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JP2023117084A - Method for manufacturing optical fiber preform and method for manufacturing optical fiber - Google Patents

Method for manufacturing optical fiber preform and method for manufacturing optical fiber Download PDF

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JP2023117084A
JP2023117084A JP2022019588A JP2022019588A JP2023117084A JP 2023117084 A JP2023117084 A JP 2023117084A JP 2022019588 A JP2022019588 A JP 2022019588A JP 2022019588 A JP2022019588 A JP 2022019588A JP 2023117084 A JP2023117084 A JP 2023117084A
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正 高橋
Tadashi Takahashi
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Abstract

To provide a method for manufacturing an optical fiber preform, capable of preventing a support part from being damaged.SOLUTION: A method for manufacturing an optical fiber preform including: a seed rod including a core part and a support part bonded at one or both ends of the core part by heat fusion; and a porous glass part formed in the outer periphery of the core part comprises the steps of: holding the holding part of the support part and depositing porous glass on the seed rod to form a porous glass part; slowly cooling a boundary part between the core part and the support part and the vicinity area of the boundary part at a predetermined cooling rate in a predetermined temperature range; and heating and transparently vitrify the optical fiber preform.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、光ファイバ母材の製造方法および光ファイバの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing an optical fiber preform and a method for manufacturing an optical fiber.

近年、OVD(Outside Vapor Deposition)スートの大型化に伴い、サポート棒の負荷が増加している。一方で、多孔質ガラス母材のクラックを防止する光ファイバ母材の製造方法が提案されている。特許文献1に記載の光ファイバ母材の製造方法は、バーナーに流す燃料ガスの流量を徐々に減らし、バーナーで加熱しながら光ファイバ多孔質母材の表面温度を徐冷する工程を備える。特許文献2に記載の堆積装置は、光ファイバ母材の両端におけるガラス微粒子のクラックを防止する構成を備える。さらに、その大型化に伴う負荷を軽減するために、縦型のOVDにすることが考えられ、特許文献3に記載の堆積装置は、装置内で光ファイバ母材を縦に把持し、上下方向にガラス微粒子を堆積させている。 In recent years, with the increase in size of OVD (Outside Vapor Deposition) soot, the load on the support rods is increasing. On the other hand, a method for manufacturing an optical fiber preform that prevents cracks in the porous glass preform has been proposed. The method for manufacturing an optical fiber preform described in Patent Document 1 includes a step of gradually decreasing the flow rate of the fuel gas supplied to the burner and slowly cooling the surface temperature of the porous optical fiber preform while heating it with the burner. The deposition apparatus described in Patent Document 2 has a configuration for preventing cracks of glass particles at both ends of an optical fiber preform. Furthermore, in order to reduce the load associated with the increase in size, it is conceivable to use a vertical OVD. glass particles are deposited on the

特許第5163416号公報Japanese Patent No. 5163416 特許第6960728号公報Japanese Patent No. 6960728 特開2021-175695号公報JP 2021-175695 A

しかしながら、特許文献1に記載の光ファイバ母材の製造方法は、コア部に堆積したガラス微粒子の徐冷をするのみである。光ファイバ母材の冷却時に、ガラス微粒子を堆積した光ファイバ母材部に比べてサポート部は多孔質層がない、もしくは薄いため、冷却速度が大きくなる。このため、サポート部に歪みが生じ、サポート部が破損し得る。特許文献2に記載の構成はサポート部にガラス微粒子が堆積することを抑止して多孔質母材のクラックを防止するもので、サポート部の破損を抑止するものではない。特許文献3に記載の堆積装置は、光ファイバ母材の大型化に伴うサポート部に掛かる負荷を軽減しているものの、歪みについて記述はなく、また煙突効果による上昇気流を制御する必要があり、堆積装置が複雑で高価になる。 However, the method for manufacturing an optical fiber preform described in Patent Document 1 only slowly cools the glass particles deposited on the core portion. When the optical fiber preform is cooled, the cooling speed is increased because the support section has no porous layer or is thinner than the optical fiber preform on which the glass particles are deposited. As a result, the support portion may be distorted and damaged. The structure described in Patent Literature 2 prevents the deposition of glass particles on the support portion to prevent cracks in the porous base material, but does not prevent damage to the support portion. Although the deposition apparatus described in Patent Document 3 reduces the load applied to the support portion due to the increase in size of the optical fiber preform, there is no description of distortion, and it is necessary to control the upward air flow due to the chimney effect. Deposition equipment becomes complicated and expensive.

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、光ファイバ母材のサポート部の破損を防止することができる光ファイバ母材の製造方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an optical fiber preform that can prevent the support portion of the optical fiber preform from being damaged.

本発明の一観点によれば、コア部および前記コア部の両端に熱融着によって接合されたサポート部を有する種棒と、前記コア部の外周に形成された多孔質ガラス部と、を有する光ファイバ母材の製造方法であって、前記サポート部の把持部を把持し、前記種棒に多孔質ガラスを堆積し、前記多孔質ガラス部を形成する工程と、前記光ファイバ母材を加熱し、透明ガラス化する工程と、を備え、前記種棒に前記多孔質ガラス部を形成した後に、バーナーの火炎を用いて前記コア部と前記サポート部との境界部および前記境界部の近傍領域を所定の冷却速度で冷却する工程をさらに備えることを特徴とする、光ファイバ母材の製造方法が提供される。 According to one aspect of the present invention, it has a seed rod having a core portion and support portions joined to both ends of the core portion by heat-sealing, and a porous glass portion formed on the outer periphery of the core portion. A method for manufacturing an optical fiber preform, comprising: holding a holding portion of the support portion; depositing porous glass on the seed rod to form the porous glass portion; and heating the optical fiber preform. and transparently vitrifying, wherein after forming the porous glass portion on the seed rod, a boundary portion between the core portion and the support portion and a region near the boundary portion are formed using a burner flame. There is provided a method for manufacturing an optical fiber preform, further comprising the step of cooling at a predetermined cooling rate.

本発明によれば、サポート部の破損を防止することができる光ファイバ母材の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a method of manufacturing an optical fiber preform that can prevent the support portion from being damaged.

図1は、本発明の第1実施形態における光ファイバ母材の種棒の斜視図であるFIG. 1 is a perspective view of a seed rod of an optical fiber preform in a first embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第1実施形態における図1に示した光ファイバ母材の種棒のII部分の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of part II of the seed rod of the optical fiber preform shown in FIG. 1 in the first embodiment of the present invention. 図3は、本発明の第1実施形態における光ファイバ母材の製造に用いる堆積装置の側面図である。FIG. 3 is a side view of the deposition apparatus used for manufacturing the optical fiber preform in the first embodiment of the present invention. 図4は、本発明の第1実施形態における光ファイバ母材の製造に用いる焼結装置の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a sintering apparatus used for manufacturing an optical fiber preform in the first embodiment of the present invention. 図5は、本発明の第1実施形態におけるガラス母材の製造方法のフローチャートである。FIG. 5 is a flow chart of a method for manufacturing a glass base material according to the first embodiment of the present invention. 図6は、本発明の第1実施形態における実施例および比較例のサポート部の徐冷の温度変化を示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing temperature changes during slow cooling of support portions of Examples and Comparative Examples in the first embodiment of the present invention. 図7は、本発明の第1実施形態における実施例および比較例のサポート部のクラックの有無を示す表である。FIG. 7 is a table showing the presence or absence of cracks in the support portions of Examples and Comparative Examples in the first embodiment of the present invention.

以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。明細書全般における同じ参照符号は、実質的に同一の構成要素を意味する。 An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings. The same reference numbers throughout the specification denote substantially the same components.

[第1実施形態]
図1は本実施形態における光ファイバ母材の種棒の斜視図であり、図2は図1に示した光ファイバ母材の種棒のII部分の斜視図である。
[First embodiment]
FIG. 1 is a perspective view of the seed rod of the optical fiber preform in this embodiment, and FIG. 2 is a perspective view of the II portion of the seed rod of the optical fiber preform shown in FIG.

光ファイバ母材の種棒はコア部11、サポート部12A、12Bを備える。コア部11は、光ファイバ母材の出発材であり、石英ガラス等で形成される。コア部11は、コアおよび当該コアの外周に形成されたクラッド層を有するロッドを加熱延伸することによって形成され得る。コア部11は略円柱形をなし、側部111、端部112、113を備える。側部111は所定の長さを有し、端部112、113は所定の直径を有する。例えば、長さが4000mmであり、直径が70mmであり得る。側部111の外周には後述する堆積工程においてガラス微粒子が堆積され、光ファイバ母材が形成される。図1において、コア部11の仮想のコア軸114が延在する方向をX方向とし、X方向に直交する方向をY方向とし、X方向およびY方向に直交する方向をZ方向と称する。 The seed rod of the optical fiber preform comprises a core portion 11 and support portions 12A and 12B. The core portion 11 is a starting material of an optical fiber preform and is made of silica glass or the like. The core portion 11 can be formed by heating and drawing a rod having a core and a clad layer formed around the core. The core portion 11 has a substantially cylindrical shape and includes a side portion 111 and end portions 112 and 113 . Side 111 has a length and ends 112, 113 have a diameter. For example, it may be 4000 mm long and 70 mm in diameter. Glass particles are deposited on the outer periphery of the side portion 111 in a deposition process described later to form an optical fiber preform. In FIG. 1, the direction in which the virtual core axis 114 of the core portion 11 extends is the X direction, the direction perpendicular to the X direction is the Y direction, and the direction perpendicular to the X and Y directions is the Z direction.

サポート部12A、12Bは支持棒であり、コア部11の両端にそれぞれサポート部12A、12Bが設けられる。サポート部12A、12Bは、ガラス微粒子が堆積する工程および焼結する工程において、コア部11を支持する用途に用いられる。サポート部12A、12Bはコア部11と同様に石英等で構成される。サポート部12A、12Bは略円柱形をなし、それぞれ側部121A、121B、端部122A、122B、123A、123Bを備える。側部121A、121Bは所定の長さを有し、端部122A、122B、123A、123Bは所定の直径を有する。例えば、長さが1000mmであり、直径が65mmであり得る。側部121A、121Bの長さおよび端部122A、122B、123A、123Bの直径は、コア部11の側部111の長さまたは端部112、113の直径、ガラス微粒子が堆積する厚さ等に応じて適宜変更されてもよい。 The support portions 12A and 12B are support rods, and the support portions 12A and 12B are provided at both ends of the core portion 11, respectively. The support portions 12A and 12B are used to support the core portion 11 in the step of depositing glass particles and the step of sintering. The support portions 12A and 12B are made of quartz or the like, like the core portion 11. As shown in FIG. The support portions 12A, 12B are generally cylindrical and have side portions 121A, 121B and end portions 122A, 122B, 123A, 123B, respectively. Sides 121A, 121B have a length and ends 122A, 122B, 123A, 123B have a diameter. For example, it can be 1000 mm long and 65 mm in diameter. The lengths of the side portions 121A and 121B and the diameters of the end portions 122A, 122B, 123A and 123B are determined according to the length of the side portion 111 of the core portion 11, the diameter of the end portions 112 and 113, the thickness at which the glass particles are deposited, and the like. It may be changed as appropriate.

サポート部12A、12Bの仮想のサポート軸124A、124Bおよびコア軸114が略同一線上に位置し、端部122Aが端部112に接し、端部122Bが端部113に接するように、サポート部12A、12Bはコア部11に接合される。端部122Aおよび端部112、端部122Bおよび端部113は酸水素バーナー等を用いて溶接接合される。溶接接合の方法はこれに限定されず、電気炉等を用いて溶接接合されてもよい。ここで、端部122Aと端部112との接合箇所およびその周辺を境界部115A(図2の端部122Aと端部112との境界および斜線のハッチングの領域)と呼び、端部122Aから所定の長さの側部121を近傍領域125A(図2の点線のハッチングの領域)と呼ぶ。例えば、近傍領域125Aは、端部122Aから端部123Aへの方向に800mmまでの側部121Aの領域であり得る。サポート部12Bの境界部115Bおよび近傍領域125Bも同様である。近傍領域125A、125Bは、側部111の長さ、端部112、113の直径、ガラス微粒子が堆積する厚さ等に応じて適宜変更されてもよい。 The virtual support axes 124A, 124B of the support parts 12A, 12B and the core axis 114 are positioned substantially on the same line, and the support part 12A is arranged such that the end part 122A is in contact with the end part 112 and the end part 122B is in contact with the end part 113. , 12B are joined to the core portion 11 . Edge 122A and edge 112, edge 122B and edge 113 are welded using an oxyhydrogen burner or the like. The method of welding and joining is not limited to this, and welding and joining may be performed using an electric furnace or the like. Here, the joining portion between the end portion 122A and the end portion 112 and its periphery are referred to as a boundary portion 115A (the boundary between the end portion 122A and the end portion 112 and the hatched area in FIG. 2). A side portion 121 having a length of is referred to as a neighboring area 125A (the dotted hatched area in FIG. 2). For example, proximal region 125A may be the region of side 121A up to 800 mm in the direction from end 122A to end 123A. The same applies to the boundary portion 115B and the neighboring area 125B of the support portion 12B. The neighboring regions 125A and 125B may be appropriately changed according to the length of the side portion 111, the diameter of the end portions 112 and 113, the thickness of the deposited glass particles, and the like.

サポート部12A、12Bは、後述するガラス微粒子の堆積工程において用いられる堆積装置に応じて、コア部11の一方の端部または両方の端部に接合され得る。例えば、横型の堆積装置によってガラス微粒子が堆積する場合にはコア部11の両方の端部にそれぞれサポート部12A、12Bが接合される。本実施形態では、横型の堆積装置によってガラス微粒子が堆積する場合について説明する。 The support portions 12A and 12B can be bonded to one end or both ends of the core portion 11 depending on the deposition device used in the later-described glass particle deposition step. For example, when glass particles are deposited by a horizontal deposition apparatus, support portions 12A and 12B are joined to both ends of the core portion 11, respectively. In this embodiment, a case where glass particles are deposited by a horizontal deposition apparatus will be described.

図3は、本実施形態における光ファイバ母材の製造に用いる堆積装置の側面図である。多孔質ガラス部13は、コア部11に堆積されたガラス微粒子の層である。多孔質ガラス部13は、堆積装置によってコア部11に堆積する。多孔質ガラス部13が堆積する方法は、例えば、VAD(Vapor phase Axial Deposition)法、OVD(Outside Vapor Deposition)法等であり得る。VAD法は、コア部11を垂直把持し、コア部11の下側の端部から上側の端部に向かって鉛直方向にガラス微粒子が堆積する方法である。OVD法は、コア部11を両端把持し、コア部11の側部において水平方向にガラス微粒子が堆積する方法である。本実施形態では、上述のように横型の堆積装置を用い、OVD法によって多孔質ガラス部13が堆積する。 FIG. 3 is a side view of a deposition apparatus used for manufacturing an optical fiber preform in this embodiment. The porous glass portion 13 is a layer of glass particles deposited on the core portion 11 . The porous glass portion 13 is deposited on the core portion 11 by a depositing device. A method for depositing the porous glass portion 13 may be, for example, a VAD (Vapor phase Axial Deposition) method, an OVD (Outside Vapor Deposition) method, or the like. The VAD method is a method in which the core portion 11 is held vertically and glass particles are vertically deposited from the lower end portion of the core portion 11 toward the upper end portion. The OVD method is a method in which the core portion 11 is held at both ends and the glass particles are deposited horizontally on the side portions of the core portion 11 . In this embodiment, the horizontal deposition apparatus is used as described above, and the porous glass portion 13 is deposited by the OVD method.

堆積装置3は、基台31、支持部32A、32B、把持部33、応力付与部34、バーナー38、バーナー39A、39Bを備える。基台31は堆積装置3の土台になる部材であり、略直方体をなす。基台31は接地面に対し略水平に設置される。基台31は、基台31の長手方向に延在し、コア部11の下方に設けられたレール等を備え、支持部32A、32B、バーナー38が当該レールに沿って移動可能である。平面視において、基台31の長手方向をX方向とし、基台31の短手方向をY方向とし、基台31の鉛直方向をZ方向とする。 The deposition device 3 includes a base 31, support portions 32A and 32B, a grip portion 33, a stress applying portion 34, a burner 38, and burners 39A and 39B. The base 31 is a member that serves as the base of the deposition device 3 and has a substantially rectangular parallelepiped shape. The base 31 is installed substantially horizontally with respect to the ground plane. The base 31 extends in the longitudinal direction of the base 31 and includes rails and the like provided below the core portion 11, along which the support portions 32A and 32B and the burner 38 can move. In plan view, the longitudinal direction of the base 31 is the X direction, the lateral direction of the base 31 is the Y direction, and the vertical direction of the base 31 is the Z direction.

支持部32A、32Bは柱状をなし、互いに対向し、基台31の上部に設けられる。すなわち、支持部32Aは基台31の一方の端部に設けられ、支持部32Bは基台31の他方の端部に設けられる。支持部32A、32Bのうち、少なくともいずれか一方は、基台31に敷設されたレール上を移動可能である。支持部32A、32Bは、サポート部12A、12Bを介してコア部11を回転駆動する回転モータ、変速機等を備える。 The support portions 32A and 32B are columnar, opposed to each other, and provided above the base 31 . That is, the support portion 32A is provided at one end of the base 31, and the support portion 32B is provided at the other end of the base 31. As shown in FIG. At least one of the support portions 32A and 32B is movable on rails laid on the base 31 . The support portions 32A and 32B include a rotary motor, a transmission, and the like that rotationally drive the core portion 11 via the support portions 12A and 12B.

把持部33および応力付与部34はチャックを構成し、支持部32A、32Bにそれぞれ設けられる。把持部33は、例えばSUS(Steel Use Stainless)等の金属または耐熱性のフッ素樹脂等で構成され、互いに近接または離隔可能な複数の爪を備える。複数の爪の中央にはサポート部12A、12Bを把持可能な把持穴が形成される。 The gripping portion 33 and the stress applying portion 34 constitute a chuck and are provided on the supporting portions 32A and 32B, respectively. The gripping portion 33 is made of metal such as SUS (Steel Use Stainless) or a heat-resistant fluororesin, and has a plurality of claws that can be brought close to or separated from each other. Gripping holes for gripping the support portions 12A and 12B are formed in the centers of the plurality of claws.

応力付与部34は把持部33の周囲に設けられ、把持部33に応力を与えることが可能である。応力付与部34が把持部33に応力を与えると、複数の爪は互いに近接し、把持穴の径が小さくなる。これにより、把持穴に挿入されたサポート部12A、12Bは把持部33によって把持される。 The stress applying portion 34 is provided around the grip portion 33 and can apply stress to the grip portion 33 . When the stress-applying portion 34 applies stress to the gripping portion 33, the plurality of claws are brought closer to each other and the diameter of the gripping hole is reduced. As a result, the support portions 12A and 12B inserted into the gripping holes are gripped by the gripping portion 33. As shown in FIG.

バーナー38はコア部11にガラス微粒子を吹き付けるバーナーであり、例えば、酸水素を燃料とするバーナーである。バーナー38は、基台31のレール上に設置される。バーナー38はレール上を移動し、コア軸114を中心に回転するコア部11にガラス微粒子を堆積させることができる。バーナー38は、可燃性ガスを供給するノズル、助燃性ガスを供給するノズル、ガラス原料を供給するノズル等を備える。例えば、可燃性ガスは水素等であり、助燃性ガスは酸素等であり得る。また、ガラス原料は、例えば、SiCl等であり得る。バーナー38は、火炎にガラス原料を投入し、火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成する。バーナー38は、側部111に堆積するガラス微粒子の厚さに応じ、コア軸114の鉛直方向におけるノズルの位置を調整することができる。このようにして、コア部11の外周に多孔質ガラス部13が堆積し、光ファイバ母材1が形成される。 The burner 38 is a burner that blows glass particles onto the core portion 11, and is a burner that uses oxyhydrogen as fuel, for example. A burner 38 is installed on the rail of the base 31 . The burner 38 can move on rails and deposit glass particles on the core portion 11 rotating about the core axis 114 . The burner 38 includes a nozzle for supplying combustible gas, a nozzle for supplying combustion supporting gas, a nozzle for supplying raw material for glass, and the like. For example, the combustible gas can be hydrogen or the like, and the combustible gas can be oxygen or the like. Also, the glass raw material can be, for example, SiCl 4 or the like. The burner 38 introduces glass raw materials into a flame to generate glass microparticles through a flame hydrolysis reaction. The burner 38 can adjust the nozzle position in the vertical direction of the core axis 114 according to the thickness of the glass particles deposited on the side portion 111 . In this manner, the porous glass portion 13 is deposited on the outer circumference of the core portion 11, and the optical fiber preform 1 is formed.

バーナー39Aは、境界部115Aおよび近傍領域125Aに付着した多孔質ガラスを焼き締める酸水素バーナーであり、バーナー39Bは、境界部115Bおよび近傍領域125Bに付着した多孔質ガラスを焼き締める酸水素バーナーである。バーナー39A、39Bは、焼き締め用補助バーナーまたはサイドバーナーとも呼ばれ、可燃性ガスを供給するノズルおよび助燃性ガスを供給するノズル等を備える。バーナー39A、39Bはバーナー38と接触しないように設けられる。バーナー39A、39Bは、サポート軸124A、124Bを中心に回転するサポート部12A、12Bの所定の領域を加熱することができる。バーナー39A、39Bは、境界部115A、115B、近傍領域125A、125Bだけでなく、境界部115A、115Bから光ファイバ母材1への方向における所定の領域を加熱してもよい。例えば、光ファイバ母材1のX方向における中央周辺に対してガラス微粒子の堆積量が少ない光ファイバ母材1の両端周辺を加熱してもよい。 The burner 39A is an oxyhydrogen burner that densifies the porous glass adhered to the boundary portion 115A and the neighboring region 125A, and the burner 39B is an oxyhydrogen burner that densifies the porous glass adhered to the boundary portion 115B and the neighboring region 125B. be. The burners 39A and 39B are also called auxiliary burners for quenching or side burners, and are provided with nozzles for supplying combustible gas and nozzles for supplying auxiliary combustion gas. Burners 39A and 39B are provided so as not to contact burner 38. FIG. The burners 39A, 39B can heat predetermined regions of the support parts 12A, 12B rotating around the support shafts 124A, 124B. The burners 39A and 39B may heat not only the boundary portions 115A and 115B and the neighboring regions 125A and 125B, but also a predetermined region in the direction from the boundary portions 115A and 115B to the optical fiber preform 1. For example, the periphery of both ends of the optical fiber preform 1 where the amount of deposited glass particles is smaller than that of the central periphery of the optical fiber preform 1 in the X direction may be heated.

なお、バーナー39A、39Bは、バーナー38が設置されたレール上に設置されてもよく、バーナー38が設置されたレールとは別のレールを敷設し、当該別のレールに設置されてもよい。この場合、バーナー39A、39Bは、レール上を移動し、サポート部12A、12Bを加熱することができる。 The burners 39A and 39B may be installed on the rail on which the burner 38 is installed, or may be installed on another rail by laying a rail different from the rail on which the burner 38 is installed. In this case, the burners 39A, 39B can move on rails and heat the support portions 12A, 12B.

バーナー39A、39Bは、火炎の温度を徐々に下げることによって、サポート部12A、12Bを徐冷することができる。バーナー38による堆積が必要量に達し、堆積を終了すると、堆積サポート部12A、12Bは、多孔質ガラス部13に比べて多孔質層がない、もしくは薄いため、ガラス表面の冷却速度が大きくなる。また、多孔質ガラス部13の堆積量の増加に応じて、サポート部12A、12Bにかかる負荷が大きくなる。これにより、サポート部12A、12Bに歪みが発生しやすくなり、サポート部12A、12Bにクラック等が発生し破損する。ガラス微粒子の堆積工程の後、サポート部12A、12Bを所定の温度範囲および所定の冷却速度で徐冷することにより、サポート部12A、12Bの歪みの発生を抑圧することができる。 The burners 39A, 39B can slowly cool the support portions 12A, 12B by gradually lowering the flame temperature. When the deposition by the burner 38 reaches the required amount and finishes the deposition, the deposition support portions 12A and 12B have no porous layer or are thinner than the porous glass portion 13, so the cooling rate of the glass surface increases. Further, as the deposition amount of the porous glass portion 13 increases, the load applied to the support portions 12A and 12B increases. As a result, the support portions 12A and 12B are likely to be distorted, and the support portions 12A and 12B are cracked and damaged. By slowly cooling the support portions 12A and 12B within a predetermined temperature range and at a predetermined cooling rate after the step of depositing the glass fine particles, generation of distortion in the support portions 12A and 12B can be suppressed.

図4は、実施形態における光ファイバ母材の製造に用いる焼結工程に用いる装置の断面図である。焼結装置5は、炉心管51、吸気孔52、排気孔53、ヒーター54、上蓋55、支持部56を備える。 FIG. 4 is a cross-sectional view of an apparatus used in the sintering process used to manufacture the optical fiber preform in the embodiment. The sintering apparatus 5 includes a furnace core tube 51 , an intake hole 52 , an exhaust hole 53 , a heater 54 , an upper lid 55 and a support portion 56 .

炉心管51は、光ファイバ母材1を格納可能な円筒状の反応容器であり、透明石英ガラス等で構成され得る。吸気孔52は、炉心管51の底部に設けられ、炉心管51の内部511に脱水ガス、不活性ガス等を導入する。例えば、脱水ガスは塩素、塩化チオニル等であり、不活性ガスはアルゴン、ヘリウム等であり得る。排気孔53は、炉心管51の側部の上方に設けられ、炉心管51に充填された脱水ガス、不活性ガス等を必要に応じて排気する。ヒーター54は、炉心管51の周囲に設けられ、光ファイバ母材1を加熱する。上蓋55は、炉心管51の上部に設けられ、炉心管51に光ファイバ母材1が格納された後に、炉心管51の上部を封止する。上蓋55には、サポート部12Aを挿入可能な開口部551が形成される。 The furnace core tube 51 is a cylindrical reaction vessel capable of storing the optical fiber preform 1, and can be made of transparent quartz glass or the like. The intake hole 52 is provided at the bottom of the core tube 51 and introduces dehydration gas, inert gas, etc. into the interior 511 of the core tube 51 . For example, the dehydrating gas can be chlorine, thionyl chloride, etc., and the inert gas can be argon, helium, etc. The exhaust hole 53 is provided above the side portion of the furnace core tube 51, and exhausts dehydration gas, inert gas, etc. filled in the furnace core tube 51 as necessary. A heater 54 is provided around the core tube 51 and heats the optical fiber preform 1 . The upper lid 55 is provided on the upper part of the furnace core tube 51 and seals the upper part of the furnace core tube 51 after the optical fiber preform 1 is stored in the furnace core tube 51 . The upper lid 55 is formed with an opening 551 into which the support portion 12A can be inserted.

支持部56は炉心管51の上部に設けられ、サポート部12Aを把持し、光ファイバ母材1を吊り下げ支持する。支持部56は、図示されていない駆動機構によって回転可能に構成される。支持部56が回転することにより、光ファイバ母材1は炉心管51の内部511において回転し、ヒーター54によって加熱される。これにより、光ファイバ母材1のコア部11および多孔質ガラス部13が焼結され、ガラス化する。 The support portion 56 is provided on the upper portion of the core tube 51, holds the support portion 12A, and suspends and supports the optical fiber preform 1. As shown in FIG. The support portion 56 is configured to be rotatable by a driving mechanism (not shown). By rotating the support portion 56 , the optical fiber preform 1 rotates in the interior 511 of the furnace core tube 51 and is heated by the heater 54 . As a result, the core portion 11 and the porous glass portion 13 of the optical fiber preform 1 are sintered and vitrified.

図5は、本実施形態におけるガラス母材の製造方法のフローチャートである。まず、サポート部12A、12Bがコア部11の両端に接合される(ステップS101)。コア軸114、サポート軸124A、サポート軸124Bが略同一線上に位置するように、酸水素バーナー等を用いてコア部11にサポート部12A、12Bが溶融接合される。 FIG. 5 is a flow chart of a method for manufacturing a glass base material according to this embodiment. First, the support portions 12A and 12B are joined to both ends of the core portion 11 (step S101). Support portions 12A and 12B are fusion-bonded to core portion 11 using an oxyhydrogen burner or the like so that core shaft 114, support shaft 124A, and support shaft 124B are positioned substantially on the same line.

次に、サポート部12A、12Bが接合されたコア部11(光ファイバ母材)が、堆積装置3に設置される(ステップS102)。サポート部12A、12Bが堆積装置3の把持部33によってそれぞれ把持される。ここで、バーナー39A、39Bが近傍領域125A、125Bを加熱することを妨げないように、把持部33がサポート部12A、12Bを把持することが望ましい。 Next, the core portion 11 (optical fiber preform) to which the support portions 12A and 12B are joined is installed in the deposition device 3 (step S102). The support portions 12A and 12B are gripped by gripping portions 33 of the deposition device 3, respectively. Here, it is desirable that the gripping portion 33 grips the support portions 12A, 12B so as not to prevent the burners 39A, 39B from heating the neighboring regions 125A, 125B.

堆積装置3がサポート部12A、12B、コア部11を回転し、バーナー38によってガラス微粒子が側部111に堆積する(ステップS103)。バーナー38はコア部11の例えば下部をX方向に往復しながら火炎にガラス原料を投入し、生成されたガラス微粒子が側部111に堆積する。側部111に多孔質ガラス部13が堆積する間、バーナー39A、39Bは、コア部11の両端に堆積した多孔質ガラス部13を加熱してもよい。コア部11の両端では、密度の低い多孔質ガラス体が堆積するため、クラック等が発生しやすくなる。このため、バーナー39A、39Bがそれぞれコア部11の両端に堆積した多孔質ガラス部13を加熱することによって、堆積量が少ない部分の多孔質ガラス部13にクラック等が発生することを防ぐことができる。 The depositing device 3 rotates the support portions 12A and 12B and the core portion 11, and the burner 38 deposits glass particles on the side portion 111 (step S103). The burner 38 reciprocates, for example, the lower portion of the core portion 11 in the X direction, and throws the glass raw material into the flame. The burners 39A, 39B may heat the porous glass portions 13 deposited on both ends of the core portion 11 while the porous glass portions 13 are deposited on the side portions 111 . At both ends of the core portion 11, since a porous glass body with a low density is deposited, cracks and the like are likely to occur. Therefore, by heating the porous glass portions 13 deposited on both ends of the core portion 11 by the burners 39A and 39B, it is possible to prevent cracks or the like from occurring in the portions of the porous glass portions 13 where the deposition amount is small. can.

多孔質ガラス部13が十分にコア部11に堆積すると、バーナー38へのガラス原料、可燃性ガス、助燃性ガスの供給が停止され、バーナー38が消火される。その後、バーナー39A、39Bによってサポート部12A、12Bが目標温度まで徐冷される(ステップS104)。サポート部12A、12Bを徐冷する方法について詳細に説明する。バーナー39A、39Bの火炎の温度を徐々に下げながら、境界部115A、115Bおよび近傍領域125A、125Bにバーナー39A、39Bの火炎が吹き付けられる。これにより、境界部115A、115Bおよび近傍領域125A、125Bの温度が、所定の温度から目標温度まで徐々に下げられる。すなわち、所定の温度から目標温度までの温度範囲において、境界部115A、115Bおよび近傍領域125A、125Bが所定の冷却速度で徐冷される。所定の温度および目標温度は、例えば、それぞれ1150℃および1050℃であり得る。所定の温度から目標温度までの温度範囲は、石英の歪点前後の温度を含むことが好ましく、例えば、1090℃を含むことがより好ましく、温度範囲は1100℃から1050℃までであってもよい。所定の冷却速度は、例えば、5℃/分、10℃/分、20℃/分、30℃/分等の冷却速度であり得る。境界部115A、115Bおよび近傍領域125A、125Bの温度が目標温度まで下げられると、バーナー39A、39Bが消火され、境界部115A、115Bおよび近傍領域125A、125Bは自然冷却される(ステップS105)。 When the porous glass portion 13 is sufficiently deposited on the core portion 11, the supply of frit, combustible gas, and combustion-supporting gas to the burner 38 is stopped, and the burner 38 is extinguished. After that, the support portions 12A and 12B are slowly cooled to the target temperature by the burners 39A and 39B (step S104). A method of gradually cooling the support portions 12A and 12B will be described in detail. The flames of the burners 39A, 39B are blown to the boundaries 115A, 115B and the neighboring areas 125A, 125B while gradually lowering the temperature of the flames of the burners 39A, 39B. As a result, the temperatures of the boundary portions 115A, 115B and the neighboring regions 125A, 125B are gradually lowered from the predetermined temperature to the target temperature. That is, boundary portions 115A and 115B and neighboring regions 125A and 125B are gradually cooled at a predetermined cooling rate within a temperature range from a predetermined temperature to a target temperature. The predetermined temperature and target temperature can be, for example, 1150° C. and 1050° C., respectively. The temperature range from the predetermined temperature to the target temperature preferably includes temperatures around the strain point of quartz, for example, more preferably 1090°C, and the temperature range may be from 1100°C to 1050°C. . The predetermined cooling rate can be, for example, a cooling rate of 5°C/min, 10°C/min, 20°C/min, 30°C/min, and the like. When the temperatures of the boundary portions 115A, 115B and the neighboring regions 125A, 125B are lowered to the target temperature, the burners 39A, 39B are extinguished, and the boundary portions 115A, 115B and the neighboring regions 125A, 125B are naturally cooled (step S105).

ガラス微粒子の堆積量が多い部分と比べて、端部112、113の周辺ではガラス微粒子が堆積した量が少ないために、冷却速度が大きくなる。同様に、ガラス微粒子が堆積されないサポート部12A、12Bにおいても冷却速度が大きくなる。また、多孔質ガラス部13の堆積量に応じて、サポート部12A、12Bにかかる負荷が大きくなる。これにより、サポート部12A、12Bに歪みが発生しやすくなり、サポート部12A、12Bが破損する虞がある。ガラス微粒子の堆積工程の後、コア部とサポート部との境界部およびその近傍領域を目標温度まで所定の冷却速度で徐冷することにより、サポート部の歪みの発生を抑圧することができる。このため、サポート部の破損を防止することが可能となる。 Since the amount of deposited glass particles around the end portions 112 and 113 is small compared to the portion where the amount of deposited glass particles is large, the cooling rate increases. Similarly, the cooling rate also increases in the support portions 12A and 12B where no glass particles are deposited. Moreover, the load applied to the support portions 12A and 12B increases according to the deposition amount of the porous glass portion 13 . As a result, the support portions 12A and 12B are likely to be distorted, and the support portions 12A and 12B may be damaged. After the step of depositing the glass particles, the boundary between the core and the support and its neighboring area are gradually cooled to the target temperature at a predetermined cooling rate, thereby suppressing distortion of the support. Therefore, it is possible to prevent damage to the support portion.

サポート部12A、12Bの温度が自然冷却により所定の温度まで下げられると、サポート部12A、12Bが把持部33から取り外され、光ファイバ母材1が堆積装置3から撤去される(ステップS106)。さらに、サポート部12Bとコア部11との接合部が、バーナーまたは電気炉によって溶融され、光ファイバ母材1からサポート部12Bが分離および撤去されてもよい(ステップS107)。 When the temperature of the support portions 12A and 12B is lowered to a predetermined temperature by natural cooling, the support portions 12A and 12B are removed from the holding portion 33 and the optical fiber preform 1 is removed from the deposition device 3 (step S106). Furthermore, the joint between the support portion 12B and the core portion 11 may be melted by a burner or an electric furnace, and the support portion 12B may be separated and removed from the optical fiber preform 1 (step S107).

サポート部12Aが支持部56によって支持され、光ファイバ母材1が炉心管51の内部511に垂直に設置される(ステップS108)。焼結装置5によって光ファイバ母材1が加熱され、焼結される(ステップS109)。まず、塩素(Cl)等が吸気孔52から内部511に導入される。次に、光ファイバ母材1が内部511において回転しながら、ヒーター54によって加熱される。これにより、光ファイバ母材1に含まれる不純物等が取り除かれる。さらに、塩素が排気孔53から炉心管51の外部に排出され、ヘリウム(He)が雰囲気ガスとして吸気孔52から内部511に導入される。光ファイバ母材1は内部511において回転しながら、ヒーター54によって所定の温度に加熱される。所定の温度は、例えば1500℃等であり得る。光ファイバ母材1の焼結が完了すると、ヘリウムが排気孔53から炉心管51の外部に排出され、透明ガラス化された光ファイバ母材1が炉心管51から取り出される。この後の工程において、透明ガラス化された光ファイバ母材1は、加熱され、線引きされる。このようにして、光ファイバが形成される。 The support portion 12A is supported by the support portion 56, and the optical fiber preform 1 is installed vertically in the interior 511 of the core tube 51 (step S108). The optical fiber preform 1 is heated and sintered by the sintering device 5 (step S109). First, chlorine (Cl 2 ) or the like is introduced into the interior 511 through the intake hole 52 . Next, the optical fiber preform 1 is heated by the heater 54 while rotating in the interior 511 . As a result, impurities and the like contained in the optical fiber preform 1 are removed. Further, chlorine is discharged from the exhaust hole 53 to the outside of the furnace core tube 51, and helium (He) is introduced into the interior 511 from the intake hole 52 as atmospheric gas. The optical fiber preform 1 is heated to a predetermined temperature by the heater 54 while rotating in the interior 511 . The predetermined temperature can be, for example, 1500°C. When the sintering of the optical fiber preform 1 is completed, the helium is discharged from the exhaust hole 53 to the outside of the furnace core tube 51 , and the transparent vitrified optical fiber preform 1 is taken out from the furnace core tube 51 . In the subsequent steps, the transparent vitrified optical fiber preform 1 is heated and drawn. Thus, an optical fiber is formed.

以上に述べたように、本実施形態によれば、コア部とサポート部との境界部およびその近傍領域を所定の温度範囲および所定の冷却速度で徐冷することにより、サポート部の破損を防止することが可能となる。 As described above, according to the present embodiment, the boundary between the core portion and the support portion and the region in the vicinity thereof are slowly cooled in a predetermined temperature range and at a predetermined cooling rate, thereby preventing damage to the support portion. It becomes possible to

[実施例]
図6は、本実施形態における実施例および比較例のサポート部の徐冷の温度変化を示すグラフであり、図7は、本実施形態における実施例および比較例のサポート部のクラックの有無を示す表である。上述したように、多孔質ガラス部13の堆積工程の後に、所定の冷却速度でサポート部12A、12Bを徐冷し、サポート部12A、12Bにおけるクラックの有無を調べた。実施例において用いられた堆積工程後の光ファイバ母材1の重量は180kgであり、石英からなるサポート部12A、12Bの直径は63mmであった。堆積工程後にバーナー38が消火された後、境界部115A、115Bおよび近傍領域125A、125Bにバーナー39A、39Bの火炎が吹き付けられ、サポート部12A、12Bが徐冷された。
[Example]
FIG. 6 is a graph showing temperature changes during slow cooling of the support portions of Examples and Comparative Examples of the present embodiment, and FIG. 7 shows the presence or absence of cracks in the support portions of Examples and Comparative Examples of the present embodiment. It is a table. As described above, after the step of depositing the porous glass portion 13, the support portions 12A and 12B were slowly cooled at a predetermined cooling rate, and the presence or absence of cracks in the support portions 12A and 12B was examined. The weight of the optical fiber preform 1 after the deposition process used in the example was 180 kg, and the diameter of the support portions 12A and 12B made of quartz was 63 mm. After the burner 38 was extinguished after the deposition process, the flames of the burners 39A, 39B were blown to the boundary portions 115A, 115B and the neighboring regions 125A, 125B to slowly cool the support portions 12A, 12B.

1150℃~1050℃までの冷却速度を5℃/分として、サポート部12A、12Bを徐冷した場合のサポート部12A、12Bの温度変化を図6に実線で示し、図7の第1行に光ファイバ母材重量、サポート部の直径、およびサポート部のクラックの有無を示す(実施例1)。1150℃~1050℃までの冷却速度を10℃/分として、サポート部12A、12Bを徐冷した場合のサポート部12A、12Bの温度変化を図6に破線で示し、図7の第2行に光ファイバ母材重量、サポート部の直径、およびサポート部のクラックの有無を示す(実施例2)。1150℃~1050℃までの冷却速度を20℃/分として、サポート部12A、12Bを徐冷した場合のサポート部12A、12Bの温度変化を図6に一点鎖線で示し、図7の第3行に光ファイバ母材重量、サポート部の直径、およびサポート部のクラックの有無を示す(実施例3)。サポート部12A、12Bの温度が目標温度まで達すると、バーナー39A、39Bが消火され、サポート部12A、12Bが自然冷却された。実施例1-3の場合、サポート部12A、12Bにクラックは生じず、堆積装置3から光ファイバ母材1を撤去する際にサポート部12A、12Bが破損することはなかった。 The temperature change of the support portions 12A and 12B when the support portions 12A and 12B are slowly cooled at a cooling rate of 5° C./min from 1150° C. to 1050° C. is shown in FIG. The weight of the optical fiber preform, the diameter of the support portion, and the presence or absence of cracks in the support portion are shown (Example 1). The temperature change of the support parts 12A and 12B when the support parts 12A and 12B are slowly cooled at a cooling rate of 10° C./min from 1150° C. to 1050° C. is shown in FIG. The weight of the optical fiber preform, the diameter of the support portion, and the presence or absence of cracks in the support portion are shown (Example 2). The temperature change of the support portions 12A and 12B when the support portions 12A and 12B are slowly cooled at a cooling rate of 20° C./min from 1150° C. to 1050° C. is shown in FIG. shows the weight of the optical fiber preform, the diameter of the support portion, and the presence or absence of cracks in the support portion (Example 3). When the temperature of the support portions 12A, 12B reached the target temperature, the burners 39A, 39B were extinguished, and the support portions 12A, 12B were naturally cooled. In the case of Example 1-3, no cracks occurred in the support portions 12A and 12B, and the support portions 12A and 12B were not damaged when the optical fiber preform 1 was removed from the deposition device 3.

[比較例]
一方、比較例として、堆積工程後の光ファイバ母材1の重量が180kgであり、サポート部12A、12Bの直径が63mmであり、1150℃~1050℃までの冷却速度を30℃/分として、サポート部12A、12Bを徐冷した場合のサポート部12A、12Bの温度変化を図6に2点鎖線で示し、図7の第4行に光ファイバ母材重量、サポート部の直径、およびサポート部のクラックの有無を示す(比較例1)。さらに、別の比較例として、堆積工程後の光ファイバ母材1の重量が300kgであり、サポート部12A、12Bの直径が63mmであり、1150℃~1050℃までの冷却速度を20℃/分とした場合のサポート部12A、12Bにおけるクラックの有無を調べた(比較例2)。比較例1、2の場合、サポート部12A、12Bにクラックが生じ、堆積装置3から光ファイバ母材1を撤去する前にサポート部12A、12Bが破損した。このように、所定の温度範囲において冷却速度が大きい場合、サポート部12A、12Bが破損しやすくなることが確認された。
[Comparative example]
On the other hand, as a comparative example, the weight of the optical fiber preform 1 after the deposition process is 180 kg, the diameter of the support portions 12A and 12B is 63 mm, and the cooling rate from 1150° C. to 1050° C. is 30° C./min. FIG. 6 shows the temperature change of the support portions 12A and 12B when the support portions 12A and 12B are gradually cooled. FIG. (Comparative Example 1). Furthermore, as another comparative example, the weight of the optical fiber preform 1 after the deposition process is 300 kg, the diameter of the support portions 12A and 12B is 63 mm, and the cooling rate from 1150° C. to 1050° C. is 20° C./min. The presence or absence of cracks in the support portions 12A and 12B was examined (Comparative Example 2). In Comparative Examples 1 and 2, cracks were generated in the support portions 12A and 12B, and the support portions 12A and 12B were damaged before the optical fiber preform 1 was removed from the deposition device 3. As described above, it was confirmed that the support portions 12A and 12B are easily damaged when the cooling rate is high within a predetermined temperature range.

1 :光ファイバ母材
11 :コア部
115:境界部
12 :サポート部
125:近傍領域
13 :多孔質ガラス部
3 :堆積装置
38 :バーナー
39 :バーナー
5 :焼結装置
Reference Signs List 1: Optical fiber preform 11: Core portion 115: Boundary portion 12: Support portion 125: Neighboring region 13: Porous glass portion 3: Deposition device 38: Burner 39: Burner 5: Sintering device

Claims (13)

コア部および前記コア部の両端に熱融着によって接合されたサポート部を有する種棒と、
前記コア部の外周に形成された多孔質ガラス部と、を有する光ファイバ母材の製造方法であって、
前記サポート部の把持部を把持し、前記種棒に多孔質ガラスを堆積し、前記多孔質ガラス部を形成する工程と、
前記光ファイバ母材を加熱し、透明ガラス化する工程と、を備え、
前記種棒に前記多孔質ガラス部を形成した後に、バーナーの火炎を用いて前記コア部と前記サポート部との境界部および前記境界部の近傍領域を所定の冷却速度で冷却する工程をさらに備えることを特徴とする、光ファイバ母材の製造方法。
a seed rod having a core portion and support portions joined to both ends of the core portion by heat-sealing;
A method for manufacturing an optical fiber preform comprising: a porous glass portion formed on the outer periphery of the core portion;
a step of holding a holding portion of the support portion and depositing porous glass on the seed rod to form the porous glass portion;
a step of heating the optical fiber preform to turn it into transparent glass,
Further comprising a step of cooling, after forming the porous glass portion on the seed rod, a boundary portion between the core portion and the support portion and a region near the boundary portion using a burner flame at a predetermined cooling rate. A method for manufacturing an optical fiber preform, characterized by:
前記冷却する工程は、前記境界部および前記近傍領域を前記バーナーの火炎の温度を下げることによって冷却することを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造方法。 2. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein said cooling step cools said boundary portion and said neighboring region by lowering the flame temperature of said burner. 前記所定の冷却速度は、5℃/分以上かつ20℃/分以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ母材の製造方法。 3. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the predetermined cooling rate is 5[deg.] C./min or more and 20[deg.] C./min or less. 前記冷却する工程は、1090℃を含む温度範囲において行われることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。 4. The method of manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 3, wherein the cooling step is performed in a temperature range including 1090[deg.]C. 前記冷却する工程は、少なくとも1080℃以上1100℃以下の温度範囲において行われることを特徴とする請求項4に記載の光ファイバ母材の製造方法。 5. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 4, wherein the cooling step is performed in a temperature range of at least 1080[deg.] C. or higher and 1100[deg.] C. or lower. 前記冷却する工程は、少なくとも1050℃以上1150℃以下の温度範囲において行われることを特徴とする請求項4または5に記載の光ファイバ母材の製造方法。 6. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 4, wherein the cooling step is performed in a temperature range of at least 1050[deg.] C. or higher and 1150[deg.] C. or lower. 前記光ファイバ母材の重量は180kg以上であり、
前記サポート部は略円柱形をなし、前記サポート部の直径は63mm以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
The weight of the optical fiber preform is 180 kg or more,
7. The method of manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 6, wherein the support portion has a substantially cylindrical shape and has a diameter of 63 mm or more.
前記光ファイバ母材は横型であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。 8. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein said optical fiber preform is of horizontal type. 前記近傍領域は、前記サポート部の一部を含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。 9. The method of manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 8, wherein the neighboring region includes part of the support portion. 前記近傍領域は、さらに前記多孔質ガラス部の端部を含むことを特徴とする請求項9に記載の光ファイバ母材の製造方法。 10. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 9, wherein said neighboring region further includes an end portion of said porous glass portion. 前記サポート部の一部は、前記サポート部の長手方向において、前記境界部からの長さが800mm以下の領域であることを特徴とする請求項9または10に記載の光ファイバ母材の製造方法。 11. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 9, wherein the part of the support portion is a region with a length of 800 mm or less from the boundary portion in the longitudinal direction of the support portion. . 前記バーナーは、焼き締め用補助バーナーであることを特徴とする請求項2乃至11のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。 12. The method of manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 2 to 11, wherein the burner is an auxiliary burner for quenching. 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の光ファイバ母材の製造方法によって製造した前記光ファイバ母材を高温で線引きし、光ファイバを製造する光ファイバの製造方法。 13. A method for manufacturing an optical fiber, wherein the optical fiber preform manufactured by the method for manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 12 is drawn at a high temperature to manufacture an optical fiber.
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