JP2023105601A

JP2023105601A - 表面保護フィルムおよび表面保護フィルム付光学部材

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Publication number: JP2023105601A
Application number: JP2022006531A
Authority: JP
Inventors: 卓哉田中; Takuya Tanaka; 圭太小川; Keita Ogawa
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2022-01-19
Filing date: 2022-01-19
Publication date: 2023-07-31
Also published as: CN118574725A; WO2023140067A1; KR20240135763A; TW202334297A; EP4467336A1; US20250093553A1

Abstract

【課題】保護対象に貼着した状態で異物検査および気泡検査に供しても、保護対象を正確に検査し得る表面保護フィルムを提供すること。
【解決手段】本発明の実施形態による表面保護フィルムは、基材と；基材に積層されている接着層と；を備えている。接着層における基材と反対側の表面の最大谷深さ（Ｓｖ）の絶対値が５００ｎｍ以下であり、基材を顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数が３つ未満である。
【選択図】図１

Description

本発明は、表面保護フィルムおよび表面保護フィルム付光学部材に関する。

光学部材（例えばディスプレイ、撮像装置）や電子部材の表面には、表面保護のために表面保護フィルムが貼着される場合がある。表面保護フィルムとしては、各種部材の製造工程および輸送工程において一時的に仮着され、各種部材の使用前に剥離されるもの（工程材として用いられるもの）、および、各種部材の表面に貼着したままの状態で使用されるもの（永久接着を目的としたもの）がある（例えば、特許文献１参照）。

工程材として用いられる表面保護フィルムおよび永久接着を目的とした表面保護フィルムは、いずれも、基材の主面に、保護対象の表面に貼り付けるための接着層を備えている（例えば、特許文献２参照）。

このような表面保護フィルムを貼り付けた状態で、各種部材を検査することが検討されている。しかし、表面保護フィルムが貼り付けられた各種部材を、異物の有無を検査する異物検査や気泡の有無を検査する気泡検査に供すると、表面保護フィルムに起因する誤検出が生じ、各種部材を正確に検査できない場合がある。

特許第６８９９３３９号公報特開２０１３―７９３６０号公報

本発明は上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、保護対象に貼着した状態で異物検査および気泡検査に供しても、保護対象を正確に検査し得る表面保護フィルムを提供することにある。

本発明の実施形態による表面保護フィルムは、基材と；前記基材に積層されている接着層と；を備えている。上記接着層における基材と反対側の表面の最大谷深さ（Ｓｖ）の絶対値が５００ｎｍ以下であり、上記基材を顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数が３つ未満である。
１つの実施形態においては、上記接着層における基材と反対側の表面の算術平均高さ（Ｓａ）の絶対値は、２５ｎｍ以下である。
１つの実施形態においては、上記表面保護フィルムを顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数が３つ未満である。
１つの実施形態においては、上記表面保護フィルムを顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ未満の欠点数が５つ以下である。
１つの実施形態においては、基材の引裂強さが、１Ｎ／ｍｍ以上である。
１つの実施形態においては、上記接着層が、（メタ）アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤およびシリコーン系粘着剤からなる群から選択される少なくとも１種の粘着剤を含有する。
本発明の別の局面による表面保護フィルム付光学部材は、光学部材と；上記表面保護フィルムであって、上記接着層により上記光学部材に貼り付けられている表面保護フィルムと；を備えている。

本発明の実施形態によれば、表面保護フィルムを保護対象（例えば光学部材）に貼着した状態で異物検査および気泡検査に供しても、保護対象を正確に検査することができる。

図１は、本発明の１つの実施形態による表面保護フィルムの概略断面図である。図２は、本発明の１つの実施形態による表面保護フィルム付光学部材の概略断面図である。

以下、本発明の代表的な実施形態について説明するが、本発明はこれらの実施形態には限定されない。

Ａ．表面保護フィルムの全体構成
図１は、本発明の１つの実施形態による表面保護フィルムの概略断面図である。図示例の表面保護フィルム１は、基材２と；基材２に積層されている接着層３と；を備えている。
接着層３における基材２と反対側の表面３ａの最大谷深さ（Ｓｖ）の絶対値は、５００ｎｍ以下であり、好ましくは３００ｎｍ以下、より好ましくは２５０ｎｍ以下、とりわけ好ましくは２００ｎｍ以下、特に好ましくは１００ｎｍ以下、最も好ましくは５０ｎｍ以下である。表面３ａの最大谷深さ（Ｓｖ）の絶対値は、代表的には５ｎｍ以上である。なお、最大谷深さ（Ｓｖ）は、ＪＩＳＢ０６８１－２：２０１８に準拠して測定できる。
また、基材２を顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観測領域において、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数が、好ましくは３つ未満であり、より好ましくは１つ以下、さらに好ましくは０である。なお、顕微鏡観察の詳細については、後述する実施例で説明する。
接着層３の表面３ａの最大谷深さ（Ｓｖ）の絶対値が上記上限以下、かつ、基材２の顕微鏡観察の欠点数が上記上限以下であると、保護フィルムを保護対象（例えば光学部材）に貼着した状態で異物検査および気泡検査に供しても、表面保護フィルム（基材および接着層）に起因する誤検出が低減でき、保護対象を正確に検査することができる。

本発明の１つの実施形態においては、接着層３における基材２と反対側の表面３ａの算術平均高さ（Ｓａ）の絶対値は、好ましくは２５ｎｍ以下、より好ましくは１０ｎｍ以下、さらに好ましくは６ｎｍ以下、とりわけ好ましくは５ｎｍ以下である。表面３ａの算術平均高さ（Ｓａ）の絶対値は、代表的には０ｎｍ以上である。なお、算術平均高さ（Ｓａ）は、ＪＩＳＢ０６８１－２：２０１８に準拠して測定できる。
接着層３の表面３ａの算術平均高さ（Ｓａ）の絶対値が上記上限以下であれば、気泡検査において表面保護フィルムに起因する誤検出を安定して低減できる。

本発明の１つの実施形態においては、基材２の引裂強さが、例えば０．５Ｎ／ｍｍ以上、好ましくは１Ｎ／ｍｍ以上、より好ましくは２Ｎ／ｍｍ以上である。基材の引裂強さが上記下限以上であれば、異物検査において表面保護フィルムに起因する誤検出をより一層低減できる。基材の引裂強さは、代表的には２００Ｎ／ｍｍ以下である。なお、基材の引裂強さは、ＪＩＳＫ７１２８－１：１９９８に準拠して測定できる。

本発明の１つの実施形態においては、表面保護フィルム１は、はく離ライナー４をさらに備えている。はく離ライナー４は、接着層３に対して基材２と反対側に位置しており、接着層３の表面３ａに貼り付けられている。

以下、表面保護フィルムの構成要素について説明する。

Ｂ．基材
基材２は、表面保護フィルムとして使用できる任意の適切な樹脂フィルムで形成される。当該樹脂フィルムの主成分となる材料の具体例としては、ポリノルボルネン系等のシクロオレフィン（ＣＯＰ）系、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）系等のポリエステル系、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）等のセルロース系樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）系、（メタ）アクリル系、ポリビニルアルコール系、ポリアミド系、ポリイミド系、ポリエーテルスルホン系、ポリスルホン系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系、アセテート系等の透明樹脂が挙げられる。また、（メタ）アクリル系、ウレタン系、（メタ）アクリルウレタン系、エポキシ系、シリコーン系等の熱硬化型樹脂または紫外線硬化型樹脂等も挙げられる。なお、「（メタ）アクリル系樹脂」とは、アクリル系樹脂および／またはメタクリル系樹脂をいう。この他にも、例えば、シロキサン系ポリマー等のガラス質系ポリマーも挙げられる。また、特開２００１－３４３５２９号公報（ＷＯ０１／３７００７）に記載のポリマーフィルムも使用できる。このフィルムの材料としては、例えば、側鎖に置換または非置換のイミド基を有する熱可塑性樹脂と、側鎖に置換または非置換のフェニル基ならびにニトリル基を有する熱可塑性樹脂を含有する樹脂組成物が使用でき、例えば、イソブテンとＮ－メチルマレイミドからなる交互共重合体と、アクリロニトリル・スチレン共重合体とを有する樹脂組成物が挙げられる。当該ポリマーフィルムは、例えば、上記樹脂組成物の押出成形物であり得る。樹脂フィルムの材料は、単独でまたは組み合わせて使用できる。

基材２は、好ましくは、ＣＯＰ系、ＰＥＴ系、ＴＡＣ系、ＰＣ系および（メタ）アクリル系からなる群から選択される少なくとも１種の透明樹脂を含み、より好ましくは、ＣＯＰ系、ＰＥＴ系、ＰＣ系および（メタ）アクリル系からなる群から選択される少なくとも１種の透明樹脂を含み、さらに好ましくは、ＣＯＰ系、ＰＥＴ系およびＰＣ系からなる群から選択される少なくとも１種の透明樹脂を含み、とりわけ好ましくはＣＯＰ系樹脂を含む。基材が上記の透明樹脂を含むと、異物検査および気泡検査において表面保護フィルムに起因する誤検出をより安定して低減できる。また、基材がＣＯＰ系、ＰＥＴ系、ＰＣ系および（メタ）アクリル系のいずれかの透明樹脂を含むと、基材がＴＡＣ系を含む場合と比較して、異物検査における表面保護フィルムに起因する誤検出を低減できる。特に、基材がＣＯＰ系、ＰＥＴ系およびＰＣ系のいずれかの透明樹脂を含むと、異物検査において表面保護フィルムに起因する誤検出をより一層安定して低減できる。

基材２には、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、造核剤、充填剤、顔料、界面活性剤、帯電防止剤等が含まれていてもよい。基材２の表面（接着層３と反対側の表面）には、易接着層、易滑層、ブロッキング防止層、帯電防止層、反射防止層、オリゴマー防止層等が設けられていてもよい。

基材２の厚みは、代表的には５μｍ以上、好ましくは２０μｍ以上であり、代表的には２００μｍ以下であり、好ましくは１００μｍ以下である。

Ｃ．接着層
接着層３は、表面保護フィルム１を保護対象に貼り付けるために、基材２の表面に設けられる。接着層３は、粘着剤（感圧接着剤）から形成される粘着剤層であってもよく、接着剤から形成される接着剤層であってもよい。図示例では、接着層３は、粘着剤層３１である。

接着層が粘着剤層である場合、接着層（粘着剤層）は、代表的には、（メタ）アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤およびシリコーン系粘着剤からなる群から選択される少なくとも１種の粘着剤を含有する。

接着層が接着剤層である場合、接着剤層は、表面保護フィルムが保護対象に貼着前において完全硬化前の接着剤を含有しており、表面保護フィルムが保護対象に貼着後に完全硬化される。接着層（接着剤層）は、代表的には、（メタ）アクリル系接着剤、ウレタン系接着剤およびシリコーン系接着剤からなる群から選択される少なくとも１種の接着剤を含有する。

このような粘着剤および接着剤のなかでは、好ましくは、（メタ）アクリル系粘着剤が挙げられる。

（メタ）アクリル系粘着剤は、アルキル（メタ）アクリレートを主成分とするモノマー成分の重合体（以下（メタ）アクリル系ポリマーとする。）を含有する。言い換えれば、（メタ）アクリル系ポリマーは、アルキル（メタ）アクリレート由来の構造単位を含む。アルキル（メタ）アクリレート由来の構造単位の含有割合は、（メタ）アクリル系ポリマーにおいて、代表的には５０質量％以上、好ましくは８０質量％以上、より好ましくは９３質量％以上であり、例えば１００質量％以下、好ましくは９８質量％以下である。

アルキル（メタ）アクリレートが有するアルキル基は、直鎖状であってもよく、分岐鎖状であってもよい。アルキル基の炭素数は、例えば１以上１８以下である。アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ブチル基、２－エチルヘキシル基、デシル基、イソデシル基、オクタデシル基が挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートは、単独でまたは組み合わせて使用できる。アルキル基の平均炭素数は３～１０であることが好ましい。

（メタ）アクリル系ポリマーは、アルキル（メタ）アクリレート由来の構造単位以外にも、アルキル（メタ）アクリレートと重合可能な共重合モノマー由来の構造単位を含有してもよい。共重合モノマーとして、例えば、カルボキシル基含有モノマー、ヒドロキシル基含有モノマーが挙げられる。共重合モノマーは、単独でまたは組み合わせて使用できる。

カルボキシル基含有モノマーは、その構造中にカルボキシル基を含み、かつ（メタ）アクリロイル基、ビニル基などの重合性不飽和二重結合を含む化合物である。カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、カルボキシエチル(メタ)アクリレート、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸が挙げられ、好ましくは(メタ)アクリル酸が挙げられる。（メタ）アクリル系ポリマーがカルボキシル基含有モノマー由来の構造単位を含むと、粘着剤層の粘着特性の向上を図り得る。（メタ）アクリル系ポリマーがカルボキシル基含有モノマー由来の構造単位を含む場合、カルボキシル基含有モノマー由来の構造単位の含有割合は、好ましくは０．０１質量％以上１０質量％以下である。

ヒドロキシル基含有モノマーは、その構造中にヒドロキシル基を含み、かつ（メタ）アクリロイル基、ビニル基などの重合性不飽和二重結合を含む化合物である。ヒドロキシル基含有モノマーとしては、例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、８－ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、１２－ヒドロキシラウリル（メタ）アクリレート、（４－ヒドロキシメチルシクロヘキシル)－メチルアクリレートが挙げられ、好ましくは、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートが挙げられ、より好ましくは、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートが挙げられる。（メタ）アクリル系ポリマーがヒドロキシル基含有モノマー由来の構造単位を含むと、粘着剤層の耐久性の向上を図り得る。（メタ）アクリル系ポリマーがヒドロキシル基含有モノマー由来の構造単位を含む場合、ヒドロキシル基含有モノマー由来の構造単位の含有割合は、（メタ）アクリル系ポリマーにおいて、好ましくは０．０１質量％以上１０質量％以下である。

（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量Ｍｗは、例えば１０万～２００万であり、好ましくは２０万～１００万である。

また、（メタ）アクリル系粘着剤は、架橋剤を含有することができる。架橋剤としては、代表的には、有機系架橋剤および多官能性金属キレートが挙げられ、好ましくは有機系架橋剤が挙げられる。有機系架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、過酸化物系架橋剤、エポキシ系架橋剤、イミン系架橋剤が挙げられ、より好ましくは、イソシアネート系架橋剤が挙げられる。粘着剤が架橋剤を含有する場合、架橋剤の含有割合は、（メタ）アクリル系ポリマー１００質量部に対して、通常０．０１質量部以上１５質量部以下である。
さらに、（メタ）アクリル系粘着剤は、種々の添加剤（例えば、重合開始剤、溶媒、架橋触媒）を適切な割合で含有していてもよい。

このような粘着剤組成物（（メタ）アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤およびシリコーン系粘着剤）は、ベースポリマー（またはその構成モノマー成分）、および必要に応じて架橋剤および溶媒を含有する。粘着剤組成物は、重合触媒、架橋触媒、シランカップリング剤、粘着性付与剤、可塑剤、軟化剤、劣化防止剤、充填剤、着色剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、界面活性剤、帯電防止剤等の添加剤を、本発明の特性を損なわない範囲で含有していてもよい。

接着層３の厚みは、代表的には１μｍ以上、好ましくは５μｍ以上であり、代表的には３０μｍ以下、好ましくは１５μｍ以下である。

このような接着層３は、基材の表面に直写により形成されてもよく、転写により形成されてもよい。直写の場合、粘着剤組成物または接着剤組成物を基材２の表面に直接塗布して接着層３を形成する。転写の場合、粘着剤組成物または接着剤組成物をはく離ライナー４の表面に塗布して接着層３を形成した後、当該接着層３に基材を貼り付ける。特に基材２が、比較的低いガラス転移温度Ｔｇ（例えば１５０℃以下）を有する非晶性樹脂を含む場合、接着層３は、好ましくは転写プロセスにより形成される。転写プロセスであれば、接着層の形成に必要な乾燥時の高温が、基材に影響することを抑制できる。

Ｄ．はく離ライナー
はく離ライナー４は、代表的には、表面保護フィルムが保護対象に貼り付けられるまで接着層３に仮着されており、表面保護フィルムの貼り付け時に接着層３から剥離される。
はく離ライナー４は、はく離ライナーとして使用できる任意の適切な樹脂フィルムで形成される。当該樹脂フィルムの主成分となる材料の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン、ポリプロピレンが挙げられる。樹脂フィルムの材料は、単独でまたは組み合わせて使用できる。はく離ライナー４は、透明であってもよく、透明でなくてもよい。

はく離ライナー４における接着層３の表面３ａとの接触面には、離型処理層が設けられていてもよい。離型処理層を形成する離型処理剤としては、例えば、シリコーン系離型処理剤、フッ素系離型処理剤、長鎖アルキルアクリレート系剥離剤が挙げられ、好ましくはシリコーン系離型処理剤が挙げられ、さらに好ましくはビニル基含有付加型シリコーンが挙げられる。離型処理剤は、単独でまたは組み合わせて使用できる。離型処理層の厚みは、代表的には５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下である。

はく離ライナー４における接着層３の表面３ａとの接触面は、平滑である。具体的には、はく離ライナー４の接着層３との接触面における最大山高さ（Ｓｐ）の絶対値は、代表的には５００ｎｍ以下、好ましくは４００ｎｍ以下、より好ましくは３００ｎｍ以下、さらに好ましくは１００ｎｍ以下である。接触面における最大山高さ（Ｓｐ）の絶対値が上記上限以下であれば、接着層における基材と反対側の表面の最大谷深さ（Ｓｖ）を上記上限以下に安定して調整できる。接触面における最大山高さ（Ｓｐ）の絶対値は、代表的には１０ｎｍ以上である。なお、最大山高さ（Ｓｐ）は、ＪＩＳＢ０６８１－２：２０１８に準拠して測定できる。

はく離ライナー４における接着層３の表面３ａとの接触面の算術平均高さ（Ｓａ）の絶対値は、代表的には３０ｎｍ以下、好ましくは２０ｎｍ以下、より好ましくは１０ｎｍ以下、さらに好ましくは５ｎｍ以下である。接触面の算術平均高さ（Ｓａ）の絶対値は、代表的には０ｎｍ以上である。

はく離ライナー４の厚みは、代表的には５μｍ以上、好ましくは２０μｍ以上であり、代表的には６０μｍ以下、好ましくは４５μｍ以下である。なお、離型処理層が施されている場合、はく離ライナーの厚みは、離型処理層の厚みを含めた厚みである。

Ｅ．表面保護フィルム付光学部材
上記Ａ項～Ｄ項に記載の表面保護フィルムは、各種保護対象の表面保護に適用され得る。より詳しくは、表面保護フィルムは、はく離ライナーが接着層から剥離された後、接着層により保護対象に貼り付けられる。

本発明の１つの実施形態においては、表面保護フィルム（はく離ライナーが剥離除去された状態）を顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数が、好ましくは３つ未満であり、より好ましくは１つ以下、さらに好ましくは０である。
表面保護フィルムの顕微鏡観察の１０μｍ以上の欠点数が上記上限以下であると、異物検査において表面保護フィルムに起因する誤検出をより安定して低減できる。
なお、表面保護フィルム（はく離ライナーが剥離除去された状態）を顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ未満の欠点数は、例えば１０以下、好ましくは５つ以下、さらに好ましくは３つ以下、より好ましくは１つ以下である。
表面保護フィルムの顕微鏡観察において欠点が観測されても、最大フェレ径が１０μｍ未満であり、かつ、個数が上記上限以下であれば、異物検査において当該欠点が誤検出されることを抑制できる。

表面保護フィルム（はく離ライナーが剥離除去された状態）のアクリル板に対する接着力は、接着層が粘着剤層である場合、例えば０．０３Ｎ／２５ｍｍ以上、好ましくは０．０５Ｎ／２５ｍｍ以上、より好ましくは０．０７Ｎ／２５ｍｍ以上であり、代表的には１５Ｎ／２５ｍｍ以下である。なお、アクリル板に対する接着力は、表面保護フィルムをアクリル板に貼り合わせ、２３℃の環境下に３０分静置後に、引張速度３００ｍｍ／分で１８０°剥離試験を行った際の剥離力である。

表面保護フィルム（はく離ライナーが剥離除去された状態）のヘイズは、例えば２％以下、好ましくは１．５％以下、さらに好ましくは０．４％以下であり、代表的には０．０５％以上である。

保護対象としては、例えば、光学部材、電子部材が挙げられ、好ましくは、光学部材が挙げられる。図２は、本発明の１つの実施形態による表面保護フィルム付光学部材の概略断面図である。図示例の表面保護フィルム付光学部材は、光学部材５と；接着層３により光学部材５に貼り付けられている表面保護フィルム１と；を備えている。図２に示される表面保護フィルム１は、はく離ライナー４を備えず、基材２と接着層３とからなる。
光学部材として、代表的には、偏光板および／または位相差層を含む光学積層体、ディスプレイ、撮像装置、レンズ、（ハーフ）ミラーなどが挙げられる。

以下、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例によって限定されるものではない。なお、各特性の測定方法は以下の通りである。

（１）接着層の表面の最大谷深さおよび算術平均高さ測定
各実施例および各比較例で得られた表面保護フィルムにおいて、はく離ライナーを接着層（粘着剤層）から剥離して、接着層における基材と反対側の表面を露出させた。次いで、露出させた接着層表面と対物レンズとが向かい合うように、はく離ライナーが除去された表面保護フィルムを白色干渉計（Ｚｙｇｏ社製、商品名ＺｙｇｏＮｅｗＶｉｅｗ７３００）にセットして、接着層表面の干渉データを下記の条件で測定し、二次元画像を得た。
白色干渉計の測定条件：
対物レンズ；×１０
内部レンズ；×１．０
分解能；１．０９μｍ
測定視野面積；０．３６４１ｍｍ^２
Ｒｅｍｏｖｅｄ；Ｃｙｌｉｎｄｅｒ
得られた二次元画像の内、測定視野面積内の平均面に対する最小値を最大谷深さ（Ｓｖ）とした。また、Ｒａの値を算術平均高さ（Ｓａ）とした。なお、最大谷深さおよび算術平均高さは無作為に選んだ３点のデータを平均した値を採用した。
その結果を表２に示す。

（２）はく離ライナーの最大山高さおよび算術平均高さ測定
上記（１）において、接着層（粘着剤層）から剥離したはく離ライナーを、上記白色干渉計にセットして、はく離ライナーの干渉データを上記の条件で測定し、二次元画像を得た。得られた二次元画像の内、測定視野面積内の平均面に対する最大値を最大山高さ（Ｓｐ）とした。また、Ｒａの値を算術平均高さ（Ｓａ）とした。なお、最大山高さおよび算術平均高さは無作為に選んだ３点のデータを平均した値を採用した。
その結果を表１に示す。

（３）基材の顕微鏡観察による欠点数測定
各実施例および各比較例に記載の基材について、その表面を顕微鏡（ＯＬＹＭＰＵＳ社製、商品名ＢＸ５１、接眼レンズ倍率１０×、対物レンズ倍率１０×）にて観察した。次いで、観察視野の中から無作為に０．１ｍｍ×０．１ｍｍの領域を選択し、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数を目視にて測定した。
その結果を表１および表２に示す。

（４）基材の引裂強さの測定
基本的にはＪＩＳＫ７１２８－１：１９９８に準拠して測定した。
各実施例および各比較例に記載の基材を、１５０ｍｍ×５０ｍｍのサイズに切断した。次いで、長辺と平行な方向に短辺側の端部中心から７５ｍｍスリットを入れ、サンプル片を準備した。なお、ＭＤ方向の引裂強さは長辺方向がＭＤ方向と平行になる様に、ＴＤ方向の引裂強さは長辺方向がＴＤ方向と平行になる様にサンプルを準備した。
得られた試験片を引張試験機に取り付け、引張速度２００ｍｍ／ｍｉｎ（温度２３℃／相対湿度５０％雰囲気下）にて評価し、引裂力を測定した。得られた引裂力より、引裂強さｆを算出した。（ｆ＝Ｆｔ／ｄ（Ｆｔ：試験片の引裂力［Ｎ］，ｄ：試験片の厚さ［ｍｍ］））
その結果を表１に示す。

（５）表面保護フィルムの顕微鏡観察による欠点数測定
各実施例および各比較例で得られた表面保護フィルムにおいて、はく離ライナーを接着層（粘着剤層）から剥離して、接着層における基材と反対側の表面を露出させた。次いで、露出させた接着層表面と対物レンズとが向かい合うように、顕微鏡（ＯＬＹＭＰＵＳ社製、商品名ＢＸ５１、接眼レンズ倍率１０×、対物レンズ倍率１０×）を用いて観察した。次いで、観察視野の中から無作為に０．１ｍｍ×０．１ｍｍの領域を選択し、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数を目視にて測定した。
その結果を表２に示す。

（６）表面保護フィルムのヘイズ
各実施例および各比較例で得られた表面保護フィルムにおいて、はく離ライナーを接着層（粘着剤層）から剥離して、ヘイズメーター（日本電色工業社製「ＮＤＨ－５０００」）により、表面保護フィルムの基材側から光を照射して、ＪＩＳＫ７１３６に準じてヘイズを測定した。その結果を表２に示す。

（７）表面保護フィルムの剥離力測定
各実施例および各比較例で得られた表面保護フィルムを幅２５ｍｍ、長さ１００ｍｍのサイズに切り出し、はく離ライナーを接着層（粘着剤層）から剥離して、アクリル板（三菱ケミカル社製「アクリライト」、厚み：２ｍｍ、幅：７０ｍｍ、長さ：１００ｍｍ）に、圧力０．２５ＭＰａ、送り速度０．３ｍ／分でロール圧着した。この試料を、温度２３℃、相対湿度５０％の環境に３０分間静置した後、同環境下で、剥離角度１８０°、引張速度３００ｍｍ／分でピール試験を行い、１８０°剥離力を測定した。その評価結果を表２に示す。

（８）自動検査異物個数
特開２０２１－１３５２１９号公報に記載の手法に基づいて、３０ｍｍ×３０ｍｍ中に含まれる異物の個数をカウントした。その際、１０μｍ～２９μｍと３０μｍ～１００μｍに該当するもののサイズ分類も併せて実施した。その結果を表２に示す。

（９）自動検査気泡個数
特開２０２１－１３５２１９号公報に記載の手法に基づいて、３０ｍｍ×３０ｍｍ中に含まれる気泡の個数をカウントした。なお、検出サイズは１０μｍ～１００μｍに設定した。その結果を表２に示す。

＜ＰＣ系樹脂フィルムの作製＞
イソソルビド（以下「ＩＳＢ」と略記することがある）８１．９８質量部に対して、トリシクロデカンジメタノール（以下「ＴＣＤＤＭ」と略記することがある）４７．１９質量部、ジフェニルカーボネート（以下「ＤＰＣ」と略記することがある）１７５．１質量部、及び触媒として、炭酸セシウム０．２質量％水溶液０．９７９質量部を反応容器に投入し、窒素雰囲気下にて、反応の第１段目の工程として、加熱槽温度を１５０℃に加熱し、必要に応じて攪拌しながら、原料を溶解させた（約１５分）。次いで、圧力を常圧から１３．３ｋＰａにし、加熱槽温度を１９０℃まで１時間で上昇させながら、発生するフェノールを反応容器外へ抜き出した。反応容器全体を１９０℃で１５分保持した後、第２段目の工程として、反応容器内の圧力を６．６７ｋＰａとし、加熱槽温度を２３０℃まで、１５分で上昇させ、発生するフェノールを反応容器外へ抜き出した。攪拌機の攪拌トルクが上昇してくるので、８分で２５０℃まで昇温し、さらに発生するフェノールを取り除くため、反応容器内の圧力を０．２００ｋＰａ以下に到達させた。所定の攪拌トルクに到達後、反応を終了し、生成した反応物を水中に押し出して、ポリカーボネート樹脂のペレットを得た。得られたポリカーボネート樹脂の複屈折Δｎｘｙは０．０１５であった。得られたポリカーボネート樹脂を１００℃で１２時間真空乾燥をした後、単軸押出機（東芝機械社製、シリンダー設定温度：２５０℃）、Ｔダイ（幅１７００ｍｍ、設定温度：２５０℃）、キャストロール（設定温度：６０℃）および巻取機を備えたフィルム製膜装置を用いて、厚み９０μｍのポリカーボネート樹脂フィルムを作製した。

＜アクリルポリマーＡの重合＞
温度計、攪拌機、冷却器および窒素ガス導入管を備える反応容器内に、モノマー成分として、２－エチルヘキシルアクリレート（２ＥＨＡ）９６．２質量部、およびヒドロキシエチルアクリレート（ＨＥＡ）３．８質量部、ならびに重合開始剤として２，２’－アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．２質量部を酢酸エチル１５０質量部とともに仕込み、２３℃で緩やかに攪拌しながら窒素ガスを導入して窒素置換を行った。その後、液温を６５℃付近に保って６時間重合反応を行い、アクリルポリマーＡの溶液（濃度４０質量％）を調製した。アクリルポリマーＡの重量平均分子量は５４万であった。

＜粘着剤組成物Ａの調製＞
アクリルポリマーＡの溶液に酢酸エチルを加えて濃度２０質量％に希釈した。この溶液５００質量部(固形分１００質量部)に、架橋剤としてヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体（東ソー社製「コロネートＨＸ」）４質量部、および架橋触媒としてジラウリン酸ジブチルスズ（１質量％酢酸エチル溶液）３質量部(固形分０．０３質量部)を加えて攪拌し、粘着剤組成物Ａを調製した。

＜アクリルポリマーＢの重合＞
温度計、攪拌機、冷却器および窒素ガス導入管を備える反応容器内に、モノマー成分として、ブチルアクリレート９５質量部、およびアクリル酸５質量部、ならびに重合開始剤としてＡＩＢＮ０．２質量部を酢酸エチル１８６質量部とともに仕込み、２３℃で緩やかに攪拌しながら窒素ガスを導入して窒素置換を行った。その後、液温を６３℃付近に保って１０時間重合反応を行い、アクリルポリマーＢの溶液（濃度３５質量％）を調製した。アクリルポリマーＢの重量平均分子量は５０万であった。

＜粘着剤組成物Ｂの調製＞
アクリルポリマーＢの溶液に酢酸エチルを加えて濃度２０質量％に希釈した。この溶液５００質量部(固形分１００質量部)に、架橋剤として４官能エポキシ系化合物（三菱ガス化学社製「テトラッドＣ」）０．０７５質量部を加えて撹拌し、粘着剤組成物Ｂを調製した。

＜塗工液Ａの調製＞
ビニル基含有付加型シリコーン（信越化学工業社製「ＫＳ－８４７Ｔ」、３０％トルエン溶液）１００質量部、白金触媒（信越化学工業社製「ＣＡＴ－ＰＬ－５０Ｔ」）３質量部、希釈溶媒としてのトルエン１５０００質量部、ノルマルヘキサン１５００質量部を混合し、塗工液Ａを調整した（特開２０１５－１５１４７３号公報参照）。

＜はく離ライナーＡの作製＞
マイヤーバーを用いて、塗工液Ａを、厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（東レ社製、品番３８Ｕ４８）の一方の面に塗布した後、熱風乾燥機で１３０℃×１分間加熱し、はく離ライナーＡを得た。なお、塗工液Ａの塗布量は、固形分で０．１ｇ／ｍ^２とした。

＜はく離ライナーＢの作製＞
塗工液Ａの塗布量を、固形分で０．３ｇ／ｍ^２とした以外は、はく離ライナーＡと同様の手法にて作製した。

＜はく離ライナーＣの作製＞
塗工液Ａを塗布するＰＥＴフィルムをＴ１００Ｃ３８（三菱ケミカル社製、厚み３８μｍ）としたこと以外ははく離ライナーＡと同様の手法にて作製した。なお、塗工液Ａの塗布面はＰＥＴフィルムのコロナ処理面とした。

［実施例１］
基材（ＣＯＰ系樹脂フィルム、日本ゼオン社製、品番ＺＦ１６）の表面に、粘着剤組成物Ａを塗布し、その後乾燥させて粘着剤層を形成した。基材および粘着剤層の厚みを表１に示す。
次いで、粘着剤層の基材と反対側の表面に、はく離ライナー（東洋紡社製、品番ＴＧ７０４）を貼り付けた。はく離ライナーの厚みを表１に示す。
以上によって、表面保護フィルムを得た。

［実施例２］
粘着剤組成物Ａを、はく離ライナー（東洋紡社製、品番ＴＧ７０４）の表面に塗布し、その後乾燥させて粘着剤層を形成した。得られた粘着剤層に基材（ＣＯＰ系樹脂フィルム、日本ゼオン社製、品番ＺＦ１６）を貼り付けた。基材、粘着剤層およびはく離ライナーの厚みを表１に示す。
以上によって、表面保護フィルムを得た。

［実施例３］
基材を、前述のＰＣ系樹脂フィルムに変更したこと以外は、実施例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［実施例４］
基材を、無粒子ＰＥＴフィルム（東レ社製、品番５０Ｕ４８）に変更したこと以外は、実施例１と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［実施例５］
基材を、高位相差ＰＥＴフィルム（東洋紡社製、品番ＴＡ０５３）に変更したこと以外は、実施例１と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［実施例６］
はく離ライナー（品番ＴＧ７０４）を、前述のはく離ライナーＡに変更したこと以外は、実施例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［実施例７］
はく離ライナー（品番ＴＧ７０４）を、前述のはく離ライナーＢに変更したこと以外は、実施例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［実施例８］
粘着剤組成物Ａを、粘着剤組成物Ｂに変更したこと以外は、実施例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［実施例９］
基材を、ＴＡＣ系樹脂フィルム（富士フィルム社製、品番ＴＧ６０ＵＬ）に変更したこと以外は、実施例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［実施例１０］
基材を、（メタ）アクリル系樹脂フィルム（東洋鋼鉄社製、品番ＨＴＸ４０）に変更したこと以外は、実施例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［比較例１］
基材を、ＰＥＴフィルム（三菱ケミカル社製、品番Ｔ１００Ｃ３８）に変更したこと以外は、実施例１と同様にして、表面保護フィルムを得た。なお、粘着剤層の塗布面は、ＰＥＴフィルムのコロナ処理面とした。

［比較例２］
はく離ライナーを、前述のはく離ライナーＣに変更したこと以外は、実施例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［比較例３］
粘着剤組成物Ａを、粘着剤組成物Ｂに変更したこと以外は、比較例２と同様にして、表面保護フィルムを得た。

［評価］
表１および表２から明らかなように、接着層における基材と反対側の表面の最大谷深さ（Ｓｖ）の絶対値が５００ｎｍ以下であり、基材の顕微鏡観察における最大フェレ径１０μｍ以上の欠点数が３つ未満であると、保護対象に貼着した状態で異物検査および気泡検査に供しても、表面保護フィルム（基材および接着層）に起因する誤検出を低減でき、保護対象を正確に検査し得ることがわかる。

本発明の表面保護フィルムは、光学部材および電子部材の表面保護に好適に用いられ得る。

１表面保護フィルム
２基材
３接着層
４はく離ライナー

Claims

基材と、
前記基材に積層されている接着層と、を備え、
前記接着層における前記基材と反対側の表面の最大谷深さ（Ｓｖ）の絶対値が５００ｎｍ以下であり、
前記基材を顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数が３つ未満である、表面保護フィルム。
前記接着層における前記基材と反対側の表面の算術平均高さ（Ｓａ）の絶対値が２５ｎｍ以下である、請求項１に記載の表面保護フィルム。
表面保護フィルムを顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ以上の欠点数が３つ未満である、請求項１または２に記載の表面保護フィルム。
表面保護フィルムを顕微鏡観察したときに、１００μｍ×１００μｍの観察領域において、最大フェレ径が１０μｍ未満の欠点数が５つ以下である、請求項１～３のいずれかに記載の表面保護フィルム。
前記基材の引裂強さが、１Ｎ／ｍｍ以上である、請求項１～４のいずれかに記載の表面保護フィルム。
前記接着層が、（メタ）アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤およびシリコーン系粘着剤からなる群から選択される少なくとも１種の粘着剤を含有する、請求項１～５のいずれかに記載の表面保護フィルム。
光学部材と、
請求項１～６のいずれかに記載の表面保護フィルムであって、前記接着層により前記光学部材に貼り付けられている表面保護フィルムと、を備える、表面保護フィルム付光学部材。