JP2003343481A

JP2003343481A - ポンプ

Info

Publication number: JP2003343481A
Application number: JP2002147820A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Kobayashi; 康裕小林; Kazunori Hayashida; 一徳林田; Masayoshi Onishi; 政良大西; Yuichi Takii; 裕一瀧井
Original assignee: Koyo Seiko Co Ltd
Current assignee: Koyo Seiko Co Ltd
Priority date: 2002-05-22
Filing date: 2002-05-22
Publication date: 2003-12-03
Anticipated expiration: 2022-05-22
Also published as: JP3988531B2

Abstract

(57)【要約】【課題】回転体を支持する軸受の耐食性や耐摩耗性な
どを向上することができ、よって長寿命化を図ることが
できるポンプを提供する。【解決手段】冷却水に対する耐食性をもつオーステナ
イト系ステンレス鋼により、動圧軸受８を構成する。さ
らに、この動圧軸受８に対向する回転軸４の対向部分の
表面にダイヤモンドライクカーボン膜１０を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、冷却水などの液体
を圧送するポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】液体を
循環させるポンプには、その循環液の循環流路上に配置
されたハウジング内に、回転軸とこれに取り付けられた
インペラ（回転翼）とを備えた回転体を配置し、この回
転体を電動モータ等により回転させることでハウジング
内から上記循環流路内へ循環液を流すものがある。とこ
ろで、上記のようなポンプでは、その回転体の回転軸を
支持する軸受をハウジング内で液中に没した状態で使用
する必要がある。このような軸受には、従来、転がり軸
受やすべり軸受が用いられているが、それらの軸受構成
部材に、上記循環液が水を含む場合には当該液による腐
食が生じることがあり、軸受寿命、ひいてはポンプ寿命
が短くなることがあった。また、セラミックス材料を用
いて軸受構成部材を形成した軸受を使用することも提案
されているが、上記水を含む循環液に対する耐食性や液
中使用での耐摩耗性や摺動特性が十分でなく、ポンプ寿
命を向上することは難しいものであった。

【０００３】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、回転体を支持する軸受の耐食性や耐摩耗性などを向
上することができ、よって長寿命化を図ることができる
ポンプを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明のポンプは、水を
含んだ液体を圧送する回転体と、前記液体を潤滑流体と
して前記回転体を回転自在に支持する動圧軸受とを備え
たポンプであって、前記動圧軸受の軸受面と、前記回転
体の少なくとも前記軸受面に対向する対向部分とのう
ち、少なくとも一方の表面にダイヤモンドライクカーボ
ン膜を形成するとともに、他方を前記液体に対する耐食
性をもつ耐食材により構成したことを特徴とするもので
ある（請求項１）。

【０００５】上記のように構成されたポンプにおける動
圧軸受は、その軸受面にダイヤモンドライクカーボン膜
が形成されるかまたは上記耐食材により構成されるの
で、当該軸受の耐食性を向上することができる。また、
軸受面または上記回転体の少なくとも軸受面に対向する
対向部分の表面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成
しているので、回転開始時などでの当該動圧軸受の回転
体に対する耐摩耗性及び摺動特性を向上することができ
る。

【０００６】また、上記ポンプ（請求項１）において、
前記動圧軸受と同軸上で前記回転体を回転支持するタッ
チダウン軸受を備えてもよい（請求項２）。この場合、
ポンプ起動または停止時に、上記タッチダウン軸受が回
転体を支持することにより、上記動圧軸受の回転体との
接触を防ぐことができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明のポンプの好ましい
実施形態について、図面を参照しながら説明する。尚、
以下の説明では、水を含む液体として、水とエチレング
リコールとの混合液からなる冷却水（不凍液）を流路内
で循環させる軸流式のポンプを構成した場合を例示して
説明する。図１は本発明の一実施形態に係るポンプの構
成を示す断面図であり、図２は図１に示した動圧軸受の
動圧発生部とこれに対向する回転軸の対向部分とを示す
拡大断面図である。図１及び２において、本実施形態の
ポンプ１は、筒状のハウジング２と、このハウジング２
の吸入口２ａ側から吐出口２ｂ側に上記冷却水を圧送す
る回転体３とを備えている。ハウジング２は上記流路の
途中に配置されたものであり、その吸入口２ａ及び吐出
口２ｂが流路を構成する配管（図示せず）に接続されて
いる。

【０００８】上記回転体３は、軸長の回転軸４と、この
回転軸４の一端部側の外周面４ａに一体回転可能に取り
付けられたインペラ５とを備えており、上記回転軸４が
電動モータ７により図のＲ方向に回転駆動されたとき
に、回転体３は上記吸入口２ａから冷却水をハウジング
２内に導入し、その冷却水を図１の矢印Ｆにて示すよう
にハウジング２内を流して、上記吐出口２ｂから冷却水
を送り出す。上記回転軸４及びインペラ５は、冷却水に
対する耐食性に優れた金属、例えばオーステナイト系ス
テンレス鋼（ＳＵＳ３０４等）により構成されたもので
あり、回転体３として必要な強度を有している。また、
回転軸４の一端部側の先端部には球状部４ｂが形成され
ており、この球状部４ｂがハウジング２内に固定された
円盤状のピボット板６の球面座６ａに接した状態で、回
転体３が回転するようになっている。このピボット板６
は、例えば上記ステンレス鋼により構成されたものであ
り、回転体３が冷却水を圧送したときに当該回転体３が
図１の左側に移動するのを規制している。また、このピ
ボット板６には、冷却水を流すための複数の開口６ｂが
周方向に沿って適宜設けられており、ポンプ効率の低下
を極力抑えるようになっている。

【０００９】上記電動モータ７は、例えばハウジング２
の外部に配置されたステータ巻線７ａと、ハウジング２
の内部に配置され、上記回転軸４に固定された筒状のモ
ータロータ７ｂとを備えている。詳細には、モータロー
タ７ｂは、回転軸４が圧入された円筒部７ｃと、この円
筒部７ｃとの間で周方向に所定間隔をおいて等配された
複数のリブ７ｄとにより、回転軸４の軸方向中央部分に
一体回転可能に取り付けられており、当該ロータ７ｂの
一端開口部７ｂ１から流入した冷却水が複数のリブ７ｄ
の各間を通って他端開口部７ｂ２から流出するようにな
っている。また、これらのモータロータ７ｂ、円筒部７
ｃ、及びリブ７ｄは、例えば上記オーステナイト系ステ
ンレス鋼により構成されたものであり、必要な強度及び
上記冷却水に対する耐食性が確保されている。また、モ
ータロータ７ｂの外周側には、樹脂モールドされること
により防水性が確保された永久磁石（図示せず）が設け
られている。そして、この電動モータ７は、そのステー
タ巻線７ａに通電することによって回転磁界を発生さ
せ、その回転磁界と上記永久磁石の磁界との相互作用に
より回転体３を所望の回転速度で回転させる。

【００１０】また、上記回転体３は、モータロータ７ｂ
を左右方向で挟むように設けられた一対の動圧軸受８に
より、上記ハウジング２内で回転自在に支持されてい
る。上記動圧軸受８は、上記オーステナイト系ステンレ
ス鋼などの冷却水に対する優れた耐食性をもつ金属素材
からなる耐食材により構成されたものであり、ハウジン
グ２に固定された円環状の固定部８ａと、この固定部８
ａと同芯円上に設けられ、内周面８ｂ１にスパイラルパ
ターンやへリングボーンパターン等の帯状の動圧発生用
溝８ｂ２（図２）が形成された円環状の動圧発生部８ｂ
とを備えている。また、動圧軸受８は、図１の矢印Ｆ１
にて示すように、ハウジング２内を流れる冷却水を潤滑
流体として、その動圧発生用溝８ｂ２とこれに対向する
回転軸外周面４ａとの間に、回転体３の回転に応じた動
圧を発生させることにより、回転体３をラジアル方向に
支承する。また、この動圧軸受８では、上記固定部８ａ
と動圧発生部８ｂとの間で周方向に沿って等間隔に複数
の開口８ｃが設けられており、これらの開口８ｃに冷却
水を通してポンプ効率の低下を極力抑えるようになって
いる。

【００１１】また、図２に示すように、上記動圧発生部
８ｂと対向する回転軸外周面４ａの上記対向部分の表面
にはダイヤモンドライクカーボン膜（以下、「ＤＬＣ
膜」ともいう）１０が形成されている。上記ＤＬＣ膜１
０は、例えば炭素をターゲットとしたスパッタリング法
により、１．０〜５．０μｍ程度の膜厚で上記対向部分
の表面上に成膜されたものであり、ビッカース硬度１０
００〜２０００（Ｈｖ）程度の硬さを有する硬質膜を構
成している。このＤＬＣ膜１０の表面粗さは例えば中心
線平均粗さ（Ｒａ）で０．１μｍ以下に管理されてい
る。また、このＤＬＣ膜１０は、所定の密着力（少なく
とも４０Ｎ、好ましくは６０Ｎ）で対向部分の上記表面
に接合されており、この表面から剥離しないようになっ
ている。さらに、このＤＬＣ膜１０は、冷却水に対する
優れた耐食性を有するとともに、当接する相手材への攻
撃性及び摩擦係数が低く、しかも耐摩耗性に優れ、若干
の自己潤滑性を有する皮膜であり、回転体３の回転開始
時や停止時などにおいて動圧軸受８と回転体３の回転軸
外周面４ａとが接触するときに動圧軸受８の回転軸外周
面４ａとの間での耐摩耗性及び摺動特性を向上させる。

【００１２】上記スパッタリング法によるＤＬＣ膜１０
の形成では、アルゴンガス、炭化水素ガスなどの導入ガ
スが導入された蒸着室内の圧力を１０^-3〜１０（Ｔｏｒ
ｒ）程度とし、放電電圧１００〜２０００（Ｖ）、電流
２〜１０（Ａ）の放電処理を行うことにより、ターゲッ
ト面である上記対向部分の表面に炭素を蒸着する。これ
により、上記膜厚、硬さ等を有し、グラファイト（ＳＰ
²）構造とダイヤモンド（ＳＰ³）構造とが共存した非晶
質構造からなるＤＬＣ膜１０が上記対向部分の表面上に
形成される。尚、このＤＬＣ膜１０を形成するときに
は、上記ターゲット面以外の外周面４ａなどの回転軸表
面はマスク部材によりマスキングが施され、炭素が付着
しないようになっている。また、上記ＤＬＣ膜１０の膜
厚が１．０μｍ未満であれば耐摩耗性が不足し、５．０
μｍを超えると、コストが膨大となるだけでなく、膜厚
が厚すぎることによる内部応力が大きくなり剥離の原因
となる。それ故、ＤＬＣ膜１０の好ましい膜厚は、１．
０〜５．０μｍであり、さらに好ましくは３．０μｍで
ある。また、ＤＬＣ膜１０の上記表面に対する密着力が
４０Ｎ未満であると、当該ＤＬＣ膜１０の剥離を生じや
すくなる。また、ＤＬＣ膜１０の硬さがビッカース硬度
（Ｈｖ）で１０００未満であれば耐摩耗性が不足し、２
０００を超えると、内部応力が大きくなり剥離の原因と
なる。

【００１３】尚、上記のスパッタリング法以外に、ベン
ゼンを原料ガスとしたイオンビーム蒸着によるイオンプ
レーティング法等の他の物理蒸着法（ＰＶＤ）、化学蒸
着法（ＣＶＤ）、あるいはプラズマジェットを利用した
プラズマ溶射などの溶射法を用いて、ＤＬＣ膜１０を形
成してもよい。また、ローレット加工等により、上記対
向部分の表面を粗面に仕上げることでＤＬＣ膜１０が形
成される表面への密着性（密着強度）を高めてもよい。
但し、上記スパッタリング法等のＰＶＤは、物理的メカ
ニズムを利用した成膜法であることから、下地（回転軸
４）の材料に左右されることがなく、他の成膜法に比べ
て下地に対する高い密着性を容易に確保できるので、Ｄ
ＬＣ膜１０の形成に最適である。また、この説明以外
に、タングステン等をＤＬＣ膜１０に含有させたり、ク
ロム膜等をＤＬＣ膜１０と表面との間に介在させたりし
て、ＤＬＣ膜１０の回転軸表面に対する密着強度を高め
る構成でもよい。

【００１４】また、図１においては、上記動圧発生部８
ｂと回転軸４との隙間を誇張して図示しているが、実際
の隙間の寸法は数十μｍ程度に設定されており、動圧発
生部８ｂがＤＬＣ膜１０との間でキャビテーションとこ
れに起因する異常音及び異常振動等を生じることなく、
上記動圧を適切に発生させて回転体３を安定して支持す
るようになっている。

【００１５】以上のように、本実施形態のポンプ１で
は、上記金属素材からなる耐食材により動圧軸受８を構
成しているので、当該軸受８の冷却水に対する耐食性を
向上することができる。また、回転軸外周面４ａの動圧
軸受８と対向する対向部分に上記ＤＬＣ膜１０を形成し
て、回転体３の回転開始時などでの動圧軸受８の回転軸
外周面４ａとの間での耐摩耗性及び摺動特性を向上させ
るので、冷却水に対する耐食性を向上することができる
点とも相まって、動圧軸受８は長期間にわたって回転体
３を高精度に支持することができ、当該動圧軸受８の寿
命、ひいてはポンプ１の寿命を長寿命なものとすること
ができる。さらに、ポンプ１の循環水である冷却水を潤
滑流体として用いた動圧軸受８によって回転体３を支持
させているので、グリースが封入された転がり軸受を用
いた場合と異なり、軸受内部への循環水の浸入に起因す
るグリースの流出やその粘度低下、劣化等が発生するこ
とがなく、循環水の汚染及び軸受性能の低下などの発生
を防いだ高性能で環境性に優れ、かつ長期間にわたって
回転体３の回転精度を維持することができるエンジン冷
却用等のポンプを容易に構成することができる。

【００１６】尚、本発明の発明者等による検証試験によ
れば、回転体３を１００００ｒｐｍで回転させて、６０
℃の水を循環供給するポンプで６ヶ月以上連続運転させ
ても、動圧軸受８及びポンプ１に不具合発生の兆候は全
く現れておらず、ポンプ寿命を格段に延ばせることが実
証されている。

【００１７】また、本実施形態の説明では、回転軸４の
外周面４ａの動圧軸受８に対向する対向部分の表面にＤ
ＬＣ膜１０を形成する構成について説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、回転体３の少なくと
も動圧軸受８に対向する対向部分の表面にＤＬＣ膜１０
を形成するものであればよく、回転軸４の外周面４ａ全
面にわたってＤＬＣ膜１０を形成する構成でもよい。こ
のように構成した場合、当該ＤＬＣ膜１０の耐食性によ
り回転軸全体の耐食性を向上できる。

【００１８】また、上記の説明では、モータロータ７ｂ
を左右方向で挟むように、一対の動圧軸受８を設けた構
成について説明したが、動圧軸受８の形状、設置数や設
置箇所、またはＤＬＣ膜１０の成膜箇所、あるいはイン
ペラ５の形状や個数などの回転体３の構成は上記のもの
に何等限定されない。具体的にいえば、上記一対の動圧
軸受８に代えて、図３及び４に示すように、モータロー
タ７ｂの外周面に対向するようハウジング２の内周面に
固定された筒状のスリーブ部材１８ａによって動圧軸受
１８を構成して、回転体３を回転自在に支持する構成で
もよい。上記スリーブ部材１８ａは、動圧軸受８と同様
に、上記オーステナイト系ステンレス鋼などの金属素材
からなる耐食材によって構成されたものであり、当該ス
リーブ部材１８ａには、モータロータ７ｂの対向する外
周面７ｂ３との対向面に回転体３の回転に応じた所望の
動圧を発生させる動圧発生用溝１８ａ２が内周面１８ａ
１に形成されている。また、図４に示すように、モータ
ロータ７ｂの外周面７ｂ３の表面上には、上記ＤＬＣ膜
１０が形成されている。尚、上記とは逆に、モータロー
タ７ｂの外周面７ｂ３に動圧発生用溝を設け、スリーブ
部材１８ａには同溝を設けない構成としてもよい。

【００１９】また、図３においては、スリーブ部材１８
ａと上記モータロータ７ｂとの隙間を誇張して図示して
おり、スリーブ部材１８ａとモータロータ７ｂの最外周
部である上記ＤＬＣ膜１０との隙間は数十μｍ程度であ
り、図１に示した場合と同様に、スリーブ部材１８ａが
ＤＬＣ膜１０との間でキャビテーションとこれに起因す
る異常音及び異常振動等を生じることなく、上記動圧を
適切に発生させて回転体３を安定して支持するようにな
っている。また、上記耐食材によりスリーブ部材１８ａ
を構成するとともに、このスリーブ部材１８ａに対向す
るモータロータ７ｂの表面にＤＬＣ膜１０を形成したこ
とから、動圧軸受１８は図１に示した動圧軸受８と同様
な効果を得ることができる。

【００２０】また、この実施形態では、図３に示すよう
に、モータロータ７ｂの内部に一対のインペラ５を設
け、これらのインペラ５を介してモータロータ７ｂと回
転軸４とを一体回転可能に連結するとともに、上記動圧
軸受１８と同軸上で回転体３を回転支持する一対のタッ
チダウン軸受１２をハウジング２内に設けている。詳細
には、インペラ５の一端（外周）側がモータロータ７ｂ
の内周面側に固定され、他端（内周）が回転軸４の外周
面側に一体回転可能に取り付けられている。これによ
り、図１に示した円筒部７ｃ及びリブ７ｄを割愛するこ
とができるとともに、インペラ５をモータロータの７ｂ
の内部に設けたことから、回転体３、ひいてはポンプ１
の軸方向長さを容易に短くすることができる。

【００２１】また、上記タッチダウン軸受１２は、上記
耐食材からなる円筒状の部材により構成されたものであ
り、同耐食材により構成されたドーナツ状の取付部材１
１を介してハウジング２内に配置されている。上記取付
部材１１は、ハウジング２に固定された円環状の固定部
１１ａと、タッチダウン軸受１２が圧入固定されたリン
グ状部１１ｂと、これら固定部１１ａとリング状部１１
ｂとの間で周方向に沿って等間隔に形成された複数の開
口１１ｃとを備えており、上記の開口１１ｃに冷却水を
通してポンプ効率の低下を極力抑えるようになってい
る。また、上記タッチダウン軸受１２の内周面１２ａと
回転軸４の外周面４ａとの離間寸法は、動圧軸受１８の
内周面１８ａ１と上記外周面７ｂ３上のＤＬＣ膜１０と
の間の間隔寸法より、数μｍ〜数十μｍ程度小さい値に
設定されており、タッチダウン軸受１２は回転体３のラ
ジアル方向の可動範囲を規制するとともに、ポンプ１の
起動時及び停止時などで回転軸４の外周面４ａと当接す
ることによって、動圧軸受１８のＤＬＣ膜１０との接触
を防止する。

【００２２】以上のように、この実施形態では、タッチ
ダウン軸受１２を設けて動圧軸受１８のＤＬＣ膜１０と
の接触を防止するので、この接触による摩耗や損傷が動
圧軸受１８及びＤＬＣ膜１０などに発生するのを確実に
防止することができる。また、タッチダウン軸受１２が
動圧軸受１８とＤＬＣ膜１０との接触を防止することか
ら、たとえ冷却水漏れ等により動圧軸受１８が動圧を発
生させることができないポンプ緊急停止時などでも、当
該軸受１８とＤＬＣ膜１０との衝突を防ぐことができ、
上記動圧発生用溝１８ａ２などに変形や破損を生じるこ
とを防止することができる。また、上記取付部材１１及
びタッチダウン軸受１２を、動圧軸受８，１８と同様に
上記耐食材により構成したことから冷却水に対する耐食
性を向上することができるとともに、タッチダウン軸受
１２の回転軸４に対する耐摩耗性及び摺動特性を向上さ
せることができ、タッチダウン軸受１２の寿命、ひいて
はポンプ寿命を長寿命化することができる。また、ポン
プ１の起動停止を頻繁に行う用途でタッチダウン軸受１
２が損傷した場合でも、当該ダッチダウン軸受１２のみ
交換すればポンプ１の継続使用が可能となる。また、モ
ータロータ７ｂに向かい合う上記動圧軸受１８によって
回転体３を回転自在に支持することから、一対の動圧軸
受８を用いたものに比べて、ポンプ１の軸方向長さを長
くすることなくタッチダウン軸受１２を容易にハウジン
グ２内に設けることができる。

【００２３】尚、上記の説明では、冷却水を循環させる
軸流式のポンプに適用した場合について説明したが、本
発明は、蒸留水などのピュアな水や化学物質を含んだ水
溶液などの液体を圧送する回転体と、この液体を潤滑流
体として用いて回転体を回転自在に支持する動圧軸受と
を有する、電動ウォータポンプ等の各種ポンプに好適に
用いることができる。また、本発明における動圧軸受に
は、動圧溝を有さないものや、すべり軸受、ステップ軸
受をも含んでいる。また、上記の説明では、オーステナ
イト系ステンレス鋼などの金属素材からなる耐食材によ
り動圧軸受８，１８を構成した場合について説明した
が、本発明は、冷却水等の水を含む液体（潤滑流体）に
対する耐食性をもつ耐食材により動圧軸受８，１８を構
成するものであれば何等限定されない。具体的には、上
記ＤＬＣ膜１０を軸受用鋼（ＳＵＪ２等）の表面に形成
した耐食材により、動圧軸受８，１８を構成してもよ
く、このように動圧軸受８，１８側にＤＬＣ膜１０を形
成した場合は、その軸受の耐摩耗性及び摺動特性を向上
することから回転体３側でのＤＬＣ膜１０の形成を割愛
することができる。また、ＤＬＣ膜１０に代えて、上記
水を含む液体に対する耐食性に優れたニッケル等の金属
皮膜を電気メッキなどによって軸受用鋼などの表面上に
形成した耐食材を用いて、動圧軸受８，１８を構成して
もよい。

【００２４】また、上記の説明では、回転軸４の一端部
側の先端部に球状部４ｂを設け、この球状部４ｂをピボ
ット板６の球面座６ａに接した状態で回転体３を回転さ
せる構成について説明したが、本発明はこれに限定され
るものではない。例えば上記球状部４ｂを設けることな
く回転軸４の上記先端部を断面円形状とし、さらに上記
球面座６ａの代わりに、ピボット板６の回転軸先端部に
対向する軸方向端面にヘリングボーン状等の動圧発生用
溝を形成して、この溝により発生させた動圧によって回
転体３が冷却水を圧送したときに当該回転体３が図１，
３の左側に移動するのを規制しつつ、軸方向に回転体３
を支承する構成でもよい。このようにピボット板６で回
転体３を軸方向に支承する場合、動圧軸受８，１８と同
様に、このピボット板６あるいは球状部４ｂを上記耐食
材によって構成し、このピボット板６に対向する回転軸
４の先端部表面にＤＬＣ膜１０を形成することにより、
当該ピボット板６の寿命、ひいてはポンプ寿命を容易に
向上することができる。また、逆に、ピボット板６の表
面にＤＬＣ膜１０を形成し、対向する回転軸４の先端部
を上記耐食材で形成してもよい。

【００２５】尚、上記各実施形態では、動圧軸受８，１
８の軸受面とこれに対向する回転軸４の対向面のいずれ
か一方にＤＬＣ膜１０を設けた場合を示したが、両方に
ＤＬＣ膜１０を設けてもよい。一般に、耐摩耗性を重視
する用途では、いずれか一方のみにＤＬＣ膜１０を設け
た方が好ましいが、他方の面の耐食材として、耐食被膜
としてのＤＬＣ膜１０を表面に形成した部材を用いるこ
とで、ＤＬＣ膜１０の極めて優れた耐久性を利用でき、
耐食性をより重視する用途で好ましい形態の一つといえ
る。

【００２６】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１のポンプによれば、動圧軸受の
水を含む液体に対する耐食性を向上することができると
ともに、回転開始時などでの当該軸受の回転体に対する
耐摩耗性及び摺動特性を向上することができるので、長
期間にわたって回転体を高精度に支持することができ、
軸受寿命、ひいてはポンプ寿命の長寿命化を図ることが
できる。

【００２７】請求項２のポンプによれば、上記タッチダ
ウン軸受がポンプ起動または停止時に回転体を支持して
上記動圧軸受の回転体との接触を防ぐことができるの
で、その接触による摩耗などが動圧軸受等に発生するの
を確実に防止することができ、軸受及びポンプの寿命を
延ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るポンプの構成を示す
断面図である。

【図２】図１に示した動圧軸受の動圧発生部とこれに対
向する回転軸の対向部分とを示す拡大断面図である。

【図３】別の実施形態に係るポンプの構成を示す断面図
である。

【図４】図３に示した動圧軸受の動圧発生部とこれに対
向するモータロータの対向部分とを示す拡大断面図であ
る。

【符号の説明】

１ポンプ３回転体８，１８動圧軸受１０ダイヤモンドライクカーボン膜（ＤＬＣ膜）１２タッチダウン軸受

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大西政良大阪市中央区南船場三丁目５番８号光洋精工株式会社内 (72)発明者瀧井裕一大阪市中央区南船場三丁目５番８号光洋精工株式会社内Ｆターム(参考） 3H022 AA01 BA06 CA11 CA51 DA13 3J011 AA20 BA02 CA02 CA05 DA01 JA02 KA02 MA02 QA04 SB02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水を含んだ液体を圧送する回転体と、前記
液体を潤滑流体として前記回転体を回転自在に支持する
動圧軸受とを備えたポンプであって、前記動圧軸受の軸受面と、前記回転体の少なくとも前記
軸受面に対向する対向部分とのうち、少なくとも一方の
表面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成するととも
に、他方を前記液体に対する耐食性をもつ耐食材により
構成したことを特徴とするポンプ。
【請求項２】前記動圧軸受と同軸上で前記回転体を回転
支持するタッチダウン軸受を備えたことを特徴とする請
求項１記載のポンプ。