) 1 is attached to the application nozzle (1) 2.
And a hole for the check valve 3 drilled diagonally upward from the hole, and these two holes are connected inside the coating nozzle (1) 2.
【０００８】次に、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）により
本実施例の動作について説明する。まず、図２（ａ）に
示すように、塗布材料９は、圧縮空気をシリンジ（１）
１の上側から送り込むことにより、シリンジ（１）１か
らシリンジ（１）１の吐出口に取り付けられている塗布
ノズル（１）２の垂直方向の穴を通って、塗布ノズル
（１）２の吐出口から吐出される。シリンジ（１）１の
吐出口から塗布材料９が所要量吐出された時点で、図２
（ｂ）に示すようにチェックバルブ３を通して圧縮空気
供給部（２）１３からの圧縮空気を送り込むことによ
り、図２（ｃ）に示すように、塗布ノズル（１）２でチ
ェックバルブ３とつながっている斜め方向の穴より下側
に入っていた塗布材料９は、全て塗布ノズル（１）２の
吐出口より吐出される。また塗布ノズル（１）２の垂直
方向の穴内で、チェックバルブ３とつながっている斜め
方向の穴より上側に入っている塗布材料９は、チェック
バルブ３を通して送り込まれる圧縮空気の圧力によって
落下しない。そして逆止弁機能を有するチェックバルブ
３を使うことにより、塗布材料９が塗布ノズル（１）２
からチェックバルブ３方向へ逆流することを防いでい
る。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS. 2 (a), 2 (b) and 2 (c). First, as shown in FIG. 2 (a), the coating material 9 is compressed air by a syringe (1).
By feeding from the upper side of the nozzle 1, the syringe (1) 1 discharges from the coating nozzle (1) 2 through the vertical hole of the coating nozzle (1) 2 attached to the discharge port of the syringe (1) 1. Discharged from the outlet. When the required amount of the coating material 9 is discharged from the discharge port of the syringe (1) 1, FIG.
By sending compressed air from the compressed air supply unit (2) 13 through the check valve 3 as shown in FIG. 2B, the application nozzle (1) 2 is connected to the check valve 3 as shown in FIG. The coating material 9 that has entered the lower side of the oblique hole is discharged from the discharge port of the coating nozzle (1) 2. Further, in the vertical hole of the application nozzle (1) 2, the application material 9 that is located above the oblique hole connected to the check valve 3 does not fall due to the pressure of the compressed air sent through the check valve 3. By using the check valve 3 having a check valve function, the application material 9 is applied to the application nozzle (1) 2
From the back to the check valve 3 direction.
【０００９】[0009]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、塗布材料
を充填する容器の吐出口に塗布材料の糸引き現象を防止
する機能を有する塗布ノズルを備えることにより、高粘
度の塗布材料でも糸引きを起こさずに、定量塗布できる
という効果を有する。As described above, the present invention provides a coating nozzle having a function of preventing a stringing phenomenon of a coating material at a discharge port of a container for filling the coating material. It has the effect of being able to apply a fixed amount without pulling.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の一実施例の正面から見た断面図であ
る。FIG. 1 is a front sectional view of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例の動作状況を（ａ），
（ｂ），（ｃ）に順次示す断面図である。FIGS. 2A and 2B show operation states of one embodiment of the present invention;
It is sectional drawing shown to (b) and (c) sequentially.
【図３】従来技術の一例を正面から見た断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of an example of the related art as viewed from the front.
【図４】従来技術の他の例を正面から見た断面図であ
る。FIG. 4 is a cross-sectional view of another example of the related art as viewed from the front.
１ シリンジ（１） ２ 塗布ノズル（１） ３ チェックバルブ ４ 弁 ５ Ｏリング ６ ホルダー ７ ばね ８ チューブ（１） ９ 塗布材料 １０ 圧縮空気供給部（１） １１ アダプタ １２ チューブ（２） １３ 圧縮空気供給部（２） １４ シリンジ（２） １５ 塗布ノズル（２） １６ 塗布ノズル（３） １７ カットノズル １８ チューブ（３） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Syringe (1) 2 Coating nozzle (1) 3 Check valve 4 Valve 5 O-ring 6 Holder 7 Spring 8 Tube (1) 9 Coating material 10 Compressed air supply part (1) 11 Adapter 12 Tube (2) 13 Compressed air supply Part (2) 14 Syringe (2) 15 Coating nozzle (2) 16 Coating nozzle (3) 17 Cut nozzle 18 Tube (3)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大澤 宏行 神奈川県横浜市神奈川区新浦島町１丁目 １番地25日本電気ロボットエンジニアリ ング株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−123655（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−210268（ＪＰ，Ａ) 実開 昭51−134662（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−102565（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−181008（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−172370（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−140976（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−128870（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B05C 5/00 101 H01L 21/30 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hiroyuki Osawa 1-1-25 Shinurashima-cho, Kanagawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside of Nippon Electric Robot Engineering Co., Ltd. (56) References JP-A-3-123655 (JP, A) JP-A-4-210268 (JP, A) Japanese Utility Model Application No. 51-134662 (JP, U) Japanese Utility Model Application No. 54-102565 (JP, U) Japanese Utility Model Application No. 54-181008 (JP, U) Japanese Utility Model Application No. 56 -172370 (JP, U) Japanese Utility Model 62-144096 (JP, U) Japanese Utility Model Application No. 1-128870 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) B05C 5/00 101 H01L 21/30
Claims (1)
整ならびに吐出時間設定の制御機能を有する第１の圧縮
空気供給部と、前記第１の圧縮空気供給部からチューブ
を介して前記圧縮空気を送られ且つ塗布材料を充填する
容器と、前記容器の吐出口に取り付けられ且つこの吐出
口に連なるごとく垂直方向に穿設されて前記塗布材料を
外部に吐出する第１の穴およびこの第１の穴と連接して
斜め上方向に分岐している第２の穴とを有する塗布ノズ
ルと、前記第２の穴に圧縮空気を送る第２の圧縮空気供
給部と、前記第２の穴および前記第２の圧縮空気供給部
との間に設けられ前記塗布材料が前記第２の圧縮空気供
給部に進入するのを防ぐ逆止弁を有するチェックバルブ
とを備えることを特徴とするディスペンス装置。1. A first compressed air supply unit having a control function of adjusting a discharge pressure of compressed air and setting a discharge time by using air pressure as a power source, and the compressed air supply unit via the tube from the first compressed air supply unit. A container to which air is sent and filled with a coating material; a first hole attached to a discharge port of the container and vertically drilled so as to be continuous with the discharge port and discharging the coating material to the outside; An application nozzle having a second hole connected to the first hole and branching obliquely upward, a second compressed air supply unit for sending compressed air to the second hole, and the second hole And a check valve provided between the second compressed air supply unit and a check valve for preventing the coating material from entering the second compressed air supply unit. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27393892A JP2908145B2 (en) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Dispensing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27393892A JP2908145B2 (en) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Dispensing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06165964A JPH06165964A (en) | 1994-06-14 |
| JP2908145B2 true JP2908145B2 (en) | 1999-06-21 |
Family
ID=17534660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27393892A Expired - Fee Related JP2908145B2 (en) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | Dispensing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2908145B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3742000B2 (en) | 2000-11-30 | 2006-02-01 | 富士通株式会社 | Press machine |
| JP4780789B2 (en) * | 2007-02-19 | 2011-09-28 | 東京エレクトロン株式会社 | Treatment liquid supply device |
-
1992
- 1992-10-13 JP JP27393892A patent/JP2908145B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06165964A (en) | 1994-06-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990223 |
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