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JP2011092855A5 - - Google Patents

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JP2011092855A5
JP2011092855A5 JP2009248905A JP2009248905A JP2011092855A5 JP 2011092855 A5 JP2011092855 A5 JP 2011092855A5 JP 2009248905 A JP2009248905 A JP 2009248905A JP 2009248905 A JP2009248905 A JP 2009248905A JP 2011092855 A5 JP2011092855 A5 JP 2011092855A5
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Description

かかるプリント装置では、シートのプリント媒体(例えば、ロール状あるいは箱に収
納された布帛)を複数のローラによって皺伸ばしし、搬送方向中央へのセンタリングや布
目矯正,両端(布帛の両耳)のカール是正が行なわれる。
In such a printing apparatus, a sheet- like print medium (for example, a roll or a cloth housed in a box) is stretched by a plurality of rollers, centered in the transport direction, texture correction, and both ends (both ears of the cloth). Curl correction is performed.

この場合、複数のローラによって布帛に張力が掛り、布帛の両耳のカールも是正するも
のであるが、張力の方向は、構造の上から、布帛の長手方向が大きく、布帛の長手方向に
対して直角方向の両側辺部のカールに対する張力は小さとなっている。
In this case, the fabric is tensioned by a plurality of rollers, and the curl of both ears of the fabric is also corrected. However, the tension direction is large in the longitudinal direction of the fabric from the top of the structure, and the longitudinal direction of the fabric. tension has a small Me for curling both side portions of the perpendicular Te.

さらに、カール矯正バーによってフィルムの塗布対象エリアの両側辺部を吸着テーブル
の両即辺部側へ押し広げる力を調節するための、カール矯正バーの昇降動作を駆動する昇
降シリンダの空気圧力を調整する手段を備えたことを特徴とする。
Further, for adjusting the force pushing the curl correction bar Thus the both side portions of the coating object area of the film to both immediate edge portion side of the suction table, the air pressure of the lifting cylinder for driving the vertical movement of the curl straightening bars A means for adjusting is provided.

上記目的を達成するために、本発明は、上流側のガイドロールでロール状に巻き付けら
れているフィルムを巻き出して搬送し、巻き出されたフィルムの塗布対象エリアが吸着テ
ーブルの吸着面に搭載されて、塗布ヘッドによって、フィルムの塗布対象エリアに液状の
塗布材が塗布され、塗布材が塗布されたフィルムが下流側のガイドロールで搬送されてロ
ール状に巻き取られるインクジェット塗布方法であって、吸着テーブルの吸着面に搭載さ
れたフィルムの塗布対象エリアの両側辺をカール矯正バーで吸着面に押し付けて吸着テー
ブルの側辺側に拡げて、吸着面に吸着保持させることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention unwinds and conveys a film wound in a roll shape with an upstream guide roll, and the application target area of the unwound film is mounted on the suction surface of the suction table. is, in the coating head thus coated target area coating liquid coating material within the film, the coating material is applied film is conveyed in the downstream side of the guide rolls there by an inkjet coating method to be wound into a roll The both sides of the application target area of the film mounted on the suction surface of the suction table are pressed against the suction surface with a curl correction bar and expanded to the side of the suction table, and are sucked and held on the suction surface. .

なお、以下に説明する実施形態は、一例として、非シリコン系の半導体材料(例えば、
CIGS薄膜)が施された太陽電池フィルム上に、インクジェット方式の塗布ヘッドで電
極材や絶縁材を塗布することにより、電極や絶縁膜などの膜形成を行なうようにするもの
である。なお、CIGS薄膜は、Cu(銅),In(インジウム),Ga(ガリウム),
Se(セレン)から成る半導体材料の薄膜であって、「CIGS」はこれら素材の頭文字
を配列したものであり、このCIGS薄膜の膜厚は、数10μm〜100μm程度と薄く
することができる。
In the embodiment described below, as an example, a non-silicon-based semiconductor material (for example,
A film such as an electrode or an insulating film is formed on a solar cell film on which a CIGS thin film is applied by applying an electrode material or an insulating material with an ink jet type coating head. The CIGS thin film includes Cu (copper), In (indium), Ga (gallium),
It is a thin film of a semiconductor material made of Se ( selenium ), and “CIGS” is an arrangement of initials of these materials. The thickness of this CIGS thin film can be as thin as several tens of μm to 100 μm.

図1は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第1の実施形態の概略構成を示
す斜視図である。1は太陽電池フィルム(以下、単にフィルムという)、2は巻出側フィ
ルムロール、3は巻取側フィルムロール、4,5はガイドロール、6,7は昇降ガイドロ
ール、8,9は吸着バー、10は吸着テーブル、11は巻出側軸モータ、12は巻取側軸
モータ、13,14はカール矯正バー、15は塗布ヘッド、16は巻出部、17は塗布部、
18は巻取部である。
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a first embodiment of an ink jet coating apparatus and method according to the present invention . 1 is a solar cell film (hereinafter simply referred to as film), 2 is an unwinding film roll, 3 is a winding side film roll, 4 and 5 are guide rolls, 6 and 7 are lifting guide rolls, and 8 and 9 are suction bars. 10 is a suction table, 11 is a winding side shaft motor, 12 is a winding side shaft motor, 13 and 14 are curl correction bars, 15 is a coating head, 16 is a winding portion, 17 is a coating portion,
Reference numeral 18 denotes a winding unit.

同図において、X軸方向に空間が巻出部16と塗布部17と巻取部19とに区分されて
おり、巻出部16には、巻出側軸モータ11によって回転駆動される巻出側フィルムロー
ル2や上流側のガイドロール4,昇降ガイドロール6,吸着バー8X軸方向に順次配列
させて設け、巻取部18には、下流側の吸着バー9や昇降ガイドロール7,ガイドロール
5,巻取側フィルムロール3X軸方向に順次配列させて設けられている。また、塗布部
17には、吸着テーブル10や塗布ヘッド15,カール矯正バー13,14を設けている。
In the figure, the space in the X-axis direction is divided into an unwinding portion 16, an application portion 17, and a winding portion 19, and the unwinding portion 16 is unwinded and rotated by the unwinding side shaft motor 11. Side film roll 2, upstream guide roll 4, elevating guide roll 6, suction bar 8 are sequentially arranged in the X-axis direction
In the winding unit 18, the downstream suction bar 9, the lifting guide roll 7, the guide roll 5, and the winding side film roll 3 are sequentially arranged in the X-axis direction. The application unit 17 is provided with a suction table 10, an application head 15 , and curl correction bars 13 and 14.

巻出部16において、巻出側フィルムロール2には、塗布部17で電極材や絶縁材の塗
布対象となるフィルム1ロール状に巻き付けている。また、このフィルム1は、この巻
出側フィルムロール2から巻き出されて塗布部17を通り、巻取部18で巻取側フィルム
ロール3に巻き取られている。かかる状態で、フィルム1の長さ方向がX軸方向、その幅
方向がY軸方向、X軸とY軸からなる面に垂直な方向がZ軸方向である。
In unwinding unit 16, the unwinding side film roll 2, the film 1 in the coating unit 17 the application target of the electrode material or insulating material is wound into a roll. The film 1 is unwound from the unwinding film roll 2, passes through the coating unit 17, and is wound on the winding side film roll 3 by the winding unit 18. In such a state, the length direction of the film 1 is the X-axis direction, the width direction is the Y-axis direction, and the direction perpendicular to the plane formed by the X-axis and the Y-axis is the Z-axis direction.

塗布部17では、フィルム1が吸着テーブル10によって真空吸着されて位置固定され
、また、図示しないガントリ(門型フレーム)構造で支持されているインクジェット式の
塗布ヘッドが複数配置されていて、これらにより、液状の電極材や絶縁材など(以下、こ
れらをまとめて「塗布材」という)がフィルム1のCIGS薄膜上に塗布されて電極や絶
縁膜が形成される。このCIGS薄膜には、溝状の窪み部を設けており、この窪み部に塗
布材が塗布されて電極や絶縁膜が形成される。
In the coating unit 17, the film 1 is vacuum-sucked by the suction table 10 and fixed in position, and a plurality of inkjet-type coating heads supported by a gantry (gate frame) structure (not shown) are arranged. Liquid electrode materials and insulating materials (hereinafter collectively referred to as “coating materials”) are applied onto the CIGS thin film of the film 1 to form electrodes and insulating films. The CIGS thin film is provided with a groove-like depression , and an application material is applied to the depression to form an electrode or an insulating film.

また、塗布ヘッド15は夫々、XY軸平面内での移動動作とZ軸方向(高さ方向)の移動動作が可能であり、夫々の塗布ヘッド15の下面には、フィルム1に向いたノズル孔が250個程度設けられており、ピエゾ駆動によって塗布材の液を押し出してフィルム1上に射出する。このように、塗布ヘッド15のノズルがXY軸平面内で移動して個別に塗布材を射出することにより、フィルム1の塗布面にあらゆるパターンで塗布材を精細に塗布することが可能となる。 Further, the coating head 15 can be moved in the XY-axis plane and moved in the Z-axis direction (height direction). A nozzle hole facing the film 1 is formed on the lower surface of each coating head 15. About 250 are provided, and droplets of the coating material are pushed out by a piezo drive and ejected onto the film 1. Thus, the nozzle of the coating head 15 moves in the XY axis plane and individually ejects the coating material, so that the coating material can be finely coated on the coating surface of the film 1 in any pattern.

このようにして、塗布部17でフィルム1の所定の塗布対象エリアでの塗布材の塗布が
終了すると、巻出側フィルムロール2からフィルム1が巻き出され、また、巻取側フィル
ムロール3にこのフィルム1が巻き取られることにより、このフィルム1の次の塗布対象
エリアが塗布部17で塗布材の塗布ができる位置に配置できるように、フィルム1が巻出
側フィルムロール2側から巻取側フィルムロール3側に搬送されるが、このときには、巻
出部16において、巻出側軸モータ11によって回転駆動される巻出側フィルムロール2
から巻き出されたフィルム1は、ガイドローラ4と昇降ガイドローラ6とによって支持さ
れるが、このとき、昇降ガイドローラ6が吸着テーブル10の吸着面よりも高い位置に上
昇しており、また、巻取部18では、フィルム1が昇降ガイドローラ7とガイトローラ5
とで支持されて巻取側フィルムロール3で巻き取っている。昇降ガイドローラ7吸着テ
ーブル10の吸着面よりも高い位置に上昇している。これにより、フィルム1は、吸着バ
ー8,9や吸着テーブル10に接触することなく、X軸方向に移動する。
Thus, when application | coating of the coating material in the predetermined application | coating area of the film 1 is complete | finished in the application part 17, the film 1 is unwound from the unwinding side film roll 2, and also the winding side film roll 3 is carried out. When the film 1 is wound up, the film 1 is wound from the unwinding side film roll 2 side so that the next application target area of the film 1 can be disposed at a position where the coating part 17 can apply the coating material. Although it is conveyed to the side film roll 3 side, in this case, in the unwinding part 16, the unwinding side film roll 2 rotated by the unwinding side shaft motor 11 is driven.
The film 1 unwound from is supported by the guide roller 4 and the lifting guide roller 6, and at this time, the lifting guide roller 6 is raised to a position higher than the suction surface of the suction table 10, In the winding unit 18 , the film 1 is moved up and down by the guide roller 7 and the guide roller 5.
And is wound up by the winding-side film roll 3 . The elevating guide roller 7 is raised to a position higher than the suction surface of the suction table 10 . Thereby, the film 1 moves in the X-axis direction without contacting the suction bars 8 and 9 and the suction table 10.

このようにして、フィルム1が巻出部16側から巻取部18側に移送されるときには、
昇降ガイドローラ6,7によってフィルム1が持ち上げられることになり、フィルム1が
吸着テーブル7に接触することなく搬送されるので、フィルム1の裏面に擦り傷が付くの
を防止できる
Thus, when the film 1 is transferred from the unwinding part 16 side to the winding part 18 side,
By the elevating guide rollers 6 and 7 will be the film 1 is lifted, since the film 1 is conveyed without contacting the suction table 7, it is possible to prevent the scratches attached to the back surface of the film 1.

このようにして、フィルム1が昇降ガイドローラ6,7によって吸着バー8,9や吸着
テーブル10に接触しない状態で搬送され、フィルム1での次の塗布対象エリアが塗布部
17に達すると、フィルム1の搬送が終了する。この塗布対象エリアの塗布部17でのX
軸方向の位置決めがなされ(この位置決めは、まず、巻取側フィルムロール3の巻取量を
監視して、粗く位置調整する。次いで、図示しないが、フィルム1の各塗布対象エリア毎
にマークを設け、これを図示しないカメラで撮影し、その撮影領域の所定の位置にこのマ
ークが位置するように、巻出側軸モータ11と巻取側軸モータ12を制御してフィルム1
のX軸方向の位置を精密に調整をする)、この位置調整が終了すると、巻取側軸モータ1
2にブレーキを掛けてフィルム1の巻取部18側を固定した状態とする。そして、これと
ともに、巻出側軸モータ11をフィルム1の巻き出しの回転方向とは逆回転方向にトルク
を掛けた状態にする。
In this way, when the film 1 is conveyed by the lifting guide rollers 6 and 7 without being in contact with the suction bars 8 and 9 and the suction table 10, and the next application target area on the film 1 reaches the application unit 17, 1 is completed . X at the application part 17 in this application target area
Positioning in the axial direction is made (this positioning first determines the winding amount of the winding side film roll 3
Monitor and coarsely adjust position. Next, although not shown, a mark is provided for each application target area of the film 1 and photographed with a camera (not shown), and the unwinding side motor 11 is positioned so that the mark is located at a predetermined position in the photographing region. And the winding side shaft motor 12 to control the film 1
When the position adjustment is completed, the winding side shaft motor 1 is adjusted.
2 is braked so that the winding part 18 side of the film 1 is fixed. Along with this, the unwinding side shaft motor 11 is put in a state in which torque is applied in the direction opposite to the rotation direction of the unwinding of the film 1.

かかる状態で、塗布部17では、昇降ガイドロール6,7が上記のように上昇した状態
で、吸着バー8,9がともに上昇し、フィルム1の裏面に当接してこのフィルム1を吸着
保持する。しかる後、昇降ガイドロール6,7が吸着テーブル10の吸着面よりも下方に
降下し、次いで、吸着バー8,9が、フィルム1を吸着保持したまま降下し、フィルム1
の裏面を吸着テーブル10の吸着面に当接する。これにより、フィルム1は吸着テーブル
10に吸着保持、塗布ヘッド15により、新たな塗布対象エリアに塗布材の塗布する。
In this state, in the application unit 17, the suction bars 8 and 9 are both lifted while the lifting guide rolls 6 and 7 are lifted as described above, and come into contact with the back surface of the film 1 to suck and hold the film 1. . Thereafter, the lifting guide rolls 6 and 7 are lowered below the suction surface of the suction table 10, and then the suction bars 8 and 9 are lowered while holding the film 1 by suction.
Is brought into contact with the suction surface of the suction table 10. As a result, the film 1 is sucked and held on the suction table 10, and the coating material is applied to a new application target area by the coating head 15 .

ところで、フィルム1が吸着テーブル10に当接したときも、フィルム1は、その長手
方向にテンションが掛った状態で、その吸着テーブル10の前後の部分が吸着バー8,9
によって保持している。ここで、巻出部16でのガイドロール4や昇降ガイドロール6の
側面の長手方向や吸着バー8の吸着面は、Y軸方向、即ち、フィルム1の幅方向に平行で
あって、フィルム1の幅全体がこれらガイドロール4や昇降ガイドロール6,吸着バー8
に押し付けられるようにし、巻取部18側でも、同様に、フィルム1の幅全体が吸着バー
9,昇降ガイドロール7,カイドロール5に押し付けられるようにして、フィルム1の幅
全体が水平、即ち、Y軸に平行になるようにしているが、フィルム1にその長手方向のテ
ンションが掛けられて吸着バー8,9によって保持されているため、間隔が長い吸着バー
8,9間では、テンション方向とカール方向との角度の違いが生じて、フィルム1の左右
両側辺部が、図2に示すように、下方に傾斜したカール部19が生ずる。
By the way, even when the film 1 comes into contact with the suction table 10, the film 1 is in a state where tension is applied in the longitudinal direction, and the front and rear portions of the suction table 10 are attached to the suction bars 8 and 9.
Is holding by . Here, the longitudinal direction of the side surfaces of the guide roll 4 and the lifting guide roll 6 at the unwinding portion 16 and the suction surface of the suction bar 8 are parallel to the Y-axis direction, that is, the width direction of the film 1. The entire width of the guide roll 4, the lifting guide roll 6, and the suction bar 8
In the same manner, the entire width of the film 1 is pressed against the suction bar 9, the lifting guide roll 7 and the guide roll 5 so that the entire width of the film 1 is horizontal. Although the film 1 is parallel to the Y-axis, the film 1 is tensioned in the longitudinal direction and held by the suction bars 8 and 9. A difference in angle with the curl direction occurs, and a curled portion 19 in which the left and right side portions of the film 1 are inclined downward as shown in FIG. 2 is generated.

また、昇降シリンダ20aにシリンダ軸23aが連結された幅寄せシリンダ22aと、
昇降シリンダ20bにシリンダ軸23bが連結された幅寄せシリンダ22bとを設けて
おり、これら幅寄せシリンダ22a,22bにも、図示しないが、そこでの空気圧を加
減調整するための空気圧調整器を設けている。幅寄せシリンダ22a,22bでの空気
を加減することにより、シリンダ軸23a,23bが同時に伸縮し、昇降シリンダ
20a,20bがY軸方向に進退移動する。
Further, a width adjusting cylinder 22a in which a cylinder shaft 23a is connected to the elevating cylinder 20a,
A lifting cylinder 22b having a cylinder shaft 23b coupled to the elevating cylinder 20b is provided.
The width adjusting cylinders 22a and 22b are also provided with an air pressure adjuster for adjusting the air pressure there, although not shown. By adjusting the air pressure in the width adjusting cylinders 22a and 22b, the cylinder shafts 23a and 23b expand and contract simultaneously, and the elevating cylinders 20a and 20b move forward and backward in the Y-axis direction.

フィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17に至ると、吸着テーブル10の吸着面に
設けられた吸着孔が真空吸着可能な状態に設定され、フィルム1のこの塗布対象エリアへ
の塗布材の塗布のための動作が開始し(ステップS100)、上記のように、フィルム1
が、それにテンションが掛けられたまま、吸着テーブル10に真空吸着されると(ステッ
プS110)、カール矯正バー14を動作させてフィルム1の側辺部のカール19を矯正
する場合には、昇降シリンダ20a,20bと幅寄せシリンダ22a,22bとを駆動す
ることにより、カール矯正バー14を、実線矢印Aで示すように、まず、退避状態からZ
軸方向に吸着テーブル10上のフィルム1よりも上方の第1の定位置まで上昇させ、しか
る後、フィルム1の方向に(Y軸に沿って)フィルム1での吸着テーブル10の側辺部1
0a側のカール部19(図2)を越えた第2の定位置まで水平に移動させ、その第2の定
位置に達すると(ステップS120)、さらにフィルム1を吸着テーブル10に押し付け
る第3の定位置まで降下させる(ステップS130)。そして、フィルム1を吸着テーブ
10に押し付けた状態でカール矯正バー14を吸着テーブル10の側辺部10aの近く
まで退避位置の方向に戻し、フィルム1での上記のカール部19全体を外側に広げて吸着
テーブル10の吸着面に押し付ける第4の定位置まで移動する(ステップS140)。こ
れにより、フィルム1での吸着テーブル10の側辺部10a側の部分も全体して平坦と
なってこの吸着テーブル10に押し付け、真空吸着する
When the next application target area of the film 1 reaches the application unit 17, the suction holes provided in the suction surface of the suction table 10 are set in a state capable of being vacuum-sucked, and the coating material on the application target area of the film 1 is set. The operation for coating starts (step S100), and as described above, the film 1
However, when the suction table 10 is vacuum-sucked with the tension applied thereto (step S110), when the curl correction bar 14 is operated to correct the curl 19 on the side of the film 1, the lift cylinder By driving the cylinders 20a and 20b and the width adjusting cylinders 22a and 22b, the curl correction bar 14 is first moved from the retracted state to the Z position as shown by the solid arrow A.
Raise to the first fixed position above the film 1 on the suction table 10 in the axial direction, and then in the direction of the film 1 (along the Y axis) the side 1 of the suction table 10 on the film 1
When the second fixed position is moved horizontally to the second fixed position beyond the curled portion 19 (FIG. 2) on the 0a side (step S120), the film 1 is further pressed against the suction table 10. Lower to a fixed position (step S130). Then, with the film 1 pressed against the suction table 10 , the curl correction bar 14 is returned to the retracted position near the side 10a of the suction table 10, and the entire curl portion 19 of the film 1 is spread outward. To the fourth fixed position to be pressed against the suction surface of the suction table 10 (step S140). Thus, as a whole, part of the side portion 10a side of the suction table 10 of the film 1 with push the suction table 10 is flat, vacuum suction.

このようにして、カールの矯正が終了すると、カール矯正バー14を、破線矢印Bで示
すように、第4の定位置から第5の定位置に上昇させ、この第5の定位置から退避位置側
に水平に移動させ、退避位置の真上の第6の定位置に達すると、そこから退避位置まで降
下させて退避状態にする(ステップS150)。これにより、この塗布対象エリアでのカ
ール矯正動作終了する(ステップS160)。
When the curl correction is completed in this manner, the curl correction bar 14 is raised from the fourth fixed position to the fifth fixed position as indicated by the broken-line arrow B, and the retracted position is moved from the fifth fixed position. When it reaches the sixth fixed position just above the retracted position, it is lowered to the retracted position to enter the retracted state (step S150). Thereby, the curl correction operation in this application target area is completed (step S160).

図5カール矯正動作の流れを示す図である。 FIG. 5 shows the flow of curl correction operation.

このように、フィルム1が吸着テーブル10に吸着されている状態で、塗布ヘッド15
により、フィルム1の塗布対象エリアで塗布材の塗布が行なう。塗布動作終了すると
、昇降ガイドローラ6,7が上昇してフィルム1が吸着テーブル10から持ち上げる。そ
して、巻出側フィルムロール2と巻取側フィルムロール3とを駆動して、フィルム1の次
の塗布対象エリアが塗布部17に位置するように、フィルム1の搬送を再開する。
In this way, the coating head 15 with the film 1 being sucked by the suction table 10.
Thus, the coating material is applied in the application target area of the film 1 . Upon completion of the coating operation, the elevating guide rollers 6 and 7 is raised film 1 Ru lifted from the suction table 10. So
To, by driving the unwinding side film roll 2 and the take-up film roll 3, so that the next coating object area of the film 1 is positioned in the coating section 17 resumes the conveyance of the film 1.

以上の動作において、図5(b),(c)に示す状態でのカール矯正バー13,14が
フィルム1を吸着テーブル10に押さえ付ける力やフィルム1を広げる力は、カール矯正
バー13,14を移動する昇降シリンダ20a,20bの設定圧力を制御することによっ
てコントロールすることができる。また、図5(b)から図5(c)へのフィルムを広げ
るカール矯正バー13,14の速度は、幅寄せシリンダ22a,22bの速度制御バルブ
といったエア流量制御手段によって所望の速度に設定することができる。
In the above operation, the curl correction bars 13 and 14 in the state shown in FIGS. 5 (b) and 5 (c) are used to press the film 1 against the suction table 10 and to spread the film 1. Can be controlled by controlling the set pressure of the elevating cylinders 20a and 20b. Further, the speed of the curl correction bars 13 and 14 for spreading the film from FIG. 5 (b) to FIG. 5 (c) is set to a desired speed by an air flow rate control means such as a speed control valve of the width adjusting cylinders 22a and 22b. be able to.

図6は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第2の実施形態における吸着テ
ーブルを示す斜視図である。24は吸着面、25は中心領域吸着部、26a,26bは
周辺領域吸着部、27は吸着孔、28は中心領域吸着孔、29は周辺領域吸着孔であり、
図1に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
FIG. 6 is a perspective view showing a suction table in the second embodiment of the ink jet coating apparatus and method according to the present invention . 24 is a suction surface, 25 is a central region suction portion, 26a and 26b are peripheral region suction portions, 27 is a suction hole, 28 is a central region suction hole, and 29 is a peripheral region suction hole.
Parts corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and redundant description is omitted.

この第2の実施形態でも、カール矯正バー13,14の動作は図5に示す先の第1の実
施形態の動作と同様であるが、制御部は、フィルム1の塗布対象エリアが塗布部17(図
1)に到達したことを検知すると、吸着テーブル10の吸着面24での中心領域吸着部2
5の中心領域吸着孔28の動作を開始させ、少なくとも図5(a)に示す状態で中心領域
吸着孔28が動作状態となる。これに対し、周辺領域吸着部26a,26bでは、カール
矯正バー13,14が図5(b)に示す状態から図5(d)に示す状態となり、フィルム
1のカール部19が矯正されるとともに、制御部が、このカール矯正動作の終了を検出す
ることにより、周辺領域吸着孔29の吸着動作を開始させる制御を行なうようにしたもの
である。なお、フィルム1の塗布対象エリアでの塗布材の塗布動作終了すると、制御部
は、これを検知して中心領域吸着孔28と周辺領域吸着孔29の吸着動作を終了させる。
Also in the second embodiment, the operation of the curl correction bars 13 and 14 is the same as the operation of the first embodiment shown in FIG. 5 except that the application target area of the film 1 is the application portion 17. When it is detected that (FIG. 1) has been reached, the central area suction section 2 on the suction surface 24 of the suction table 10 is detected.
5 is started, and the central region suction hole 28 is in an operating state at least in the state shown in FIG . On the other hand, in the peripheral area suction portions 26a and 26b, the curl correction bars 13 and 14 are changed from the state shown in FIG. 5B to the state shown in FIG. 5D, and the curl portion 19 of the film 1 is corrected. The control unit detects the end of the curl correction operation, thereby performing control for starting the suction operation of the peripheral region suction hole 29. When the application operation of the coating material in the application target area of the film 1 is finished, the control unit detects this and finishes the suction operation of the central region suction hole 28 and the peripheral region suction hole 29.

図1において、フィルム1が巻出側フィルムロール2から巻き出されて搬送されるとき
には、図6に示す構成の吸着テーブル10では、全ての吸着孔27は非動作状態にある。
フィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17に到達すると、図6において、この吸着テ
ーブル10での中心領域吸着部25の中心領域吸着孔28が動作を開始し、かかる状態で
、上記のように、吸着バー8,9が降下することにより、フィルム1(図1)が吸着テー
ブル10の吸着面24に当接する。このとき、吸着テーブル10での中心領域吸着部25
の中心領域吸着孔28で吸着動作しているので、フィルム1のこの中心領域吸着部25に
当接する部分が中心領域吸着孔28によって真空吸着保持される。これに対し、吸着テー
ブル10での周辺領域吸着部26a,26bの周辺領域吸着孔29は動作していないので、
フィルム1のこの周辺領域吸着部26に対向する部分は吸着保持されていない(図7のス
テップS210)。
In FIG. 1, when the film 1 is unwound from the unwinding-side film roll 2 and conveyed, all the suction holes 27 are in a non-operating state in the suction table 10 having the configuration shown in FIG.
When the next application target area of the film 1 reaches the application unit 17, in FIG. 6, the central region suction hole 28 of the central region suction unit 25 in the suction table 10 starts to operate, and in this state, as described above. When the suction bars 8 and 9 are lowered, the film 1 (FIG. 1) comes into contact with the suction surface 24 of the suction table 10. At this time, the central area suction part 25 in the suction table 10 is used.
Since the central area suction holes 28 are adsorbed operation portion abutting on the central area suction portion 25 of the film 1 is held vacuum suction by the central area suction holes 28. On the other hand, the peripheral area suction holes 29 of the peripheral area suction portions 26a and 26b in the suction table 10 are not operating.
The portion of the film 1 that faces the peripheral area suction portion 26 is not sucked and held (step S210 in FIG. 7).

しかる後、カール矯正バー13,14は、先の第1の実施形態と同様、図5(c)に示
す状態から図5(d),(e)に示す状態を経て図5(f)に示す退避位置にある状態と
なり(図7のステップS250)、フィルム1のカール矯正動作終了する(図7のステ
ップS260)。
Thereafter, the curl correction bars 13 and 14 are changed from the state shown in FIG. 5C to the state shown in FIGS. 5D and 5E, respectively, in the same manner as in the first embodiment. Then, the curl correction operation of the film 1 is finished (step S260 in FIG. 7).

このように、フィルム1が吸着テーブル10に吸着されている状態で、塗布ヘッド15
(図1)により、フィルム1の塗布対象エリアで塗布材の塗布を行ない、塗布動作
了すると、昇降ガイドローラ6,7が上昇してフィルム1が吸着テーブル10から持ち上
げられ、巻出側フィルムロール2と巻取側フィルムロール3とが駆動されることにより、
フィルム1の次の塗布対象エリアが塗布部17に位置するように、フィルム1の搬送が再
開される。
In this way, the coating head 15 with the film 1 being sucked by the suction table 10.
(FIG. 1) performs coating of the coating material in the coating object area of the film 1, when end <br/> completion of coating operation, the elevating guide rollers 6 and 7 is raised film 1 is lifted from the suction table 10 The unwinding side film roll 2 and the winding side film roll 3 are driven,
The conveyance of the film 1 is resumed so that the next application target area of the film 1 is located in the application unit 17.

図8は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第3の実施形態の要部を示す概
略斜視図である。30はフィルム浮き検知装置のフィルム有無検知センサ、31はフィ
ルム浮き検知装置の検知孔、32aはフィルム浮き検知装置のビーム発光装置、32bは
フィルム浮き検知装置の検知センサ、33は光ビームであり、図1に対応する部分には同
一符号を付けて重複する説明を省略する。
FIG. 8 is a schematic perspective view showing an essential part of a third embodiment of the ink jet coating apparatus and method according to the present invention . 30 is a film presence detection sensor of the film floating detection device, 31 is a detection hole of the film floating detection device, 32a is a beam light emitting device of the film floating detection device, 32b is a detection sensor of the film floating detection device, and 33 is a light beam. Parts corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and redundant description is omitted.

この第3の実施形態は、先の第1,第2の実施形態にカール矯正動作が終了したか否か
を検知する装置を備えたものである。以下では、かかる装置をフィルム浮き検知装置とい
う。
This third embodiment is provided with a device for detecting whether or not the curl correction operation is completed in the first and second embodiments. Hereinafter, such an apparatus is referred to as a film floating detection apparatus.

この検知孔31は、フィルム1が吸着テーブル10に載置されたとき、このフィルム1
に生じているカール部19(図2)の位置に設けられているものであって、フィ
ルム有無検知センサ30、この検知孔31を通して光を照射し、吸着テーブル10に載
置されたフィルム1の裏面からの反射光を検知孔31を通して受光し、その反射面までの
距離に応じて反射光の受光量を検出するものであるが、図5(a)に示すように、フィル
ム1の側辺部にカール部19があって、フィルム1の側辺部が吸着テーブル10から浮き
上がっているときと、図5(c)に示すように、カール矯正が行なわれてフィルム1の側
辺部も平坦となって吸着テーブル10の吸着面に接触しているときとで、フィルム有無検
知センサ30から照射光が反射するフィルム1の裏面までの距離が異なる。
The detection hole 31 is formed when the film 1 is placed on the suction table 10.
Curled portion 19 occurring in a one that is provided at a position of (Figure 2), the film presence sensing sensor 30, the film 1 which the light is irradiated through a detection hole 31, placed on the suction table 10 The reflected light from the back surface of the film is received through the detection hole 31 and the amount of the reflected light is detected according to the distance to the reflecting surface. As shown in FIG. When there is a curled portion 19 on the side and the side portion of the film 1 is lifted from the suction table 10, curl correction is performed as shown in FIG. The distance from the film presence / absence detection sensor 30 to the back surface of the film 1 on which the irradiation light is reflected differs depending on whether it is flat and in contact with the suction surface of the suction table 10.

このことから、フィルム有無検知センサ30は、上記のフィルム1のカール矯正の動作
終了すると、検知孔31を通して光を照射し、吸着テーブル10に載置されたフィルム
1の裏面からの反射光を検知孔31を通して受光し、図示しない処理部がその受光結果
基いてこのフィルム1の裏面までの距離を測定し、この測定結果を処理してフィルム1の
裏面が吸着テーブル10から浮き上がっているか、吸着テーブル10に平坦な状態で当接
しているか判定し、フィルム1の裏面が吸着テーブル10から浮き上がっているとの判定
結果が得られると、フィルム1のカール矯正がなされなかったものとして、装置の作業者
にこれを通知するとともに、装置を停止させて塗布作業を停止させる。
Therefore, the film presence / absence detection sensor 30 operates to correct the curl of the film 1 described above.
The When finished, the light is irradiated through a detection hole 31, the reflected light from the rear surface of the placed film 1 to the suction table 10 received via the detection hole 31, the processing unit (not shown) whose reception result
Based on this, the distance to the back surface of the film 1 is measured, and the measurement result is processed to determine whether the back surface of the film 1 is lifted from the suction table 10 or is in contact with the suction table 10 in a flat state. When the determination result that the back surface of 1 is lifted from the suction table 10 is obtained, it is assumed that the curl correction of the film 1 has not been made, and this is notified to the operator of the apparatus, and the apparatus is stopped to perform the coating operation Stop.

この第3の実施形態では、さらに、吸着テープル10の一方の側辺部の外側にビーム発光装置32aを設け、他方の側辺部の外側には検知センサ32bが夫々設けている。そして、ビーム発光装置32aからの光ビーム33が検知センサ32bで受光される。これらビーム発光装置32aと検知センサ32bとはフィルム浮き検知装置を構成するものであるが、この場合、ビーム発光装置32aと検知センサ32bとの配置位置としては、ビーム発光装置32aからの光ビーム33が吸着テーブル10の上方でこの吸着テーブル10を横切るように、かつフィルム1が全体として平坦な状態で吸着テーブル10に真空吸着されているときには、ビーム発光装置32aからの光ビーム33検知センサ32bで検知できるようにし、カール部19(図2)が生じフィルム1が吸着テーブルの吸着面24(図6)から浮き上がっているときには、ビーム発光装置32aからの光ビーム33がフィルム1に遮られて検知センサ32bで受光できないように、設定するIn the third embodiment, a beam light emitting device 32a is further provided outside one side portion of the suction table 10, and a detection sensor 32b is provided outside the other side portion . Then, the light beam 33 from the beam emitting device 32a is received by the detection sensor 32b. While these beam emitting device 32a and the detection sensor 32b constitute a film floating sensing device, in this case, the position of the detection sensor 32b beam emitting device 32a, the light beam from the beam emitting device 32a 33 There across the suction table 10 above the suction table 10, and when the film 1 is vacuum-sucked by the suction table 10 in a flat state as a whole, a light beam 33 from the beam emitting device 32a sensor 32b in the so that can be detected, when the curled portion 19 (FIG. 2) is generated film 1 is lifted from the suction surface 24 of the suction table (FIG. 6), the light beam 33 from the beam emitting unit 32a is blocked by the film 1 so that it can not be received by Te detecting sensor 32b, sets.

これにより、図示しない処理部では、フィルム1の上記カール矯正動作の終了後、検知
センサ32bで光ビーム33の受光結果が得られた場合は、フィルム1全体が平坦な状態
で吸着テーブル10に真空吸着保持されるいるものと判定する。そして、このフィルム1
の塗布材の塗布動作を開始させるが、検知センサ32bで光ビーム33の受光結果が得ら
れない場合には、フィルム1のカール矯正ができなかったものと判定する。そして、この
装置の作業者にその旨を通知するとともに、装置の動作を停止させて塗布作業を停止させ
る。
Thereby, in the processing unit (not shown), when the detection result of the light beam 33 is obtained by the detection sensor 32b after the curl correcting operation of the film 1 is finished, the suction film 10 is vacuumed on the suction table 10 with the entire film 1 being flat. determining assumed to be sucked and held. And this film 1
To start the coating operation of the coating material, but if the light receiving result of the light beam 33 can not be obtained by the detection sensor 32b, is determined that can not curl correction of the film 1. And while notifying the operator of this apparatus to that effect, the operation | movement of an apparatus is stopped and application | coating work is stopped.

以上のように、この第3の実施形態では、フィルム1のカール矯正を行なった後におい
、フィルム浮き検知装置によってカール矯正が確実に行なわれたか否かを確認すること
ができるので、カール矯正が充分なされていない状態で塗布材の塗布が行なわれるのを防
止することができる。
As described above, in this third embodiment, the smell after performing curl correction of the film 1
Te, it is possible to check whether curl correction is ensured by the film floating sensing device, it is possible to prevent the coating of the coating material in a state where the curl correction is not performed sufficiently is performed.

なお、以上の説明では、フィルム有無検知センサ30と検知孔31とによるフィルム浮
き検知装置と、ビーム発光装置32aと検知センサ32bとからなるフィルム浮き検知装
置とを用いているものとしているが、これらフィルム浮き検知装置のいずれか一方のみを
用いるようにしてもよい。また、同じフィルム浮き検知装置を複数用いるようにしてもよ
い。かかるフィルム浮き検知装置は、フィルム1のカール状態に応じて使い分けるもので
ある。
In the above description, it is assumed that the film floating detection device including the film presence / absence detection sensor 30 and the detection hole 31 and the film floating detection device including the beam light emitting device 32a and the detection sensor 32b are used. Only one of the film floating detection devices may be used. Also, a plurality of the same film floating detection devices may be used. Such a film floating detection device is selectively used according to the curl state of the film 1.

これらのいずれにしても、フィルム1のカールが矯正されて平坦な状態となって初めて
次の塗布工程に移行できる手順とすることで、信頼性を格段に向上させることができる。
もし、カール矯正を完了できず、製造工程を一時停止した場合には、エラーであることを
警報機などによって作業者に知らせることになる。この場合、生産時間に無駄が生じるが、
フィルム1が浮き上がったままで塗布動作を始めたり、皺が発生したままの状態で製造物
の歩留まりを低下させるような不具合を未然に防止することが可能となる。
In any of these cases, the reliability can be remarkably improved by adopting a procedure in which the curl of the film 1 is corrected to be a flat state and can be shifted to the next coating process.
If the curl correction can not be completed and the manufacturing process is temporarily stopped, the operator is notified of the error by an alarm device or the like. In this case, production time is wasted,
It is possible to prevent problems such as starting the coating operation while the film 1 is lifted or reducing the yield of the product while wrinkles are generated.

図9は本発明によるインクジェット塗布装置及び方法の第4の実施形態でのカール矯正
装置の一具体例を示す概略斜視図である。34,35は空気圧調整器であり、図3に対応
する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
FIG. 9 is a schematic perspective view showing a specific example of the curl correcting apparatus in the fourth embodiment of the ink jet coating apparatus and method according to the present invention . Reference numerals 34 and 35 denote air pressure adjusters, and parts corresponding to those in FIG.

同図において、昇降シリンダ20a,20bには、空気圧調整器34を介して空気圧が
供給される。同様にして、吸着テーブル10の反対側に設けられているカール矯正バー1
3を上下方向に移動させる昇降シリンダ(ここでは、昇降シリンダ20a’のみを示して
いる)にも、空気圧調整器35を介して空気圧を供給する。
In the figure, air pressure is supplied to the elevating cylinders 20a and 20b via an air pressure regulator 34. Similarly, the curl correction bar 1 provided on the opposite side of the suction table 10 is used.
Air pressure is also supplied via an air pressure regulator 35 to a lifting cylinder (only the lifting cylinder 20 a ′ is shown here) that moves 3 up and down .

そこで、制御装置が空気圧調整器34,35に供給する制御信号を変化させることによ
り、昇降シリンダ20a,20bや昇降シリンダ20a’への空気圧を変化させることが
できる。そして、昇降シリンダ20a,20bや昇降シリンダ20a’に供給される空気
圧が変化すると、カール矯正バー14,13の上下動作の駆動圧力が変化することになり
、カール矯正バー14,13がフィルム1を吸着テーブル10に押し付ける押圧力が変化
することになる。
Therefore, by changing the control signal supplied from the control device to the air pressure adjusters 34 and 35, the air pressure to the lift cylinders 20a and 20b and the lift cylinder 20a ′ can be changed. When the air pressure supplied to the elevating cylinders 20a and 20b and the elevating cylinder 20a ′ changes, the driving pressure for the up and down movement of the curl correction bars 14 and 13 changes. The pressing force that is pressed against the suction table 10 changes.

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