JP2009160610A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 門型のフレームと、
   レーザ光を発生するレーザ光源と、
   被加工部材に対向して配置され、前記レーザ光源から出射されたレーザ光を前記被加工部材に照射する加工ヘッドと、
   前記レーザ光源と前記加工ヘッドとを接続し、強度分布を均一化しつつレーザ光を導光する光ファイバと、
   前記フレーム上で、前記レーザ光源、前記加工ヘッドおよび前記光ファイバを一体的に移動させる移動機構と
   を備えるレーザリペア装置。
2. 前記レーザ光源は、前記フレームの水平部の鉛直上方に配置され、
   前記加工ヘッドは、前記フレームの側方に配置されることを特徴とする請求項１に記載のレーザリペア装置。
3. 前記移動機構は、
   前記水平部の上面に設けられるガイドレールと、
   前記レーザ光源及び前記加工ヘッドを支持し、前記ガイドレールに沿って移動可能に設けられる取付部と、
   前記水平部の側面に設けられ、前記取付部を前記ガイドレールに沿って駆動する駆動手段と、
   を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザリペア装置。
4. 前記取付部は、
   前記レーザ光源を支持し、前記ガイドレール上を移動するように前記水平部の鉛直上方に設けられるレーザ光源取付部と、
   前記加工ヘッドを支持し、前記レーザ光源支持部及び前記駆動手段に連結されるヘッド取付部と、
   を備えることを特徴とする請求項３に記載のレーザリペア装置。
5. 前記光ファイバを折り曲げた状態で固定する固定手段を前記取付部に設けたことを特徴とする請求項３又は４に記載のレーザリペア装置。
6. 前記固定手段は、前記光ファイバが前記レーザ光源と前記加工ヘッドとの間で１回以上巻かれている状態に固定することを特徴とする請求項５に記載のレーザリペア装置。
7. 前記加工ヘッドが、前記被加工部材を顕微鏡観察するための対物レンズ、落射照明光源および撮像素子を備える請求項１乃至６に記載のレーザリペア装置。